JPS6165511A - エネルギー閉じ込め形圧電フィルタ - Google Patents
エネルギー閉じ込め形圧電フィルタInfo
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- JPS6165511A JPS6165511A JP18682484A JP18682484A JPS6165511A JP S6165511 A JPS6165511 A JP S6165511A JP 18682484 A JP18682484 A JP 18682484A JP 18682484 A JP18682484 A JP 18682484A JP S6165511 A JPS6165511 A JP S6165511A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の産業上の利用分野）
本発明は、チタン酸鉛系圧電磁器を用いた基本厚みたて
振動モードエネルギー閉じ込め形フィルタに関し、移動
通信機器、搬送装置、テレビ、ラジオ等の部品として用
いられるフィルタに関するものである。
振動モードエネルギー閉じ込め形フィルタに関し、移動
通信機器、搬送装置、テレビ、ラジオ等の部品として用
いられるフィルタに関するものである。
（従来技術及びその問題点）
最近、圧電磁器材料は急速に進歩し、発振子用及びフィ
ルタ用等の通信用高安定磁器材料が開発されている口高
安定圧電磁器材料は大別してジルコン・チタン酸鉛系と
チタン酸鉛系がある。チタン酸鉛系圧電磁器材料は、ジ
ルコン・チタン酸鉛系磁器に比べて本質的に周波数エー
ジング特性にとれており、また周波数温度安定度も水晶
と比肩しうるような材料も出現している。即ち、チタン
酸鉛系磁器は周波数安定度に関してジルコン・チタン酸
鉛系磁器より格段に後れた材料でちると言える。さらに
、チタン酸鉛系圧電磁器は比誘電率が２００前後とジル
コン・チタン酸鉛系圧電磁器に比べて非常に小さいため
、１０ ｈ（Ｈｚ以上の高周波用振動子及びフィルタに
適したものであることは周知の通りであるロ 一般に、１０ ＭＨｚ以上の高周波振動子では、厚み縦
振動モードエネルギー閉じ込め形振動子が用いられる０
従来から厚み縦振動モードエネルギー閉じ込め形振動子
は、ポアソン比が０．３３以上のジルコン・チタン酸鉛
系圧電磁器が用いられ、電極の質量効果と電極部分の圧
電反作用による周波数低下を利用した、所謂周波数低下
形エネルギー閉じ込めが行なわれている。しかし、ジル
コン・チタン酸鉛系圧電磁器を用いた場合には、比誘電
率が５００以上はあるために１周辺回路とのインピーダ
ンス整合の点から比帯域幅が１．５％以上の中、広帯域
フィルタに用途が限定されてお９、狭帯域フィルタへの
適用は困難である〇 一方、チタン酸鉛系圧電振動子は、ジルコン・チタン酸
鉛系圧電磁器に比べて誘電率が小さく、本質的にエージ
ング特性が優れているという利点はあるものの、ポアソ
ン比が０．３以下であるために、基本モードにゴ？いて
通常の周波数低下形エネルギー閉じ込めは不可能でろり
、周波数上昇Ｍエネルギー閉じ込め法という特別な配慮
が必要となる。
ルタ用等の通信用高安定磁器材料が開発されている口高
安定圧電磁器材料は大別してジルコン・チタン酸鉛系と
チタン酸鉛系がある。チタン酸鉛系圧電磁器材料は、ジ
ルコン・チタン酸鉛系磁器に比べて本質的に周波数エー
ジング特性にとれており、また周波数温度安定度も水晶
と比肩しうるような材料も出現している。即ち、チタン
酸鉛系磁器は周波数安定度に関してジルコン・チタン酸
鉛系磁器より格段に後れた材料でちると言える。さらに
、チタン酸鉛系圧電磁器は比誘電率が２００前後とジル
コン・チタン酸鉛系圧電磁器に比べて非常に小さいため
、１０ ｈ（Ｈｚ以上の高周波用振動子及びフィルタに
適したものであることは周知の通りであるロ 一般に、１０ ＭＨｚ以上の高周波振動子では、厚み縦
振動モードエネルギー閉じ込め形振動子が用いられる０
従来から厚み縦振動モードエネルギー閉じ込め形振動子
は、ポアソン比が０．３３以上のジルコン・チタン酸鉛
