JPS6148299A - 超音波探触子の製造方法 - Google Patents
超音波探触子の製造方法Info
- Publication number
- JPS6148299A JPS6148299A JP59169527A JP16952784A JPS6148299A JP S6148299 A JPS6148299 A JP S6148299A JP 59169527 A JP59169527 A JP 59169527A JP 16952784 A JP16952784 A JP 16952784A JP S6148299 A JPS6148299 A JP S6148299A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrodes
- piezoelectric vibrator
- polarization
- depolarization
- electrode
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000000523 sample Substances 0.000 title claims abstract description 21
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 15
- 230000010287 polarization Effects 0.000 claims abstract description 34
- 238000009826 distribution Methods 0.000 claims abstract description 14
- 230000005684 electric field Effects 0.000 claims abstract description 6
- 230000002999 depolarising effect Effects 0.000 claims abstract description 5
- 230000028161 membrane depolarization Effects 0.000 claims description 20
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 16
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 3
- 238000002604 ultrasonography Methods 0.000 claims description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 abstract description 15
- 230000005284 excitation Effects 0.000 abstract description 5
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 abstract 1
- GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N Nitric acid Chemical compound O[N+]([O-])=O GRYLNZFGIOXLOG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229910017604 nitric acid Inorganic materials 0.000 description 2
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 2
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 2
- 241000209507 Camellia Species 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 235000018597 common camellia Nutrition 0.000 description 1
- 238000013016 damping Methods 0.000 description 1
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 1
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 1
- 235000013399 edible fruits Nutrition 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 1
- 238000004904 shortening Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/06—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction
- B06B1/0644—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element
