DE3435559C2

DE3435559C2 - Ultraschallmikroskop

Info

Publication number: DE3435559C2
Application number: DE3435559A
Authority: DE
Inventors: Katsuzi Ikenaga; Nobuyuki Nakashima; Masao Takai; Koji Kudamatsu Umemoto
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1983-09-28
Filing date: 1984-09-27
Publication date: 1986-05-15
Also published as: JPS6070350A; DE3435559A1; US4614410A; GB2148004B; GB8424181D0; GB2148004A; JPH0324982B2

Abstract

Die Erfindung bezieht sich auf ein Ultraschallmikroskop, neben dem ein Lichtmikroskop (17) angeordnet ist. Auf diese Weise kann das Lichtmikroskop (17) eine vom Ultraschallmikroskop zu beobachtende Probe (7) direkt überwachen, indem die Probe (7) zum Lichtmikroskop (17) bewegt wird. Das Lichtmikroskop (17) kann auch einen Bereich beobachten, in dem sich eine akustische Linse (1) des Ultraschallmikroskops und die Probe (7) einander gegenüberstehen. Zu diesem Zweck ist das Lichtmikroskop (17) mit einem optischen Reflektor (21) ausgestattet, der das Gesichtsfeld des Lichtmikroskops (17) auf den Bereich abstimmt, in dem sich eine akustische Linse (1) und die Probe (7) einander gegenüberstehen. Alternativ kann das Lichtmikroskop (17) schwenkbar gelagert werden, so daß das Gesichtsfeld des Lichtmikroskops (17) auf den Bereich abgestimmt werden kann, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe (7) einander gegenüberstehen.

Description

2. Ultraschallmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesichtsfeld-Justiereinrichtung einen Reflektor (21) aufweist, der das Gesichtsfeld des Licr&nikroskops (17) auf den Bereich abstimmt, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe (7) einander gegenüberstehen.

3. Ultraschallmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß der Refleictor (21) lösbar am Lichtmikroskop (17) befestigt ist

4. Ultraschallmikroskop nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, daß die Gesichtsfeld-Justiereinrichtung einen Reflektor (21) aufweist, der das Gesichtsfeld des Lichtmikroskops (17) auf den Bereich abstimmt, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe(7)einandergegenüberstehen und ein Halteelement (30) aufweist, das den Reflektor (21) drehbar abstützt, so daß der Reflektor (21) in eine Stellung an einem Ende des Lichtmikroskops (17) gebracht werden kann,beiderdasLichtmikroskop(17)den Bereich beobachten kann, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe (7) einander gegenüberstehen.

5. Ultraschallmikroskop nach Anspruch 2, dadurch gekennzeichnet, daß eine Linse (20) vorgesehen ist, die den Brennpunkt des Lichtmikroskops (17) auf den Bereich ausrichtet, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe (7) aneinander gegenüberstehen.

6. Ultraschallmikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß der Reflektor (21) und die Linse (20) lösbar befestigt sind.

7. Ultraschallmikroskop nach Anspruch 5, dadurch gekennzeichnet, daß ein Halteelement (30) vorgesehen ist, das den Reflektor (21) und die Linse (20) drehbar abstützt, so daß der Reflektor und die Linse in eine Stellung an einem Ende des Lichtmikroskops (17) gebracht werden können, bei der das Lichtmikroskop (17) den Bereich beobachten kann, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe (7) einander gegenüberstehen.

8. Ultraschallmikroskop nach Anspruch !,dadurch gekennzeichnet, daß die Gesichtsfeld-Justiereinrichtung ein Halteelement (29) aufweist, das das Lichtmikroskop (17) schwenkbar abstützt, so daß das Gesichtsfeld des Lichtmikroskops (17) auf den Bereich abgestimmt werden kann, in dem sich die akustische Linse(l)unddieProbe(7)einandergegenüberstehen.

Die Erfindung bezieht sich auf ein Ultraschallmikroskop der im Oberbegriff des Patentanspruches 1 beschriebenen, aus der DE-OS 32 25 586 bekannten Art.

