JP2832443B2 - マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 - Google Patents
マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置Info
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- JP2832443B2 JP2832443B2 JP63295514A JP29551488A JP2832443B2 JP 2832443 B2 JP2832443 B2 JP 2832443B2 JP 63295514 A JP63295514 A JP 63295514A JP 29551488 A JP29551488 A JP 29551488A JP 2832443 B2 JP2832443 B2 JP 2832443B2
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- Japan
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- langevin
- cleaning
- type vibrator
- vibrator
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B1/00—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency
- B06B1/02—Methods or apparatus for generating mechanical vibrations of infrasonic, sonic, or ultrasonic frequency making use of electrical energy
- B06B1/0207—Driving circuits
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B3/00—Cleaning by methods involving the use or presence of liquid or steam
- B08B3/04—Cleaning involving contact with liquid
- B08B3/10—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration
- B08B3/12—Cleaning involving contact with liquid with additional treatment of the liquid or of the object being cleaned, e.g. by heat, by electricity or by vibration by sonic or ultrasonic vibrations
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B06—GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS IN GENERAL
- B06B—METHODS OR APPARATUS FOR GENERATING OR TRANSMITTING MECHANICAL VIBRATIONS OF INFRASONIC, SONIC, OR ULTRASONIC FREQUENCY, e.g. FOR PERFORMING MECHANICAL WORK IN GENERAL
- B06B2201/00—Indexing scheme associated with B06B1/0207 for details covered by B06B1/0207 but not provided for in any of its subgroups
- B06B2201/70—Specific application
- B06B2201/71—Cleaning in a tank
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ 本発明は、異なった周波数の超音波を出力して洗浄効
果を改善するマルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置
に関する。
果を改善するマルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置
に関する。
［従来技術］ 従来、一般に使用されている洗浄装置は、第５図に示
すように洗浄槽１の底部に１つの振動子２を設け、この
振動子２に発振器３からこの振動子２の共振周波数の信
号を供給することにより、振動子２から共振周波数の超
音波を出力して洗浄するようにしていた。
すように洗浄槽１の底部に１つの振動子２を設け、この
振動子２に発振器３からこの振動子２の共振周波数の信
号を供給することにより、振動子２から共振周波数の超
音波を出力して洗浄するようにしていた。
このように構成した従来の洗浄装置では、振動子２の
共振周波数の超音波を出力して洗浄槽１に入れた被洗浄
物を洗浄するようにしている。
共振周波数の超音波を出力して洗浄槽１に入れた被洗浄
物を洗浄するようにしている。
しかし、このような単一周波数の超音波では、汚れが
落ちにくいので、これを改善するために、それぞれ異な
った共振周波数の振動子２を洗浄槽に装着し、それぞれ
