JPS60192944A - 現像方法及び該方法実施のための装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 発明の分野 本発明は、露光されたパターンあるいは情報を保持して
いる材料ストリップまたは材料プレート上に設けられた
感光膜のようなコーティングを超音波振動の利用下に現
像する方法に係わる。

本明細書において材料プレートまたは材料ストリップと
は、例えば印刷に用いられ得る露光情感光膜を有したア
ルミニウムプレート、電子回路用のプリント配線基板及
びシリコンウエノ・、並びに写真用フィルムなどのよう
な金属あるいはゾ之スチツクのプレートまたはストリッ
プを意味する。

先行技術 露光された画像を現像するべく現像液に浸す際に反応速
度を改善する目的で超音波を利用することは周知である
。公知装置は１個以上、通常は多数の音響変換器を含み
、該変換器は現像液のタンク内に現像液を振動させるよ
うにして取付けられている。上記公知装置では、タンク
内の全現像液を振動させなければならないので、反応速
度に実質的に影響するような超音波を得るには多大のパ
ワーが必要である。

発明の概要 従って本発明は、画像の均質かつ迅速で確実な現像を可
能にし、同時に使用及び製造に掛かる費用が公知装置よ
りも安い現像方法及び装置の提供を目的とする。

本発明の方法によれば、コーティングを有する材料はこ
の材料の進行方向に対して実質的に垂直に、かつ情報を
保持したコーティングの全幅にわたって伸長するパー形
手段を該手段に隣接してまたは該手段から少々離隔して
通過するようにして運ばれ、パー形手段には複数個の音
響変換器によって振動が惹起され、現像液及び／または
同様の処理液は移動するコーティングに対し、振動する
１９−形手段直前のぞめ隣接領域において、ノ９−形手
段の振動が現像液並びにコーティングを有する材料プレ
ートまたは材料ストリップの筋状横断領域へ伝達される
ようにして例えば吹付けにより適用される。この結果、
上記材料の現像される部分、即ち現像液を付与される部
分全体にわたって有効に振動が惹起される。更に、コー
ティングの除去され得る部分が振動によって剥離し、洗
い落とされる。また、現像液を収容した大型タンクを用
いる必要はもはや無い。本発明の方法によれば、液体乃
至現像液は分配管の入口から供給され、前記分配管から
材料上へ吹付けられ得る。液体は材料からドレン内へ流
れ、前記ドレンはタンク及びポンプに接続された排出管
を具備している。ポンプによって、液体は再び分配管へ
と汲出され、該分配管から放出される。パー形手段に直
接取付けられた音響変換器の使用によって、得られる超
音波エネルギの特に有効な活用が可能となる。

本発明の方法によれは、振動は振動するパー形手段とコ
ーティングを有する材料との間で両者の機械的接触によ
って直接、及び／または付着した現像液の薄膜を介して
伝達され得、前記付着液体は吹付けられた現像液あるい
は処理液に由来する。

ζうして音響振動の、現像液を適用される細長い領域へ
の正確な伝達が保証される。

本発明は更ｌこ、上記方法実施のための現像装置にも係
わり、この装置はコーティングを有する材料を案内移動
する手段と、この移動手段用の駆動手段とを含む。本発
明による現像装置は、材料の進行方向に対して実質的に
垂直に、情報を保持したコーティングの全幅にわたって
伸長する１個以上のパー形手段を具備しており、このパ
ー形手段は材料及び／または該材料に付着した液体の薄
膜に密接するかまたは材料から僅かに離隔し、またノ々
−形手段には幾つかの音響変換器が音響的に接続して取
付けられており、これらの変換器は、１〜１００　ｋＨ
ｚ　の範囲内の１種以上の周波数で振動するべく構成さ
れ、好ましくは約４０ｋＨｚ　で振動する圧電超音波変
換器であること、並びに現像液及び／または他の処理液
のための入口を含む分配管をも具備し、前記分配管はパ
ー形手段に平行に伸長するかまたは該手段を兼ね、液体
を前記材料に対して適用するべく、特に吹付けるべく構
成されていることを特徴とする。

