JPS6070350A - 光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡 - Google Patents
光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡Info
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- JPS6070350A JPS6070350A JP58177927A JP17792783A JPS6070350A JP S6070350 A JPS6070350 A JP S6070350A JP 58177927 A JP58177927 A JP 58177927A JP 17792783 A JP17792783 A JP 17792783A JP S6070350 A JPS6070350 A JP S6070350A
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- Japan
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- optical microscope
- microscope
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- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
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- G—PHYSICS
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- G01B11/00—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
- G01B11/14—Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring distance or clearance between spaced objects or spaced apertures
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- G—PHYSICS
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- G01H3/00—Measuring characteristics of vibrations by using a detector in a fluid
- G01H3/10—Amplitude; Power
- G01H3/12—Amplitude; Power by electric means
- G01H3/125—Amplitude; Power by electric means for representing acoustic field distribution
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
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- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
-
- G—PHYSICS
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- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N2291/00—Indexing codes associated with group G01N29/00
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- G01N2291/02854—Length, thickness
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- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本錆明は、超音波によって試料の観察を行なう超音波顕
微鏡における焦点距離確認方法および装置に関するもの
である。
微鏡における焦点距離確認方法および装置に関するもの
である。
近年、Ｉ ＧＨｚに及ぶ超高周波の音波の錆止検出て
がす能で、水中で約１５μｍの音波長が実現できるよう
になり、超音波を用い高い分解能を有する撮像装置が可
能となって来た。第１図は超音波顕微鏡の主要構成部を
示す回路図である。同図において、超音波の集束および
送受は球面レンズ１により行なっている。該球面レンズ
の構造は、円柱状の溶融石英等を用いた物質の一面を光
学研磨し、その−Ｌに圧電薄膜（ＺｎＯ等）２を上下市
極３によりはさみザノドイソチ構造として配置している
。
になり、超音波を用い高い分解能を有する撮像装置が可
能となって来た。第１図は超音波顕微鏡の主要構成部を
示す回路図である。同図において、超音波の集束および
送受は球面レンズ１により行なっている。該球面レンズ
の構造は、円柱状の溶融石英等を用いた物質の一面を光
学研磨し、その−Ｌに圧電薄膜（ＺｎＯ等）２を上下市
極３によりはさみザノドイソチ構造として配置している
。
この圧電薄膜２に、パルス発振器４から発生されたパル
ス５を印加して、超音波６を発生させる。
ス５を印加して、超音波６を発生させる。
また、該球面レンズ１の他端部には口径０１鰭φ〜１．
０Ｎｌｌφ程度の凹面体の半球穴が形成され、該させる
ための媒質（例え＃）８が満されている。
０Ｎｌｌφ程度の凹面体の半球穴が形成され、該させる
ための媒質（例え＃）８が満されている。
入
このような構成において、前記圧電薄膜２によって発生
した超音波６は、円柱の中を平面波となって伝播する。
した超音波６は、円柱の中を平面波となって伝播する。
この平面波が曲記半球穴に達すると石英と媒質８との音
速の差により屈折作用が生じ、試料７面上に集電した超
音波６を照射することができる。逆に、該試料７から反
射されてくる超音波は、球面レンズ１により集音整相さ
れ、平面波となって圧電薄膜２に達し、ここで凡Ｆ信号
９に変換される。このＲＦ信号９を受信器１０で受信し