- B06B1/0662—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface
- B06B1/0681—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a damping structure
- B06B1/0685—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy operating with piezoelectric effect or with electrostriction using a single piezoelectric element with an electrode on the sensitive surface and a damping structure on the back only of piezoelectric elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Piezo-Electric Transducers For Audible Bands (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野］
本発明はファンデルポー型の分極分布を有する圧電振動
子を用いた超音波探触子の製造方法に関する。
子を用いた超音波探触子の製造方法に関する。
従来、周波数特性が広帯域で、短パルスにも良好な応答
を示す超音波探触子として、分極方向に分極分布を与え
たファンデルボー（Ｖａｎ ｄｅｒ Ｐａｕｗ）型の圧
電振動子を用いたものが知られている。
を示す超音波探触子として、分極方向に分極分布を与え
たファンデルボー（Ｖａｎ ｄｅｒ Ｐａｕｗ）型の圧
電振動子を用いたものが知られている。
その−例として、例えば第３図に示す様に、板状の圧電
素子２１の一方の面にストライプ状の電極２２ａ 、
２２ｂ 、 ２２ａ 、 ２２ｂ 、 ・＝・・をすだ
れ状に設け、これら電極２２ａ 、 ２２ｂ 、・・曲
の１つおき、っまり２２ａ 、 ２２ａ 、−＝−・・
と、２２ｂ 、 ２２ｂ 、 、、、、、、とに電源２
３から異る極性の電圧を印加することによって、破線で
示す分極線２４を有する１、つまり厚み方向に分極が一
定とならないファンデルボー型分極分゛布を得るという
ものである。この様な分極分布を形成した圧電振動子は
、その周波Ｖ特性にサイドロープがない広帯域なものと
なり、単一パルスに対し、良好なインパルス応答が得ら
れ、超音波探触子に適するものである。しかしながら、
月下の様な欠点を有していた。即ち、 １、超音波探触子として利用するのは厚み方向の縦振動
であり、上記の様に１つおきに異る極性の電圧を印加す
るため、隣り合う電極間で横方向の分極状態も現れてし
まい、この不要振動の励起のために効率が低下する。
素子２１の一方の面にストライプ状の電極２２ａ 、
２２ｂ 、 ２２ａ 、 ２２ｂ 、 ・＝・・をすだ
れ状に設け、これら電極２２ａ 、 ２２ｂ 、・・曲
の１つおき、っまり２２ａ 、 ２２ａ 、−＝−・・
と、２２ｂ 、 ２２ｂ 、 、、、、、、とに電源２
３から異る極性の電圧を印加することによって、破線で
示す分極線２４を有する１、つまり厚み方向に分極が一
定とならないファンデルボー型分極分゛布を得るという
ものである。この様な分極分布を形成した圧電振動子は
、その周波Ｖ特性にサイドロープがない広帯域なものと
なり、単一パルスに対し、良好なインパルス応答が得ら
れ、超音波探触子に適するものである。しかしながら、
月下の様な欠点を有していた。即ち、 １、超音波探触子として利用するのは厚み方向の縦振動
であり、上記の様に１つおきに異る極性の電圧を印加す
るため、隣り合う電極間で横方向の分極状態も現れてし
まい、この不要振動の励起のために効率が低下する。
２、隣り合うストライプ状電極間距離が短かすぎると、
電極開放′市が生じ、ストライプ状電極間距離を短くす
るに対し、限界がある。
電極開放′市が生じ、ストライプ状電極間距離を短くす
るに対し、限界がある。
本発明は上述した点にかんがみてなされたもので、不要
振動の励振を除去して効率を高めることを可能にすると
共に１フアンデルボ一型分極分布を画成するだめの電極
間距離に対する制限を解消し゛た超音波探触子の製造方
法を提供することを目的とする。
振動の励振を除去して効率を高めることを可能にすると
共に１フアンデルボ一型分極分布を画成するだめの電極
間距離に対する制限を解消し゛た超音波探触子の製造方
法を提供することを目的とする。
板状の圧電素子の厚み方向に分極さ姦た後、裏面に沿う
側に交流電圧を印加して厚みと垂直方向となる横方向に
交流減極を行って表、面１１１１ Ｋのみ厚み方向の分
極を、有する圧電振動子を形成して、従来例におけるす
だれ状の電極の形成を必要とせず、広帯域で使用でき、
目、つ横方向の振動を励起することなく、効率が良い超
音波探触子を実現している。
側に交流電圧を印加して厚みと垂直方向となる横方向に
交流減極を行って表、面１１１１ Ｋのみ厚み方向の分
極を、有する圧電振動子を形成して、従来例におけるす
