JPH0447782B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0447782B2 JPH0447782B2 JP57131798A JP13179882A JPH0447782B2 JP H0447782 B2 JPH0447782 B2 JP H0447782B2 JP 57131798 A JP57131798 A JP 57131798A JP 13179882 A JP13179882 A JP 13179882A JP H0447782 B2 JPH0447782 B2 JP H0447782B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- hole
- photodetector
- inspection device
- defect inspection
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Health & Medical Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Electric Connection Of Electric Components To Printed Circuits (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
(1) 発明の技術分野
本発明は被検査試料の不透光性検査部に生じる
ことのある欠陥を検知する手段を改良した欠陥検
査装置に関する。
ことのある欠陥を検知する手段を改良した欠陥検
査装置に関する。
(2) 技術の背景
電子計算機等各種装置に用いられるプリント基
板には多数のスルーホールが形成され、そのスル
ーホールには導電手段を与えるメツキが施工され
ている。これらのメツキは必ずしも良好な状態で
形成されているとは限らず、その検査をする必要
性がある。その従来の検査手段には夫々、固有の
欠点を有し、それら欠点を解決しうる技術的手段
の開発が要望されている。
板には多数のスルーホールが形成され、そのスル
ーホールには導電手段を与えるメツキが施工され
ている。これらのメツキは必ずしも良好な状態で
形成されているとは限らず、その検査をする必要
性がある。その従来の検査手段には夫々、固有の
欠点を有し、それら欠点を解決しうる技術的手段
の開発が要望されている。
(3) 従来技術の問題点
従来の検査手段は次のような２つの手段があ
る。その１つは人手による目視検査であるがこれ
はスルーホールの径が数百μｍ程度に極細になつ
て来たり、基板の厚さがスルーホール径の20〜30
倍の厚さになつて来ると、その検査が困難になつ
てしまうという検査上好ましくない欠点を有す
る。又、他の１つはスルーホールのメツキ部に通
電してその導通を検査する如きものである。この
手段はメツキ部の一部に不良部分があつてもその
欠陥を検出し得ず、又時間もかゝり、装置がコス
ト高になるという欠点を有する。
る。その１つは人手による目視検査であるがこれ
はスルーホールの径が数百μｍ程度に極細になつ
て来たり、基板の厚さがスルーホール径の20〜30
倍の厚さになつて来ると、その検査が困難になつ
てしまうという検査上好ましくない欠点を有す
る。又、他の１つはスルーホールのメツキ部に通
電してその導通を検査する如きものである。この
手段はメツキ部の一部に不良部分があつてもその
欠陥を検出し得ず、又時間もかゝり、装置がコス
ト高になるという欠点を有する。
(4) 発明の目的
本発明は、上述したように従来手段の欠点に鑑
みて創作されたもので、プリント基板のスルーホ
ールの欠陥を自動的に検査してプリント基板の信
頼性の向上に役立つ欠陥検査装置を提供すること
をその目的とする。
みて創作されたもので、プリント基板のスルーホ
ールの欠陥を自動的に検査してプリント基板の信
頼性の向上に役立つ欠陥検査装置を提供すること
をその目的とする。
(5) 発明の構成
そして、その目的は、透光性絶縁板を貫通した
孔全周面にメツキを施されたスルーホールを有す
るプリント基板のスルーホール欠陥検査装置であ
つて、 上記プリント基板を載置する面を不透光性にし
た移動ステージと、 上記プリント基板が載置される上記移動ステー
ジ上方に配置され、上記スルーホールの一側に光
を照射する光源と、 上記移動ステージ上方に配置され、上記スルー
ホールの透光性欠陥部を透過して該スルーホール
を経て伝播する光を検知する光検知器と、 上記光源からの照射光であつて、上記透光性絶
縁板を経由しない光の上記光検知器への直接伝播
を遮光する遮光手段と、 上記光検知器の出力に接続された欠陥表示手段
とを有することで達成される。
孔全周面にメツキを施されたスルーホールを有す
るプリント基板のスルーホール欠陥検査装置であ
つて、 上記プリント基板を載置する面を不透光性にし
た移動ステージと、 上記プリント基板が載置される上記移動ステー
ジ上方に配置され、上記スルーホールの一側に光
を照射する光源と、 上記移動ステージ上方に配置され、上記スルー
ホールの透光性欠陥部を透過して該スルーホール
を経て伝播する光を検知する光検知器と、 上記光源からの照射光であつて、上記透光性絶
縁板を経由しない光の上記光検知器への直接伝播
を遮光する遮光手段と、 上記光検知器の出力に接続された欠陥表示手段
とを有することで達成される。
(6) 発明の実施例
以下、添付図面を参照しながら、本発明の実施
例を説明する。
例を説明する。
第１図は本発明の一実施例を示す図である。１
は欠陥検査装置で、これは被検査試料２のスルー
ホール９に対し一側の導光部３に光注入器、例え
ば光源４が設置され、その他側の導光部５に光検
知器６が設置され、そして光検知器６の出力へ欠
陥表示手段７が接続されて構成されている。いづ
れの導光部も試料２への、又はそこから光検知器
６への導光性をもつて構成されるが、後述の移動
ステージ１５と組合わされて導光性を有してもよ