このような現像装置は超音波の、材料への有効な作用を
保証し、またこの装置は頑丈でかつ単純であり、従って
製造及び使用に掛かる費用が安い。

現像液は、超音波で振動が惹起されたパー形手段と接触
する分か、あるいは材料の、まさに現像されるべき横筋
状領域に当たった分のみに超音波変換器によって振動が
惹起される。従って、大型タンク内の液体を超音波で振
動させて用いる公知装置の場合と同等の大きいノ９ワー
は、本発明装置の超音波変換器には必要無い。

パー形手段は好ましくは鋼製の管あるいは形材であるが
、超音波を伝導しかつ適当な強度特性を具えていれば他
の如何なる材料も使用され得る。

本発明による装置は、音響変換器を一方の端部かまたは
両端に具備した１個以上のパー形手段を有し得る。こう
してパー形手段の全体に、極めて容易に振動が惹起され
得る。パー形手段はその両端が、液体を吹付ける分配管
によって藺らされる領域の外部に突出するような長さを
有することが好ましく・。変換器は、好ましくは遮蔽さ
れた上記濡れ領域の外部に取付けられる。こうして、変
換器を液体から保護するべくケースに収納する問題が回
避される。

本発明装置によれば、超音波変換器は幾つかの異なる周
波数で動作するか、ある（・は所定の範囲にわたって変
化する周波数で動作するべく構成され得る。それによっ
て、材料を不均一に振動させる恐れのある定在波がパー
形手段に発生するあるいは生じ得る傾向の防止が可能と
なる。これに対応する効果が、１個以上の変換器の位相
を変更することによっても達成され得る。

本発明による装置は、各周波数につき１組の超音波変換
器を具備し得る。超音波変換器並びに例えばインピーダ
ンス変成器などの使用結合素子はどちらかと言えげ狭帯
域型であり得、このことは上記変換器の各組が所望周波
数で最適動作するように調整される場合に有利である。

本発明を、添付図面を参照しつつ以下に詳述する。

好適具体例の説明 第１図及び第２図に、本発明による現像装置の一具体例
を概略的に示す。例示した装置は図示されな（・複数個
の駆動ローラもしくはロールと場合によってはフリーホ
イールローラとを含み、これらのローラもしくはロール
が材料プレートまたは材料ストリップを牽引案内して前
記装置を通過させる。

鋼製の管１１がプレート状材料の供給方向（第２図の矢
印Ｐ参照）を横切って取付けられている。

管１１は鋼以外の材料からも形成され得るが、その際使
用される材料は十分な強度を有する必要があり、また該
材料中を音波が伝搬し得なければならな（・。図示の具
体例によれば、管１１の両端は装置の側壁１３の外側に
突出している。管１１の各端部は遷移素子即ちインピー
ダンス変成器と、圧電超音波変換器１５とを具備してい
る。変換器１５は図示されな（・導線によって電気回路
と接続されており、この電気回路は変換器に１〜１００
ｋＨｚの周波数をもたらす。好ましくは可聴域を越えた
周波数が用（・られ、特に約４０　ｋＨｚが望ましい。

電気回路は好ましくは、超音波変換器を始動する周波数
を変化させるべく構成されている。空冷あるいは水冷装
Ｒ（図示せず）が、変換器を過熱から保護するために設
置され得る。温度センサ（図示せず）が超音波変換器と
接続して取付けられ得、このセンサは過熱が起こると超
音波変換器への電流供給を中断する制御回路に接続され
得る。

２本の液体分配管１７．１８が、管１１に近接して取付
けられている。分配管１７から液体がプレート１２の上
側表面に吹付けられ、分配管１８からは液体が前記プレ
ートの下側表面に吹付けられる。液体の一部はプレート
表面上に付着して薄膜を形成し、この膜は管１１からプ
レート１２への超音波の伝達を促進する。第１図及び第
２図の現像装置では、プレート１２は画像生成コーティ
ングを有する面を上にして移動される。その結果、振動
する管１１はプレートを下側から、画像生成コーティン
グに掻き傷を生じることなく振動させる。現像は管１７
から噴出された液体が画像生成膜と反応することによっ
て実現し、前記液体はまた余分のコーティング材料を洗
（・落とし、現像プロセス及び洗浄プロセスは超音波振
動によって促進される。

