JPS6351566B2 - - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、セラミツクフイルタやセラミツク振
動子に用いる圧電共振子の製造方法に関する。

従来この種の圧電共振子は、セラミツク板を用
いたエネルギー閉じ込め型共振子を例にすると、
第１図のように薄いセラミツク板１の対向する両
主表面に銀電極３を焼付形成し、この対向する銀
電極３間に直流高電圧を加えて分極５を施した後
(A)、セラミツク共振子の共振子電極部分に相当す
る位置へレジスト７を塗布し(B)、硝酸第二鉄溶液
等のエツチング液でそのレジスト７の塗布されて
いない銀電極３を溶解除去して振動電極９を形成
する(C)。更にこのレジスト７の除去によつてエネ
ルギー閉じ込め型セラミツク共振子(D)を製造する
ものであつた。このようにエネルギー閉じ込め型
セラミツク共振子において、振動電極９近傍のみ
ならずセラミツク板１に広く分極５を施こす理由
は、振動電極９近傍のみ分極した場合、スプリア
スが著しく発生するのでそれを改善するために広
く分極する必要による。また振動電極９として銀
電極３を用いるのは、銀が他の導電体より低抵抗
で損失が少なく、耐食性に優れ、半田付けも可能
である理由による。もちろん振動電極９として銀
以外の導電体を用いる実例もある。

しかしながら、このようなセラミツク共振子の
製造方法は、銀電極３によつて分極と振動電極９
形成ができる反面、振動電極９を形成するために
銀電極３上にレジスト７を塗布しなければなら
ず、このレジスト７も結局エツチング液にて除去
しなければならないので、レジスト７及びレジス
ト除去用エツチング液が必要となつて製造コスト
が低下しないうえ、レジスト７の塗布及び除去工
程の存在によつてセラミツク共振子の製造工程が
簡素化せず煩雑となる欠点を有していた。また振
動電極９として銀を刺用する場合には、不要な銀
電極３を溶かした硝酸第２鉄溶液等のエツチング
液は、銀イオンを含むためその廃棄処分がめんん
どうで環境衛生上問題があつたし、第１図Ｃのよ
うな不要銀電極３を除去した後のセラミツク板１
には酸性のエツチング液が少量残るので、腐食を
防止するためにその残留分を中和するか又は十分
水洗いする必要があり、この点からも作業性向上
の障害となつていた。

本発明は以上の欠点を改良するもので、共振子
電極パターンを設けた圧電板上に形成した導電塗
料を分極用補助電極として用い、分極後、この導
電塗料を溶剤によつて染滌除去して圧電共振子を
製造するもので、安価で製造の簡単な圧電共振子
の製法を提供するものである。以下本発明の実施
例を説明する。

第２図は本発明の一実施例を示すもので、0.5
mm程度の薄いセラミツク板１の両主表面中央に対
向する振動電極１１を予め蒸着や印刷等で１〜
5μ程度の厚さで形成し(A)、この振動電極１１を
被つてセラミツク板１の両主表面全面にカーボン
ブラツク（炭素微粉末）とポリビニル・アルコー
ルとを混合させた水溶性導電塗料１３を10μ程度
の厚さで塗布し、乾燥させた後、この水溶性導電
塗料１３を分極用電極として直流高電圧
（5KV／mm）を加えてセラミツク板１に分極５を
施こし(B)、この水溶性導電塗料１３を水で洗い流
してエネルギー閉じ込め型セラミツク共振子(C)を
製造する訳である。なお、第２図Ｂにおける分極
処理は、セラミツク板１をシリコン油中に浸漬し
て行い、前記水溶性導電塗料１３の洗い出しは、
セラミツク板１を水中に浸漬するとともに水に超
音波振動を与えて洗い出しの促進を図る。

そして本発明のセラミツク共振子の製造におい
ては、セラミツク板１の両主表面の水溶性導電塗
料３間に直流電圧を加えると、この塗料３のセラ
ミツク板１に接する部分間のみならず、振動電極
１１間及び塗料３を塗布したセラミツク板１全領
域で分極５が施こされることとなり、従来のよう
に予めセラミツク板１の両主表面全面に分極用銀
電極３を形成する必要はなくなるし、振動電極形
成用のレジスト７も用いない。