系圧電磁器が用いられ、電極の質量効果と電極部分の圧
電反作用による周波数低下を利用した、所謂周波数低下
形エネルギー閉じ込めが行なわれている。しかし、ジル
コン・チタン酸鉛系圧電磁器を用いた場合には、比誘電
率が５００以上はあるために１周辺回路とのインピーダ
ンス整合の点から比帯域幅が１．５％以上の中、広帯域
フィルタに用途が限定されてお９、狭帯域フィルタへの
適用は困難である〇 一方、チタン酸鉛系圧電振動子は、ジルコン・チタン酸
鉛系圧電磁器に比べて誘電率が小さく、本質的にエージ
ング特性が優れているという利点はあるものの、ポアソ
ン比が０．３以下であるために、基本モードにゴ？いて
通常の周波数低下形エネルギー閉じ込めは不可能でろり
、周波数上昇Ｍエネルギー閉じ込め法という特別な配慮
が必要となる。
周波数上昇形エネルギー閉じ込め法は、すでに原理的に
確立されたものである。このエネルギー閉じ込め法の詳
細は清水、山田、＠圧電反作用の制御による周波数上昇
形エネルギー閉じ込め２゜電子通信学会論文誌！ Ｖ
ｏｌ−Ｊ ６２−１’−＋ Ｎｏ−Ｌｐｐ、８−１５（
１９７９，１）に記載されているが、これはエネルギー
閉じ込め電極部分の遮断周波数を周辺部分より高くシ、
前記エネルギー閉じ込め電極部分に振動エネルギーを閉
じ込めることにょ９、良好な共振及び反共振応答を得よ
うとするものである口 従来の周波数上昇形エネルギー閉じ込め振動子の一例と
して水田、中嶋、佐々木が１９７４年３月号の電子通信
学会論文誌１巻Ｊ５７−に、Ｎｏ、３゜第１８５ページ
から１９１ページに記載の論文「圧電板のたて波に関す
るエネルギー閉じ込めモード」で示した電極部の板Ｗ、
全部分的に薄くした振動子が知られているコ水田らの提
案した振動子を二重モードフィルタに応用した。ものを
第１図に示す０第１図の（イ）は断面図、（ロ）は平面
図でめシ、図において１０はチタン酸鉛系圧電磁器板１
１，１１’。
確立されたものである。このエネルギー閉じ込め法の詳
細は清水、山田、＠圧電反作用の制御による周波数上昇
形エネルギー閉じ込め２゜電子通信学会論文誌！ Ｖ
ｏｌ−Ｊ ６２−１’−＋ Ｎｏ−Ｌｐｐ、８−１５（
１９７９，１）に記載されているが、これはエネルギー
閉じ込め電極部分の遮断周波数を周辺部分より高くシ、
前記エネルギー閉じ込め電極部分に振動エネルギーを閉
じ込めることにょ９、良好な共振及び反共振応答を得よ
うとするものである口 従来の周波数上昇形エネルギー閉じ込め振動子の一例と
して水田、中嶋、佐々木が１９７４年３月号の電子通信
学会論文誌１巻Ｊ５７−に、Ｎｏ、３゜第１８５ページ
から１９１ページに記載の論文「圧電板のたて波に関す
るエネルギー閉じ込めモード」で示した電極部の板Ｗ、
全部分的に薄くした振動子が知られているコ水田らの提
案した振動子を二重モードフィルタに応用した。ものを
第１図に示す０第１図の（イ）は断面図、（ロ）は平面
図でめシ、図において１０はチタン酸鉛系圧電磁器板１
１，１１’。
１２．１２’はエネルギー閉じ込め電極、１３はエネル
ギー閉じ込めを達成するために圧電磁器板１０に設けら
れた凹部、１４は二重モード振動子とするだめに設けら
れ、対称モードと斜対称振動モードを弾性的に結合して
いる部分である。また１５．１５’は入力側電気端子、
１６．１６’は出力側電気端子、 １． １／はそれ
ぞれエネルギー閉じ込め部分の＆厚、圧電磁器板の板厚
、矢印は分極方向を示す。第１図に示した振動子のエネ
ルギー閉じ込めの原理は、板厚と遮断周波数とは反比例
の関係にあることを利用して電極部分の板厚ｔを周辺部
分の板厚ｔ′より薄くして、電極部分の遮断周波数を周
辺部分に比べて高くすることにより同波数上昇形エネル
ギー閉じ込めを達成しているわけであるりしかしながら
、良好なエネルギー閉じ込めを行うためには板厚に関し
てｔ’）ｔであればそれで良いわけではな（，１とｔ′
とは一定の比率（例えばｔ ＝０．８７ ｔ’）のとき
にはじめて良好なエネルギー閉じ込めが達成されるわけ
である０従って圧電磁気板に設けられる凹部１２は極め
て精密に板厚を制御し、かつ平行平面でなければならな