噴出された現像液は後にドレン１９内へ流れ、ドレン１
９から更に排出管２０を経てタンク２３及びポンプ２１
へと送られる。ポンプ２１は現像液を、入口２２を介し
て分配管１７．１８へ戻す。

図示の具体例にお（・で、分配管１７．１８は一列に、
かつ等間隔に設けられた複数個の穴を有する鋼管である
。前記の穴を通って、液体はプレート１２へと流出する
。しかし分配管１７．１８はまた、１個以上の長手スリ
ットを具えていてもよく、このスリットから液体はプレ
ート１２へ連続的なＮ幕〃として噴出され得る。更に、
分配管はその全体かまたは一部をスポンジのような多孔
質材料によって製造され得、その際前記材料から成る部
分は場合によってプレート１２に直接接触する。

第３図に示したような％に単純な具体例によれば、ただ
１個の液体分配管１７とただ１個の振動管１１とが用い
られ、振動はプレート１２のコーティングを有する側に
付着した現像液に伝達される。

好適具体例によれば、現像装置はプレート１２の上下画
側に複数個の振動管乃至パー１１を具備する（第４図参
照）。パー１１の各組について液体分配管１７．１８が
１組ずつ設置され得る。少なくとも一方に超音波によっ
て振動が惹起される、上下に対向する２本の管を用いる
ことによって、プレートへの多大な作用が保証される。

第５図に示すように、パーはプレートの上下に交互に配
置されてもよい。撮動バーの数が増せば、材料の現像装
置を通過する速度が増大され得る。更に、何個のパーに
取付けられた超音波変換器は異なる周波数に調整され得
る。

パーは互いに独立に振動し得、即ち互いに異なる周波数
で振動したり、何個かが休止したりし得る。

振動バーの１個または複数個はロールとして形成され得
、場合によっては駆動手段と接続して回転可能に取付け
られ得る。

振動パーは、弾性ゴム素材などの有利なコーティングを
有し得、あるいはまたブラシを具備し得る。

例えば第６図に示したような、平棒あるいは形鋼といっ
た振動プレートも管に替えて使用され得る。その場合、
パーの超音波伝達部分は平棒２５として形成される。平
棒の下側に、低いＵ字形の形材２６が溶接されている。

バー形手段のこの具体例に超音波変換器を組込むことも
可能であり、例えば給配変換器はパー形手段の内部に配
置される。非常に幅の広いプレートの現像用である特に
大型の現像装置の場合、複数個の超音波変換器をパー形
振動手段沿いに設置できれば好ましい。その際変換器は
、吹付けられる現像液から保護されるように問題なく取
付けられねばならない。このような被保護配置は、第６
図の具体例によって達成される。

第７図及び第８図は、複数個のパー１１と複数組の液体
分配管１７．１８とを含む本発明装置の別の具体例を示
し、この例で各パー及び各分配管は第１図及び第２図に
示したものと同様に配置され、かつ第１図及び第２図に
関連して述べたものと同じ機能を有する。

更に第９図及び第１０図に、本発明による現像装置の別
の一具体例を示す。第１図〜第８図に関して上述したの
と同じ機能を有する同じ部材には、前記各図におけるも
のと同一の参照符号を用いた。

先に述べた具体例とは異なり、第９図及び第１０図の分
配管は鋼管としてパー形手段を兼ね、即ちこの具体例の
管Ｘは分配管乃至噴射管としても振動伝達管としても機
能する。管Ｘは超音波変換器を具備したパー形手段であ
ると同時に、入口管２２と接続されている。前記入口管
２２から現像液が、複数個の開口部を有する管Ｘ内へ供
給され、超音波によって振動が惹起された現像液は上記
開口部を通って材料１２に達し、該材料工２に超音波振
動を伝える（第９図の下向きの矢印参照）。第１０図は
第９図の具体例の細部を示す断面図である。

この図によれば、超音波によって振動が惹起される分配
管Ｘは例えば３個用いられ得、また１組の搬送ロールＹ
が材料１２の下側に設置され得る。

この具体例において前記搬送ロールＹは、単に搬送及び
支持機能を有するのみである。この具体例では、３個の
パーは各々異なる周波数に調整された超音波変換器を具
備し得る。

