JPS607398B2 - 複合圧電セラミック板の製造方法 - Google Patents
複合圧電セラミック板の製造方法Info
- Publication number
- JPS607398B2 JPS607398B2 JP53068155A JP6815578A JPS607398B2 JP S607398 B2 JPS607398 B2 JP S607398B2 JP 53068155 A JP53068155 A JP 53068155A JP 6815578 A JP6815578 A JP 6815578A JP S607398 B2 JPS607398 B2 JP S607398B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- piezoelectric ceramic
- ceramic plate
- composite piezoelectric
- composite
- manufacturing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、圧電セラミック板と誘電体板が端面で接合さ
れた複合圧電セラミック板の製造方法に関するものであ
り、この複合圧電セラミック板は、共振子あるいはフィ
ル夕とコンデンサとを一枚の板に形成した複合部品の形
成に用いるものである。
れた複合圧電セラミック板の製造方法に関するものであ
り、この複合圧電セラミック板は、共振子あるいはフィ
ル夕とコンデンサとを一枚の板に形成した複合部品の形
成に用いるものである。
厚みたて振動および厚みすべり振動のいわゆる厚み振動
を利用した圧電共振子および圧電フィル夕は、ＩＭ比以
上の高周波領域で動作する無調整の小型回路部品として
利用されている。
を利用した圧電共振子および圧電フィル夕は、ＩＭ比以
上の高周波領域で動作する無調整の小型回路部品として
利用されている。
そして、これらの回路への応用に際して、周波数調整、
温度補償、保証減衰量、減衰極周波数の調整などの諸特
性の改善のために、圧電共振子または圧電フィル夕にコ
ンデンサを直列あるいは並列に接続して使用することが
多い。しかしながら、このように、圧電共振子あるし、
は圧電フィル夕にこれと別個のコンデンサを外部から援
続してし、たのでは、回路の４・型化に対して非常に不
利である。本発明の目的は、前述のような欠点をなくし
、非常に小型のものとすることのできる複合部品の形成
に用いる複合圧電セラミック板の、簡易で量産性のある
製造方法を提供しようとするものである。以下、本発明
の方法の一実施例について、第１図、第２図、第３図お
よび第４図を参照して説明する。
温度補償、保証減衰量、減衰極周波数の調整などの諸特
性の改善のために、圧電共振子または圧電フィル夕にコ
ンデンサを直列あるいは並列に接続して使用することが
多い。しかしながら、このように、圧電共振子あるし、
は圧電フィル夕にこれと別個のコンデンサを外部から援
続してし、たのでは、回路の４・型化に対して非常に不
利である。本発明の目的は、前述のような欠点をなくし
、非常に小型のものとすることのできる複合部品の形成
に用いる複合圧電セラミック板の、簡易で量産性のある
製造方法を提供しようとするものである。以下、本発明
の方法の一実施例について、第１図、第２図、第３図お
よび第４図を参照して説明する。
第１図において、複合圧電セラミックブロック１０川ま
、圧電セラミックのブロック１と誘電体のブロック２が
、接着層３を介して、主平面で接合され一体化されてい
る。
、圧電セラミックのブロック１と誘電体のブロック２が
、接着層３を介して、主平面で接合され一体化されてい
る。
この複合圧電セラミックブロック１００を×−Ｘ′面で
所要の厚さで切断すれば、第２図、第３図、第４図に示
すような、圧電セラミック板と誘電体板が端面で接合さ
れた複合圧電セラミック板が得られる。第２図の複合圧
電セラミック板２００は、第１図の圧電セラミックのブ
ロック１が、主平面と垂直な方向に分極されている場合
に得られるもので、分極方向が６の厚みすべり振動の励
振できる圧電セラミック板４と誘電体板５とが、接着層
３を介して端面で接合された、一枚の板で構成されてい
る。同様に、前記圧電セラミックスのブロツクーが主平
面および×−Ｘ′の切断面に平行な方向に分極されてい
る場合には、第３図に示すような、分極が８の方向の厚