いわけであシ、このような精密な加工は工業的観点から
製造困難である。また、第１図の振動子は、゛電極１１
が凹部に形成されているため、平行平面研磨を行って磁
器板１０の厚みを制御することによって周波数調整が一
見容易にできそうなものであるが、研磨することによっ
て厚さ比ｔ ／ ｔ’が大きくな９、良好なエネルギー
閉じ込めを行９ことのできる最適な厚さ比ｔ／ｌ’から
逸脱してしまうために、実際問題として周波数調整は困
難でめる。
ギー閉じ込めを達成するために圧電磁器板１０に設けら
れた凹部、１４は二重モード振動子とするだめに設けら
れ、対称モードと斜対称振動モードを弾性的に結合して
いる部分である。また１５．１５’は入力側電気端子、
１６．１６’は出力側電気端子、 １． １／はそれ
ぞれエネルギー閉じ込め部分の＆厚、圧電磁器板の板厚
、矢印は分極方向を示す。第１図に示した振動子のエネ
ルギー閉じ込めの原理は、板厚と遮断周波数とは反比例
の関係にあることを利用して電極部分の板厚ｔを周辺部
分の板厚ｔ′より薄くして、電極部分の遮断周波数を周
辺部分に比べて高くすることにより同波数上昇形エネル
ギー閉じ込めを達成しているわけであるりしかしながら
、良好なエネルギー閉じ込めを行うためには板厚に関し
てｔ’）ｔであればそれで良いわけではな（，１とｔ′
とは一定の比率（例えばｔ ＝０．８７ ｔ’）のとき
にはじめて良好なエネルギー閉じ込めが達成されるわけ
である０従って圧電磁気板に設けられる凹部１２は極め
て精密に板厚を制御し、かつ平行平面でなければならな
いわけであシ、このような精密な加工は工業的観点から
製造困難である。また、第１図の振動子は、゛電極１１
が凹部に形成されているため、平行平面研磨を行って磁
器板１０の厚みを制御することによって周波数調整が一
見容易にできそうなものであるが、研磨することによっ
て厚さ比ｔ ／ ｔ’が大きくな９、良好なエネルギー
閉じ込めを行９ことのできる最適な厚さ比ｔ／ｌ’から
逸脱してしまうために、実際問題として周波数調整は困
難でめる。
（発明の目的）
本発明はチタン酸鉛系圧電磁器を用いて、良好な周波奴
上昇形エネルギー閉じ込め特性を有し、製造が容易でか
つ周波数調整が容易にできる基本厚みたて振動を用いた
圧電フィルタを得ることを目的とする。
上昇形エネルギー閉じ込め特性を有し、製造が容易でか
つ周波数調整が容易にできる基本厚みたて振動を用いた
圧電フィルタを得ることを目的とする。
（発明の構成）
本発明はチタン酸鉛系圧電磁器板内部に相対向して配置
される複数対のエネルギー閉じ込め部分電極と、前記磁
器板の内部又は表面に前記電極と磁器板の厚み方向に重
なり合わないように相対向して配置される短絡電極とを
備え、厚み方向に相対向するエネルギー閉じ込め電極間
の距離を短絡電極間の距離より小さくしたことを特徴と
するエネルギー閉じ込め形圧電フィルタと、チタン酸鉛
系圧電磁器粉末と有機バインダーとを含む生シートを作
製し、それぞれの生シートの表面に複数個のエネルギー
閉じ込め電極あるいは短絡電極を導電ペーストで印刷し
、然る後これらの生シー）１圧着し一体化させ、これを
焼結する仁とを特徴とするエネルギー閉じ込め形圧電フ
ィルタの製造方法である。
される複数対のエネルギー閉じ込め部分電極と、前記磁
器板の内部又は表面に前記電極と磁器板の厚み方向に重
なり合わないように相対向して配置される短絡電極とを
備え、厚み方向に相対向するエネルギー閉じ込め電極間
の距離を短絡電極間の距離より小さくしたことを特徴と
するエネルギー閉じ込め形圧電フィルタと、チタン酸鉛
系圧電磁器粉末と有機バインダーとを含む生シートを作
製し、それぞれの生シートの表面に複数個のエネルギー
閉じ込め電極あるいは短絡電極を導電ペーストで印刷し
、然る後これらの生シー）１圧着し一体化させ、これを
焼結する仁とを特徴とするエネルギー閉じ込め形圧電フ
ィルタの製造方法である。
（構成の詳細な説明）
本発明はエネルギー閉じ込め部分の周波数低下量を周辺
の短絡電極部分の周波数低下量より小さくすることＫよ
って周波数上昇形エネルギー閉じ込めを完全に行うもの