Durch die technische Entwicklung in den letzten Jahren wurde es möglich, Ultraschallwellen mit einer Ultrahochfrequenz in der Größenordnung von 1 GHz zu erzeugen und zu empfangen und somit im Wasser eine Ultraschall wellenlänge von etwa 1,5 μπι zu realisieren. Als Folge dessen wurde ein Ultraschall-Abbifdungsgerät mit einem hohen Auflösungsvermögen vorgeschlagen (vergleiche z. B. US-PS 43 86 530). F i g. 1 zeigt den schematischen Aufbau eines Ultraschallmikroskops. Wie aus dieser F i g. 1 ersichtlich, wird die Übertragung, die Fokussierung sowie der Empfang einer Ultraschallwelle mit Hilfe einer akustischen Linse 1 bewerkstelligt, die einen zylindrischen Block aus einem schallübertragenden Medium, wie z. B. geschmolzenem Quarz, aufweist. Eine Stirnfläche dieser Linse 1 ist poliert, um eine optisch ebene Fläche vorzusehen. Auf der polierten Fläche ist ein Schichtaufbau angeordnet, der aus einer oberen und einer unteren Elektrode 3 sowie einem zwischen die beiden Elektroden 3 geschobenen piezoelektrischen Dünnfilm 2 aus Zinkoxid oder dergleichen (d. h. einem piezoelektrischen Wandler) besteht. Ein von einem Impulsoszillator 4 stammendes elektrisches Impulssignal 5 wird an den piezoelektrischen Dünnfilm 2 angelegt, um dadurch eine Ultraschallwelle 6 zu erzeugen. Die andere Stirnfläche der akustischen Linse 1 ist mit einer halbkugelförmigen Einbuchtung versehen, die einen Durchmesser von 0,1 bis 1,0 mm aufweist. Der zwischen der halbkugelförmigen Einbuchtung und einer Probe 7 gebildete Raum ist mit einem Medium 8 (z. B. Wasser) gefüllt, um die Ultraschallwelle 6 zur Probe 7 zu übertragen. Mit einem solchen Aufbau breitet sich die vom piezoelektrischen Dünnfilm 2 erzeugte Ultraschallwelle 6 durch den zylindrischen Block in Form einer ebenen Welle aus und wird an der halbkugelförmigen Einbuchtung entsprechend dem Unterschied der Schallgeschwindigkeit zwischen dem geschmolzenen Quarz und dem Medium 8 gebrochen, so daß die ebene Welle auf die Probe 7 fokussiert wird. Die von der Probe 7 reflektierte Ultraschallwelle wird aufgefangen und mit Hilfe der akustischen Linse 1 in eine ebene Welle umgewandelt. Diese ebene Welle breitet sich zu dem piezoelektrischen Dünnfilm 2 aus und wird in ein HF-(Hochfrequenz)-SignaI 9 umgewandelt. Das HF-Signal 9 wird von einem Empfänger 10 aufgenommen, der zur Umwandlung dieses Signals 9 in ein Videosignal 11 einen Diodengleichrichter aufweist. Das Videosignal 11 wird als Eingangssignal für eine Bildschirmeinheit 12 verwendet. Die Probe 7 wird einer zweidimenslonalen Abtastung in der X-Y-Ebene aufgrund eines von einer Abtast- und Antriebseinrichtung 13 stammenden Signals unterworfen. Die Änderung der Intensität der reflektierten Ultraschallwelle von der derart abgetasteten Probe 7 wird zweidimensional auf dem Leuchtschirm der Bildschirmeinheit 12 angezeigt.

Die bei einem Ultraschallmikroskop verwendete Schallwelle liegt im Ultrahochfrequenzbereich und die

Dämpfung der Schallwelle in einem Medium, wie z. B. Wasser, nimmt proportional der zweiten Potenz der Frequenz zu, falls der Übertragungsweg konstant bzw. gleich ist Demzufolge ist es erforderlich, einen Spalt zwischen der akustischen Linse 1 und der Probe 7 auf rechtzuerhalten, der so k'ein wie möglich ist, um den Übertragungsweg kurz zu machen.

Zum Beispiel wird für eine Ultraschallwelle mit einer Frequenz von 1 GHz der Spalt zwischen der akustischen Linse 1 und der Probe 7 etwa 50 μιη breit gemacht, um dadurch die Dämpfung der Ultraschallwelle zu minimieren. Wird andererseits die halbkugelförmige Einbuchtung der akustischen Linse, die mit hoher Präzision hergestellt wird, durch eine Kollision mit der Probe usw. während eines Beobachtungsvorganges beschädigt, wie es bei einer optischen Linse geschehen kann, so ist die beschädigte linse nicht mehr brauchbar. Die oben erwähnten Anforderungen, nämlich den Spalt zwischen der akustischen Linse 1 und der Probe 7 sehr klein zu halten, machen es sehr schwierig, das Vorhandensein des Spaltes visuell zu ermitteln. Diese Anforderungen bringen eine sehr hohe Wahrscheinlichkeit ,Tiit sich, daß die akustische Linse 1 während deren Betätigung infolge einer Kollision mit der Probe 7 beschädigt wird.

Aus der eingangs erwähnten DE-OS 32 25 586 ist ferner ein Ultraschall-Mikroskop bekannt, mit dessen Hilfe unterschiedliche mechanische Eigenschaften einer Probe anhand von Anisotropien erfaßt werden können. Die Untersuchung der Probe wird dabei mit linear fokussierten Ultraschallwellen durchgeführt Auch in diesem Fall weist der Abstand bzw. Spalt zwischen der akustischen Linse des Schallwandlerkopfes und der Probe einen sehr geringen Wert auf, was bei der Einstellung des geeigneten Abstands zu einer Beschädigung der akustischen Linse infolge einer Kollision mit der Probe führen kann.

