JPH05317820A - 超音波洗浄方法及び装置 - Google Patents
超音波洗浄方法及び装置Info
- Publication number
- JPH05317820A JPH05317820A JP15620292A JP15620292A JPH05317820A JP H05317820 A JPH05317820 A JP H05317820A JP 15620292 A JP15620292 A JP 15620292A JP 15620292 A JP15620292 A JP 15620292A JP H05317820 A JPH05317820 A JP H05317820A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cleaning
- frequency
- low
- frequency oscillator
- bubbles
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】
【目的】 高帯域で効率的な洗浄を行う。
【構成】 洗浄槽１内の洗浄液５に、低周波振動子４に
よるキャビテーションの発生と、高周波振動子８による
直進流と衝撃力の発生を行わしめて洗浄を行う超音波洗
浄方法及び装置。
よるキャビテーションの発生と、高周波振動子８による
直進流と衝撃力の発生を行わしめて洗浄を行う超音波洗
浄方法及び装置。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、超音波を用いて、キャ
ビテーションと直進流や衝撃力を利用して洗浄を行う超
音波洗浄方法及び装置に関するものである。
ビテーションと直進流や衝撃力を利用して洗浄を行う超
音波洗浄方法及び装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来の此種装置は、図３に示す様に洗浄
槽１の平底２に超音波振動子３を固定し、発振器４から
の電気信号を超音波振動子３に供給し、電気−機械振動
に変換され、平底２を通して洗浄液５に音響変換され、
キャビテーションにより高気圧の気泡を発生させる。こ
の気泡が洗浄物６に当り爆発する。この爆発力により洗
浄効果が得られるようになっている。
槽１の平底２に超音波振動子３を固定し、発振器４から
の電気信号を超音波振動子３に供給し、電気−機械振動
に変換され、平底２を通して洗浄液５に音響変換され、
キャビテーションにより高気圧の気泡を発生させる。こ
の気泡が洗浄物６に当り爆発する。この爆発力により洗
浄効果が得られるようになっている。
【０００３】次に、図４に示す従来例は洗浄槽１の底を
Ｖ字形底２´に形成し、両側に超音波振動子３，３´を
夫々の発振器４，４´からの電気信号で振動させるよう
になっている。この両超音波振動子３，３´は周波数を
異にし、この差の周波数を利用して、サブハーモニはを
発生させて広帯域周波数により洗浄する。
Ｖ字形底２´に形成し、両側に超音波振動子３，３´を
夫々の発振器４，４´からの電気信号で振動させるよう
になっている。この両超音波振動子３，３´は周波数を
異にし、この差の周波数を利用して、サブハーモニはを
発生させて広帯域周波数により洗浄する。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】前記従来の技術にあっ
ては、低周波超音波を用いる場合には、キャビテーショ
ンによる洗浄のみであり、波長が長いので、実在波によ
り、強弱部分か発生し、洗浄槽内の音響度が均一でな
く、洗浄ができる箇所とできない箇所のムラが発生す
る。逆に、高周波超音波を用いる場合には、直進流や衝
撃流による洗浄のみであり、振幅が小さく、強固な汚れ
は取れない。そして、減衰が大きく、又集中洗浄範囲外
は洗浄ができない等の欠点があった。
ては、低周波超音波を用いる場合には、キャビテーショ
ンによる洗浄のみであり、波長が長いので、実在波によ
り、強弱部分か発生し、洗浄槽内の音響度が均一でな
く、洗浄ができる箇所とできない箇所のムラが発生す
る。逆に、高周波超音波を用いる場合には、直進流や衝
撃流による洗浄のみであり、振幅が小さく、強固な汚れ
は取れない。そして、減衰が大きく、又集中洗浄範囲外
は洗浄ができない等の欠点があった。
【０００５】そこで、本発明においては、高帯域で効率
的な精密洗浄をすることができる方法及び装置を提供し
ようとするものである。
的な精密洗浄をすることができる方法及び装置を提供し
ようとするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明は前記課題を解決
するために、洗浄槽内の洗浄液に、低周波振動によるキ
ャビテーションの発生と、高周波振動子による直進流と
衝撃力の発生を行わしめて洗浄を行う超音波洗浄方法を
構成するものである。