である。
の短絡電極部分の周波数低下量より小さくすることＫよ
って周波数上昇形エネルギー閉じ込めを完全に行うもの
である。
以下、図面に従って詳細に説明する０本発明に従うエネ
ルギー閉じ込め形フィルタの基本構造を第２図に示す。
ルギー閉じ込め形フィルタの基本構造を第２図に示す。
第２図（イ）は断面図、（ロ）は平面図である。本発明
のエネルギー閉じ込め形フィルタは厚さ方向に一様に分
極された圧電磁器板２０の内部にエネルギー閉じ込め部
分電拠対２１．２１’及び２２，２２’ｔ−形成し、前
記エネルギー閉じ込め電極圧電磁器の厚み方向に重なり
合わないように相対向する短絡電極２３．２３’を設け
る◎ここでエネルギー閉じ込め電極２１と２１（あるい
は２２と２２′）の距離ｔ、は短絡電極２３と２３′の
距離ｔ２より小さく設定されろクエネルギー閉じ込め電
極との電気的なへ出力はリード電極を介して側面に設け
られた電極２４，２４’及び２５，２５’から取〕出せ
ば良い０図において、２６．２．６’は入力端子、２７
．２７’は出力端子金水している０電極の短絡は側面に
蒸着、メッキあるいは焼付は等の方法で電極２８を設け
ることにより容易に行うことができる。
のエネルギー閉じ込め形フィルタは厚さ方向に一様に分
極された圧電磁器板２０の内部にエネルギー閉じ込め部
分電拠対２１．２１’及び２２，２２’ｔ−形成し、前
記エネルギー閉じ込め電極圧電磁器の厚み方向に重なり
合わないように相対向する短絡電極２３．２３’を設け
る◎ここでエネルギー閉じ込め電極２１と２１（あるい
は２２と２２′）の距離ｔ、は短絡電極２３と２３′の
距離ｔ２より小さく設定されろクエネルギー閉じ込め電
極との電気的なへ出力はリード電極を介して側面に設け
られた電極２４，２４’及び２５，２５’から取〕出せ
ば良い０図において、２６．２．６’は入力端子、２７
．２７’は出力端子金水している０電極の短絡は側面に
蒸着、メッキあるいは焼付は等の方法で電極２８を設け
ることにより容易に行うことができる。
本発明の振動子が良好なエネルギー閉じ込めを達成する
ことができるのは以下の理由によるものである０圧ｔＴ
ＪＥＬ器板に相対向する電極が全くない場合には、エネ
ルギー閉じ込めの遮断周波数は圧電磁器素板の機械的共
振周波数ｆ（電気的には反共振周波数）にほぼ等しい０
また。圧電磁器板の表裏面に短絡電極のあるときは遮断
周波数は主と。
ことができるのは以下の理由によるものである０圧ｔＴ
ＪＥＬ器板に相対向する電極が全くない場合には、エネ
ルギー閉じ込めの遮断周波数は圧電磁器素板の機械的共
振周波数ｆ（電気的には反共振周波数）にほぼ等しい０
また。圧電磁器板の表裏面に短絡電極のあるときは遮断
周波数は主と。
して圧電性によりミ気機械結合係数に、を介してｆａよ
ル大幅に低下し、電気的な共振周波数ｆに一致「 するＱ本発明のように圧電磁器板内部に電極が埋め込ま
れている場合はｆａとｆ、の中間的な値となシ磁器板の
板厚に比べて磁器内部で相対向する電極の間隔が小さい
ほど圧電性を介して周波数低下への寄与が小さくなる。
ル大幅に低下し、電気的な共振周波数ｆに一致「 するＱ本発明のように圧電磁器板内部に電極が埋め込ま
れている場合はｆａとｆ、の中間的な値となシ磁器板の
板厚に比べて磁器内部で相対向する電極の間隔が小さい
ほど圧電性を介して周波数低下への寄与が小さくなる。
本発明による振動子では、エネルギー閉じ込め電極２１
と２１′（あるいは２２と２２′）の間隔を短絡電極２
３，２３’の間隔より小さくして、圧電性を介して低下
する遮断周波数を制御することでエネルギー閉じ込め電
極部分の遮断周波数を周辺部分の遮断周波数より高くし
ている口このため常に良好なエネルギー閉じ込めが達成
されるわけである・従って本発明のフィルタではフィル
タに直列に付加する容量を何ら用いることなしに、良好
なエネルギー閉じ込めを行うことかできる。
と２１′（あるいは２２と２２′）の間隔を短絡電極２
３，２３’の間隔より小さくして、圧電性を介して低下
する遮断周波数を制御することでエネルギー閉じ込め電
極部分の遮断周波数を周辺部分の遮断周波数より高くし
