JPS63100807A - 圧電セラミツク共振子の製造方法 - Google Patents
圧電セラミツク共振子の製造方法Info
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- JPS63100807A JPS63100807A JP61245734A JP24573486A JPS63100807A JP S63100807 A JPS63100807 A JP S63100807A JP 61245734 A JP61245734 A JP 61245734A JP 24573486 A JP24573486 A JP 24573486A JP S63100807 A JPS63100807 A JP S63100807A
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- piezoelectric ceramic
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- piezoelectric
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Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は圧みすべり撮動を利用した圧電セラミック共振
子に関するものである。
子に関するものである。
従来の技術
圧電セラミックスの圧みすべり共搗振動を利用したセラ
ミックフィルターや発振子は、利用周波数の高周波化に
伴い、急速に普及している。従来、この種の厚みすべり
振動子は第２図に示すようにして製造されていた。すな
わち、分極用電極６を持つ圧電セラミックブロック４を
分極し、このブロックを分極方向に平行にスライスする
。スライスした圧電セラミックス素子６に対向電極７を
蒸着し、目的の大きさに切断２分極用電極５を除去して
、圧電セラミック振動子を得るものである。
ミックフィルターや発振子は、利用周波数の高周波化に
伴い、急速に普及している。従来、この種の厚みすべり
振動子は第２図に示すようにして製造されていた。すな
わち、分極用電極６を持つ圧電セラミックブロック４を
分極し、このブロックを分極方向に平行にスライスする
。スライスした圧電セラミックス素子６に対向電極７を
蒸着し、目的の大きさに切断２分極用電極５を除去して
、圧電セラミック振動子を得るものである。
発明が解決しようとする問題点
このような従来の方法では、目的の圧電セラミック共振
子で必要とし々い分極用の電亨を形成しなければならな
いため、工程数を多く必要とする。
子で必要とし々い分極用の電亨を形成しなければならな
いため、工程数を多く必要とする。
さらに、圧電セラミックブロックから目的の圧電セラミ
ック共振子を切り出す工程において、ワックスを用い念
切断治具への圧電セラミックブロックの貼付及び取りは
すしといった熱処理を伴う工程が分極後に存在するため
、圧電セラミック素子の劣化が起こるという問題があっ
た。
ック共振子を切り出す工程において、ワックスを用い念
切断治具への圧電セラミックブロックの貼付及び取りは
すしといった熱処理を伴う工程が分極後に存在するため
、圧電セラミック素子の劣化が起こるという問題があっ
た。
本発明はこのような問題点を解決するもので、量産性よ
く、圧電セラミック振動子を得ることを目的とするもの
である。
く、圧電セラミック振動子を得ることを目的とするもの
である。
問題点を解決するための手段
この問題点を解決するために本発明は目的の形状に焼成
、加工した、電極を持たない状態の圧電セラミック素子
をその厚み方向に重ね、これを厚みとは垂直な方向に分
極するものである。
、加工した、電極を持たない状態の圧電セラミック素子
をその厚み方向に重ね、これを厚みとは垂直な方向に分
極するものである。
作用
本発明の方法では、分極時に電極を必要としないため、
従来の方法における分極用電極を形成する工程を省くこ
とができる。さらに、目的の形状に焼成、加工した圧電
セラミック素子を分極するため、分極後に熱処理工程が
なく、圧電セラミック素子の劣化が起こらなくなる。
従来の方法における分極用電極を形成する工程を省くこ
とができる。さらに、目的の形状に焼成、加工した圧電
セラミック素子を分極するため、分極後に熱処理工程が
なく、圧電セラミック素子の劣化が起こらなくなる。
実施例
第１図を用いて本発明の一実施例について説明する。長
さ１０８１幅３フ、厚み３００μｍに焼成、加工したチ
タン酸ジルコン酸鉛から成る、電極を持たない状態での
圧電セラミック素子１をその厚み方向に２０枚重ねた。
さ１０８１幅３フ、厚み３００μｍに焼成、加工したチ
タン酸ジルコン酸鉛から成る、電極を持たない状態での
圧電セラミック素子１をその厚み方向に２０枚重ねた。
これを長さ方向から金属板２で隙間なく挾み、１００℃
のシリコーンオイル中で両金属板間に３０Ｋｖの電圧を
３０分間かけ、分極を行なった。分極後、圧電セラミッ
ク素子１の厚み方向に銀からなる対向電極３を蒸着形成
し、圧電セラミック共振子を得た。得られた圧電セラミ
ック共振子について誘電率ε１．／ε。
のシリコーンオイル中で両金属板間に３０Ｋｖの電圧を
３０分間かけ、分極を行なった。分極後、圧電セラミッ
ク素子１の厚み方向に銀からなる対向電極３を蒸着形成
し、圧電セラミック共振子を得た。得られた圧電セラミ
ック共振子について誘電率ε１．／ε。
及び圧みすべり振動の電気機械結合係数に、５’を測定
し、従来法により得た同形状の圧電セラミック共振子の
それと比較した。下表にその結果を示す。
し、従来法により得た同形状の圧電セラミック共振子の
それと比較した。下表にその結果を示す。
本発明の方法による圧電セラミック共振子のε４．／ε
。及びに１５が従来法で得られた圧電セラミック共振子
のそれよりも大きいのは、本発明では分極後の熱処理工
程が存在していないため、圧電セラミック素子の劣化が
起らなかったためではないかと考えられる。
。及びに１５が従来法で得られた圧電セラミック共振子
のそれよりも大きいのは、本発明では分極後の熱処理工
程が存在していないため、圧電セラミック素子の劣化が
起らなかったためではないかと考えられる。
なお、この実施例では圧電セラミックス材料としてチタ
ン酸ジルコン酸鉛を選んだが、他の圧電セラミックス材
料を用いてもよいことは言うまでもないことである。さ
らに、この実施例において、圧電セラミック素子をシリ
コーンオイル中で分極したが、他の絶縁体中で行なって
もよい。そして、圧電セラミック素子の形状及び分極時
に重ねる枚数は任意に選べることはいうまでもない。
ン酸ジルコン酸鉛を選んだが、他の圧電セラミックス材
料を用いてもよいことは言うまでもないことである。さ
らに、この実施例において、圧電セラミック素子をシリ
コーンオイル中で分極したが、他の絶縁体中で行なって
もよい。そして、圧電セラミック素子の形状及び分極時
に重ねる枚数は任意に選べることはいうまでもない。
発明の効果
以上のように本発明によれば、電極が付与されていない