するために、洗浄槽内の洗浄液に、低周波振動によるキ
ャビテーションの発生と、高周波振動子による直進流と
衝撃力の発生を行わしめて洗浄を行う超音波洗浄方法を
構成するものである。
【０００７】又、低周波振動子の作動と高周波振動子の
作動を交互に切換えて洗浄を行う超音波洗浄方法を構成
するものである。
作動を交互に切換えて洗浄を行う超音波洗浄方法を構成
するものである。
【０００８】又、低周波振動子と高周波振動子のいずれ
か一方の振動子を継続して作動せしめている途中に他方
の振動子を断続的に作動せしめて洗浄を行う超音波洗浄
方法を構成したものである。
か一方の振動子を継続して作動せしめている途中に他方
の振動子を断続的に作動せしめて洗浄を行う超音波洗浄
方法を構成したものである。
【０００９】又、洗浄槽の底に低周波振動子と高周波振
動子とを固定した超音波洗浄装置を構成したものであ
る。
動子とを固定した超音波洗浄装置を構成したものであ
る。
【００１０】
【作用】本発明は前記のように構成したもので、低周波
振動子を作用して洗浄液にキャビテーションを発生させ
て気泡を発生しめて洗浄物に当て破壊により洗浄を行
う。又、高周波振動子を作動して直進流を発生させて衝
撃力により洗浄を行うと同時に気泡を高速で移動せしめ
て洗浄物に当て破壊力を増大せしめて洗浄を行う。
振動子を作用して洗浄液にキャビテーションを発生させ
て気泡を発生しめて洗浄物に当て破壊により洗浄を行
う。又、高周波振動子を作動して直進流を発生させて衝
撃力により洗浄を行うと同時に気泡を高速で移動せしめ
て洗浄物に当て破壊力を増大せしめて洗浄を行う。
【００１１】
【実施例】本発明の構成を図面に示す実施例に基いて詳
細に説明すると、洗浄槽１の平底２に低周波（１０ＫＨ
ｚ〜１００ＫＨｚ）の振動を行う低周波振動子３を固
定、低周波発振器４に接続する。又、平底２の一方に傾
斜した傾斜底７を形成し、この傾斜底７に高周波（５０
０ＫＨｚ〜１０ＭＨｚ）振動を行う高周波振動子８を固
定し、高周波発振器９に接続する。
細に説明すると、洗浄槽１の平底２に低周波（１０ＫＨ
ｚ〜１００ＫＨｚ）の振動を行う低周波振動子３を固
定、低周波発振器４に接続する。又、平底２の一方に傾
斜した傾斜底７を形成し、この傾斜底７に高周波（５０
０ＫＨｚ〜１０ＭＨｚ）振動を行う高周波振動子８を固
定し、高周波発振器９に接続する。
【００１２】第１実施例は前記のように構成したもの
で、低周波振動子３と高周波振動子８を駆動して低周波
により洗浄液５中のキャビテーションで高気圧の気泡を
発生させ、この気泡が洗浄物６に当り爆発する。この爆
発力により洗浄効果が得られる。又、高周波により直進
流や衝撃力を発生させて洗浄する。
で、低周波振動子３と高周波振動子８を駆動して低周波
により洗浄液５中のキャビテーションで高気圧の気泡を
発生させ、この気泡が洗浄物６に当り爆発する。この爆
発力により洗浄効果が得られる。又、高周波により直進
流や衝撃力を発生させて洗浄する。
【００１３】前記装置を用いて各種の洗浄方法を説明す
る。第１の方法としては低周波発振器４と高周波発振器
９を同時に駆動して低周波振動子３と高周波振動子８に
電気信号を供給し、電気−機械振動に変換され、洗浄槽
１の平底２及び傾斜底７を通して洗浄液に音響変換され
る。この音響変換による低周波振動子３では洗浄液５に
キャビテーションにより高気圧の気泡を発生させ、この
気泡が洗浄物６に衝突して爆発し、その爆発力により洗
浄する。これと同時に高周波振動子８では洗浄液５に直
進流や衝撃力を発生させ、前記気泡を高速で移動させ、
洗浄物６に当てる衝撃力を増大して気泡破壊力を増して
洗浄を行う。
る。第１の方法としては低周波発振器４と高周波発振器
９を同時に駆動して低周波振動子３と高周波振動子８に
電気信号を供給し、電気−機械振動に変換され、洗浄槽
１の平底２及び傾斜底７を通して洗浄液に音響変換され
る。この音響変換による低周波振動子３では洗浄液５に
キャビテーションにより高気圧の気泡を発生させ、この
気泡が洗浄物６に衝突して爆発し、その爆発力により洗
浄する。これと同時に高周波振動子８では洗浄液５に直
進流や衝撃力を発生させ、前記気泡を高速で移動させ、
洗浄物６に当てる衝撃力を増大して気泡破壊力を増して
洗浄を行う。
【００１４】第２の方法としては、まず低周波振動子を
作動させて、洗浄液にキャビテーションを発生させ、気
泡により洗浄物６を洗浄する。その後、高周波振動子を
作動させて洗浄液に直進流及び衝撃力を発生させて洗浄
を行う。
作動させて、洗浄液にキャビテーションを発生させ、気
泡により洗浄物６を洗浄する。その後、高周波振動子を
作動させて洗浄液に直進流及び衝撃力を発生させて洗浄
を行う。
【００１５】第３の方法としては、低周波振動子３と高
周波振動子８とを交互に作動させて、気泡の爆発による
洗浄と直進流及び衝撃力による洗浄とを交互に行う。
周波振動子８とを交互に作動させて、気泡の爆発による