ている口このため常に良好なエネルギー閉じ込めが達成
されるわけである・従って本発明のフィルタではフィル
タに直列に付加する容量を何ら用いることなしに、良好
なエネルギー閉じ込めを行うことかできる。
本発明のフィルタの動作原理について述べる。
周知の如くエネルギー閉じ込め電極部分は共振子として
動作し、短絡％極のある部分は波動の減衰領域となって
いる◇第２図に示したエネルギー閉じ込め電極が２対あ
るフィルタの場合、エネルギー閉じ込め電極対にはさま
れた部分は弾性的な結 １合部分となシ、２共
振子、１結合部からなる０所謂対称モードと斜対称モー
ドで構成される２重モード・フィルタとなる。もちろん
、一つの磁器板中 １に３個、４個、５個と多
数のエネルギー閉じ込め′電極対を形成して、さらに多
重度を増したフィルタも可能であることは言うまでもな
い。
動作し、短絡％極のある部分は波動の減衰領域となって
いる◇第２図に示したエネルギー閉じ込め電極が２対あ
るフィルタの場合、エネルギー閉じ込め電極対にはさま
れた部分は弾性的な結 １合部分となシ、２共
振子、１結合部からなる０所謂対称モードと斜対称モー
ドで構成される２重モード・フィルタとなる。もちろん
、一つの磁器板中 １に３個、４個、５個と多
数のエネルギー閉じ込め′電極対を形成して、さらに多
重度を増したフィルタも可能であることは言うまでもな
い。
寸た、本発明のフィルタでは、エネルギー閉じ込め電極
表面が磁器層で被わｎているわけであるから、磁器板を
研磨し厚さｋｉｅｌＨ４することにより周波数調整が可
能である。以上述べた理白により本発明のフィルタでは
磁器板を研磨して周波数調整を行ったとしても何らエネ
ルギー閉じ込めを阻害する要因はない。
表面が磁器層で被わｎているわけであるから、磁器板を
研磨し厚さｋｉｅｌＨ４することにより周波数調整が可
能である。以上述べた理白により本発明のフィルタでは
磁器板を研磨して周波数調整を行ったとしても何らエネ
ルギー閉じ込めを阻害する要因はない。
次に本発明のフィルタの製造方法について述べる。本フ
ィルタは′ＭＮセラミツクコ／デンサの製造技術を用い
て製造することができるものであるが、第３図に本フィ
ルタの積層構造を示す分解図を示す。圧電磁器粉末と有
機バインダーとを含む生シー）３０上にエネルギー閉じ
込め電極２１゜２１′及び２２．２２’、短絡電極２３
．２３’を導電ペース）１用いスクリーン等による印刷
により形成する。第３図に示した一ｔＶが印刷された生
シート及び電極の印刷されていない生シートヲ厚さ方向
に熱圧居により一体化し、電気炉で１２００℃程度の温
度で焼成する０その後厚み方向に一様に分極することに
よυ第２図に例示したような本発明のフィルりを製造す
ることができる。製造過程において上下のπ電極２１．
２１’、 ２２． ２２’、２３゜２３′の位ｍ１
合わせは、公知のセラミック多層基板技術を用いて精血
良く行うことができる。本妻遣方法は一つのウェハー内
に多くの第２図に示したようなフィルタチップを高第１
１度で製造することができ量産性に優れた方法であると
言える。
ィルタは′ＭＮセラミツクコ／デンサの製造技術を用い
て製造することができるものであるが、第３図に本フィ
ルタの積層構造を示す分解図を示す。圧電磁器粉末と有
機バインダーとを含む生シー）３０上にエネルギー閉じ
込め電極２１゜２１′及び２２．２２’、短絡電極２３
．２３’を導電ペース）１用いスクリーン等による印刷
により形成する。第３図に示した一ｔＶが印刷された生
シート及び電極の印刷されていない生シートヲ厚さ方向
に熱圧居により一体化し、電気炉で１２００℃程度の温
度で焼成する０その後厚み方向に一様に分極することに
よυ第２図に例示したような本発明のフィルりを製造す
ることができる。製造過程において上下のπ電極２１．
２１’、 ２２． ２２’、２３゜２３′の位ｍ１
合わせは、公知のセラミック多層基板技術を用いて精血
良く行うことができる。本妻遣方法は一つのウェハー内
に多くの第２図に示したようなフィルタチップを高第１
１度で製造することができ量産性に優れた方法であると