い。
は欠陥検査装置で、これは被検査試料２のスルー
ホール９に対し一側の導光部３に光注入器、例え
ば光源４が設置され、その他側の導光部５に光検
知器６が設置され、そして光検知器６の出力へ欠
陥表示手段７が接続されて構成されている。いづ
れの導光部も試料２への、又はそこから光検知器
６への導光性をもつて構成されるが、後述の移動
ステージ１５と組合わされて導光性を有してもよ
い。
被検査試料２は例えばプリント板で、以下これ
について説明する。プリント板２は透光性欠陥部
８が生ずるおそれのある、銅メツキされたスルー
ホール９を有し、スルーホール９の一側面まで導
光部、例えば絶縁板３が形成されており、スルー
ホールの他側面まではスルーホール９の中空部即
ち導光部５が形成されている。
について説明する。プリント板２は透光性欠陥部
８が生ずるおそれのある、銅メツキされたスルー
ホール９を有し、スルーホール９の一側面まで導
光部、例えば絶縁板３が形成されており、スルー
ホールの他側面まではスルーホール９の中空部即
ち導光部５が形成されている。
そして、光検知器６はピストン１０により上下
動可能に構成され、又光検知器６がスルーホール
９上の所定の位置に位置付けられたとき光検知器
６が外来光を検知しないように光シール、例えば
ゴムパツキン１１がスルーホール９と光検知器６
との間に遮光可能に配置される。
動可能に構成され、又光検知器６がスルーホール
９上の所定の位置に位置付けられたとき光検知器
６が外来光を検知しないように光シール、例えば
ゴムパツキン１１がスルーホール９と光検知器６
との間に遮光可能に配置される。
欠陥表示手段７は光検知器６の出力へ接続され
た２値化回路１２及び欠陥表示装置１３とから成
る。
た２値化回路１２及び欠陥表示装置１３とから成
る。
又、必要に応じて、プリント板２はこれを載置
する黒色ゴムシート１４を上部に有するＸ−Ｙ移
動ステージ１５上に載置される。
する黒色ゴムシート１４を上部に有するＸ−Ｙ移
動ステージ１５上に載置される。
次に、上述の構成に成る本発明装置の動作を説
明する。
明する。
プリント板２がＸ−Ｙ移動ステージ１５上に載
置され、ステージ１５の移動により、検査しよう
とするプリント板２のスルーホール９が光検知器
６の真下に位置決めされる。そして、そのスルー
ホール９に対して、ピストン１０の働きを介して
光検知器６が所定の位置まで降下される。これに
より、光検知器６はスルーホール９と外部とが完
全に遮光される。
置され、ステージ１５の移動により、検査しよう
とするプリント板２のスルーホール９が光検知器
６の真下に位置決めされる。そして、そのスルー
ホール９に対して、ピストン１０の働きを介して
光検知器６が所定の位置まで降下される。これに
より、光検知器６はスルーホール９と外部とが完
全に遮光される。
この状態にあるプリント板２の絶縁板３内へ光
注入器４から光が注入される。注入された光は絶
縁板３内を図示の如く伝播してスルーホール９の
メツキ９ａに至る。
注入器４から光が注入される。注入された光は絶
縁板３内を図示の如く伝播してスルーホール９の
メツキ９ａに至る。
もしメツキ部９ａに８で示す如きメツキ不良箇
所があれば、メツキ部９ａへ伝播して来た光は８
を通過してスルーホールの中空部５を経て光検知
器６にて捕捉され、その光量が２値化回路１２の
スレツシユホールドより多いならばその旨が出力
されてその表示が欠陥表示装置１３に表示され
る。即ち、このスルーホール９にはメツキ不良箇
所があるという表示をなすことが出来る。この表
示はメツキ不良箇所が完全に切れている場合ばか
りでなく、部分的な不良例えば一部分の欠落につ
いてもなしうる。その表示は短時間のうちになし
うる。これらの効果を奏する装置は安価に構成し
うる。
所があれば、メツキ部９ａへ伝播して来た光は８
を通過してスルーホールの中空部５を経て光検知
器６にて捕捉され、その光量が２値化回路１２の
スレツシユホールドより多いならばその旨が出力
されてその表示が欠陥表示装置１３に表示され
る。即ち、このスルーホール９にはメツキ不良箇
所があるという表示をなすことが出来る。この表
示はメツキ不良箇所が完全に切れている場合ばか
りでなく、部分的な不良例えば一部分の欠落につ
いてもなしうる。その表示は短時間のうちになし
うる。これらの効果を奏する装置は安価に構成し
うる。
第２図は第１図実施例の光注入器４と光検知器
６とを入れ替えて構成されている点に主たる構成
上の相違があることを除いて、両者は同じ構成な
のでその同一構成要素には同一番号を付してその
説明を省略する。
６とを入れ替えて構成されている点に主たる構成
上の相違があることを除いて、両者は同じ構成な
のでその同一構成要素には同一番号を付してその
説明を省略する。
又、その作用効果もその構成上から来る差違を
除いて同等である。
除いて同等である。
上記実施例における光という用語の範囲は通常
の光だけでなく、本発明の意図するところを実現
しうるもの、例えば赤外線であれば、これをも含
むものと解釈されたい。
の光だけでなく、本発明の意図するところを実現
しうるもの、例えば赤外線であれば、これをも含
むものと解釈されたい。
(7) 発明の効果
以上述べたように、本発明によれば、部分的な
欠陥をも検査しうるから、被検査部の品質の向上
のほか、機械的強度の検査にも役立ち得、結果と
して信頼性の向上にもなる。又その検査に要する
時間も短時間となり、装置コストも安価となる等
の効果が得られる。
欠陥をも検査しうるから、被検査部の品質の向上
のほか、機械的強度の検査にも役立ち得、結果と
して信頼性の向上にもなる。又その検査に要する
時間も短時間となり、装置コストも安価となる等
の効果が得られる。
第１図は本発明の１つの実施例を示す図、第２
図は本発明の他の実施例を示す図である。 図中、１は欠陥検査装置、２は被検査試料、８
は透光性欠陥部、９は不透光性被検査部、３，５
は導光部、４は光注入器、６は光検知器、７は欠