洗浄と直進流及び衝撃力による洗浄とを交互に行う。
【００１６】第４の方法としては、まず高周波振動子３
を連続作動させ、その作動中の任意時点において高周波
振動子８を断続的に作動させ、気泡の爆発による洗浄中
に直進流及び衝撃力を与えて、気泡を高速で移動させ、
強力な破壊による洗浄効果の増進を図る。
を連続作動させ、その作動中の任意時点において高周波
振動子８を断続的に作動させ、気泡の爆発による洗浄中
に直進流及び衝撃力を与えて、気泡を高速で移動させ、
強力な破壊による洗浄効果の増進を図る。
【００１７】第５の方法としては、まず高周波振動子８
を連続作動させ、その作動中の任意時点において低周波
振動子３を断続的に作動させ、高周波による直進流と衝
撃力による洗浄中に気泡を発生させ、気泡を高速で移動
させて洗浄を行う。
を連続作動させ、その作動中の任意時点において低周波
振動子３を断続的に作動させ、高周波による直進流と衝
撃力による洗浄中に気泡を発生させ、気泡を高速で移動
させて洗浄を行う。
【００１８】次に装置の第２実施例を図２に基づいて説
明すると、本実施例は洗浄槽１の底をＶ字形底２´に形
成し、その両傾斜底７，７´に夫々低周波振動子３，３
´を固定して低周波発振器４，４´に接続し、中央の平
底２に高周波振動子８を固定して高周波発信器９に接続
したものである。
明すると、本実施例は洗浄槽１の底をＶ字形底２´に形
成し、その両傾斜底７，７´に夫々低周波振動子３，３
´を固定して低周波発振器４，４´に接続し、中央の平
底２に高周波振動子８を固定して高周波発信器９に接続
したものである。
【００１９】第２実施例は前記のように構成したもの
で、両側の低周波振動子３，３´は同一周波数の場合と
異なった周波数の場合とがあり、更に同時に使用する場
合と切換えて使用する場合とがある。そして、方法とし
ては第１実施例に用いた５つの方法を用いることができ
るものである。
で、両側の低周波振動子３，３´は同一周波数の場合と
異なった周波数の場合とがあり、更に同時に使用する場
合と切換えて使用する場合とがある。そして、方法とし
ては第１実施例に用いた５つの方法を用いることができ
るものである。
【００２０】
【発明の効果】本発明は前記のような構成、作用を有す
るから、洗浄液中にキャビテーションによる気泡を発生
させて洗浄物に当て破壊力で汚物を除去することができ
る。又、洗浄液と汚物との化学反応が促進される。更
に、直進流によってキャビテーションによる気泡を高速
で移動させ、洗浄物に当て衝撃力と気泡破壊力の両者で
洗浄することができる。又、洗浄槽内には低周波と高周
波の二つの周波数が存在するので、サブハーモニも発生
し高帯域の周波数であることや気泡が高速で移動するこ
とから、均一音場となり、サブミクロンの汚物までも除
去し得るので、効果的に洗浄を行うことができ、しかも
多用途に活用できるので、精密洗浄に応用することがで
きる。
るから、洗浄液中にキャビテーションによる気泡を発生
させて洗浄物に当て破壊力で汚物を除去することができ
る。又、洗浄液と汚物との化学反応が促進される。更
に、直進流によってキャビテーションによる気泡を高速
で移動させ、洗浄物に当て衝撃力と気泡破壊力の両者で
洗浄することができる。又、洗浄槽内には低周波と高周
波の二つの周波数が存在するので、サブハーモニも発生
し高帯域の周波数であることや気泡が高速で移動するこ
とから、均一音場となり、サブミクロンの汚物までも除
去し得るので、効果的に洗浄を行うことができ、しかも
多用途に活用できるので、精密洗浄に応用することがで
きる。
【００２１】
【図１】本発明に係る超音波洗浄方法及び装置の第１実
施例の断面図。
施例の断面図。
【図２】第２実施例の断面図。
【図３】従来例の断面図。
【図４】他の従来例の断面図。
１ 洗浄槽 ２ 平底 ２´ Ｖ字形底 ３ 低周波振動子 ３´ 低周波振動子 ４ 低周波発信器 ４´ 低周波発信器 ５ 洗浄液 ６ 洗浄物 ７ 傾斜底 ８ 高周波振動子 ９ 高周波発振器
Claims (4)
- 【請求項１】 洗浄槽内の洗浄液に、低周波振動による
キャビテーションの発生と、高周波振動子による直進流
と衝撃力の発生を行わしめて洗浄を行うことを特徴とす
る超音波洗浄方法。 - 【請求項２】 低周波振動子の作動と高周波振動子の作
動を交互に切換えて洗浄を行うことを特徴とする請求項
１記載の超音波洗浄方法。 - 【請求項３】 低周波振動子と高周波振動子のいずれか
一方の振動子を継続して作動せしめている途中に他方の
振動子を断続的に作動せしめて洗浄を行うことを特徴と
する請求項１記載の超音波洗浄方法。 - 【請求項４】 洗浄槽の底に低周波振動子と高周波振動