言える。
以上短絡［極が圧［ｇｅｔ器内部にあるエネルギー閉じ
込めフィルタについて言及してさたが、第４図に示すよ
うに平行平面研磨の段階で短絡電極が表面に露出しても
本発明のフィルタはいささかも性能が阻害されることは
ない。尚、厳密な周波数調整が必ずしも必要としない目
的での使用に対し、磁器板表面に露出した短絡電極をメ
ッキ、蒸着等の方法で形成することも可能である。
込めフィルタについて言及してさたが、第４図に示すよ
うに平行平面研磨の段階で短絡電極が表面に露出しても
本発明のフィルタはいささかも性能が阻害されることは
ない。尚、厳密な周波数調整が必ずしも必要としない目
的での使用に対し、磁器板表面に露出した短絡電極をメ
ッキ、蒸着等の方法で形成することも可能である。
（実施例）
本発明の一実施例として第２図に示した構造の高安定チ
タン酸鉛系圧電磁器を用いた基本厚みたて振動モード周
波数上井形エネルギー閉じ込め形フィルタについて述べ
る。圧電磁器はＰ ｂ、、、。
タン酸鉛系圧電磁器を用いた基本厚みたて振動モード周
波数上井形エネルギー閉じ込め形フィルタについて述べ
る。圧電磁器はＰ ｂ、、、。
８ｒ５．、、 （Ｔ＋、）、ｑ４１ （Ｍｎｙ３Ｓｂ
％ ）、、、。
％ ）、、、。
” ’６．Ｏ＋２ ） ｏ、の組成を用いた。チタン
酸鉛系圧電セラミックスの密度は７．３８ Ｘ １０３
Ｋｙ／ｍ３．厚みたて結合係数に、は０．４７．比誘電
率ε３３”Ｏは１９６であるロエネルギー閉じ込め電極
２１と２１′及び２２と２２′の間隔はともに２５μｍ
、短絡電極２３と２３′の間隔は９５μｍ、磁器板の板
厚は１２０μｍである。
酸鉛系圧電セラミックスの密度は７．３８ Ｘ １０３
Ｋｙ／ｍ３．厚みたて結合係数に、は０．４７．比誘電
率ε３３”Ｏは１９６であるロエネルギー閉じ込め電極
２１と２１′及び２２と２２′の間隔はともに２５μｍ
、短絡電極２３と２３′の間隔は９５μｍ、磁器板の板
厚は１２０μｍである。
フィルタ構成として対称モードの共振周波数と斜対称モ
ードの共振周波数の間を通過域とする構成も考えられる
が、周波数上昇形エネルギー閉じ込めの場合、共振に比
べて反共振付近でより良好なエネルギー閉じ込めが実現
されるため、ここでは対称モードの反共振周波数と斜対
称モードの反共振周波数の間を通過域とする構成を採用
し、同時にフィルタの高インピーダンス化を図ったコ本
フィルタの目的とする中心周波数は２１４ ＭＨｚであ
シ、分極済の磁器板２０を平行平面研磨することにより
周波数調整を行った。その結果板厚１０８μｍのとき丁
度中心周波数２１．４ ＭＩ４ｚを得た〇このときの本
フィルタの動作減衰量特性を第５図に示す０本フィルタ
の終端インピーダンスは８にΩである。第５図から良好
なエネルギー閉じ込め形フィルタが得られていることが
わかる口（発明の効果） 以上詳述した如く１本発明のフィルタは基本厚みたて振
動モードにおいて良好なエネルギー閉じ込めが可能で、
周波数調整が容易に行うことができ、しかも量産性に優
れている０
ードの共振周波数の間を通過域とする構成も考えられる
が、周波数上昇形エネルギー閉じ込めの場合、共振に比
べて反共振付近でより良好なエネルギー閉じ込めが実現
されるため、ここでは対称モードの反共振周波数と斜対
称モードの反共振周波数の間を通過域とする構成を採用
し、同時にフィルタの高インピーダンス化を図ったコ本
フィルタの目的とする中心周波数は２１４ ＭＨｚであ
シ、分極済の磁器板２０を平行平面研磨することにより
周波数調整を行った。その結果板厚１０８μｍのとき丁
度中心周波数２１．４ ＭＩ４ｚを得た〇このときの本
フィルタの動作減衰量特性を第５図に示す０本フィルタ
の終端インピーダンスは８にΩである。第５図から良好
なエネルギー閉じ込め形フィルタが得られていることが
わかる口（発明の効果） 以上詳述した如く１本発明のフィルタは基本厚みたて振
動モードにおいて良好なエネルギー閉じ込めが可能で、
周波数調整が容易に行うことができ、しかも量産性に優
れている０
第１図（イ）、（ロ）は従来のエネルギー閉じ込め形フ
ィルタの一例を示す図で（イ）は＠面図、（ロ）は平面