だれ状の電極の形成を必要とせず、広帯域で使用でき、
目、つ横方向の振動を励起することなく、効率が良い超
音波探触子を実現している。
以下、図面を参照して本発明を具体的に説明する。
第１図は本発明の第１実施例の製造方法における各工程
の装置及びその工程での形成物を示す。
の装置及びその工程での形成物を示す。
第１１ｆｆｉ（ａ）に示すように、ＰＺＴ等からなる平
板状Ｏ圧電セラミックス１の両板面に焼付銀又は蒸＝
３− 着金等を付与して両電極２ａ 、２ｂを形成する。しか
して、この両電極２ａ、２ｂ間に、１ｗ＋の厚み当り、
例えば３ｋＶ となる直流電界を直流電諒３によって
、例えば約３０分印加し、圧電セラミックス１を厚み方
向に分極させる分極処理する。尚、第１図（ａ） にお
いて符号４ａ、４ｂは各電極２ａ、２ｂに導通する端子
部分を示す。
板状Ｏ圧電セラミックス１の両板面に焼付銀又は蒸＝
３− 着金等を付与して両電極２ａ 、２ｂを形成する。しか
して、この両電極２ａ、２ｂ間に、１ｗ＋の厚み当り、
例えば３ｋＶ となる直流電界を直流電諒３によって
、例えば約３０分印加し、圧電セラミックス１を厚み方
向に分極させる分極処理する。尚、第１図（ａ） にお
いて符号４ａ、４ｂは各電極２ａ、２ｂに導通する端子
部分を示す。
１記分極処理によって、圧電セラミックスｌは、第１し
１（ｂ）の矢印で示すように厚み方向（及びこれと垂直
な水平方向各部で）に対し、分極分布が厚み方向を向い
て一定になる分極が形成される。次に、上記両電極２ａ
、２ｂを硝酸等の溶剤等を用いて除去し、次に第１図（
Ｃ）に示すように、圧電セラミックスｌの超音波を送受
する側を表Ｃ図では上面が’＄ｅ）とする場合における
裏側に近接する両側面の一部に減極（処理）用電極５ａ
、５ｂを設け、該電極５ａ、５ｂに（圧接等して）それ
ぞれ導通する導通端子６ａ、６ｂを介して、例えば５０
Ｈｚの交流電源７に接続し翫交流電圧を印加する。この
印加された交流電圧を徐々に上昇させ、その電圧値が圧
電セラミックス１の抗電界以上になる様に印加電圧をの
を側面方向に配向（実際にはヒステリシスを描いている
状態である）させると共に、徐々に印加電圧を下げるこ
とによって、上記印加電圧によるヒステリシスループを
次第に小さくして側面方向に向いた分極が（理想的ＫＦ
ｉ）Ｏとなる状態、つまり分極されない状態になるよう
交流減極処理する。尚、上記交流減極処理の際、圧電セ
ラミックス１を加熱することによって、分極反転を容易
にできることになり、減極効果が加速される。この加熱
減極は、特にノ・−ド系圧電材料に対して有効である。
１（ｂ）の矢印で示すように厚み方向（及びこれと垂直
な水平方向各部で）に対し、分極分布が厚み方向を向い
て一定になる分極が形成される。次に、上記両電極２ａ
、２ｂを硝酸等の溶剤等を用いて除去し、次に第１図（
Ｃ）に示すように、圧電セラミックスｌの超音波を送受
する側を表Ｃ図では上面が’＄ｅ）とする場合における
裏側に近接する両側面の一部に減極（処理）用電極５ａ
、５ｂを設け、該電極５ａ、５ｂに（圧接等して）それ
ぞれ導通する導通端子６ａ、６ｂを介して、例えば５０
Ｈｚの交流電源７に接続し翫交流電圧を印加する。この
印加された交流電圧を徐々に上昇させ、その電圧値が圧
電セラミックス１の抗電界以上になる様に印加電圧をの
を側面方向に配向（実際にはヒステリシスを描いている
状態である）させると共に、徐々に印加電圧を下げるこ
とによって、上記印加電圧によるヒステリシスループを
次第に小さくして側面方向に向いた分極が（理想的ＫＦ
ｉ）Ｏとなる状態、つまり分極されない状態になるよう
交流減極処理する。尚、上記交流減極処理の際、圧電セ
ラミックス１を加熱することによって、分極反転を容易
にできることになり、減極効果が加速される。この加熱
減極は、特にノ・−ド系圧電材料に対して有効である。
上記交流減極処理を行った圧電セラミックス１極されて
いる部分（分極部）が保持される。而して、次に減極用
電極５ａ、５ｂを硝酸等の溶剤で除去し、表裏の各面全
域に再び電極９ａ、９ｂを形成するととによって、第１
図（ｅ）に示すように厚み方向に対して分極部と分極さ
れない部分８とが形成されたファンデルポー型の分極分
布を有するものとなり、超音波探触子に適した圧電振動
子となる。
いる部分（分極部）が保持される。而して、次に減極用
電極５ａ、５ｂを硝酸等の溶剤で除去し、表裏の各面全
域に再び電極９ａ、９ｂを形成するととによって、第１
図（ｅ）に示すように厚み方向に対して分極部と分極さ
れない部分８とが形成されたファンデルポー型の分極分
布を有するものとなり、超音波探触子に適した圧電振動
子となる。
つまり、上記第１図（ｅ）に示すファンデルボー型の圧
電振動子の表の面側に音響整合層を接着剤等で形成し、
−大塵面側にはダンピング層を接着剤等で形成し、上記
音響整合層の上にさらに音響レンズを形成する等、通常
の製造プロセスで超音波探触子を製造できる。このよう
にして製造された超音波探触子は、通常の超音波探触子
と同様な駆動回路で駆動できる。又、横方向には従来例
のような分極が形成されていないので、この方向に振動
励起が生じてエネルギーロスが生じることもなく、高い
変換効率を得ることができる。