、ここでダイオード検波してビデオ信号１１に変換し。
速の差により屈折作用が生じ、試料７面上に集電した超
音波６を照射することができる。逆に、該試料７から反
射されてくる超音波は、球面レンズ１により集音整相さ
れ、平面波となって圧電薄膜２に達し、ここで凡Ｆ信号
９に変換される。このＲＦ信号９を受信器１０で受信し
、ここでダイオード検波してビデオ信号１１に変換し。
ＯＲ，Ｔディスプレイ１２の人力信号として用いている
。このような作動に伴って、試料７が試料台部ｒＭ電源
１３によりＸ−Ｙ平面内で２次元に走査し、この試料７
の走査にともなう試料面からの反射の強弱が２次元的に
ＯＲＴ ｉ石１２に表示される。
。このような作動に伴って、試料７が試料台部ｒＭ電源
１３によりＸ−Ｙ平面内で２次元に走査し、この試料７
の走査にともなう試料面からの反射の強弱が２次元的に
ＯＲＴ ｉ石１２に表示される。
以上述べた如々、超音波顕微鏡に使用される音波は超高
周波となるため、音の減衰も大きく、また、球面レンズ
１の凹部の積用も高いものが必要となり、光学レンズと
同様、観察中に衝突して損傷すると、該球面レンズ１全
体を１１７苔えなければならない。しかしながら、球面
レンズ１の先端には音波集束用の媒体８である水等の液
体があり、該球面レンズ１の先端と試料７との間隙を目
視によって確認することは井筒に困難であった。したが
って、該球面レンズ１を試料７に当ててしまい球面レン
ズｌをｔｌ＞傷する可能性が非包に高いという欠点があ
った。
周波となるため、音の減衰も大きく、また、球面レンズ
１の凹部の積用も高いものが必要となり、光学レンズと
同様、観察中に衝突して損傷すると、該球面レンズ１全
体を１１７苔えなければならない。しかしながら、球面
レンズ１の先端には音波集束用の媒体８である水等の液
体があり、該球面レンズ１の先端と試料７との間隙を目
視によって確認することは井筒に困難であった。したが
って、該球面レンズ１を試料７に当ててしまい球面レン
ズｌをｔｌ＞傷する可能性が非包に高いという欠点があ
った。
上記の点に鑑み本発明は１球面レンズと試料との間隙の
確認を容易にすることによって、０１１記球面レンズと
試ｊ：１との衝突を防止することを目的としたものであ
る。
確認を容易にすることによって、０１１記球面レンズと
試ｊ：１との衝突を防止することを目的としたものであ
る。
超音波顕微鏡において、球面レンズと試料との間隙は、
音波長が数μｍ程度でありこれと同等であるとともに、
球面レンズと試料との間には媒質が設けられているため
、前記間隙の確認は困難である。本発明は、前記球面レ
ンズと試料との間隙を、簡単に設置でき、かつ、操作の
簡単な光学顕微鏡によって行なうことを特徴とするもの
である。
音波長が数μｍ程度でありこれと同等であるとともに、
球面レンズと試料との間には媒質が設けられているため
、前記間隙の確認は困難である。本発明は、前記球面レ
ンズと試料との間隙を、簡単に設置でき、かつ、操作の
簡単な光学顕微鏡によって行なうことを特徴とするもの
である。
以下、本発明の一実施例を第２図なし）シ第５図によっ
て説明する。同図において、前記説明と同一符号は同一
部材である。１５は前記球面レンズ１を支持固定する球
面レンズホルタ、１６は試料７を載せた試料台１４を非
接触で２次元平面上において移動可能に支持する試料台
ベースである。１７は前記球面レンズ１に対して併設さ
れた光学顕微鏡で、該光学顕微鏡１７による像は制御装
置１８を介して第４図に示すようにＣＲＴ面校に併設し
た０ＦＬＴ面１９に表示される。加は前記球面レンズ１
と試Ｎ７との対向部分に焦点距離ａを合せ配置されたレ
ンズ、２１は該レンズ加の球面レンズ１とは反対側に距
離すを設けて配置され、かつ、ｎ＋＋記光学顕微鏡１７
の光軸を球面レンズｌと試料との対向部分に一致させる
反射鏡である。ｎはｉｆＩ記レンし加および反射鏡２１
を前記距離すをもって支持する光学系本体で、該光学系
本体ηは前記球面レンズ１と試料との対向部との間に前
記焦点距離ａを確保するように配置されている。このよ
うな構成において、Ｗ「記試料台１４上にセットされた
試料７を前述のよの球面レンズ１の焦点を合せる場合に
、該球面レンズ１と試料７の対向部を前記レンズ加およ
び反射鏡２１を介して光学顕微鏡１７で観察し、像をＣ
ＲＴＴｉＯ２表示して前記球面レンズ１と試料７との間
隙をＫｉｄする。そして、１ＩｒＩ記球面レンズ１を用
いた超音波による観察が終ｒすると、第５図に示すよう
に光学系本体ｎを移動させるとともに試料台１４を移動
させて試料７を前記光学顕微鏡１７に対応させ、該光学
顕微鏡１７で試料７表面の像をＯＲ’ｒ面１２に表示し
観察を行なう。
て説明する。同図において、前記説明と同一符号は同一
部材である。１５は前記球面レンズ１を支持固定する球
面レンズホルタ、１６は試料７を載せた試料台１４を非
接触で２次元平面上において移動可能に支持する試料台
ベースである。１７は前記球面レンズ１に対して併設さ
れた光学顕微鏡で、該光学顕微鏡１７による像は制御装
置１８を介して第４図に示すようにＣＲＴ面校に併設し
た０ＦＬＴ面１９に表示される。加は前記球面レンズ１
と試Ｎ７との対向部分に焦点距離ａを合せ配置されたレ
ンズ、２１は該レンズ加の球面レンズ１とは反対側に距
離すを設けて配置され、かつ、ｎ＋＋記光学顕微鏡１７
の光軸を球面レンズｌと試料との対向部分に一致させる
反射鏡である。ｎはｉｆＩ記レンし加および反射鏡２１
を前記距離すをもって支持する光学系本体で、該光学系
本体ηは前記球面レンズ１と試料との対向部との間に前
記焦点距離ａを確保するように配置されている。このよ
うな構成において、Ｗ「記試料台１４上にセットされた
試料７を前述のよの球面レンズ１の焦点を合せる場合に
、該球面レンズ１と試料７の対向部を前記レンズ加およ
び反射鏡２１を介して光学顕微鏡１７で観察し、像をＣ
ＲＴＴｉＯ２表示して前記球面レンズ１と試料７との間
隙をＫｉｄする。そして、１ＩｒＩ記球面レンズ１を用
いた超音波による観察が終ｒすると、第５図に示すよう
に光学系本体ｎを移動させるとともに試料台１４を移動
させて試料７を前記光学顕微鏡１７に対応させ、該光学
顕微鏡１７で試料７表面の像をＯＲ’ｒ面１２に表示し
観察を行なう。
このような構成によれば、球面レンズ１と試料７との対
向部分の状況が、簡単な構成の首記光学系本体ηを設置
するだけで６［でき、かつ、球面レンズ１による観察中
宮に確認できるため、該球面レンズ１と試料７との衝突
