JPS61101283A - 超音波洗浄方法 - Google Patents
超音波洗浄方法Info
- Publication number
- JPS61101283A JPS61101283A JP22276984A JP22276984A JPS61101283A JP S61101283 A JPS61101283 A JP S61101283A JP 22276984 A JP22276984 A JP 22276984A JP 22276984 A JP22276984 A JP 22276984A JP S61101283 A JPS61101283 A JP S61101283A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- frequency
- cleaning
- cleaned
- fundamental frequency
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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- Apparatuses For Generation Of Mechanical Vibrations (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野〕
この発明は超音波洗浄方法に関し、さらに詳しくは被洗
n1物に洗浄ムラが生じない超音波洗す方法に関するも
のである。
n1物に洗浄ムラが生じない超音波洗す方法に関するも
のである。
[従来の技術]
超音波洗浄に関しては、従来から種々の方法や装とが提
案されてきているが、超音波を利用するこれら従来の洗
浄技術の場合、例えば第3図に示す波長入0の超音波に
おける応力分布のうち負圧から正圧、正圧から負圧に変
化するPI 、P2 。
案されてきているが、超音波を利用するこれら従来の洗
浄技術の場合、例えば第3図に示す波長入0の超音波に
おける応力分布のうち負圧から正圧、正圧から負圧に変
化するPI 、P2 。
P3の各分岐点には超音波応力が全く生じないため、結
果間に被洗浄物に洗浄ムラが生ずるのを防止し得ず、特
に精密洗浄が必要な場合にはこの洗浄ムラの存在が無視
しえない問題となっていた。
果間に被洗浄物に洗浄ムラが生ずるのを防止し得ず、特
に精密洗浄が必要な場合にはこの洗浄ムラの存在が無視
しえない問題となっていた。
このような欠点を是正するものとしては1例えば第4図
に示すように超音波洗浄装置20に揺動機構25を狙合
せ、カム26に応動する揺動杆27に洗浄槽21内の被
洗浄物22を吊持させ、この被洗浄物22自体を上下に
強制的に揺動することにより洗浄ムラの発生を防止しよ
うとしたもの、あるいは周波数の異なる複数の超音波振
動子を用い、一定時間毎に周波数を交互に切変えて洗浄
槽内に超音波を照射し、これにより交互に節の位置を異
にする定在波な発生させることにより洗浄ムラの発生を
防止するもの(例えば特開昭58−1fif1973号
公報参照)などが既に提案されてはいる。
に示すように超音波洗浄装置20に揺動機構25を狙合
せ、カム26に応動する揺動杆27に洗浄槽21内の被
洗浄物22を吊持させ、この被洗浄物22自体を上下に
強制的に揺動することにより洗浄ムラの発生を防止しよ
うとしたもの、あるいは周波数の異なる複数の超音波振
動子を用い、一定時間毎に周波数を交互に切変えて洗浄
槽内に超音波を照射し、これにより交互に節の位置を異
にする定在波な発生させることにより洗浄ムラの発生を
防止するもの(例えば特開昭58−1fif1973号
公報参照)などが既に提案されてはいる。
[発明が解決しようとする問題点]
しかしながら、このような改良技術によるときは確かに
被洗浄物に洗浄ムラの生じることは防止し得ても、どう
しても装置自体における構造の複雑化は免れず、したが
って装置全体のコストアップをもたらすのみならず、保
守管理の面でも煩雑さが増すなどの問題点が指摘され、
このような観点からの改a策が強く望まれていた。
被洗浄物に洗浄ムラの生じることは防止し得ても、どう
しても装置自体における構造の複雑化は免れず、したが
って装置全体のコストアップをもたらすのみならず、保
守管理の面でも煩雑さが増すなどの問題点が指摘され、
このような観点からの改a策が強く望まれていた。
この発明の目的は、従来技術のかかる課題に鑑みて洗節
装Sのl11素化を図りながら、しかも洗浄ムラの生じ
ない超音波洗浄方法を提供するにある。
装Sのl11素化を図りながら、しかも洗浄ムラの生じ
ない超音波洗浄方法を提供するにある。
[問題点を解決するための手段]
すなわち、この発明に係る超音波洗浄方法は、洗浄槽に
取付けられた超音波振動子から発生する超音波の基本周
波数に周波数変調をかけ、超音波の周波数を所定の幅で
連続変調させて被洗浄物に照射することに特徴がある。
取付けられた超音波振動子から発生する超音波の基本周
波数に周波数変調をかけ、超音波の周波数を所定の幅で