の振動子から異った周波数の超音波を出力し、単一の周
波数の超音波では落ちないような汚れも落とすようにし
ている。
落ちにくいので、これを改善するために、それぞれ異な
った共振周波数の振動子２を洗浄槽に装着し、それぞれ
の振動子から異った周波数の超音波を出力し、単一の周
波数の超音波では落ちないような汚れも落とすようにし
ている。
［発明が解決しようといる課題］ しかしながら、このように構成した洗浄装置では、複
数の振動子２を洗浄槽１に設けるために、洗浄槽１をあ
る程度大きくしなければならず、また複数の振動子２の
それぞれの共振周波数の超音波しか出力されないので、
これらの周波数の超音波では、汚れを良く落すことはで
きなかった。
数の振動子２を洗浄槽１に設けるために、洗浄槽１をあ
る程度大きくしなければならず、また複数の振動子２の
それぞれの共振周波数の超音波しか出力されないので、
これらの周波数の超音波では、汚れを良く落すことはで
きなかった。
この複数の周波数の超音波を１つの振動子で出力する
ために、本出願人は、第６図及び第７図に示すように圧
電素子５を異なった長さの金属ブロック６、７で挟み、
これらの金属ブロック６、７のねじ孔にボルトの両端の
ねじを係合して固定した非対称ランジュバン型振動子４
を提案した。
ために、本出願人は、第６図及び第７図に示すように圧
電素子５を異なった長さの金属ブロック６、７で挟み、
これらの金属ブロック６、７のねじ孔にボルトの両端の
ねじを係合して固定した非対称ランジュバン型振動子４
を提案した。
この振動子４は、端子5a、5bに３つの周波数の発振器
を接続して各周波数の信号を切換えて入力すると、３つ
の周波数の超音波がある時間間隔毎に振動子４から出力
される。
を接続して各周波数の信号を切換えて入力すると、３つ
の周波数の超音波がある時間間隔毎に振動子４から出力
される。
この従来の非対称ランジュバン型振動子４は、１つの
振動子で３つのそれぞれ異なった周波数の超音波が出力
することができるので、洗浄槽１が小さくてもよいが、
この振動子４から３つの周波数の超音波しか出力されな
いので、これらの周波数の超音波では、前述の従来例と
同様に汚れを良く落すことはできないという問題があっ
た。
振動子で３つのそれぞれ異なった周波数の超音波が出力
することができるので、洗浄槽１が小さくてもよいが、
この振動子４から３つの周波数の超音波しか出力されな
いので、これらの周波数の超音波では、前述の従来例と
同様に汚れを良く落すことはできないという問題があっ
た。
本発明は、１つのランジュバン型振動子に複数の周波
数の出力を微小時間毎に切り換えて供給することによ
り、複数の周波数を含む連続した周波数の超音波を出力
することができ、それによって洗浄効果を改善すること
ができるマルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置を提
供することを目的とするものである。
数の出力を微小時間毎に切り換えて供給することによ
り、複数の周波数を含む連続した周波数の超音波を出力
することができ、それによって洗浄効果を改善すること
ができるマルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置を提
供することを目的とするものである。
［課題を解決するための手段］ 本発明は、上記目的を達成するために、被洗浄物及び
洗浄液を入れた洗浄槽に複数の共振周波数を持つ１つの
ランジュバン型振動子を装着し、該ランジュバン型振動
子に少なくとも２つ以上の異なった周波数の出力を0.01
ms〜20msの微小時間間隔で切り換えて入力することによ
り、前記ランジュバン型振動子から前記異なった周波数
の超音波を前記洗浄槽内に放射することにより、振動子
自体が連続スペクトラムを持つ超音波振動となるととも
に、１つの周波数の切り替え時に前の振動の残留が種と
なってキャビテーションを発生し易くして前記被洗浄物
を洗浄することを特徴とする。
洗浄液を入れた洗浄槽に複数の共振周波数を持つ１つの
ランジュバン型振動子を装着し、該ランジュバン型振動
子に少なくとも２つ以上の異なった周波数の出力を0.01
ms〜20msの微小時間間隔で切り換えて入力することによ
り、前記ランジュバン型振動子から前記異なった周波数
の超音波を前記洗浄槽内に放射することにより、振動子
自体が連続スペクトラムを持つ超音波振動となるととも
に、１つの周波数の切り替え時に前の振動の残留が種と
なってキャビテーションを発生し易くして前記被洗浄物
を洗浄することを特徴とする。
また、被洗浄物及び洗浄液を入れた洗浄槽に装着した
複数の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動子
と、該超音波振動子を二次巻線に接続したトランスと、
該トランスの前記二次巻線の分岐巻線に接続された中心
周波数が異なる複数のバンドパスフィルタと、該複数の
バンドパスフィルタからの出力を微小間隔毎に切換えて
前記トランスの一次巻線に入力する高速アナログスイッ
チと、該高速スイッチを制御するコントロール回路とか
らなるものである。
複数の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動子
と、該超音波振動子を二次巻線に接続したトランスと、
該トランスの前記二次巻線の分岐巻線に接続された中心
周波数が異なる複数のバンドパスフィルタと、該複数の
バンドパスフィルタからの出力を微小間隔毎に切換えて
前記トランスの一次巻線に入力する高速アナログスイッ
チと、該高速スイッチを制御するコントロール回路とか