みすべり振動の励振できる圧電セラミック板７と誘電体
板５とが、接着層３を介して端面で接合された、複合圧
電セラミック板３００が形成できる。さらに、前記圧電
セラミックのブロックーが、主平面に平行でかつＸ−Ｘ
′切断面に垂直な方向に分極されている場合には、第４
図に示すような、分極が１０の方向の厚みたて振動の励
振できる圧電セラミック板９と誘電体板５とが、接着層
３を介して端面で接合された、複合圧電セラミック板４
００が形成できる。以上のごとく、本発明によれば、厚
みすべり振動あるいは厚みたて振動のいわゆる厚み振動
の圧電セラミック板と誘電体板とが端面で接合され一体
化された複合の圧電セラミック板を、容易に得ることが
できる。
所要の厚さで切断すれば、第２図、第３図、第４図に示
すような、圧電セラミック板と誘電体板が端面で接合さ
れた複合圧電セラミック板が得られる。第２図の複合圧
電セラミック板２００は、第１図の圧電セラミックのブ
ロック１が、主平面と垂直な方向に分極されている場合
に得られるもので、分極方向が６の厚みすべり振動の励
振できる圧電セラミック板４と誘電体板５とが、接着層
３を介して端面で接合された、一枚の板で構成されてい
る。同様に、前記圧電セラミックスのブロツクーが主平
面および×−Ｘ′の切断面に平行な方向に分極されてい
る場合には、第３図に示すような、分極が８の方向の厚
みすべり振動の励振できる圧電セラミック板７と誘電体
板５とが、接着層３を介して端面で接合された、複合圧
電セラミック板３００が形成できる。さらに、前記圧電
セラミックのブロックーが、主平面に平行でかつＸ−Ｘ
′切断面に垂直な方向に分極されている場合には、第４
図に示すような、分極が１０の方向の厚みたて振動の励
振できる圧電セラミック板９と誘電体板５とが、接着層
３を介して端面で接合された、複合圧電セラミック板４
００が形成できる。以上のごとく、本発明によれば、厚
みすべり振動あるいは厚みたて振動のいわゆる厚み振動
の圧電セラミック板と誘電体板とが端面で接合され一体
化された複合の圧電セラミック板を、容易に得ることが
できる。
次に本発明の具体例を示す。
圧電セラミックのブロックとして、平面に垂直に１００
００、郎Ｖ／側、１時間の条件で分極された、チタン酸
ジルコン酸マグネシウムニオブ酸鉛系の３仇肋×４仇舷
×３肌の材料を用いた。
００、郎Ｖ／側、１時間の条件で分極された、チタン酸
ジルコン酸マグネシウムニオブ酸鉛系の３仇肋×４仇舷
×３肌の材料を用いた。
また、誘電体のブロックは、比誘電率が３０００のセラ
ミック材料を３仇肋×４仇舷×２脚の寸法に加工したも
のを用いた。前記２つのブロックを、２液性のェポキシ
系樹脂の接着剤を用いて１５０００、２時間の条件で接
合させ、３仇奴×４仇柵×５脚の複合圧電セラミツクブ
ロツクを得た。ェポキシ系樹脂の接着層の厚みは１０ム
ｍ以下の非常に薄いものにすることができた。前記複合
圧電セラミックブロックを、５側と３０肋の寸法の面に
平行に２００仏ｍの間隔で、スラィシングマシンによっ
て切断し、５柳×３仇吻×０．２柳の複合圧電セラミッ
ク板を約１５０枚得た。このときの切断ロスは、約１仇
舷分であった。つぎに前記５側ｘ３０肌×０．２肌の複
合圧電セラミック板を５側の辺に平行、すなわち圧電セ
ラミック板と譲露体板とが接合されている方向に１肋の
間隔にダィシングマシンによって切断し１側×５肋×０
．２肌の方形の複合圧電セラミック板を約２功叉得た。
前記１側×５帆×０．２側の複合圧電セラミック板の圧
電セラミックの部分の表裏両面に、所要の電極を蒸着に
よって形成して、１０．７ＭＨｚの検波用厚みすべり振
動の共振子を構成した。一方、誘電体板の部分の表裏両
面にも所要の電極を形成して検波回路に用いるコンデン
サを構成した。このようにして構成された共振子とコン
デンサを直列接続して、検波回路に用いる複合圧電部品
を作った。この複合圧電部品は非常に小型であり、前記
３仇舷×４０肌×５肌の複合圧電セラミックスのブロッ
クから約３００の固の複合部品が得られた。以上のごと
く、本発明の方法によれば、複合部品を量産性に富んだ
ものとするため、複合圧電セラミック板を容易に得るこ
とができる製造方法を提供するものである。
ミック材料を３仇肋×４仇舷×２脚の寸法に加工したも
のを用いた。前記２つのブロックを、２液性のェポキシ
系樹脂の接着剤を用いて１５０００、２時間の条件で接
合させ、３仇奴×４仇柵×５脚の複合圧電セラミツクブ
