JPH0763129B2 - 圧電セラミツク共振子の製造方法 - Google Patents
圧電セラミツク共振子の製造方法Info
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- JPH0763129B2 JPH0763129B2 JP24573486A JP24573486A JPH0763129B2 JP H0763129 B2 JPH0763129 B2 JP H0763129B2 JP 24573486 A JP24573486 A JP 24573486A JP 24573486 A JP24573486 A JP 24573486A JP H0763129 B2 JPH0763129 B2 JP H0763129B2
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 産業上の利用分野 本発明は厚みすべり振動を利用した圧電セラミック共振
子に関するものである。
子に関するものである。
従来の技術 圧電セラミックスの厚みすべり共振振動を利用したセラ
ミックフィルターや発振子は、利用周波数の高周波化に
伴い、急速に普及している。従来、この種の厚みすべり
振動子は第２図に示すようにして製造されていた。すな
わち、分極用電極５を持つ圧電セラミックブロック４を
分極し、このブロックを分極方向に平行にスライスす
る。スライスした圧電セラミックス素子６に対向電極７
を蒸着し、目的の大きさに切断，分極用電極５を除去し
て、圧電セラミック振動子を得るものである。
ミックフィルターや発振子は、利用周波数の高周波化に
伴い、急速に普及している。従来、この種の厚みすべり
振動子は第２図に示すようにして製造されていた。すな
わち、分極用電極５を持つ圧電セラミックブロック４を
分極し、このブロックを分極方向に平行にスライスす
る。スライスした圧電セラミックス素子６に対向電極７
を蒸着し、目的の大きさに切断，分極用電極５を除去し
て、圧電セラミック振動子を得るものである。
発明が解決しようとする問題点 このような従来の方法では、目的の圧電セラミック共振
子で必要としない分極用の電極を形成しなければならな
いため、工程数を多く必要とする。さらに、圧電セラミ
ックブロックから目的の圧電セラミック共振子を切り出
す工程において、ワックスを用いた切断治具への圧電セ
ラミックブロックの貼付及び取りはずしといった熱処理
を伴う工程が分極後に存在するため、圧電セラミック素
子の劣化が起こるという問題があった。
子で必要としない分極用の電極を形成しなければならな
いため、工程数を多く必要とする。さらに、圧電セラミ
ックブロックから目的の圧電セラミック共振子を切り出
す工程において、ワックスを用いた切断治具への圧電セ
ラミックブロックの貼付及び取りはずしといった熱処理
を伴う工程が分極後に存在するため、圧電セラミック素
子の劣化が起こるという問題があった。
本発明はこのような問題点を解決するもので、量産性よ
く、圧電セラミック振動子を得ることを目的とするもの
である。
く、圧電セラミック振動子を得ることを目的とするもの
である。
問題点を解決するための手段 この目的を達成するために本発明は、複数の電極が付与
されていない、目的形状の圧電セラミック素子をその厚
み方向に重ね、次に、この複数の圧電セラミック素子を
厚み方向とは垂直な方向から金属板ではさみ、その後、
この金属板間に電圧をかけて前記複数の圧電セラミック
素子を分極し、次に前記複数の圧電セラミック素子の厚
み方向にそれぞれ電極を形成するものである。
されていない、目的形状の圧電セラミック素子をその厚
み方向に重ね、次に、この複数の圧電セラミック素子を
厚み方向とは垂直な方向から金属板ではさみ、その後、
この金属板間に電圧をかけて前記複数の圧電セラミック
素子を分極し、次に前記複数の圧電セラミック素子の厚
み方向にそれぞれ電極を形成するものである。
作用 本発明の方法では、分極時に電極を必要としないため、
従来の方法における分極用電極を形成する工程を省くこ
とができる。さらに、目的の形状に焼成，加工した圧電
セラミック素子を分極するため、分極後に熱処理工程が
なく、圧電セラミック素子の劣化が起こらなくなる。
従来の方法における分極用電極を形成する工程を省くこ
とができる。さらに、目的の形状に焼成，加工した圧電
セラミック素子を分極するため、分極後に熱処理工程が
なく、圧電セラミック素子の劣化が起こらなくなる。
実施例 第１図を用いて本発明の一実施例について説明する。長
さ10mm,幅3mm,厚み300μｍに焼成，加工したチタン酸ジ
ルコン酸鉛から成る、電極を持たない状態での圧電セラ
ミック素子１をその厚み方向に20枚重ねた。これを長さ
方向から金属板２で隙間なく挾み、100℃のシリコーン
オイル中で両金属板間に30KVの電圧を30分間かけ、分極
を行なった。分極後、圧電セラミック素子１の厚み方向
に銀からなる対向電極３を蒸着形成し、圧電セラミック
共振子を得た。得られた圧電セラミック共振子について
誘電率▲εT 11▼／ε０及び圧みふべり振動の電気機械
結合係数K15を測定し、従来法により得た同形状の圧電
セラミック共振子のそれと比較した。下表にその結果を
示す。
さ10mm,幅3mm,厚み300μｍに焼成，加工したチタン酸ジ
ルコン酸鉛から成る、電極を持たない状態での圧電セラ
ミック素子１をその厚み方向に20枚重ねた。これを長さ
方向から金属板２で隙間なく挾み、100℃のシリコーン
オイル中で両金属板間に30KVの電圧を30分間かけ、分極
を行なった。分極後、圧電セラミック素子１の厚み方向
に銀からなる対向電極３を蒸着形成し、圧電セラミック
共振子を得た。得られた圧電セラミック共振子について
誘電率▲εT 11▼／ε０及び圧みふべり振動の電気機械
結合係数K15を測定し、従来法により得た同形状の圧電
セラミック共振子のそれと比較した。下表にその結果を
示す。
本発明の方法による圧電セラミック共振子の▲εT 11▼
／ε０及びK15が従来法で得られた圧電セラミック共振
子のそれよりも大きいのは、本発明では分極後の熱処理
工程が存在していないため、圧電セラミック素子の劣化
が起らなかったためではないかと考えられる。
／ε０及びK15が従来法で得られた圧電セラミック共振
子のそれよりも大きいのは、本発明では分極後の熱処理
工程が存在していないため、圧電セラミック素子の劣化
が起らなかったためではないかと考えられる。