連続変調させて被洗浄物に照射することに特徴がある。
したがってこの発明によれば、1つの超音波振動子を利
用するのみで、超音波応力が零となる部位を生じさせる
ことなく被洗顔物に超音波を照射することが可能となり
、洗浄ムラを生じさせることなく被洗浄物を均一に洗浄
することができる。
用するのみで、超音波応力が零となる部位を生じさせる
ことなく被洗顔物に超音波を照射することが可能となり
、洗浄ムラを生じさせることなく被洗浄物を均一に洗浄
することができる。
[実施例]
以下1図面を参照してこの発明に係る方法を説明する。
第1図はこの発明に係る超音波洗浄方法を実施した場合
の周波数の連続変動状況を示すものである。清浄水など
の奴質Mが満たされた洗浄槽1には超音波発振器(図示
せず)により駆動される超音波振動子2が取付けられて
おり、faはこの超音波振動子2から照射される基本周
波数を示すものであり、この基本周波数fOに周波数変
rA(FM)をかけることにより周波数の高低をffか
らfsまでの間で一定周期で連続的に変化させる。
の周波数の連続変動状況を示すものである。清浄水など
の奴質Mが満たされた洗浄槽1には超音波発振器(図示
せず)により駆動される超音波振動子2が取付けられて
おり、faはこの超音波振動子2から照射される基本周
波数を示すものであり、この基本周波数fOに周波数変
rA(FM)をかけることにより周波数の高低をffか
らfsまでの間で一定周期で連続的に変化させる。
具体例として基本周波1jl(fo=50kH2の超音
波振動を水中で発生させた場合、半波長(入0/2)は
約15mmとなり、この基本周波数foより5%高い周
波数ffの半波長(入f/2 ) = 14.3mmか
ら基本周波数foより5%低い周波数fsの半波長(八
s/2 ) = 15.8mmまで周波数変調をかける
と基本周波数faによる定在波が弱められ、応力が零と
なる点が15.8mmから14.3mmまで一定周期で
変化する。これをさらに第2図により説明すれば、縦軸
は被洗顔物に照射される超音波の振動レベルを1横軸は
その時の周波数を示しており、基本周波jif O(5
0kHz )、の振動レベルを100%とするとき、超
音波の減衰線αとの関係で低い周波9 f s と高い
周波affとを八木周波数fO(50k)Iz)の振動
レベルの60〜70%以上の位置に設定しておくこと、
つまり基本周波数foに対して±5%の範囲で周波数を
連続変動させるのがその洗浄効果ないしは効率を考慮し
た場合には好ましい、しかしながら、必ずしもこのよう
な幅の振動レベルに限定されるものではなく、必要に応
じて低い周波数fs と高い周波数ffとを基本周波@
f o (50kHz )の振動レベルの60%以下
の位置に設定することもできる。
波振動を水中で発生させた場合、半波長(入0/2)は
約15mmとなり、この基本周波数foより5%高い周
波数ffの半波長(入f/2 ) = 14.3mmか
ら基本周波数foより5%低い周波数fsの半波長(八
s/2 ) = 15.8mmまで周波数変調をかける
と基本周波数faによる定在波が弱められ、応力が零と
なる点が15.8mmから14.3mmまで一定周期で
変化する。これをさらに第2図により説明すれば、縦軸
は被洗顔物に照射される超音波の振動レベルを1横軸は
その時の周波数を示しており、基本周波jif O(5
0kHz )、の振動レベルを100%とするとき、超
音波の減衰線αとの関係で低い周波9 f s と高い
周波affとを八木周波数fO(50k)Iz)の振動
レベルの60〜70%以上の位置に設定しておくこと、
つまり基本周波数foに対して±5%の範囲で周波数を
連続変動させるのがその洗浄効果ないしは効率を考慮し
た場合には好ましい、しかしながら、必ずしもこのよう
な幅の振動レベルに限定されるものではなく、必要に応
じて低い周波数fs と高い周波数ffとを基本周波@
f o (50kHz )の振動レベルの60%以下
の位置に設定することもできる。
[発明の効果]
この発明に係る方法によれば、被洗浄物に照射される。
tfi音波の川波数を所定の幅で常に連続して変動させ
ることができる。このため、負圧から正圧へ、さらには
正圧から負圧へと変化する際の各分岐点が一定しないこ
とから、被洗浄物に対して超音波応力が零となる部位も
固定せず、したがって単一の超音波振動子を使用し、し
かも被洗浄物自体を特に揺動したりしなくても洗顔ムラ
を発生させることなく精密洗浄を達成することができる
。すなわち超音波洗浄装置の構造を複雑化することなく
洗浄ムラのない精密洗浄ができるので、!J装置自体コ
ストダウンを図ることができるのみならず、保守管理の
面でも従来技術にはみられない容易性を得ることができ
る。
ることができる。このため、負圧から正圧へ、さらには
正圧から負圧へと変化する際の各分岐点が一定しないこ
とから、被洗浄物に対して超音波応力が零となる部位も
固定せず、したがって単一の超音波振動子を使用し、し
かも被洗浄物自体を特に揺動したりしなくても洗顔ムラ
を発生させることなく精密洗浄を達成することができる