電振動子の表の面側に音響整合層を接着剤等で形成し、
−大塵面側にはダンピング層を接着剤等で形成し、上記
音響整合層の上にさらに音響レンズを形成する等、通常
の製造プロセスで超音波探触子を製造できる。このよう
にして製造された超音波探触子は、通常の超音波探触子
と同様な駆動回路で駆動できる。又、横方向には従来例
のような分極が形成されていないので、この方向に振動
励起が生じてエネルギーロスが生じることもなく、高い
変換効率を得ることができる。
次に本発明の第２実施例について述べる。
この第２実施例は、第１の工程、つ″！シ厚み方向に分
極を形成する工程は上記第１実施例と同様である。つま
り、第１図（ａ）に示す分極処理によって同図（ｂ）に
示すように分極された圧電セラミックス１を得る。
極を形成する工程は上記第１実施例と同様である。つま
り、第１図（ａ）に示す分極処理によって同図（ｂ）に
示すように分極された圧電セラミックス１を得る。
次に、第２図（ａ）に示すように、対向する各側面に近
接する部分の裏面に減極用電極１１ａ、ｌｌｂを設け、
導通端子１２ａ、１２ｂを経て交流電源７の交流電圧を
印加して前述のように減極処理する。この工程によって
、第１図（ｄ）と同様に、裏面に近接する側に分極され
ない部分１３が形成された第２図（ｂ）に示す圧電セラ
ミックス１を得る。
接する部分の裏面に減極用電極１１ａ、ｌｌｂを設け、
導通端子１２ａ、１２ｂを経て交流電源７の交流電圧を
印加して前述のように減極処理する。この工程によって
、第１図（ｄ）と同様に、裏面に近接する側に分極され
ない部分１３が形成された第２図（ｂ）に示す圧電セラ
ミックス１を得る。
次に上記電極１１ａ、ｌｌｂを除去して、表裏の各面金
域に電極を形成することによって、第１図（ｅ）に示す
ようなファンデルポー型の分極分布を有する圧電振動子
を製造できる。さらに超音波探触子を製造する工程は前
述と同様である。
域に電極を形成することによって、第１図（ｅ）に示す
ようなファンデルポー型の分極分布を有する圧電振動子
を製造できる。さらに超音波探触子を製造する工程は前
述と同様である。
上記第２実施例によれば、圧電セラミックス１の厚みが
薄い場合、例えば５ｊ■Ｈｚ以上の周波数で用いられる
場合には板の厚みが０．５ ｔｍ以下となシ、上記第１
実施例のように減極用電極５ａ、５ｂを形成することが
雌しくなる場合にも、その厚みに関係することなく、形
成できるという利点を有する。
薄い場合、例えば５ｊ■Ｈｚ以上の周波数で用いられる
場合には板の厚みが０．５ ｔｍ以下となシ、上記第１
実施例のように減極用電極５ａ、５ｂを形成することが
雌しくなる場合にも、その厚みに関係することなく、形
成できるという利点を有する。
尚、上記詔２実施例において、減極処理した後の電極１
１ａ、ｌｌｂを除去しないで、各板面に電極を形成して
も、昇面仙（にわずかに凹凸が生じるだけで実際上支障
のないファンデルボー型の分極分布を有する圧電振動子
を製造することができる。
１ａ、ｌｌｂを除去しないで、各板面に電極を形成して
も、昇面仙（にわずかに凹凸が生じるだけで実際上支障
のないファンデルボー型の分極分布を有する圧電振動子
を製造することができる。
尚、アレイ型超音波探触子を製造する場合には、上記減
極処理する工程において、減極用電極５ａ。
極処理する工程において、減極用電極５ａ。
５ｂ又は１１ａ 、 ｌｔｂを設ける側面の一部又は裏
面の対向する２箇所は、アレイの切断面に対し、直角と
なる部分（両側面の一部又は裏面の対向する２箇所）に
形成し、アレイの切断面に沿った（厚み方向でなく）側
面方向に交流電界が印加さねるようにすると減極塵のア
レイ累子間のばらつきを少くできる。
面の対向する２箇所は、アレイの切断面に対し、直角と
なる部分（両側面の一部又は裏面の対向する２箇所）に
形成し、アレイの切断面に沿った（厚み方向でなく）側
面方向に交流電界が印加さねるようにすると減極塵のア
レイ累子間のばらつきを少くできる。
尚、減極用の電極５ ａ Ｊ ５ ｂ；］ ｌ＆ ＋
１１ｂとしては蒸着あるいは導電ペーストの塗布後（加
熱）乾燥等で形成したものに限らず、圧接させて形成し
たものでも良い。
１１ｂとしては蒸着あるいは導電ペーストの塗布後（加
熱）乾燥等で形成したものに限らず、圧接させて形成し
たものでも良い。
尚、減極処理した際、裏面側を完全に分極されない部分
８、あるいは１３にするものに限定されるものでなく、
分極が小さくされた、つまシ減極されて、表の而（Ｍｌ
ｊに形ｌＪ２ ＃れた厚み方向を向く分極＜ｉｉｉに比
べてかなりあるいは十分小さい値の澹極部であっても良
い。このように１−でも実際上は支障がない場合もある
１〜、製」告時間を短縮できることにもなる。
８、あるいは１３にするものに限定されるものでなく、
分極が小さくされた、つまシ減極されて、表の而（Ｍｌ
ｊに形ｌＪ２ ＃れた厚み方向を向く分極＜ｉｉｉに比
べてかなりあるいは十分小さい値の澹極部であっても良
い。このように１−でも実際上は支障がない場合もある
１〜、製」告時間を短縮できることにもなる。
以上述べたように本発明によれば、縁み方向に分極ζせ
た後、裏面１１＋１１に近接する側部又は対向する側部
に近接する裏面に減極…τ（Ｃ極を設けて、裏面１１ｔ
ｌの分極を減極処理して厚み方向ｌｒＣファンデルボー
