JPS6145955A - スル−ホ−ル検査法 - Google Patents
スル−ホ−ル検査法Info
- Publication number
- JPS6145955A JPS6145955A JP16563984A JP16563984A JPS6145955A JP S6145955 A JPS6145955 A JP S6145955A JP 16563984 A JP16563984 A JP 16563984A JP 16563984 A JP16563984 A JP 16563984A JP S6145955 A JPS6145955 A JP S6145955A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical fiber
- hole
- printed wiring
- wiring board
- fiber bundle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は通信装置又は電子計算装置等に用いられるプリ
ント配線板のスルーホール欠陥を検出するスルーホール
検査法に関するものである。
ント配線板のスルーホール欠陥を検出するスルーホール
検査法に関するものである。
両面プリント板や、多層プリント板にはそれら基板に形
成されている表裏プリント配線間や、各層プリント配線
間の電気的接続のために、スルーホールが電気的或いは
化学的メッキ法によりメッキされて形成されている。
成されている表裏プリント配線間や、各層プリント配線
間の電気的接続のために、スルーホールが電気的或いは
化学的メッキ法によりメッキされて形成されている。
このスルーホールのメッキ層は常に良好な状態に形成さ
れるとは限らず、切れ目、ピンホール等の欠陥が生ずる
ことがある この欠陥はその接続目的を阻害し、プリント配線板の側
転性を低下せしめるので、このような欠陥を予め検査す
る必要がある。
れるとは限らず、切れ目、ピンホール等の欠陥が生ずる
ことがある この欠陥はその接続目的を阻害し、プリント配線板の側
転性を低下せしめるので、このような欠陥を予め検査す
る必要がある。
第４図は従来のスルーホール検査法を説明するための図
である。同図において、１はプリント配線板、２はその
スルーホール、３は照明光、４は遮光板、５は集光レン
ズ、６は光検知器をそれぞれ示している。この方法は斜
照明光３を遮光板４で遮光されているスルーホール２を
含む領域へ照明する。もしスルーホール２に欠陥があれ
ばプリント配線板１の透光性基板ｌａ内に注入され伝播
して来た光がその欠陥７からスルーホール２内へ漏れる
ので、その光をレンズ５を経て光検知器６により検知す
ことにより当該スルーホール２のメッキ層に欠陥が生じ
ていることを知ることができる。
である。同図において、１はプリント配線板、２はその
スルーホール、３は照明光、４は遮光板、５は集光レン
ズ、６は光検知器をそれぞれ示している。この方法は斜
照明光３を遮光板４で遮光されているスルーホール２を
含む領域へ照明する。もしスルーホール２に欠陥があれ
ばプリント配線板１の透光性基板ｌａ内に注入され伝播
して来た光がその欠陥７からスルーホール２内へ漏れる
ので、その光をレンズ５を経て光検知器６により検知す
ことにより当該スルーホール２のメッキ層に欠陥が生じ
ていることを知ることができる。
上記検査法にあっては、大きなアスペクト比のスルーホ
ールの欠陥は検査できるが、小さなアスペクト比のスル
ーホールの検査では欠陥からの漏光が見える角度が大き
くなる。この漏光強度は角度が大きくなる程大きくなる
。従来のレンズによる集光系では集光角が限られるため
第５図の如く広い領域の検査ができないという問題があ
った。
ールの欠陥は検査できるが、小さなアスペクト比のスル
ーホールの検査では欠陥からの漏光が見える角度が大き
くなる。この漏光強度は角度が大きくなる程大きくなる
。従来のレンズによる集光系では集光角が限られるため
第５図の如く広い領域の検査ができないという問題があ
った。
本発明は上記問題点を解消したスルーホール検査法を提
供するもので、その手段は、透光性のプリント配線板に
設けられたアスペクト比の小なるスルーホールに生ずる
欠陥を、該欠陥からの漏光を利用して検出するスルーホ
ール検査法であって、両端がそれぞれ一直線上に並べら
れた２組の光ファイバ束を設け、該光ファイバ束のそれ
ぞれの一端にラインセンサを密着させると共に他端を互
いに平行にしてプリント配線板に近接させ、該光ファイ
バ束とプリント配線板とを相対的に移動することにより
一方の光ファイバ束でスルーホールの位置信号を検知し
、他方の光ファイバ束でスルーホールの欠陥からの漏光
信号を検知するスルーホール検査法によってなされる。
供するもので、その手段は、透光性のプリント配線板に
設けられたアスペクト比の小なるスルーホールに生ずる
欠陥を、該欠陥からの漏光を利用して検出するスルーホ
ール検査法であって、両端がそれぞれ一直線上に並べら
れた２組の光ファイバ束を設け、該光ファイバ束のそれ
ぞれの一端にラインセンサを密着させると共に他端を互
いに平行にしてプリント配線板に近接させ、該光ファイ
バ束とプリント配線板とを相対的に移動することにより
一方の光ファイバ束でスルーホールの位置信号を検知し
、他方の光ファイバ束でスルーホールの欠陥からの漏光
信号を検知するスルーホール検査法によってなされる。
上記スルーホール検査法は、一方の端部にラインセンサ
を設けた２組の光ファイバ束の他端をプリント配線板に