ロツクを得た。ェポキシ系樹脂の接着層の厚みは１０ム
ｍ以下の非常に薄いものにすることができた。前記複合
圧電セラミックブロックを、５側と３０肋の寸法の面に
平行に２００仏ｍの間隔で、スラィシングマシンによっ
て切断し、５柳×３仇吻×０．２柳の複合圧電セラミッ
ク板を約１５０枚得た。このときの切断ロスは、約１仇
舷分であった。つぎに前記５側ｘ３０肌×０．２肌の複
合圧電セラミック板を５側の辺に平行、すなわち圧電セ
ラミック板と譲露体板とが接合されている方向に１肋の
間隔にダィシングマシンによって切断し１側×５肋×０
．２肌の方形の複合圧電セラミック板を約２功叉得た。
前記１側×５帆×０．２側の複合圧電セラミック板の圧
電セラミックの部分の表裏両面に、所要の電極を蒸着に
よって形成して、１０．７ＭＨｚの検波用厚みすべり振
動の共振子を構成した。一方、誘電体板の部分の表裏両
面にも所要の電極を形成して検波回路に用いるコンデン
サを構成した。このようにして構成された共振子とコン
デンサを直列接続して、検波回路に用いる複合圧電部品
を作った。この複合圧電部品は非常に小型であり、前記
３仇舷×４０肌×５肌の複合圧電セラミックスのブロッ
クから約３００の固の複合部品が得られた。以上のごと
く、本発明の方法によれば、複合部品を量産性に富んだ
ものとするため、複合圧電セラミック板を容易に得るこ
とができる製造方法を提供するものである。
図は本発明にかかる複合圧電セラミック板の製造方法を
説明するためのもので、第１図は複合圧電セラミックブ
ロックの一例を示す斜視図、第２図、第３図および第４
図はそれぞれ本発明によって得られる複合圧電セラミッ
ク板の例を示す斜視図である。 １・…・・圧電セラミックブロック、２・・・・・・誘
電体フロック、３・・・・・・接着層、４，７，９・・
・・・・圧電セラミック板、５・・・・・・誘電体板、
６，８，１０・・・・・・分極軸、１００・・・…複合
圧電セラミックブロック、２００，３００，４００・・
・・・・複合圧電セラミック板。 第１図 第２図 第３図 第４図
説明するためのもので、第１図は複合圧電セラミックブ
ロックの一例を示す斜視図、第２図、第３図および第４
図はそれぞれ本発明によって得られる複合圧電セラミッ
ク板の例を示す斜視図である。 １・…・・圧電セラミックブロック、２・・・・・・誘
電体フロック、３・・・・・・接着層、４，７，９・・
・・・・圧電セラミック板、５・・・・・・誘電体板、
６，８，１０・・・・・・分極軸、１００・・・…複合
圧電セラミックブロック、２００，３００，４００・・
・・・・複合圧電セラミック板。 第１図 第２図 第３図 第４図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 圧電セラミツクスのブロツクと誘電体のブロツクと
を主平面で接着層を介して接合させて一体化した複合圧
電セラミツクブロツクを、前記主平面に対して垂直な方
向に切断して、圧電セラミツク板と誘電体板を端面で接
合した複合板を切り出すことを特徴とする複合圧電セラ
ミツク板の製造方法。 ２ 圧電セラミツクスのブロツクは、この主平面と垂直
な方向に分極されてることを特徴とする特許請求の範囲
第１項記載の複合圧電セラミツク板の製造方法。 ３ 圧電セラミツクスのブロツクは、主平面およびそれ
と垂直な切断面に平行な方向に分極されていることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の複合圧電セラミ
ツク板の製造方法。 ４ 圧電セラミツクスのブロツクは、主平面に平行で、
かつ切断面に垂直な方向に分極されていることを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載の複合圧電セラミツク板
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53068155A JPS607398B2 (ja) | 1978-06-05 | 1978-06-05 | 複合圧電セラミック板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP53068155A JPS607398B2 (ja) | 1978-06-05 | 1978-06-05 | 複合圧電セラミック板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS54158894A JPS54158894A (en) | 1979-12-15 |
