JPS6085308A - スル−ホ−ル欠陥検査法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （イ）発明の技術分野 本発明は、透光性基板に、内壁面が不透光性導電層から
成るスルーホールが形成された電気部材、例えば、プリ
ント板におけるスルーホールの内壁導電層に生ずること
がある切欠き部、ピンホール等の欠陥を検査するスルー
ホール欠陥検査法に関するＯ （ロ）技術の背景 電子計算機等各種の装置には、両面プリント板や、多層
プリント板が多用されている０これらのプリント板には
、その基板に形成された表裏プリント配線間や、各層プ
リント配線間會亀気的に接続するための多数のスルーホ
ールが形成されている。これらのスルーホールは、電気
的又は化学的メッキ法に依って、内壁面にメッキ層（不
透光性導電ｌｖ）が施されて形成される０このメッキ１
は、常に良好な状態に形成されるとは限らず、切欠き部
、ピンホール尋の欠陥が生ずる場合がある。この↓うな
欠陥は、電気的接続目的を阻害し、プリント板の機能の
低下、信頼性の低下等、好ましくない結果を招く原因と
なる。従って、このような欠陥の有無を検査する必要が
ある。この種の検査法としては、ピンホール等の微小な
欠陥でも容易に検出可能な検査法が要望されている。

Ｇ／う　従来技術と問題点 従来のスルーホール欠陥検査法の一種として、プリント
板の裏面側におけるスルーホール裏面開口内に裏面側か
らの照明光が直接入射するのを遮断するために、裏面開
口に対向して遮断マスクを配置し、一方、スルーホール
表面開口に対向して、該開口から出射される漏光を検知
するための光学系（検出系）を配置して、スルーホール
の欠陥を検査する検査法がある０また、この種の検査法
においては、一般に、プリント板を一定速度で移動させ
ながらスルーホールの検査を行なう方法が採られている
。このため、前記の遮断マスクはスルーホール裏面側（
照明側）の開口部と若干の間隙をもって配置される。従
っで、スルーホール表面開口から出射される漏光拡、ス
ルーホール内部に、スルーホール裏面開口から侵入した
マスク漏光と。

る。このため、欠陥漏光とマスク漏光のＳＮ比が良好で
なく、詩に欠陥部が微小である場合はＳＮ比が非常に小
さく（悪く）なる。従って、このような混合漏光を検知
して欠陥を検出する従来の検査法は、欠陥漏光とマスク
漏光との区別を確実に行なうことが非常に困難であると
いう問題、すなわち検査性能が良好でないという問題が
ある。

に）発明の目的 本発明の目的は、上記従来技術の問題点に鑑み、欠陥部
が微小な場合でも、欠陥漏光を確実に検出することがで
き、欠陥スルーホールと正常スルーホールとを簡易構成
で、しかも確実かつ容易に識別することが可能なスルー
ホール欠陥検査法を提供することにある。

（（ホ）発明の構成 そして、上記目的を達成するために、本発明に依れば、
透光性基板に、内壁面が不透光性導電層から成るスルー
ホールを形成した電気部材における前記スルーポールの
欠陥部からの漏光を光学系を用いて検知して欠陥を検出
する検査法において。

前記電気部材の表面側に、前記スルーホールの表面開口
に対向して単一の結像レンズを配設し、該レンズによる
前記スルーホールの照明側裏面開口部の結像面ＶＣ該裏
面開口からの漏光を遮光するための第１の遮光マスクを
配設すると共に、前記表面開口部の結像面に該表面開口
外側部の透光性基板からの基板透過光を遮光するための
第２の遮光マスクを配設することにより、前記スルーホ
ール内壁面Ｖこおける欠陥部からの欠陥漏光だけを光検
知器に導い−〔スルーポールの欠陥を検出するようにし
たことに特徴とするスルーホール欠陥検査法が提供され
る。

（へ）発明の実施例 以下、本発明の実施例を図面に基づいて詳細に説明する
。

＠１図から第３図は本発明の詳細な説明するための図で
あり、第１図と第２図は第１実施例、そして第３図は卯
２実施例の要部を示す図であるＯ尚２これらの図におい
て、同一部分又は和尚する部分にけ同一符号が付されて
いる０ 第１図において、符号１０は、エポキシ、ボリミイド等
の絶縁材から形成された透光性基板１１に、スルーホー
ル１２が形成されているプリント板を示す。スルーホー
ル１２は、基板１１に設けられた貫通穴内壁面に不透光
性導電層（メッキ層）１３が配設されて形成されている
。導７１．ｆｉ１３は銅等の導体材が電気的又は化学的
メッキ法によってメッキされたメッキ層として形成され
ている０尚、こ＼では、６４１図に向かって左手側をプ
リント板ｌＯ、スルーホール１２等の裏面側、そして右
手側を表面側と仮定することにし、後出する図におりて
もすべてこれと同様に仮定することにする。さて、符号
１４はスルーホール１２の裏面開口１２ａに近接して若
干の間隙をもって配置されり遮断マスクを示し、１５は
このマスク１４のさらに裏面側に配設された照明用光源
（図示なし）からの照明光を示す０遮断マスク１４は照
明光ｌ５がスルーホール１２の裏面開口１２ａに直接入
射するの１部ｍ断する役割を果している。しかし。