。すなわち超音波洗浄装置の構造を複雑化することなく
洗浄ムラのない精密洗浄ができるので、!J装置自体コ
ストダウンを図ることができるのみならず、保守管理の
面でも従来技術にはみられない容易性を得ることができ
る。
図面中、第1図はこの発明による洗浄時の周波数の変動
状況を示す説明図、第2図はこの発明における超音波の
振動レベルと周波数との相関関係を示す説明図、第3図
は超音波振動子による基本周波数の振動波形図、第4図
は従来装置の構成図である。 1・・・洗浄槽、2・・・超音波振動子。 M・・・媒 質 第 1 図 第2図 f f、 f、 −→■矢 第3図 第4図
状況を示す説明図、第2図はこの発明における超音波の
振動レベルと周波数との相関関係を示す説明図、第3図
は超音波振動子による基本周波数の振動波形図、第4図
は従来装置の構成図である。 1・・・洗浄槽、2・・・超音波振動子。 M・・・媒 質 第 1 図 第2図 f f、 f、 −→■矢 第3図 第4図
Claims (1)
- 1、洗浄槽に取付けられた超音波振動子から発生する超
音波の基本周波数に周波数変調をかけ、超音波の周波数
を所定の幅で連続変調させて被洗浄物に照射することを
特徴とする超音波洗浄方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22276984A JPS61101283A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 超音波洗浄方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22276984A JPS61101283A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 超音波洗浄方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS61101283A true JPS61101283A (ja) | 1986-05-20 |
Family
ID=16787601
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22276984A Pending JPS61101283A (ja) | 1984-10-23 | 1984-10-23 | 超音波洗浄方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS61101283A (ja) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01308942A (ja) * | 1988-06-08 | 1989-12-13 | Mitsubishi Electric Corp | 固体表面付着微粒子計数装置 |
JPH0947733A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kokusai Denki L Tec:Kk | 超音波洗浄装置 |
JPH09206713A (ja) * | 1996-02-07 | 1997-08-12 | Furontetsuku:Kk | 洗浄方法および洗浄装置 |
JP2010162487A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Sony Corp | 圧電振動機器システムおよび電子機器 |
JP2013051356A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | 超音波洗浄方法及びその装置 |
-
1984
- 1984-10-23 JP JP22276984A patent/JPS61101283A/ja active Pending
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH01308942A (ja) * | 1988-06-08 | 1989-12-13 | Mitsubishi Electric Corp | 固体表面付着微粒子計数装置 |
JPH0947733A (ja) * | 1995-08-03 | 1997-02-18 | Kokusai Denki L Tec:Kk | 超音波洗浄装置 |
JPH09206713A (ja) * | 1996-02-07 | 1997-08-12 | Furontetsuku:Kk | 洗浄方法および洗浄装置 |
JP2010162487A (ja) * | 2009-01-16 | 2010-07-29 | Sony Corp | 圧電振動機器システムおよび電子機器 |
JP2013051356A (ja) * | 2011-08-31 | 2013-03-14 | Hitachi Kokusai Denki Engineering:Kk | 超音波洗浄方法及びその装置 |
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