JPS6218105A - 圧電共振子 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〈産業上の利用分野〉 この発明は圧電共振子、更に詳しくは、厚みすべり撮動
を得ることができる圧電共振子に関するものである。

〈従来の技術と問題点〉 例えば発振子やフィルターに用いられる圧電共振子にお
いて、数メガ周波数域のものは厚みエネルギーとじこめ
型撮動モードが使われ、これには厚みだて撮動と厚みす
べり振動の二通りがある。

前者の厚みたて］騒動を用いた圧電共振子を得るには第
３図のように、得ようとする周波数に応じた厚みを有す
るセラミックの焼成物で基板１を形成し、この基板１の
両面に全面電極２．３を形成した後、両電極２．３間に
直流の高電圧を加え、分極軸ｐを基板１の厚み方向に揃
え、次に両電極２．３をエツチング等の手段で所定のパ
ターンに残して撮動用電極２ａ、２ｂとすれば、第４図
の如き厚みたて１辰動の圧電共振子ができ上る。

上記のような厚みだて撮動の共振子は、振動用の電極２
ａ、２ｂと分極用全面電極２．３を兼用でき、しかも圧
電基板１の分極用電圧印加方向の寸法が短かく、分極時
の付加電圧が小さくてよく、分極設備のコストダウンを
はかることができるという利点がおる。

また、後者の厚みすべり振動を用いた圧電共振子の製作
は、第５図の如く、ブロック状に形成したセラミック焼
成物４の両端面に、分極用の電極５．６を形成し両電極
５．６間に直流の高電圧を加え分極軸ｐを電極５と６間
の方向に一定化し、次にこのブロックを第５図に一点鎖
線で示す如く所定の厚みに薄くスライスして分極軸ｐが
主表面と平行した方向に向く圧電基板７を形成し、この
後圧電基板７の両端分極５．６を除去すると共に、基板
７の主表面に振動電極８．９を設け、第６図に示す如き
厚みすべり圧電共振子を形成するものである。

このような厚みすべり振動を用いた共振子は、分極電極
間の距離が大でおるため、分極時に高い付加電圧が必要
になり、分極設価が高価であると共に分極電極と振動電
極が全く別個になるため、製作上不利になるという欠点
がおる。

ところで、ある特定の周波数を有する圧電共振子を得よ
うとした場合前者の厚みたて振動で構成すると、厚みす
べり振動のものに比べ、圧電基板の厚みが２倍程度の厚
みになり特に周波数が高くなると、強度的には有利であ
るが、前記のある特定の周波数の半分の周波数のスプリ
アス振動が生じるという問題がある。

上記とは逆に、厚みすべり撮動の場合、高い周波数であ
ると圧電基板の厚みが厚みたて振動の場合に比べ薄くな
り強度的には弱くなるが、スプリアス振動が少ないとい
う利点を有している。

そこで、この発明は、厚みたて振動と厚みすべり振動の
両者の利点を生かし、厚みたて振動のエレメントで厚み
すべり撮動を得ることができる圧電共振子を提供するこ
とを目的とする。

〈問題点を解決するための手段〉 上記のような問題点を解決するため、この発明は、厚み
方向に分極した圧電基板の主表面に複数の電極を設け、
各電極間に信号を加えて厚みすべり振動を得るようにし
たものである。

〈作用〉 厚み方向に分極された電極板の電極間に信号を加えると
、圧電基板に分極軸と直交する電場成分が生じ、平行電
界励振型の厚みすべり振動が発生する。

〈実施例〉 以下、この発明の実施例を添付図面の第１図と第２図に
基づいて説明する。

第１図のように、発明の圧電共振子は、厚み方向に分極
させた矩形状圧電基板１１の主表面に複数の電極１２．
１３を設け、各電極１２．１３にリード端子１４．１５
を取付け、更に図示省略したが圧電基板１１の外側をケ
ーシングおるいは樹脂ディップによる外装を施して形成
されている。

前記圧電基板１１の製作は、前述した厚みたて振動エレ
メントの場合と略同様の工程によって行なわれる。

即ち、所定厚みに形成したセラミック焼成物の両面に分
極電極を全面に形成した後、両電極間に直流の高電圧を
加え、分極軸の方向が厚み方向に沿う圧電基板１１を形
成する。

次に、−力士表面に施した分極電極の一部分を除去して
複数に分離することにより、この主表面に分極電極をそ
のまま利用した複数の振動用電極１２．１３を形成し、
他方主表面に施した分極電極を全て除去することにより
、第１図で示した共（胚子エレメントができ上る。

前記のような構造の圧電共振子はリード端子１４．１゛
５で電極１２と１３間に信号を加えると、第２図に示す
如く、電極１２．１３間において、圧電基板１１に分極
軸ｐと直交する電場成分Ａ（平行励振電界）が生じ、厚
みだて撮動のエレメントで厚みすべり振動が得られ、発
撮子やフィルターとして使用される。

なお、圧電基板１１に設ける電極の数は図示の二端子に
限定されるものではなく、三端子構造にしてもよい。

〈効果〉 以上のように、この発明によると、上記のような構成で
あるので、以下に示す効果がおる。

（Ｉｌ　　厚み方向に分極した圧電基板の主表面に複数
の電極を設け、電極間に信号を加えると厚みすベリ撮動
が生じるようにしたので、厚みすべり振動の共振子を従
来の厚みたて振動用の生産設備をそのまま使用して製作
できる。

（［１厚みだて撮動のエレメントで厚みすべり振動の共
振子を得ることができ、スプリアス特性の優れた厚みす
べり撮動共振子を得ることができる。

（１１従来の厚みたて用の生産設備をそのまま使用でき
るので、厚みすべり撮動共振子の生産設備に要するコス
トの削減がはかれ、安価な製品を提供することができる
。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明に係る共振子の斜視図、第２図は同上
にあける厚みすべり撮動の説明図、第３図は従来の厚み
たて振動共振子の製造途中を示す斜視図、第４図は同上
の共振子を示す斜視図、第５図は厚みすべり振動共振子
の製造途中を示す斜視図、第６図は同上共振子の斜視図
である。 １１・・・圧電基板　　　　　　１２．１３・・・振動
用の電極１４．１５・・・リード端子　　　ｐ・・・分
極軸出願人代理人　　弁理士　　和　１）昭第２図 Ａ　　　　　１１

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 　厚み方向に分極した圧電基板の主表面に複数の電極を
   設け、各電極間に信号を加えて厚みすべり振動を得るよ
   うにした圧電共振子。