なお、この実施例では圧電セラミックス材料としてチタ
ン酸ジルコン酸鉛を選んだが、他の圧電セラミックス材
料を用いてもよいことは言うまでもないことである。さ
らに、この実施例において、圧電セラミック素子をシリ
コーンオイル中で分極したが、他の絶縁体中で行なって
もよい。そして、圧電セラミック素子の形状及び分極時
に重ねる枚数は任意に選べることはいうまでもない。
ン酸ジルコン酸鉛を選んだが、他の圧電セラミックス材
料を用いてもよいことは言うまでもないことである。さ
らに、この実施例において、圧電セラミック素子をシリ
コーンオイル中で分極したが、他の絶縁体中で行なって
もよい。そして、圧電セラミック素子の形状及び分極時
に重ねる枚数は任意に選べることはいうまでもない。
発明の効果 以上のように本発明によれば、電極が付与されていな
い、目的形状の圧電セラミック素子を分極することによ
り、分極後の熱処理工程がなくなるため、圧電セラミッ
ク素子の劣化が起こらない。さらに、分極時に電極を必
要としないため、従来法で存在する分極用電極の形成工
程が不必要となり、量産性が大幅に向上する。又、目的
形状の圧電セラミック素子を分極するため、圧電セラミ
ック素子の成形方法としてシート（テープ）成形法を適
用でき、ブロックから素子を切り出す方法に比べてスラ
イス工程を不必要となり、コスト及び量産性を著しく向
上させることができる。
い、目的形状の圧電セラミック素子を分極することによ
り、分極後の熱処理工程がなくなるため、圧電セラミッ
ク素子の劣化が起こらない。さらに、分極時に電極を必
要としないため、従来法で存在する分極用電極の形成工
程が不必要となり、量産性が大幅に向上する。又、目的
形状の圧電セラミック素子を分極するため、圧電セラミ
ック素子の成形方法としてシート（テープ）成形法を適
用でき、ブロックから素子を切り出す方法に比べてスラ
イス工程を不必要となり、コスト及び量産性を著しく向
上させることができる。
このように本発明により高特性の圧電セラミック共振子
を量産性よく得ることができる。
を量産性よく得ることができる。
第１図は本発明の一実施例による圧電セラミック素子の
分極方法を説明するための斜視図、第２図は従来法を説
明するための素子斜視図である。 １……圧電セラミック素子、２……金属板、３……対向
電極。
分極方法を説明するための斜視図、第２図は従来法を説
明するための素子斜視図である。 １……圧電セラミック素子、２……金属板、３……対向
電極。
Claims (1)
- 【請求項１】複数の電極が付与されていない、目的形状
の圧電セラミック素子をその厚み方向に重ね、次に、こ
の複数の圧電セラミック素子を厚み方向とは垂直な方向
から金属板ではさみ、その後、この金属板間に電圧をか
けて前記複数の圧電セラミック素子を分極し、次に前記
複数の圧電セラミック素子の厚み方向にそれぞれ電極を
形成する圧電セラミック共振子の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24573486A JPH0763129B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24573486A JPH0763129B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63100807A JPS63100807A (ja) | 1988-05-02 |
| JPH0763129B2 true JPH0763129B2 (ja) | 1995-07-05 |
Family
ID=17138007
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24573486A Expired - Fee Related JPH0763129B2 (ja) | 1986-10-16 | 1986-10-16 | 圧電セラミツク共振子の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0763129B2 (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0211006A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JPH0211007A (ja) * | 1988-06-29 | 1990-01-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 圧電セラミック共振子の製造方法 |
| JP2915714B2 (ja) * | 1992-09-04 | 1999-07-05 | ローム株式会社 | 圧電セラミックの製造方法 |
| JP5675137B2 (ja) * | 2010-03-23 | 2015-02-25 | キヤノン株式会社 | 振動装置に用いられる圧電素子、振動装置、及び振動装置を有する塵埃除去装置 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5439593A (en) * | 1977-09-02 | 1979-03-27 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Polarization method of thin plate piezoelectric ceramic element |
| JPS57140013A (en) * | 1981-02-20 | 1982-08-30 | Toko Inc | Manufacture for piezoelectric resonator |
| JPS60134614A (ja) * | 1983-12-23 | 1985-07-17 | Tdk Corp | 厚みすべり振動子の製造方法 |
-
1986
- 1986-10-16 JP JP24573486A patent/JPH0763129B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63100807A (ja) | 1988-05-02 |
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Legal Events
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