JPS6081850A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents

半導体装置の製造方法

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JPS6081850A
JPS6081850A JP58190216A JP19021683A JPS6081850A JP S6081850 A JPS6081850 A JP S6081850A JP 58190216 A JP58190216 A JP 58190216A JP 19021683 A JP19021683 A JP 19021683A JP S6081850 A JPS6081850 A JP S6081850A
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JP
Japan
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semiconductor element
lead
substrate
wirings
leads
Prior art date
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Application number
JP58190216A
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English (en)
Inventor
Takayuki Koseki
小関 隆之
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Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
Original Assignee
Renesas Semiconductor Manufacturing Co Ltd
Kansai Nippon Electric Co Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は半導体装置の製造方法に関し、特に半導体素子
とリードと全接続する金属細線の抵抗全経済的に減少さ
せることのできる組立方法に関するものである。
〔背景技術〕
一般にこの種半導体装置は例えば特公昭5’7−969
8号公報に開示されているように、放熱板に半導体素子
全固定すると共に、半導体素子の電極と一端が放熱板の
周辺に位置するように配設されたIJ−ドと全金属細線
にて接続し、かつ半導体素子7含む主要部分全樹脂材に
てモールド被覆して構成されている。
ところで、この半導体装置において、半導体素子の放熱
板への固定は半導体素子全コレットにて真空吸着した上
で、半導体素子全放熱板に半田部材を介して押しつける
ことによって行われる関係で、リードの一端はコレット
及び半導体素子7避けて配設されている。このために、
半導体素子の電極とリードとの間隔は広くなり、それぞ
れに接続される金属細巌のスパンも必然的に長くなるも
のである。
通常、金属細線には30〜40φμm程度の金線が用い
られており、その抵抗は30mΩ程度と低いものである
。従って、例えばトランジスタにおいて、コレクタ・エ
ミッタ間の飽和電圧V。E(SAT)が数ボルト以」二
と高い場合には金線のスパンが少少長くなっても金線抵
抗による電圧降下はコレクタ電流が2Aの時で60mV
程度であり1特に使用上の問題は生じないものである。
しかし乍ら、vOK(SAT)が例えばVTRのモー多
駆動に用いられるもののように0.5 V以下と低)い
、えあつ工、や、ユヮア。1□7,6o。7程度でも全
体に占める割合が大きくなり、使用上程々の不都合が生
ずる。
このようが問題は金属細線の線径全天くすれば簡単に解
決できるのであるが、それが金線の場合には線径全天く
することによってコストが上昇するのみならず、金線の
ポンディングパッド(電極)の面積音大きくしなければ
ならないことから、半導体素子が大形化してしまい、こ
れがさらにコストを高くするという問題が生ずる。
〔発明の開示〕
それ故に、本発明の目的は簡単な構成によって経済性全
損なうことなく、金属細線での電圧降下全無視しつる程
度に減少できる半導体装置の製造方法全提供することに
ある。
そして、本発明の特徴はリードの端部が基板部の周辺に
位置するように構成されたリードフレームの基板部に半
導体素子全固定する工程と、リードの端部全半導体素子
に極力接近させる工程と、このリードの端部と半導体素
子の電極とを金属細線にて接続する工程と全含むことに
ある。
この発明によれば・半導体素子の基板部への固定後に、
リードを半導体素子に極力接近させた上で、半導体素子
の電極とリードとに金属細線が接続される関係で、金属
細線の接続スパン全有効に短縮でき、金属細線での電圧
降下も低減できる。
特に、リードの半導体素子−\の接近操作は半導体素子
の基板部への固定後に行われるので、半導体素子の基板
部への固定は従来と同様に何の支障もなく良好に行うこ
とができる。
〔発明全実施するだめの最良の形態〕
次に本発明の一実施例について第1図〜第3図全参照し
て説明する。
第1図において、1はリードフレームであって、例えば
基板部(放熱板)2と複数のリード片31〜33全有す
るリード3とから構成されており、それぞれはタイバー
4にて一体化されている。そして、リード片3+ 、 
3sの一端3+a 、3aaはL形に形成されており、
基板部2VC対して離隔するように配設されている。ま
ず、このリードフレーム1全高温に加熱し、基板部2に
半田部材全供給し溶融状態にする。そして、この半田部
材全利用して半導体素子5全固定する。次に、第2図に
示すように、リード片3+ 、 3gの一端部3Iき、
3sat?図示点線より実線の状態に折曲し、半導体素
子5に極力接近させる。尚、図示例ではリード片3+ 
、 33の一部が半導体素子5上に位置している。この
状態において、半導体素子5の1[とり一ド片3+ 、
 3gの一端3.a。
3、aと全金属細線6にで接続する。次に、第3図に示
すように、半導体素子5全含む主要部分全樹脂材7にて
モールド被覆することにより、半導体装置が得られる。
この実施例によれば、半導体素子5の基板部2へのマウ
ント前にはリード片31 、3sの一端31a。
 5− 3saが基板部2より充分に離隔されているので、半導
体素子57基板部2に何の障害もなく、容易に固定する
ことができる。
又、半導体素子5の電極とリード片3. 、3.の一端
3.a 、 3aaとの金属細線6による接続は一端3
.a。
3saが半導体素子5に充分に接近した状態で行われる
ので、それのスパンを有効に短縮できる。このために、
低V。E(SAT )品での金属細線6による電圧降下
全無視しうる程度に低くでき、使用上のトラブル全解消
できる。
第4図〜第5図は本発明の他の実施例全示すものであっ
て、半導体素子5の基板部2への固定後に、補助リード
片′8全リード片3+ 、 3mの一端に、補助リード
片8の一部が半導体素子5上に位置するように溶接又は
かしめにより固定し、然る後、半導体素子5の電極と補
助リード片8と全金属細線6にて接続して構成されてい
る。
尚、本発明において、基板部、リードの形状。
本数は適宜に変更できる。
= 6−
【図面の簡単な説明】
第1図〜第3図は不発明方法の説明図であって、第1図
は半導体素子の基板部へのマウント状態7示す平面図、
第2図は金属細線の接続状態を示す平面図、第3図は完
成状態を示す横断面図、第4図は本発明の他の実施例全
示す横断面図、第5図は第4図の要部側断面図である。 図中、2は基板部、3はリード、3Iag 3sa +
 8はリードの端部、5は半導体素子、6は金属細線で
ある。  7− 第1図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. リードの端部が基板部の周辺に位置するように構成され
    たリードフレームの基板部に半導体素子全固定する工程
    と、リードの端部全半導体素子に極力接近させる工程と
    、このリードの端部と半導体素子の電極と全金属細線に
    て接続する工程と全含むこと全特徴とする半導体装置の
    製造方法。
JP58190216A 1983-10-11 1983-10-11 半導体装置の製造方法 Pending JPS6081850A (ja)

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