を防止できる。
向部分の状況が、簡単な構成の首記光学系本体ηを設置
するだけで６［でき、かつ、球面レンズ１による観察中
宮に確認できるため、該球面レンズ１と試料７との衝突
を防止できる。
なお、前記一実施例において、光学顕微鏡は球面レンズ
に併設したものを用い、かつ、順記光学系本体を用いた
構成について説明したが、ｔ＋７Ｉ記光学系本体を用い
ず、光学顕微鏡で直接球面レンズと試料の対向部を監視
しても、前記と同等の効果は得られるものである。
に併設したものを用い、かつ、順記光学系本体を用いた
構成について説明したが、ｔ＋７Ｉ記光学系本体を用い
ず、光学顕微鏡で直接球面レンズと試料の対向部を監視
しても、前記と同等の効果は得られるものである。
以上説明したように本発明によれば、簡単な構成で兇時
球面レンズと試料との間を確認できるため、該球面レン
ズと試料との衝突を防止でき、球面レンズの損傷を防止
できる。
球面レンズと試料との間を確認できるため、該球面レン
ズと試料との衝突を防止でき、球面レンズの損傷を防止
できる。
第１図は超音波顕微鏡の原理を示す回路図、第２Ｍは本
発明による焦点１４認装置の一実施例に用いられる光学
顕微鏡を示す回路図、第３図は本発明による焦点確認装
置の一実施例を示す正面図、第４図は第３図の焦点確認
装置によって観察する像を表示するＣＲＴ面の正面図、
第５図は第３図の焦点確認装置において光学顕微鏡で試
料を観察する状聾を示す正面図である。 １ ・ 球面レンズ、１４・・試料台、１７・・・光学
顕微鏡、１９−・・ ＯＲＴ面、加・・・・ レンズ、
２１ ・・第１図 才２図 第４図 千５図
発明による焦点１４認装置の一実施例に用いられる光学
顕微鏡を示す回路図、第３図は本発明による焦点確認装
置の一実施例を示す正面図、第４図は第３図の焦点確認
装置によって観察する像を表示するＣＲＴ面の正面図、
第５図は第３図の焦点確認装置において光学顕微鏡で試
料を観察する状聾を示す正面図である。 １ ・ 球面レンズ、１４・・試料台、１７・・・光学
顕微鏡、１９−・・ ＯＲＴ面、加・・・・ レンズ、
２１ ・・第１図 才２図 第４図 千５図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 試料に対向して配置される球面レンズと、該球面レ
ンズに設けられ音波を発信し試料からのしよう乱音波を
受信する音波送受手段と、該音波送受手段によって受信
したしょう乱波によって観察部の像を形成し表示する表
示部とから成り、試料を観察する超音波顕微鏡において
、前記球面レンズと試料との対向部間を該対向部間に光
軸を対応させた光学顕微鏡によって確認することを特徴
とする焦点距ｔｉｍ確認方法。 ２ 試料に対向して配置される球面レンズと、該送受手
段によって受信したしょう乱波によって観察部の像を形
成し表示する表示部とから成り、試料を観察する超音波
顕微鏡において、前記球面レンズに対してイ」１設され
た光学顕微鏡と、該光学顕微鏡の光軸を前記球面レンズ
と試料部との対向部間に一致させ°る反射手段とから成
ることを特徴とする焦点距離＠詔装ｆｆｆｉ ａ
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58177927A JPS6070350A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡 |
| GB08424181A GB2148004B (en) | 1983-09-28 | 1984-09-25 | Ultrasonic microscope |
| DE3435559A DE3435559C2 (de) | 1983-09-28 | 1984-09-27 | Ultraschallmikroskop |
| US06/654,899 US4614410A (en) | 1983-09-28 | 1984-09-27 | Ultrasonic microscope with optical microscope incorporated therein |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58177927A JPS6070350A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6070350A true JPS6070350A (ja) | 1985-04-22 |
| JPH0324982B2 JPH0324982B2 (ja) | 1991-04-04 |
Family
ID=16039496
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58177927A Granted JPS6070350A (ja) | 1983-09-28 | 1983-09-28 | 光学顕微鏡を併設した超音波顕微鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4614410A (ja) |
| JP (1) | JPS6070350A (ja) |
| DE (1) | DE3435559C2 (ja) |
| GB (1) | GB2148004B (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006023493A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Nikon Corp | 顕微鏡および顕微鏡システム |
| CN110323114A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-11 | 业成科技（成都）有限公司 | 保护装置及扫描电镜 |
Families Citing this family (6)
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| JP2561160B2 (ja) * | 1989-11-06 | 1996-12-04 | 富士写真フイルム株式会社 | 走査型顕微鏡 |
| US5638209A (en) * | 1994-02-14 | 1997-06-10 | Aisin Seiki Kabushiki Kaisha | Mirror apparatus |