図、第２図（イ）、（ロ）は本発明によるエネルギー閉
じ込め形フィルター実施例を示す図で（イ）は断面図、
（ロ）は平面図、第３図は本発明によるフィルタの積層
借造造を示す図、第４図は本発明によるフィルタのうち
表面に短絡電極が露出した状態を示す図、第５図は本発
明によるフィルタの動作減衰量特性を示す図である。 図において、１０．２０はチタン酸鉛系圧電磁器板、１
１，１１’、１２．１２’はエネルギー閉じ込め電極、
１３は磁器仮に設けられた凹部、１４は弾性的な結合部
、１５，１５’、１６，１６’は電気端子、２１，２１
’、２２，２２’はエネルギー閉じ込め電極、２３，２
ゴは短絡′電極、２４，２４’。 ２５、 ２５’、 ２８ｔｉｌｊｌ１１面ｉａ極、２
６．２６’、２７゜２７′は電気端子、３０は生シー：
・、矢印は分極方向、’ｙ ”＊ ’ＩＦ ｔｔ
は厚さを示す〇オ ｌ 図 （ロ） 第２図 第３図 第４図 第５図
ィルタの一例を示す図で（イ）は＠面図、（ロ）は平面
図、第２図（イ）、（ロ）は本発明によるエネルギー閉
じ込め形フィルター実施例を示す図で（イ）は断面図、
（ロ）は平面図、第３図は本発明によるフィルタの積層
借造造を示す図、第４図は本発明によるフィルタのうち
表面に短絡電極が露出した状態を示す図、第５図は本発
明によるフィルタの動作減衰量特性を示す図である。 図において、１０．２０はチタン酸鉛系圧電磁器板、１
１，１１’、１２．１２’はエネルギー閉じ込め電極、
１３は磁器仮に設けられた凹部、１４は弾性的な結合部
、１５，１５’、１６，１６’は電気端子、２１，２１
’、２２，２２’はエネルギー閉じ込め電極、２３，２
ゴは短絡′電極、２４，２４’。 ２５、 ２５’、 ２８ｔｉｌｊｌ１１面ｉａ極、２
６．２６’、２７゜２７′は電気端子、３０は生シー：
・、矢印は分極方向、’ｙ ”＊ ’ＩＦ ｔｔ
は厚さを示す〇オ ｌ 図 （ロ） 第２図 第３図 第４図 第５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、チタン酸鉛系圧電磁器板内部に相対向して配置され
る複数対のエネルギー閉じ込め部分電極と、前記磁器板
の内部又は表面に前記電極と磁器板の厚み方向に重なり
合わないように相対向して配置される短絡電極とを備え
、厚み方向に相対向するエネルギー閉じ込め電極間の距
離を短絡電極間の距離より小さくしたことを特徴とする
エネルギー閉じ込め形圧電フィルタ。 ２、チタン酸鉛系圧電磁器粉末と有機バインダーとを含
む生シートを作製し、それぞれの生シートの表面に複数
個のエネルギー閉じ込め電極あるいは短絡電極を導電ペ
ーストで印刷し、然る後これらの生シートを圧着し一体
化させ、これを焼結することを特徴とするエネルギー閉
じ込め形圧電フィルタの製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59186824A JPH0666634B2 (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | エネルギー閉じ込め形圧電フィルタ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59186824A JPH0666634B2 (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | エネルギー閉じ込め形圧電フィルタ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6165511A true JPS6165511A (ja) | 1986-04-04 |
| JPH0666634B2 JPH0666634B2 (ja) | 1994-08-24 |
Family
ID=16195248