子とを固定したことを特徴とする超音波洗浄装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15620292A JPH05317820A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 超音波洗浄方法及び装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15620292A JPH05317820A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 超音波洗浄方法及び装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH05317820A true JPH05317820A (ja) | 1993-12-03 |
Family
ID=15622604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15620292A Pending JPH05317820A (ja) | 1992-05-25 | 1992-05-25 | 超音波洗浄方法及び装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH05317820A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5736100A (en) * | 1994-09-20 | 1998-04-07 | Hitachi, Ltd. | Chemical analyzer non-invasive stirrer |
| US5813074A (en) * | 1994-06-17 | 1998-09-29 | Liljeholm; Christer | Apparatus for cleaning the heads of welding robots |
| EP1128185A2 (en) * | 2000-02-25 | 2001-08-29 | Hitachi, Ltd. | Mixing device for automatic analyzer |
| JP2004045113A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
| JP2012066218A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波発生装置 |
| WO2013099082A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | コニカミノルタ株式会社 | Ｈｄｄ用ガラス基板の製造方法 |
| CN103230896A (zh) * | 2013-04-19 | 2013-08-07 | 邓杰帆 | 一种食品清洗排毒设备 |
| JP2018001120A (ja) * | 2016-07-06 | 2018-01-11 | 三浦工業株式会社 | 超音波洗浄器 |
| KR20220019873A (ko) * | 2020-08-10 | 2022-02-18 | (주)한국마루이 | 전해연마 대상재의 초정밀 전해세정장치 |
| CN114160524A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-03-11 | 苏州领湃新能源科技有限公司 | 超声装置、清洗方法及装置、脱泡机 |
-
1992
- 1992-05-25 JP JP15620292A patent/JPH05317820A/ja active Pending
Cited By (14)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5813074A (en) * | 1994-06-17 | 1998-09-29 | Liljeholm; Christer | Apparatus for cleaning the heads of welding robots |
| US5736100A (en) * | 1994-09-20 | 1998-04-07 | Hitachi, Ltd. | Chemical analyzer non-invasive stirrer |
| US7955557B2 (en) | 2000-02-25 | 2011-06-07 | Hitachi, Ltd. | Automatic analyzer |
| EP1128185A2 (en) * | 2000-02-25 | 2001-08-29 | Hitachi, Ltd. | Mixing device for automatic analyzer |
| US6737021B2 (en) | 2000-02-25 | 2004-05-18 | Hitachi, Ltd. | Automatic analyzer |