照明光１５の１ＩＩｌはマスク１４とプリント板ｌＯと
の間隙を多重反射して裏面開口１２ａからスルーホール
１２内部に漏れ込むマスク漏光Ｐ１となる０また、照明
光１５の他の１部は基板１１内部に入射して散乱しつつ
、スルーホール１２の欠陥部（導ｔａ＋＝ｉａの欠陥部
）１２ｂからスルーホール１２内部に漏れ込む欠陥漏光
Ｐ２　となり、さらに他の１部社基板１１を透過して導
電層１３のランド部１３ａの外側から表面側に出射する
基板透過光Ｐ、となる。−万、スルーホール１２の表面
開口１２ｃに対向して、単一の結集レンズ１６が配置さ
れている◇このレンズ１６により、スルーホール１２内
部の漏光會結像させる。この場合、スルーホール１２の
Ａ、Ｂ、ＣＯＳ所は、それぞれに、　Ｂ’　、　Ｃ’の
場所に結像される０こ＼で、Ａはスルーホール１２の裏
面開口１２ａの端部、Ｂはスルーホール１２の欠陥部１
２ｂに相当する箇所、そして、Ｃはスルーホール１２の
表面開口１２ｃの端部を示している。尚、符号Ａ１　は
Ａ点からの光線ｂＢ１　はＢ点からの光線、Ｃ１は０点
からの光線をそれぞれ示している。従って、結像点Ａ′
ヲ含む結像面は裏面開口１２ａからの漏光、すなわちマ
スク漏光Ｐ１　の円形状結像面となる。この結像面に相
当する位置に、この結像面よりも若干太き目に形成した
円形状のＩｉｌｌの遮光マスク（但し、＠１図には半円
形状で示す）１７が配設されている。この遮光マスク１
７は、ガラス板等から形成したもので、遮光部（図中斜
線で示す）として形成されている。従って、マスク漏光
Ｐ１　はこの第１の遮光マスク１７によって遮光される
０まだ、結像点Ｃ′を含む結像面は表面開口１２ｃ端部
の円形状結像面となる口この結像面に相当する位置に、
＠　２　Ｑ）遮光マスク（但し、第１図には中心から縦
断した片半分状態で示す）１８が配設されている０この
１４２の遮光マスク１８は、ガラス板吟から形成したも
ので、中央部に円形状の透過部（図中。

白ぬき部として示す）１８ｍが設けられ、その外側部は
遮光部（図中斜線で示す）１８ｂとして形成されている
。透過部ｔｅａは、ガラス板の透明部をそのま＼利用し
て形成してもよく、また貫通穴として形成してもよい。

また、透過部１８ａの大きさく直径）は、結像点Ｃ′を
含む円形状結像面の大きさく直径）と同−又は若干小さ
目に設定されている。従って、この第２の遮光マスク１
８によって、基板透過光Ｐ３　が遮光される０このよう
なＩｉｌの遮光マスク１７と第２の遮光マスク１８両者
の作用に依って、ｗＸ２の遮光マスク１８の透過部１８
ａｔ−通過する光線は、スルーホール１２内部からの光
線、すなわち、欠陥部１２ｂからの欠陥漏光Ｐ、（図中
、実線Ｂ、）のみに限定することができる。従って、第
２の遮光マスク１８に対向して配置された光検知器１９
には、欠陥漏光Ｐ２（実線Ｂｌ）のみが入射することに
なる。光検知器１９は、この入射された光信号を光電変
換した電気信号を検査回路（図示なし）に送出し、この
検査回路によって欠陥有無の判別が行なわれる０第２図
は第１図の第１．２の遮光マスク１７゜１８及び光検知
器１９の部分の詳癲図である。図示のように、欠陥漏光
Ｐ、（実線Ｂ、ｌは、第１の遮光マス久１７の外側部を
通り、次いで第２の遮光マスク１Ｂの透過部１８ａ内側
部を通って光検知器１９に入射する０尚、この場合、透
過部１８ａは貫通穴として形成されている。また符号ｔ
は第１と第２の遮光マスク１７．１８間の距離を示す。

このように、本実施例に依れば、簡易構成の検出系を用
いて欠陥漏光Ｐ、のみを光検知器１９に導いて検知する
ことを可能とし、この結果、微小な欠陥部でも確実に検
出することができる。

第３図に示す第２実施例は、その基本的構想は上記第１
実施例と全く同様であるがζ′この場合は、複数個（こ
の場合は３個）のスルーホール？同時に検査することに
詩徴がある。前出の第１実施例（第１図）における結像
レンズ１６は同時に核数個のスルーホール１２を結像子
ることかできる。