らなるものである。
さらに、被洗浄物及び洗浄液を入れた洗浄槽に設けた
複数の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動子
と、複数の発振器と、該複数の発振器からの出力を微小
間隔毎に切換える高速アナログスイッチと、該高速アナ
ログスイッチを制御するコントロール回路と、前記高速
アナログスイッチの出力によって前記振動子を駆動する
駆動回路とからなるものである。
複数の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動子
と、複数の発振器と、該複数の発振器からの出力を微小
間隔毎に切換える高速アナログスイッチと、該高速アナ
ログスイッチを制御するコントロール回路と、前記高速
アナログスイッチの出力によって前記振動子を駆動する
駆動回路とからなるものである。
［作用］ 本発明によれば、１つのランジュバン型振動子に異な
った複数の周波数の出力を微小時間毎に切り換えて出力
すると、振動子から出力される超音波は、離散的な共振
の間の周波数を補うような周波数を持つ連続した周波数
の超音波が出力されるため、この超音波によって洗浄効
果が改善される。共振周波数以外の連続した周波数スペ
クトラムが得られる理由は、１つは周波数切り換えによ
る振動子の過渡現象として、振動子自体が連続スペクト
ラムを持つ振動となることであり、他の１つは周波数の
切換え時に前の振動の残留があり、それが種となってキ
ャビテーション（気泡）が発生し易くなり、さらに、前
のキャビテーションを後の超音波で破壊することによ
り、異なった周波数の超音波を発生するので、キャビテ
ーションの破裂時に連続スペクトラムを生ずる。
った複数の周波数の出力を微小時間毎に切り換えて出力
すると、振動子から出力される超音波は、離散的な共振
の間の周波数を補うような周波数を持つ連続した周波数
の超音波が出力されるため、この超音波によって洗浄効
果が改善される。共振周波数以外の連続した周波数スペ
クトラムが得られる理由は、１つは周波数切り換えによ
る振動子の過渡現象として、振動子自体が連続スペクト
ラムを持つ振動となることであり、他の１つは周波数の
切換え時に前の振動の残留があり、それが種となってキ
ャビテーション（気泡）が発生し易くなり、さらに、前
のキャビテーションを後の超音波で破壊することによ
り、異なった周波数の超音波を発生するので、キャビテ
ーションの破裂時に連続スペクトラムを生ずる。
［実施例］ 第１図を参照すると、本発明では、洗浄槽１にランジ
ュバン型振動子２が装着され、このランジュバン型振動
子２は高速スイッチ８を介して発振手段９が接続されて
いる。
ュバン型振動子２が装着され、このランジュバン型振動
子２は高速スイッチ８を介して発振手段９が接続されて
いる。
このように構成された本発明では、発振手段９から周
波数の異なった出力を0.01ms〜20msの微小時間間隔で切
り替える高速スイッチ８を介してランジュバン型振動子
２に入力すると、ランジュバン型振動子２からは発振手
段９からの周波数及びそれと異なる連続した周波数を含
む超音波が出力される。これは振動子自体が連続スペク
トラムを持つ振動となることであり、また、周波数の切
り替え時に前の振動の残留があり、これが種となってキ
ャビテーション（気泡）が発生し易く、さらに、前のキ
ャビテーションを後の超音波によって破壊することによ
り異なった周波数の超音波を発生するので、キャビテー
ションの破裂時に連続スペクトラムを生ずるためであ
る。従って、発振手段９からの信号の周波数では落ちな
い汚れも、このようにキャビテーションの破裂により複
数の周波数が広がることにより、汚れがよく落ち、洗浄
効果が改善される。
波数の異なった出力を0.01ms〜20msの微小時間間隔で切
り替える高速スイッチ８を介してランジュバン型振動子
２に入力すると、ランジュバン型振動子２からは発振手
段９からの周波数及びそれと異なる連続した周波数を含
む超音波が出力される。これは振動子自体が連続スペク
トラムを持つ振動となることであり、また、周波数の切
り替え時に前の振動の残留があり、これが種となってキ
ャビテーション（気泡）が発生し易く、さらに、前のキ
ャビテーションを後の超音波によって破壊することによ
り異なった周波数の超音波を発生するので、キャビテー
ションの破裂時に連続スペクトラムを生ずるためであ
る。従って、発振手段９からの信号の周波数では落ちな
い汚れも、このようにキャビテーションの破裂により複
数の周波数が広がることにより、汚れがよく落ち、洗浄
効果が改善される。
本発明の洗浄方法の実施例として、第２図を参照する
と、ランジュバン型振動子２（21、22,・・・、2n）は
トランス10の二次巻線に接続され、またトランス10の二
次巻線の分岐巻線は帰還回路11の中心周波数がf1、f2、
f3の第１、第２、第３のバンドパスフィルタ12、13、14
に接続され、また第１、第２、第３のバンドパスフィル
タ12、13、14は0.01ms〜20msの微小時間間隔で切り替え
る高速アナログスチイッチ15に接続されている。さら
に、高速アナログスイッチ15は電力増幅器16に接続さ
れ、電力増幅器16の出力はトランス10の一次巻線の一端
に接続され、一次巻線の他端はアースされている。さら
に、高速アナログスイッチ15はコントロール回路17によ
って時間間隔等が適切に制御される。
と、ランジュバン型振動子２（21、22,・・・、2n）は
トランス10の二次巻線に接続され、またトランス10の二
次巻線の分岐巻線は帰還回路11の中心周波数がf1、f2、