近接させ、該光ファイバ束の他端とプリント配線板とを
相対的に移動させることにより、一方の光ファイバ束で
スルーホールの位置を検出し、他方の光ファイバ束でス
ルーホールの欠陥を検出して、欠陥スルーホールの存在
場所を知ることができる。
を設けた２組の光ファイバ束の他端をプリント配線板に
近接させ、該光ファイバ束の他端とプリント配線板とを
相対的に移動させることにより、一方の光ファイバ束で
スルーホールの位置を検出し、他方の光ファイバ束でス
ルーホールの欠陥を検出して、欠陥スルーホールの存在
場所を知ることができる。
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する
。
。
第１図に本発明の実施例を示す。同図において、１０．
１１はそれぞれ多数の光ファイバをその端面中心が一直
線上にあるように並べた光ファイバ束であり、それぞれ
の一端にはラインセンサ１２゜１３が接続され、他端は
光ファイバ束が互いに平行になるように配置されている
。そして一方の光ファイバ束１０のラインセンサ１２は
増幅器１６を経て判別回路１７に接続され、他方の光フ
ァイバ束１１のラインセンサ１３は増幅器１４及びディ
レィ回路１５を経て判別回路１７に接続されている。ま
た一方の光ファイバ束１０の端面に対向−する位置には
遮光板１８が配置され、更にその下方より照明光２１が
照射される。
１１はそれぞれ多数の光ファイバをその端面中心が一直
線上にあるように並べた光ファイバ束であり、それぞれ
の一端にはラインセンサ１２゜１３が接続され、他端は
光ファイバ束が互いに平行になるように配置されている
。そして一方の光ファイバ束１０のラインセンサ１２は
増幅器１６を経て判別回路１７に接続され、他方の光フ
ァイバ束１１のラインセンサ１３は増幅器１４及びディ
レィ回路１５を経て判別回路１７に接続されている。ま
た一方の光ファイバ束１０の端面に対向−する位置には
遮光板１８が配置され、更にその下方より照明光２１が
照射される。
本実施例のスルーホール検査法は検査しようとするプリ
ント配線板１９を、前記光ファイバ束１０．１１と遮光
板１８との間に挿入し、光ファイバ束１０．１１の端面
に近接させたまま光ファイバ束の直角方向（矢印Ｐ方向
）に移動させる。
ント配線板１９を、前記光ファイバ束１０．１１と遮光
板１８との間に挿入し、光ファイバ束１０．１１の端面
に近接させたまま光ファイバ束の直角方向（矢印Ｐ方向
）に移動させる。
（この移動は光ファイバ束及び遮光板の方を移動しても
良い。）しかるときは光ファイバ束１１に、よりスルー
ホール２０の位置信号が検知され増幅器１４を経てディ
レィ回路１５に送られる。更にプリント配線板１９が移
動すると光ファイバ束１０が前記のスルーホールの直上
に位置し、欠陥のあるスルーホールからの漏光を検知し
増幅器１６を経て判別回路１７に信号を送る。判別回路
１７はこの信号とディレィ回路１５から送られる位置信
号を対比し欠陥の有無を判定することができる。この場
合、本実施例は第２図に示すようにスルーホール２０か
らの漏光がそれぞれの光ファイバ１０ａに入射するため
出射角の大きな漏光でも広い範囲にわたり検出すること
ができる。
良い。）しかるときは光ファイバ束１１に、よりスルー
ホール２０の位置信号が検知され増幅器１４を経てディ
レィ回路１５に送られる。更にプリント配線板１９が移
動すると光ファイバ束１０が前記のスルーホールの直上
に位置し、欠陥のあるスルーホールからの漏光を検知し
増幅器１６を経て判別回路１７に信号を送る。判別回路
１７はこの信号とディレィ回路１５から送られる位置信
号を対比し欠陥の有無を判定することができる。この場
合、本実施例は第２図に示すようにスルーホール２０か
らの漏光がそれぞれの光ファイバ１０ａに入射するため
出射角の大きな漏光でも広い範囲にわたり検出すること
ができる。
なお第３図に示す如（光ファイバ束１０．１１を構成す
る光ファイバ１０ａの先端端面形状を凹形２２とするこ
とにより集光効率を増すことができる。
る光ファイバ１０ａの先端端面形状を凹形２２とするこ
とにより集光効率を増すことができる。
以上説明したように本発明によれば、プリント配線板の
表面にその端面を近接させた光ファイバ束を用いること
によりスルーホールの欠陥から出射される射出角の大き
な漏光を広い範囲にわたり検出することができ、アスペ
クト比の小さいスルーホールの欠陥をも確実に検出する
ことができるといった効果は著しい。
表面にその端面を近接させた光ファイバ束を用いること
によりスルーホールの欠陥から出射される射出角の大き
な漏光を広い範囲にわたり検出することができ、アスペ
クト比の小さいスルーホールの欠陥をも確実に検出する
ことができるといった効果は著しい。
第１図及び第２図は本発明のスルーホール検査法の一実
施例を説明するための図、第３図は本発明の他の実施例
を説明するための図、第４図及び第５図は従来のスルー
ホール検査法を説明するための図である。 図中、１０．１１は光ファイバ束、１２．１３はライン
センサ、１４．１６は増幅器、１５はディレィ回路、１
７は判定回路、１８は遮光板、１９はプリント配線板、
２０はスルーホール、２１は照明光をそれぞれ示す。 第１ 図 第２図 嬉３図 第４図 嶋５図
施例を説明するための図、第３図は本発明の他の実施例
を説明するための図、第４図及び第５図は従来のスルー
ホール検査法を説明するための図である。 図中、１０．１１は光ファイバ束、１２．１３はライン
センサ、１４．１６は増幅器、１５はディレィ回路、１
７は判定回路、１８は遮光板、１９はプリント配線板、