| EP1128185A3 (en) * | 2000-02-25 | 2004-05-26 | Hitachi, Ltd. | Mixing device for automatic analyzer |
| JP2004045113A (ja) * | 2002-07-10 | 2004-02-12 | Hitachi High-Technologies Corp | 自動分析装置 |
| JP2012066218A (ja) * | 2010-09-27 | 2012-04-05 | Honda Electronic Co Ltd | 超音波発生装置 |
| WO2013099082A1 (ja) * | 2011-12-27 | 2013-07-04 | コニカミノルタ株式会社 | Ｈｄｄ用ガラス基板の製造方法 |
| CN103230896A (zh) * | 2013-04-19 | 2013-08-07 | 邓杰帆 | 一种食品清洗排毒设备 |
| JP2018001120A (ja) * | 2016-07-06 | 2018-01-11 | 三浦工業株式会社 | 超音波洗浄器 |
| WO2018008377A1 (ja) * | 2016-07-06 | 2018-01-11 | 三浦工業株式会社 | 超音波洗浄器 |
| KR20220019873A (ko) * | 2020-08-10 | 2022-02-18 | (주)한국마루이 | 전해연마 대상재의 초정밀 전해세정장치 |
| CN114160524A (zh) * | 2021-12-06 | 2022-03-11 | 苏州领湃新能源科技有限公司 | 超声装置、清洗方法及装置、脱泡机 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2794438B2 (ja) | キャビテーションを利用した洗浄方法 | |
| JP3336323B2 (ja) | 超音波洗浄方法及びその装置 | |
| US3373752A (en) | Method for the ultrasonic cleaning of surfaces | |
| US3421939A (en) | Method and apparatus for cleaning a pipe with sonic energy | |
| JP2832443B2 (ja) | マルチ周波数超音波洗浄方法及び洗浄装置 | |
| US3849195A (en) | Ultrasonic cleaning | |
| US20050122003A1 (en) | Ultrasonic processing method and apparatus with multiple frequency transducers | |
| Fuchs | Ultrasonic cleaning: Fundamental theory and application | |
| JPH05317820A (ja) | 超音波洗浄方法及び装置 | |
| JP4683841B2 (ja) | ワイヤ、プロファイル、パイプなど互いに平行に移動するいくつかのストランド状（ｓｔｒａｎｇｆｏｅｒｍｉｇｅｎ、より糸状、素線、ひもを通したような）の製品を超音波洗浄するための構成 | |
| KR102065067B1 (ko) | 다중 주파수 동시 구동형 멀티진동자 기반 초음파세척장치 | |
| JP2004337800A (ja) | 超音波キャビテーション発生装置 | |
| JPH09122612A (ja) | 洗浄装置 | |
| JP2785022B2 (ja) | キャビテーションを利用した洗浄方法 | |
| JPH08117711A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH10137705A (ja) | 洗浄装置 | |
| JPH10277508A (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP3309749B2 (ja) | 超音波洗浄装置 | |
| JP2003033735A (ja) | 超音波洗浄装置及び超音波洗浄装置用治具 | |
| JPS59142885A (ja) | 超音波処理方法およびその装置 | |
| Gallego-Juárez | High power ultrasonic transducers for use in gases and interphases | |
| JP3352632B2 (ja) | 超音波照射装置 | |
| JP2002248151A (ja) | 超音波美顔装置 | |
| Sato et al. | Oscillation mode conversion and energy confinement of acoustically agitated bubbles | |
| JPH0947733A (ja) | 超音波洗浄装置 |