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59186824A Expired - Lifetime JPH0666634B2 (ja) | 1984-09-06 | 1984-09-06 | エネルギー閉じ込め形圧電フィルタ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0666634B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5057801A (en) * | 1989-02-20 | 1991-10-15 | Murata Mfg. Co. Ltd. | Filter device of piezo-electric type including divided co-planar electrodes |
| WO1992016997A1 (fr) * | 1991-03-13 | 1992-10-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filtre du type en echelle |
| US5394123A (en) * | 1991-03-13 | 1995-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators |
Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5193888A (ja) * | 1975-02-17 | 1976-08-17 | ||
| JPS5611463U (ja) * | 1979-07-04 | 1981-01-31 | ||
| JPS5774533U (ja) * | 1980-10-22 | 1982-05-08 | ||
| JPS5885613A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-23 | Nec Corp | モノリシツク圧電磁器フイルタ |
-
1984
- 1984-09-06 JP JP59186824A patent/JPH0666634B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5193888A (ja) * | 1975-02-17 | 1976-08-17 | ||
| JPS5611463U (ja) * | 1979-07-04 | 1981-01-31 | ||
| JPS5774533U (ja) * | 1980-10-22 | 1982-05-08 | ||
| JPS5885613A (ja) * | 1981-11-18 | 1983-05-23 | Nec Corp | モノリシツク圧電磁器フイルタ |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5057801A (en) * | 1989-02-20 | 1991-10-15 | Murata Mfg. Co. Ltd. | Filter device of piezo-electric type including divided co-planar electrodes |
| WO1992016997A1 (fr) * | 1991-03-13 | 1992-10-01 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Filtre du type en echelle |
| US5394123A (en) * | 1991-03-13 | 1995-02-28 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Ladder type filter comprised of stacked tuning fork type resonators |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0666634B2 (ja) | 1994-08-24 |
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