f3の第１、第２、第３のバンドパスフィルタ12、13、14
に接続され、また第１、第２、第３のバンドパスフィル
タ12、13、14は0.01ms〜20msの微小時間間隔で切り替え
る高速アナログスチイッチ15に接続されている。さら
に、高速アナログスイッチ15は電力増幅器16に接続さ
れ、電力増幅器16の出力はトランス10の一次巻線の一端
に接続され、一次巻線の他端はアースされている。さら
に、高速アナログスイッチ15はコントロール回路17によ
って時間間隔等が適切に制御される。
このように構成された本実施例では、帰還回路11は正
帰還になっているので、何らかの出力によって回路が発
振し、トランス10の分岐巻線から第１、第２、第３のバ
ンドパスフィルタ12、13、14を通して周波数f1、f2、f3
の信号が出力される。ここで、周波数f1、f2、f3の信号
を高速アナログスイッチ15でコントロール回路17からの
信号によって順次微小間隔毎に切換えて出力すると、こ
れらの微小信号は電力増幅器16で増幅され、トランス10
を介してランジュバン型振動子２に出力される。これに
よって、周波数f1、f2、f3間が補間されるように、周波
数f1、f2、f3間の周波数を持つ超音波が振動子２から出
力されるので、周波数f1、f2、f3のそれぞれの超音波で
は落ちないような汚れも本実施例によって非常によく落
ちるという利点がある。
帰還になっているので、何らかの出力によって回路が発
振し、トランス10の分岐巻線から第１、第２、第３のバ
ンドパスフィルタ12、13、14を通して周波数f1、f2、f3
の信号が出力される。ここで、周波数f1、f2、f3の信号
を高速アナログスイッチ15でコントロール回路17からの
信号によって順次微小間隔毎に切換えて出力すると、こ
れらの微小信号は電力増幅器16で増幅され、トランス10
を介してランジュバン型振動子２に出力される。これに
よって、周波数f1、f2、f3間が補間されるように、周波
数f1、f2、f3間の周波数を持つ超音波が振動子２から出
力されるので、周波数f1、f2、f3のそれぞれの超音波で
は落ちないような汚れも本実施例によって非常によく落
ちるという利点がある。
なお、第３図は周波数f1として18KHz、f2として45MH
z、f3として100KHzの信号をそれぞれ微小間隔（0.1ms）
で切換えて出力した場合の洗浄槽内で測定した周波数の
スペクトラムである。
z、f3として100KHzの信号をそれぞれ微小間隔（0.1ms）
で切換えて出力した場合の洗浄槽内で測定した周波数の
スペクトラムである。
この図から分かるように、振動子２から出力される超
音波は０から200KHzにわたって周波数が連続しているた
め、この超音波によって洗浄することにより汚れ落ちが
改善される。
音波は０から200KHzにわたって周波数が連続しているた
め、この超音波によって洗浄することにより汚れ落ちが
改善される。
第４図を参照すると、本発明の他の実施例では、周波
数f1、f2、f3の発振器18、19、20、・・・がそれぞれ高
速アナログスイッチ15に接続され、また高速アナログス
イッチ15はコントロール回路18によって切換時間等が制
御されている。ここで、f1、f2、f3は振動子の共振周波
数が選択されている。また、高速アナログスイッチ15の
出力は駆動回路21によって増幅され、ランジュバン型振
動子２（21、22、・・・、2n）に供給されている。
数f1、f2、f3の発振器18、19、20、・・・がそれぞれ高
速アナログスイッチ15に接続され、また高速アナログス
イッチ15はコントロール回路18によって切換時間等が制
御されている。ここで、f1、f2、f3は振動子の共振周波
数が選択されている。また、高速アナログスイッチ15の
出力は駆動回路21によって増幅され、ランジュバン型振
動子２（21、22、・・・、2n）に供給されている。
このように構成された本発明の実施例においても、発
振器19、20、21からの周波数f1、f2、f3の信号が高速ア
ナログスイッチ15によって微小時間（0.01ms〜20ms）毎
に切り替えられるので、周波数f1以下から周波数f3以上
にわたって周波数成分を持つ信号が出力され、洗浄効果
が改善される。
振器19、20、21からの周波数f1、f2、f3の信号が高速ア
ナログスイッチ15によって微小時間（0.01ms〜20ms）毎
に切り替えられるので、周波数f1以下から周波数f3以上
にわたって周波数成分を持つ信号が出力され、洗浄効果
が改善される。
なお、上記実施例では、第６図に示したマルチ周波数
の振動子を使用し、また、第７図に示すように圧電素子
５を金属ブロック７とこの金属ブロック７より大きい金
属ブロック６で挟持して固定したマルチ周波数の振動子
を使用することにより、上記の効果を得ることができ
る。
の振動子を使用し、また、第７図に示すように圧電素子
５を金属ブロック７とこの金属ブロック７より大きい金
属ブロック６で挟持して固定したマルチ周波数の振動子
を使用することにより、上記の効果を得ることができ
る。
［発明の効果］ 本発明は、以上のように構成されているので、振動子
の共振周波数以外の広範囲にわたる周波数の超音波がが
出力されるので、それぞれの共振周波数では落ちない汚
れも、この超音波によって非常によく落とすことがで
き、洗浄効果が向上するという利点がある。
の共振周波数以外の広範囲にわたる周波数の超音波がが
出力されるので、それぞれの共振周波数では落ちない汚
れも、この超音波によって非常によく落とすことがで
き、洗浄効果が向上するという利点がある。
第１図は本発明の方法を説明する説明図、第２図は本発