２０はスルーホール、２１は照明光をそれぞれ示す。 第１ 図 第２図 嬉３図 第４図 嶋５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、透光性のプリント配線板に設けられたアスペクト比
の小なるスルーホールに生ずる欠陥を、該欠陥からの漏
光を利用して検出するスルーホール検査法であって、両
端がそれぞれ一直線上に並べられた２組の光ファイバ束
を設け、該光ファイバ束のそれぞれの一端にラインセン
サを密着させると共に他端を互いに平行にしてプリント
配線板に近接させ、該光ファイバ束とプリント配線板と
を相対的に移動することにより一方の光ファイバ束でス
ルーホールの位置信号を検知し、他方の光ファイバ束で
スルーホールの欠陥からの漏光信号を検知することを特
徴とするスルーホール検査法。 ２、前記光ファイバ束を構成する光ファイバのプリント
板に接する方の端面の形状を凹形としたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項記載のスルーホール検査法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16563984A JPS6145955A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | スル−ホ−ル検査法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16563984A JPS6145955A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | スル−ホ−ル検査法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6145955A true JPS6145955A (ja) | 1986-03-06 |
Family
ID=15816180
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16563984A Pending JPS6145955A (ja) | 1984-08-09 | 1984-08-09 | スル−ホ−ル検査法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6145955A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63148859U (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-30 |
-
1984
- 1984-08-09 JP JP16563984A patent/JPS6145955A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS63148859U (ja) * | 1987-03-19 | 1988-09-30 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CA1226348A (en) | Inspection system utilizing dark-field illumination | |
| US5610710A (en) | Dual mode illumination system for optical inspection | |
| US4538909A (en) | Circuit board inspection apparatus and method | |
| JPS6017044B2 (ja) | 印刷配線板のパタ−ン検査装置 | |
| US8514385B2 (en) | Device and method for inspecting an object | |
| JPH0618445A (ja) | ピンホール検査装置 | |
| JPS6145955A (ja) | スル−ホ−ル検査法 | |
| JPS62119444A (ja) | パタ−ン検査装置 | |
| JPH0236339A (ja) | 光による欠点検査装置 | |
| JPH0469511A (ja) | 半田付部及び実装部品の外観検査装置 | |
| JP2503201B2 (ja) | スル−ホ−ル検査装置 | |
| JPS6085308A (ja) | スル−ホ−ル欠陥検査法 | |
| JPS63271144A (ja) | プリント板スル−ホ−ルの検査装置 | |
| JPH049252B2 (ja) | ||
| JPH06229940A (ja) | スルーホール検査方法 | |
| JPH0340333B2 (ja) | ||
| JPS6221045A (ja) | スル−ホ−ル検査装置 | |
| JPS59171840A (ja) | 欠陥検査装置 | |
| JPS6010157A (ja) | スル−ホ−ル検査装置 | |
| JPH0447255A (ja) | 電子部品の微細接続検査装置 | |
| JPH08136465A (ja) | 板状部材の表面検査装置 | |
| JPS6375544A (ja) | スル−ホ−ル検査装置 | |
| JPS59126233A (ja) | プリント板のスルーホール検査方法及びその装置 | |
| JPS62299747A (ja) | スル−ホ−ル検査装置 | |
| JPS61147131A (ja) | スル−ホ−ル検査装置 |