| US6398721B1 (en) * | 1999-02-19 | 2002-06-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Surgical microscope apparatus |
| US6269699B1 (en) * | 1999-11-01 | 2001-08-07 | Praxair S. T. Technology, Inc. | Determination of actual defect size in cathode sputter targets subjected to ultrasonic inspection |
| JP2005292320A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Olympus Corp | 画像顕微鏡装置 |
Family Cites Families (13)
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|---|---|---|---|---|
| DE98289C (ja) * | ||||
| US2719456A (en) * | 1952-02-02 | 1955-10-04 | Gen Electric | Image scanning and magnifying micrometer |
| US3547514A (en) * | 1966-12-30 | 1970-12-15 | Olympus Optical Co | Elongated variable magnification optical system |
| US4011748A (en) * | 1975-09-18 | 1977-03-15 | The Board Of Trustees Of Leland Stanford Junior University | Method and apparatus for acoustic and optical scanning of an object |
| US4267732A (en) * | 1978-11-29 | 1981-05-19 | Stanford University Board Of Trustees | Acoustic microscope and method |
| JPS5590045A (en) * | 1978-12-28 | 1980-07-08 | Internatl Precision Inc | Electronic microscope equipped with optical microscope |
| JPS5622172A (en) * | 1979-07-31 | 1981-03-02 | Toshiba Corp | Retrieving device for picture information |
| FR2498767A1 (fr) * | 1981-01-23 | 1982-07-30 | Cameca | Micro-analyseur a sonde electronique comportant un systeme d'observation a double grandissement |
| JPS57176016A (en) * | 1981-04-22 | 1982-10-29 | Olympus Optical Co Ltd | Ultrasonic microscope |
| DE8119559U1 (de) * | 1981-07-04 | 1981-10-29 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Einrichtung zur kontrolle der lichtquellenjustierung in auflichtmikroskopen |
| JPS589063A (ja) * | 1981-07-08 | 1983-01-19 | Noritoshi Nakabachi | 超音波顕微鏡 |
| GB2130433B (en) * | 1982-03-05 | 1986-02-05 | Jeol Ltd | Scanning electron microscope with as optical microscope |
| JPS59122942A (ja) * | 1982-12-28 | 1984-07-16 | Toshiba Corp | 超音波顕微鏡装置 |
-
1983
- 1983-09-28 JP JP58177927A patent/JPS6070350A/ja active Granted
-
1984
- 1984-09-25 GB GB08424181A patent/GB2148004B/en not_active Expired
- 1984-09-27 US US06/654,899 patent/US4614410A/en not_active Expired - Lifetime
- 1984-09-27 DE DE3435559A patent/DE3435559C2/de not_active Expired
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006023493A (ja) * | 2004-07-07 | 2006-01-26 | Nikon Corp | 顕微鏡および顕微鏡システム |
| CN110323114A (zh) * | 2019-07-15 | 2019-10-11 | 业成科技（成都）有限公司 | 保护装置及扫描电镜 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4614410A (en) | 1986-09-30 |
| DE3435559A1 (de) | 1985-04-11 |
| DE3435559C2 (de) | 1986-05-15 |
| JPH0324982B2 (ja) | 1991-04-04 |
| GB2148004A (en) | 1985-05-22 |
| GB2148004B (en) | 1987-02-18 |
| GB8424181D0 (en) | 1984-10-31 |
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