明の実施例の回路図、第３図は本発明の実施例の回路に
より振動子から発生した超音波のスペクトラムを微小時
間（1ms）毎に検出した各周波数の波形図、第４図は本
発明の他の実施例の回路図、第５図は従来の洗浄装置の
構成図、第６図及び第７図は本出願人が提案した振動子
の側面図である。 １……洗浄槽、２……ランジュバン型振動子、８……高
速スイッチ、９……発振手段、10……トランス、11……
帰還回路、12、13、14……バンドパスフィルタ、15……
高速アナログスイッチ、16……電力増幅器、17……コン
トロール回路、18、19、20……発振器、21……駆動回
路。
明の実施例の回路図、第３図は本発明の実施例の回路に
より振動子から発生した超音波のスペクトラムを微小時
間（1ms）毎に検出した各周波数の波形図、第４図は本
発明の他の実施例の回路図、第５図は従来の洗浄装置の
構成図、第６図及び第７図は本出願人が提案した振動子
の側面図である。 １……洗浄槽、２……ランジュバン型振動子、８……高
速スイッチ、９……発振手段、10……トランス、11……
帰還回路、12、13、14……バンドパスフィルタ、15……
高速アナログスイッチ、16……電力増幅器、17……コン
トロール回路、18、19、20……発振器、21……駆動回
路。
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭56−102977（ＪＰ，Ａ) 特開 昭57−209678（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) B08B 3/12
Claims (3)
- 【請求項１】被洗浄物及び洗浄液を入れた洗浄槽に複数
の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動子を装着
し、該ランジュバン型振動子に少なくとも２つ以上の異
なった周波数の出力を0.01ms〜20msの微小時間間隔で切
り換えて入力することにより、前記ランジュバン型振動
子から前記異なった周波数の超音波を前記洗浄槽内に放
射することにより、振動子自体が連続スペクトラムを持
つ振動となるとともに、１つの周波数の切り替え時に前
の振動の残留が種となってキャビテーションを発生し易
くして前記被洗浄物を洗浄することを特徴とするマルチ
周波数超音波洗浄方法。 - 【請求項２】被洗浄物及び洗浄液を入れた洗浄槽に装着
した複数の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動
子と、該ランジュバン型振動子を二次巻線に接続したト
ランスと、該トランスの前記二次巻線の分岐巻線に接続
された中心周波数が異なる複数のバンドパスフィルタ
と、該複数のバンドパスフィルタからの出力を微小間隔
毎に切換えて前記トランスの一次巻線に入力する高速ア
ナログスイッチと、該高速スイッチを制御するコントロ
ール回路とからなるマルチ周波数超音波洗浄装置。 - 【請求項３】被洗浄物及び洗浄液を入れた洗浄槽に設け
た複数の共振周波数を持つ１つのランジュバン型振動子
と、複数の発振器と、該複数の発振器からの出力を微小
間隔毎に切換える高速アナログスイッチと、該高速アナ
ログスイッチを制御するコントロール回路と、前記高速
アナログスイッチの出力によって前記ランジュバン型振
動子を駆動する駆動回路とからなるマルチ周波数超音波
洗浄装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63295514A JP2832443B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
| US07/436,063 US5076854A (en) | 1988-11-22 | 1989-11-13 | Multi-frequency ultrasonic cleaning method and apparatus |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63295514A JP2832443B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02144181A JPH02144181A (ja) | 1990-06-01 |
| JP2832443B2 true JP2832443B2 (ja) | 1998-12-09 |
Family
ID=17821606
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63295514A Expired - Fee Related JP2832443B2 (ja) | 1988-11-22 | 1988-11-22 | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5076854A (ja) |
| JP (1) | JP2832443B2 (ja) |
Families Citing this family (27)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1992022385A1 (en) * | 1991-06-14 | 1992-12-23 | Halcro Nominees Pty. Ltd. | Ultrasonic vibration generation and use |
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