陥表示手段、１５は移動テーブルである。
図は本発明の他の実施例を示す図である。 図中、１は欠陥検査装置、２は被検査試料、８
は透光性欠陥部、９は不透光性被検査部、３，５
は導光部、４は光注入器、６は光検知器、７は欠
陥表示手段、１５は移動テーブルである。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 透光性絶縁板を貫通した壁全周面にメツキを
施されたスルーホールを有するプリント基板のス
ルーホール欠陥検査装置であつて、 上記プリント基板を載置する面を不透光性にし
た移動ステージと、 上記プリント基板が載置される上記移動ステー
ジ上方に配置され、上記スルーホールの一側に光
を照射する光源と、 上記移動ステージ上方に配置され、上記スルー
ホールの透光性欠陥部を透過して該スルーホール
を経て伝播する光を検知する光検知器と、 上記光源からの照射光であつて、上記透光性絶
縁板を経由しない光の上記光検知器への直接伝播
を遮光する遮光手段と、 上記光検知器の出力に接続された欠陥表示手段
とを有する欠陥検査装置。 ２ 上記光検知器が上記上下移動手段に設置さ
れ、上記遮光手段が不透過性ゴムパツキンである
ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載の欠
陥検査装置。 ３ 上記光源が上記上下移動手段に設置され、上
記遮光手段は不透光性ゴムパツキンであることを
特徴とする特許請求の範囲第１項記載の欠陥検査
装置。 ４ 上記ステージを不透光性にする手段が不透光
性ゴムシートであることを特徴とする特許請求の
範囲第１項記載の欠陥検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13179882A JPS5920840A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 欠陥検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP13179882A JPS5920840A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 欠陥検査装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5920840A JPS5920840A (ja) | 1984-02-02 |
| JPH0447782B2 true JPH0447782B2 (ja) | 1992-08-04 |
Family
ID=15066359
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP13179882A Granted JPS5920840A (ja) | 1982-07-28 | 1982-07-28 | 欠陥検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5920840A (ja) |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5999364A (ja) * | 1982-11-30 | 1984-06-08 | Fujitsu Ltd | スル−ホ−ル検査装置 |
| JPS59150329A (ja) * | 1983-01-28 | 1984-08-28 | Fujitsu Ltd | スル−ホ−ル検査装置 |
| JPS62297750A (ja) * | 1986-06-17 | 1987-12-24 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | ハンダ付け検査装置 |
| JPS62299747A (ja) * | 1986-06-19 | 1987-12-26 | Fujitsu Ltd | スル−ホ−ル検査装置 |
| JPH0455991U (ja) * | 1990-09-19 | 1992-05-13 | ||
| FR2716260B1 (fr) * | 1994-02-16 | 1996-04-05 | Sochata Energy 1 Soc | Procédé et dispositif de contrôle de nids d'abeilles à l'aide de fibres optiques. |
| FR2785388B1 (fr) * | 1998-10-29 | 2000-12-01 | Snecma | Procede et instrument de controle de la liaison de l'ame alveolee d'un nid d'abeilles sur une peau |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS53143384A (en) * | 1977-05-20 | 1978-12-13 | Yaskawa Denki Seisakusho Kk | Pinhole detector |
| JPS6036120B2 (ja) * | 1977-09-14 | 1985-08-19 | 松下電器産業株式会社 | チツプ状部品位置ずれ検査装置 |
| JPS54141661A (en) * | 1978-04-27 | 1979-11-05 | Fujitsu Ltd | Assignment system of inspection area |
-
1982
- 1982-07-28 JP JP13179882A patent/JPS5920840A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5920840A (ja) | 1984-02-02 |
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