型の分極分布を有する圧電振動子を製造できるようにし
たので、簡単な工程で不要な励振を生じさせることのな
い効率の良い超音波探触子を実現できる。
た後、裏面１１＋１１に近接する側部又は対向する側部
に近接する裏面に減極…τ（Ｃ極を設けて、裏面１１ｔ
ｌの分極を減極処理して厚み方向ｌｒＣファンデルボー
型の分極分布を有する圧電振動子を製造できるようにし
たので、簡単な工程で不要な励振を生じさせることのな
い効率の良い超音波探触子を実現できる。
第１図は本発明の第１実施例の製造方法に係り、第１図
（ａ）は分離処理する工程を示すための説明Ｍ１第１１
７１（ｂ）は同図（ａ）の工程で形成された圧電セラミ
ックスを示す正面図、第１図（ｃ）は減極処理する工程
を示すための説明図、第１図（ｄ）は、同ＩＹＩ （ｅ
）の工程で形成された圧電セラミックスを示す正面図、
車１図（ｅ）は側面の電極を除去して、両面に電極を形
成し製造されたファンデルポー型の分極分布を有する圧
電振動子を示す正面図、給２図は本発明の第２実施例に
係り％第２図（ａ）は第２実施例における減極処理する
工程を示すための説明図、第２１１Ｋ （ｂ）は、同図
（ａ）の工程で形成された圧電セラミックスを示す正面
図、第３図は従来例におけるファンデルボー型の分極分
布を形成する工程を示すための説明Ｍである。 】・・・圧電セラミックス、 ２ａ、２ｂ、９ａ、９ｂ ・＊ 椿、 ３・・・直流電源、 ５ａ、５ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ （Ｍ極用）電極、７・・
・交流電源、 ８．１３・・・分極されない部分。 ＝１１− 第１図 （Ｍ寸 ＣＸＪ 〜
（ａ）は分離処理する工程を示すための説明Ｍ１第１１
７１（ｂ）は同図（ａ）の工程で形成された圧電セラミ
ックスを示す正面図、第１図（ｃ）は減極処理する工程
を示すための説明図、第１図（ｄ）は、同ＩＹＩ （ｅ
）の工程で形成された圧電セラミックスを示す正面図、
車１図（ｅ）は側面の電極を除去して、両面に電極を形
成し製造されたファンデルポー型の分極分布を有する圧
電振動子を示す正面図、給２図は本発明の第２実施例に
係り％第２図（ａ）は第２実施例における減極処理する
工程を示すための説明図、第２１１Ｋ （ｂ）は、同図
（ａ）の工程で形成された圧電セラミックスを示す正面
図、第３図は従来例におけるファンデルボー型の分極分
布を形成する工程を示すための説明Ｍである。 】・・・圧電セラミックス、 ２ａ、２ｂ、９ａ、９ｂ ・＊ 椿、 ３・・・直流電源、 ５ａ、５ｂ、ｌｌａ、ｌｌｂ （Ｍ極用）電極、７・・
・交流電源、 ８．１３・・・分極されない部分。 ＝１１− 第１図 （Ｍ寸 ＣＸＪ 〜
Claims (3)
- （１）板の厚み方向に分極分布を有する圧電振動子を用
いた超音波探触子の製造方法において、板状の圧電振動
子の両板面に電極を設けて厚み方向に向いた分極を形成
する工程と、次に前記電極を除去し、圧電振動子の対向
する両側面における一方の板面に近接する一部又は一方
の板面で、対向する両側面に近接する部分に減極用電極
を設けて、該減極用電極に圧電振動子の抗電界以上の交
流電圧を印加し、対向する減極用電極間部分ないしこれ
を近接する部分の分極を減極する工程と、次に圧電振動
子の両板面にのみ電極を形成する工程とで製造される圧
電振動子を用いた超音波探触子の製造方法。 - （２）前記減極用電極は、アレイ型超音波探触子用の圧
電振動子の場合には、アレイを形成するための切断面と
平行となる側面方向に交流電界が向くように形成したこ
とを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波探触
子の製造方法。 - （３）前記減極する工程は、加熱しながら行うことを特
徴とする特許請求の範囲第１項記載の超音波探触子の製
造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59169527A JPS6148299A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 超音波探触子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59169527A JPS6148299A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 超音波探触子の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6148299A true JPS6148299A (ja) | 1986-03-08 |
Family
ID=15888151
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59169527A Pending JPS6148299A (ja) | 1984-08-13 | 1984-08-13 | 超音波探触子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6148299A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0634227A2 (en) * | 1993-07-15 | 1995-01-18 | General Electric Company | Broadband ultrasonic transducers and related method of manufacture |