このように本発明は、セラミツク板１主表面に
は初めから振動電極１１を形成できるので、従来
例の如きレジスト７やレジスト除去用エツチング
液のみならず、レジスト７の塗布・除去工程が不
要となつてセラミツク共振子の製造原価の低減及
び製造工程の簡素化が達成され製造が容易とな
る。しかしセラミツク板１上に振動電極９を被つ
て塗布した水溶性導電塗料１３によつてセラミツ
ク板１の分極もできるし、この導電塗料の洗滌も
従来例の如き不要銀電極３のエツチング除去と異
なり一様に全て除去するものであるから作業が簡
単である。

ところで前記実施例の水溶性導電塗料１３や洗
滌液としての水も各々それらに限定されるもので
はなく、例えば導電塗料１３として銀微粉末とパ
ラフインとの混合塗料を用い、溶剤としてトリク
レン等の有機溶剤を用いることが考えられる。要
は導電体微粉末及びバインダー（接着材）との混
合塗料と、そのバインダーを溶かす溶剤の組合せ
を用いれば、その導電塗料を洗滌できる。そして
洗滌後の溶剤中にはバインダーが溶け、導電性微
粉末は溶剤中に混合された状態であるため、この
溶剤は導電性微粉末がイオン化された状態の溶剤
よりも化学的に安定で、廃棄処理が容易であり、
環境衛生上も安全である。もつとも、導電塗料１
３として第２図の実施例のように炭素微粉末とバ
インダとの組合せを用いれば極めて安価なセラミ
ツク共振子を製造できるし、導電塗料１３として
水溶性のバインダを用いた水溶性導電塗料を使用
すれば、溶剤として安価で扱いやすい水の使用が
可能となつて、より製造が簡単になる訳である。
もちろん従来例とは異なり高価な銀の消費量が減
少する。

その上、水を用いて導電塗料を洗い出すので洗
滌後、従来のようにセラミツク板１の表面の中和
や水洗いが不要となつて製造工程を簡素化できる
利点を有する。

なお、前記水溶性導電塗料１３は実施例のもの
に限らず、分極時の高直流電圧の印加に耐えうる
もので、導電率が高く水溶性に富む塗料であれば
よい。発明者は、第２図の実施例の外、墨汁（炭
素微粉末と膠の混合液）を用いて実験した所、良
好な分極５が得られた。なお、この水溶性導電塗
料１３は、セラミツク板１に塗布し、乾燥させる
だけでなく、焼付けることによつてこの導電塗料
の剥離を防止できるのみならず分極用電圧印加ま
での時間短縮ができる。また分極も、油中のみな
らず空気中で行なつてもよく、従来公知の分極条
件で実施できる。更に、本発明の実施に当つて
は、振動電極１１の形状・数及び水溶性導電塗料
１３の塗布領域等は目的に合せて任意に決定すれ
ばよいし、セラミツク板１も広く一般の圧電板が
使用できる。

なお、説明上、エネルギー閉じ込め型のセラミ
ツク共振子を例にしたが、圧電板の表面の一部に
共振子電極を形成する様なものであれば、輪郭振
動その他の各振動モードの圧電共振子や、この圧
電共振子を用いる圧電フイルタ等に本発明を広く
利用できる。

以上説明したように本発明は、薄い圧電板上に
対向する部分共振子電極を形成し、この圧電板及
び電極上に導電塗料を塗布、固化した後、この導
電塗料に直流高電圧を加えて前記圧電板に分極を
施こし、この導電塗料を溶剤で洗滌除去すること
を特徴とする圧電共振子の製造方法であるから、
安価で製造の容易な圧電共振子の製法を提供でき
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の圧電共振子の製造工程図であ
り、第２図は本発明の圧電共振子の製造方法の一
実施例を示す工程図である。 １：圧電板、１１：共振子電極、１３：水溶性
導電塗料。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １ 薄い圧電板上に対向する部分共振子電極を形
   成し、この圧電板及び電極上へ溶剤に溶ける導電
   塗料を塗布、固化させた後、この導電塗料に直流
   高電圧を加えて前記圧電板に分極を施こし、更に
   この導電塗料を溶剤で洗滌除去することを特徴と
   する圧電共振子の製造方法。 ２ 溶剤として水を、導電塗料として水溶性導電
   塗料を用いることを特徴とする特許請求範囲第１
   項記載の圧電共振子の製造方法。 ３ 水溶性導電塗料を焼付け固化することを特徴
   とする特許請求範囲第２項記載の圧電共振子の製
   造方法。