| JPS607398B2 true JPS607398B2 (ja) | 1985-02-23 |
Family
ID=13365563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP53068155A Expired JPS607398B2 (ja) | 1978-06-05 | 1978-06-05 | 複合圧電セラミック板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS607398B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60116214A (ja) * | 1983-11-28 | 1985-06-22 | Murata Mfg Co Ltd | 電子部品のユニット板およびその製造方法 |
| JP2565825Y2 (ja) * | 1990-08-30 | 1998-03-25 | 大成建設株式会社 | 躯体を兼ねる偏平梁打設用型枠 |
| JP2727263B2 (ja) * | 1991-07-01 | 1998-03-11 | 株式会社フジタ | 型枠ユニット工法 |
-
1978
- 1978-06-05 JP JP53068155A patent/JPS607398B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS54158894A (en) | 1979-12-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| EP1557945A1 (en) | Piezoelectric vibrator, filter using same, and method for adjusting piezoelectric vibrator | |
| JPH11346138A (ja) | チップ型圧電共振子及び該チップ型圧電共振子の周波数調整方法 | |
| US3384768A (en) | Piezoelectric resonator | |
| JP2000269774A (ja) | 圧電振動素子及び圧電共振部品 | |
| JPS6340491B2 (ja) | ||
| JPS607398B2 (ja) | 複合圧電セラミック板の製造方法 | |
| JP2020053802A (ja) | 振動素子及び振動子 | |
| US3842294A (en) | Electromechanical transducer comprising a pair of antiparallel poled rectangular piezoelectric ceramic pieces | |
| JPH04127709A (ja) | Ａｔカット水晶振動子 | |
| JP2006094140A (ja) | 圧電共振子及びその製造方法、圧電フィルタ並びにデュプレクサ | |
| JP2855208B2 (ja) | ＬｉＴａＯ▲下３▼圧電共振子 | |
| JPS61218214A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| JPS6098711A (ja) | 厚みすべり振動子 | |
| JPS60199211A (ja) | 圧電共振子 | |
| US6515401B1 (en) | Piezoelectric resonator | |
| JP2002246871A (ja) | 圧電振動子、この圧電振動子を用いた梯子型フィルタおよび２重モード圧電フィルタ | |
| JPH08148962A (ja) | 圧電部品 | |
| JPS6238887B2 (ja) | ||
| JPH0525823U (ja) | セラミツク共振子 | |
| JP2605406B2 (ja) | 圧電共振子の製造方法 | |
| JPH0325966B2 (ja) | ||
| JPS60134618A (ja) | 厚みすべり振動子 | |
| JPS5912613A (ja) | 二端子型圧電共振部品 | |
| JPS5824969B2 (ja) | アツデンジキシンドウシ | |
| JPS5912805Y2 (ja) | 幅すべり振動子 |