従って、本実施例の要部を示す第３図は前出の第１実施
例のｗ４２図に相当する部分を示しており、この部分の
構成が第１笑施例と若干異なっている。

そして、他の部分は第１実施例と同様に構成されている
ので図示は省略する。図示のように、第２図に示し九間
隔距離ｔに相当する正厚さく１）を有するガラス板２０
の裏面に複数個の第１遮光マスク１７がそれぞれ複数個
のスルーホール（図示なし）に対応して形成されている
０そして、ガラス板２０表面は第２の遮光マスク１８と
して形成されている０すなわぢ、前記表面には、第１の
遮光マスク１７にそれぞれ対応して複数個の透過部（図
中。

白ぬきにて示す）１８ａと遮光部（斜線にて示す）１８
ｂとが形成されている。そして、各透過部１８ａに対向
してレンズ２１がそれぞれ配設され、さらにこれらの各
レンズ２１に対向【７て光検知器１９がそれぞれ配設さ
れている。また、各透過部１８ａ相互間Ｋｍ光板（斜線
にて示す）２２がガラス板２０の表面上に直立して固設
されている。

レンズ２１は透過部からの光を集光して光検知器１９に
導く役割を果し、遮光板２２は隣接同士の各透過部１８
ａから出射される光が互に混合するの全遮断する役割を
果している０このように構成することにより、本実施例
は、前出の第１実施例と同様な作用、効果が得られると
共に、さらに検査能力を複数倍（同時検査のスルーホー
ルの個数倍）に向上することができる。

（ト）　発明の効果 以上、詳細に説明したように、本発明のスルーホール欠
陥検査法は、スルーホールの表面開口に対向して単一の
結像レンズを配設し、このレンズに依るスルーホールの
裏面開口と表面開口の結像面に、マスク漏光を遮光する
ための第１の遮光マスクと基板透過光を遮光するための
第２の遮光マスクをそれぞれ配設することにより、簡易
溝端でしかもスルーホール内壁部からの欠陥漏光のみを
光検知器に導くことを可能とし、微小な欠陥部でも容易
かつ罹災に検出することができ、検査性能をきわめて向
上し得るといった効果大なるものがあり、さらには、安
価な検査装置の実現にも寄与し得る効果がある。

【図面の簡単な説明】

醜１図は本発明の第１実施例を示すΔ、第２図は第１図
の第１，２の遮光マスク１７．１８及び光検知器１９の
部分の詳細図、第３図は本発明の第２実施レリの要部を
示す図である。 ｌＯ・・・・・・プリント板ｔ’ａ気部材）、Ｊ、　ｌ
・旧・・透光性基＆、ｌ　２・・・・・・スルーホール
、１２ａ・・・・・スルーホール（１２）の裏面開０．
１２ｂ・・・・・・スルーホール（１２）の欠陥部（導
ｌｌｌ　＠　ｌ　３の欠陥部）、１２ｅ・・・・・・ス
ルーホール（１２）の表面開口、１３・・・・・・不透
光性導電喘（メッキ層）、１４・・　ｊ１断マスク、１
５・・自・・照明光、１６・・・・・・単一の：ｐｉｆ
、ｌ！レンズ、１７・・・・・・第１の遮光マスク、１
８・・・・・・第２の遮光マスク、１８ａ・・・・・・
透過部、１８ｂ・・・・・・遮光部、１９・・・・・・
光検知器、Ｐｌ　・・・・・・マスク漏光、Ｐ２　・・
・・・・欠陥漏光、ｐＨ・内基板透過光、Ａ・・・・・
・スルーホール（１２）の裏面開口１２ａのｉ′藺部、
Ｂ・・・・・・スルーホール（■２）の欠陥部１２ｂに
相当する箇所、Ｃ・・・・・・スルーホール（］２）の
表面開口１２ｃの端部、Ａ′・・・・・・Ａ点の結像点
、Ｂ′・・・・・・Ｂ点の結像点、Ｃ′・・・・・・Ｃ
点の結像点。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、透光性基板に、内壁面が不透光性導電層から成るス
   ルーホールを形成した電気部材における前記スルーホー
   ルの欠陥部からの漏光を光学系を用いて検知して欠陥を
   検出する検査法において。 前記電気部材の表面側に、前記スルーホールの表面開口
   に対向して結像レンズを配設し、該レンズによる前記ス
   ルーホールの照明側裏面開口部の結像面に該裏面開口か
   らの漏光ｔ−遮光するための第１の遮光マスクを配設す
   ると共に、前記表面開口部の結像面に該表面開口外側部
   の透光性基板からの基板透過光全遮光するための第２の
   遮光マスクを配設することＫより、前記スルーホール内
   壁面における欠陥部からの欠陥漏光だけを光検知器に導
   イてスルーホールの欠陥を検出するようにし友ことを特
   徴とするスルーホール欠陥検査法。