、目的形状の圧電セラミック素子を分極することにより
、分極後の熱処理工程がなくなるため、圧電セラミック
素子の劣化が起こらない。
、目的形状の圧電セラミック素子を分極することにより
、分極後の熱処理工程がなくなるため、圧電セラミック
素子の劣化が起こらない。
さらに、分極時に電極を必要としないため、従来法で存
在する分極用電極の形成工程が不必要となり、量産性が
大幅に向上する。又、目的形状の圧電セラミック素子を
分極するため、圧電セラミック素子の成形方法としてソ
ート（テープ）成形法を適用でき、ブロックから素子を
切り出す方法に比べてスライス工程を不必要となり、コ
スト及び量産性を著しく向上させることができる。
在する分極用電極の形成工程が不必要となり、量産性が
大幅に向上する。又、目的形状の圧電セラミック素子を
分極するため、圧電セラミック素子の成形方法としてソ
ート（テープ）成形法を適用でき、ブロックから素子を
切り出す方法に比べてスライス工程を不必要となり、コ
スト及び量産性を著しく向上させることができる。
このように本発明により高特性の圧電セラミック共振子
を量産性よく得ることができる。
を量産性よく得ることができる。
第１図は本発明の一実施例による圧電セラミック素子の
分極方法を説明するための斜視図、第２図は従来法を説
明するための素子斜視図である。 １・・・・・・圧電セラミック素子、２・・・・・・金
属板、３・・・・・・対向電極。
分極方法を説明するための斜視図、第２図は従来法を説
明するための素子斜視図である。 １・・・・・・圧電セラミック素子、２・・・・・・金
属板、３・・・・・・対向電極。
Claims (1)
- 電極が付与されていない、目的形状の圧電セラミック
素子をその厚み方向に重ね、これを厚み方向とは垂直な
方向から金属板ではさみ、この金属板間に電圧をかけて
前記圧電セラミック素子を分極することを特徴とする圧
電セラミック共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24573486A JPH0763129B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24573486A JPH0763129B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100807A true JPS63100807A (ja) | 1988-05-02 |
| JPH0763129B2 JPH0763129B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=17138007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24573486A Expired - Fee Related JPH0763129B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763129B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211006A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JPH0211007A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JPH0685344A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-25 | Rohm Co Ltd | 圧電セラミックの製造方法 |
| JP2011199206A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | 振動装置に用いられる圧電素子、振動装置、及び振動装置を有する塵埃除去装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5439593A (en) * | 1977-09-02 | 1979-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Polarization method of thin plate piezoelectric ceramic element |
| JPS57140013A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-30 | Toko Inc | Manufacture for piezoelectric resonator |
| JPS60134614A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-17 | Tdk Corp | 厚みすべり振動子の製造方法 |
-
1986
- 1986-10-16 JP JP24573486A patent/JPH0763129B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5439593A (en) * | 1977-09-02 | 1979-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Polarization method of thin plate piezoelectric ceramic element |
| JPS57140013A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-30 | Toko Inc | Manufacture for piezoelectric resonator |
| JPS60134614A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-17 | Tdk Corp | 厚みすべり振動子の製造方法 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211006A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JPH0211007A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JPH0685344A (ja) * | 1992-09-04 | 1994-03-25 | Rohm Co Ltd | 圧電セラミックの製造方法 |
| JP2011199206A (ja) * | 2010-03-23 | 2011-10-06 | Canon Inc | 振動装置に用いられる圧電素子、振動装置、及び振動装置を有する塵埃除去装置 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0763129B2 (ja) | 1995-07-05 |
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