| US5758397A (en) * | 1995-05-31 | 1998-06-02 | Nec Corporation | Process for making piezoelectric ceramic transformer having large voltage step-up ratio |
| US6084334A (en) * | 1997-10-29 | 2000-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus for driving plurality of vibration type motors |
-
1984
- 1984-08-13 JP JP59169527A patent/JPS6148299A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0634227A2 (en) * | 1993-07-15 | 1995-01-18 | General Electric Company | Broadband ultrasonic transducers and related method of manufacture |
| US6628047B1 (en) * | 1993-07-15 | 2003-09-30 | General Electric Company | Broadband ultrasonic transducers and related methods of manufacture |
| US5758397A (en) * | 1995-05-31 | 1998-06-02 | Nec Corporation | Process for making piezoelectric ceramic transformer having large voltage step-up ratio |
| US6084334A (en) * | 1997-10-29 | 2000-07-04 | Canon Kabushiki Kaisha | Driving apparatus for driving plurality of vibration type motors |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US3614483A (en) | Width flexural resonator and coupled mode filter | |
| JPH06252688A (ja) | 圧電共振装置 | |
| JPS6340491B2 (ja) | ||
| JPS6148299A (ja) | 超音波探触子の製造方法 | |
| JP4404565B2 (ja) | 圧電磁器の分極法 | |
| JPS6148300A (ja) | 超音波探触子用圧電振動子の製造方法 | |
| JPS6261170B2 (ja) | ||
| US3713036A (en) | Surface wave device having alternating remanent polarization between interdigital electrodes,spaced a surface wavelength apart | |
| JP2508334B2 (ja) | 圧電基板の分極方法 | |
| JP3464529B2 (ja) | 広帯域超音波変換器及び広帯域超音波変換器を製造する方法 | |
| JP3239399B2 (ja) | 表面波装置 | |
| JPH0888899A (ja) | 超音波振動子 | |
| JPH06338641A (ja) | 圧電磁器トランス及びその駆動方法 | |
| JPH0211079B2 (ja) | ||
| JPH10215012A (ja) | 板状圧電セラミックスの分極方法 | |
| JPS5939079A (ja) | 圧電バイモルフ | |
| JPS58173912A (ja) | 圧電体屈曲振動子および圧電フィルタ | |
| Nakamura et al. | LiNbO/sub 3/ultrasonic transducers with an inverted-domain layer for radiation to a solid medium | |
| JP4070169B2 (ja) | 圧電発振子 | |
| JPH0342560B2 (ja) | ||
| JP2910095B2 (ja) | 圧電素子及び圧電素子の製造方法 | |
| JPH0155603B2 (ja) | ||
| JP2844068B2 (ja) | 超音波トランスジューサ | |
| JPS6410999B2 (ja) | ||
| JP2586287B2 (ja) | 圧電トランスの製造方法 |