上述の装置が、特許請求の範囲に記載した本発明の範囲
内で様々に変更され得ることは当業者には明らかである
。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明による現像装置の一具体例の概略的な説
明図、第２図は第１図の具体例を示す縦断面図、第３図
は本発明現像装置の第二具体例の細部を示す説明図、第
４図は本発明による現像装置の第三具体例を示す説明図
、第５図は本発明装置の更に別の具体例を示す説明図、
第６図は現像装置のパー形手段の一具体例を示す説明図
、第７図及び第８図は本発明装置の別の具体例を示す説
明図、第９図は本発明による現像装置のさらに他の具体
例を示す説明図、第１０図は第９図の具体例の細部を示
す概略的断面図である。 １１・・・パー形手段、１２・・・材料、１５・・・超
音波変換器、１７．１８・・・液体分配管、１９・・・
ドレン、２１・・・ポンプ、２２・・・入口。 Ｆｉｇ、２ １ｊ　；’１

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. （１）パターンあるいは情報を保持している、材料スト
   リップまたは材料プレート上に設けられた露光情感光膜
   のようなコーティングを超音波振動の利用下に現像する
   方法であって、前記材料はこの材料の進行方向に対して
   実質的に垂直に、かつ情報を保持したコーティングの全
   幅にわたって伸長するパー形手段を、該手段に隣接して
   または該手段から少々離隔して通過するようにして運ば
   れ、バー形手段には複数個の音響変換器によって振動が
   惹起され、現像液及び／または同様の処理液は、コーテ
   ィングの、振動するパー形手段直前でこれに隣接する領
   域に、パー形手段の振動が現像液並びにコーティングを
   有する材料プレートまたは材料ストリップの筋状横断領
   域へ伝達されるようにして例えば吹付けにより適用され
   ることを特徴とする現像方法。
2. （２）振動が振動するパー形手段とコーティングを有す
   る材料との間で両者の機械的接触によって直接、及び／
   または付着した現像液の薄膜を介して伝達されることを
   特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の方法。
3. （３）特許請求の範囲第１項または第２項に記載の方法
   を実施するための現像装置であって、コーティングを有
   する材料を案内移動する手段と、この移動手段用の駆動
   手段と、現像液及び／または他の処理液の入口を含み、
   液体を前記材料に対して適用するべく、特に吹付けるべ
   く構成された分配管とを含み、更に材料の進行方向に対
   して実質的に垂直に、情報を保持したコーティングの全
   幅にわたって伸長する１個以上のパー形手段を具備して
   おり、このパー形手段は前記材料及び／または該材料に
   付着した液体の薄膜に密接するかまたは材料から僅かに
   離隔し、またパー形手段には幾つかの音響変換器が音響
   的に接続して取付けられており、これらの変換器は１〜
   １００　ｋＨｚの範囲内の１種以上の周波数で振動する
   べく構成され、好ましくは約４０市で振動する圧電超音
   波変換器であり、前記分配管はパー形手段に平行に伸長
   するかまたは該手段を兼ねることを特徴とする現像装置
   。
4. （４）超音波変換器がパー形手段の少なくとも一方の端
   部に取付けられていることを特徴とする特許請求の範囲
   第３項に記載の装置。
5. （５）超音波変換器がパー形手段の両端に取付けられて
   いることを特徴とする特許請求の範囲第３項に記載の装
   置。
6. （６）少なくとも１個の超音波変換器が装置の現像液あ
   るいは処理液吹付は領域外に取付けられていることを特
   徴とする特許請求の範囲第４項または第５項に記載の装
   置。
7. （７）超音波変換器が幾つかの異なる周波数で動作する
   か、あるいは所定の範囲にわたって変化する周波数で動
   作することを特徴とする特許請求の範囲第３項乃至第６
   項のいずれかに記載の装置。
8. （８）複数個の超音波変換器が所望の各周波数で動作す
   る超音波変換器を少なくとも１個ずつ含むことを特徴と
   する特許請求の範囲第７項に記載の装置。
9. （９）超音波変換器の少なくとも１個の位相を変更する
   手段を含むことを特徴とする特許請求の範囲第３項乃至
   第８項のいずれかに記載の装置。