JPS6110288A - 圧電磁器の製造方法 - Google Patents

圧電磁器の製造方法

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JPS6110288A
JPS6110288A JP59131333A JP13133384A JPS6110288A JP S6110288 A JPS6110288 A JP S6110288A JP 59131333 A JP59131333 A JP 59131333A JP 13133384 A JP13133384 A JP 13133384A JP S6110288 A JPS6110288 A JP S6110288A
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JP
Japan
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piezoelectric element
electrode
tentative
polarization
electrodes
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Pending
Application number
JP59131333A
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English (en)
Inventor
Yoichi Okinaka
沖中 庸一
Tetsuo Kita
北 哲夫
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electric Industrial Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10NELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10N30/00Piezoelectric or electrostrictive devices
    • H10N30/01Manufacture or treatment
    • H10N30/04Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning
    • H10N30/045Treatments to modify a piezoelectric or electrostrictive property, e.g. polarisation characteristics, vibration characteristics or mode tuning by polarising

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は圧電ブザー、セラミックフィルター。
センサーあるいは超音波振動子に用いる圧電磁器の製造
方法に関するものである。
従来例の構成とその問題点 圧電磁器の用途としては圧電ブザー、セラミックフィル
ター、センサー、あるいは超音波洗浄器。
超音波加湿器のような超音波振動子等々非常に巾広いも
のであるが実際に使用する上では、その製品目的に合わ
せた性能設計が要求されることが多くその方法として部
分的形状電極によるエネルギ示すような処理方法で製造
していた。
圧電素子1に部分的電極2をつけたものを導電性端子3
ではさみ込み直流電圧4を印加し分極処理を施していた
この場合、圧電素子1につけられた電極面2が部分的形
状の電極面であるがために、直流電圧印加の際、電極面
2と非電極面との間に圧電素子1の伸縮が発生し断層が
できこれが原因となり圧電素子1の破壊が発生し易い状
態となったり、さらには分極処理後の性能においてもス
プリアス等の問題が多くみられた。そのため圧電素子1
の重ね分極による処理ができないことはもちろんのこと
印加電圧値も1.olct/m程度以内(通常基本印加
電圧値の約1/3倍)に下げているがそれでも圧電素子
1の破壊が発生していた。
発明の目的 本発明はこのような従来の欠点を除去するもので、圧電
素子に直流電圧を印加する分極処理の際、圧電素子の伸
縮による歪が原因で発生する圧電素子の破壊を防ぐとと
もに印加電圧値も下げることなく作業性においても良好
な圧電磁器の製造方法を提供することを目的とするもの
である。
発明の構成 この目的を達成するために本発明は、部分的電極を施し
た圧電素子上に容易に除去が可能である導電性の仮電極
を付けたものを分極処理し11分極処理後仮電極を取り
除くものである。
この方法によって、部分電極である圧電素子が4極され
る際の電極面と非電極面との伸縮による断層をおさえ圧
電素子の破壊の発生を防ぐことができるものである。
明する。
4はP b (Mq′/3Nb %θxTiyZrzo
sの組成からなる直径20 waの圧電素子で、この圧
電素子Aの両面には銀を700℃で焼付けた2mX14
1+mの部分的電極6が形成され、この部分的電極6以
外の部分には、銀、カーボンあるいけパラジウムからな
る仮電極6が塗布、乾燥により形成され、この圧電素子
4に導電性端子7ではさみ込み直流電圧8を印加して分
極処理を施す。
この分極処理後、圧電素子4を溶剤に浸漬し超音波洗浄
を施して仮電極6を戦り除いて圧電磁器を得る。
次に従来方法と本発明方法についての比較を示す。
圧電素子としては上述の組成、形状のものを用い部分的
電極として鎖の焼付けたもの、仮電極として17■φの
ものを形成したもので実験した。
その結果を下表に示す。
以下余白 発明の効果 以上のように本発明による導電性の仮電極を施すことに
より電極を有する圧電素子面全体に印加され分極の際発
生する部分的な伸縮がなくなり、圧電素子の破壊あるい
は亀裂等がなくなるとともに印加電圧値も下げる必要も
ないため極めて良好な圧電磁器性能を得ることができる
ものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は従来の圧電磁器の製造方法を示す説明図、第2
図は本発明の一実施例による圧電磁器の製造方法を説明
する説明図である。 4・・・・圧電素子、6・・・部分的形状電極、6・・
・・・仮電極、7・・・・端子板、8・・・直流電圧。 代理人の氏名 弁理士 中 尾 敏 男 ほか1名第1
図 (a) 第2図 (a)

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 圧電素子の両面、或は片面のいずれかに部分的形状の電
    極面を設け、この部分的形状の電極面上に導電性による
    仮電極を施し、分極を行いその分極処理後に導電性の仮
    電極を取り除くことを特徴とする圧電磁器の製造方法。
JP59131333A 1984-06-26 1984-06-26 圧電磁器の製造方法 Pending JPS6110288A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH07238230A (ja) * 1994-03-02 1995-09-12 Hokuriku Toryo Kk 導電性樹脂組成物

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JPH07238230A (ja) * 1994-03-02 1995-09-12 Hokuriku Toryo Kk 導電性樹脂組成物

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