Es ist somit Aufgabe der Erfindung, das Ultraschal!- mikroskop der gattungsgemäßen Art weiterzubilden, daß der jeweils zwischen der akustischen Linse und der Probe ausgebildete Spalt bequem festgestellt werden kann.

Diese Aufgabe wird durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 gelöst. Vorteilhafte Ausgestaltungen der Erfindung sind Gegenstand der Patentansprüche 2 bis 8.

Bei dei Erfindung wird somit neuen dem Ultraschallmikroskop ein Lichtmikroskop angeordnet, so daß das Lichtmikroskop eine mit Hilfe des Ultraschallmikroskops zu betrachtende Probe beobachten kann, indem lediglich die Probe in eine Beobachtungslage bewegt wird.

Gemäß einem Aspekt der Erfindung ist das optische Mikroskop bzw. das Lichtmikroskop mit einem optischen Reflektor ausgestattet, wodurch das Lichtmikroskop einen Bereich beobachten kann, in dem sich die akustische Linse des Ultraschallmikroskops und die Probe einander gegenüberliegen.

Gemäß einem anderen Aspekt der Erfindung ist das Lichtmikroskop derart gelagert, daß es zu einer Stelle bewegbar ist, von der aus der Bereich, in dem die akustisehe Linse und die Probe einander gegenüberliegen, betrachtet werden kann.

Die Erfindung wird im folgenden anhand der Zeichnung näher erläutert. Es zeigt

Fig. 1 ein Blockdiagramm zur Darstellung des gesamten Aufbaus eines Ultraschallmikroskops,

Fig. 2 ein Blockdiagramm zur Darstellung des Aufbaus eines Lichtmikroskops,

Fig.3 ein Ausführungsbeispiel der Erfindung in Stirnansicht zur Verdeutlichung eines Zustande« bei dem ein Bereich, in dem eine akustische Linse und eine Probe einander gegenüberliegen, beobachtet wird,

F i g. 4 entsprechende Anzeigeeinrichtungen eines Ultraschallmikroskops und eines Lichtmikroskops bei dem in F i g. 3 .dargestellten Zustand, in Stirnansicht,

F i g. 5 das Ausführungsbeispiel gemäß F i g. 3 in Stirnansicht zur Darstellung eines Zustandes, bei dem die Probe mit Hilfe des Lichtmikroskops betrachtet wird und

F i g. 6 bis 9 andere Ausführungsbeispiele der Erfindung in Stirnansicht, wobei F i g. 8 eine Stirnansicht des in F i g. 7 gezeigten Ausführungsbeispieles darstellt, um einen Zustand zu verdeutlichen, bei dem das in Fig.7 gezeigte Halteelement für das optische System gedreht wurde.

In dem F i g. 2 bis 5 ist ein Ausführungsbeispiel der Erfindung dargestellt, wobei die gleichen Bezugszeichen wie in F i g. 1 gleiche Teile i.-der Elemente kennzeichnen. Zum Abstützen und Beierjgen der akustischen Linse 1 ist ein Halteelement 15 vorgesehen. Ferner stützt eine Basis 16 den Objekttisch 14 derart ab, daß sich der zum Halten der Probe 7 vorgesehene Objekttisch 14 in einer zweidimensionalen Ebene bewegen kann, ohne dabei die Basis 16 zu berühren. Gegenüber der akustischen Linse 1 ist ein Lichtmikroskop 17 vorgesehen. Das Lichtmikroskop 17 ist innerhalb des Bewegungsbereiches des Objekttisches 14 angeordnet. Die mit Hilfe eines Ultraschallmikroskops zu beobachtende Probe 7 kann auch mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 betrachtet werden, indem lediglich der Objekttisch 14 bewegt wird. Wie aus Fig.2 ersichtlich, wird ein vom Lichtmikroskop erzeugtes Bild über eine Steuereinrichtung 18 auf einer dem Lichtmikroskop 17 zugeordneten Bildschirmeinheit 19 angezeigt. Wie in Fig.4 dargestellt, ist die Bildschirmeinheit 19 neben der dem Ultraschallmikroskop zugeordneten Bildschirmeinheit 12 angeordnet.

Eine Linse 20 ist vorgesehen, um den Brennpunkt des Lxhtmikroskops 17 auf einen Bereich zu richten, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen. Ein Reflexionsspiegel 21. der auf der der akustischen Linse 1 abgewandten Seite der Linse 20 angeordnet ist, wird verwendet, um den Betrachtungsbereich, nämlich das Gesichtsfeld, des Lichtmikroskops 17 auf den Bereich zu richten, -n dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 gegenüberstehen. Ein Halteelement 22 für das optische System stützt die Linse 20 und den Reflexionsspiegel 21 derart ab, daß sie einen Abstand voneinander aufweisen, der durch die Brennweite der Linse 20 bestimmt ist Außerdem ist das Halteelemerv". 22 für das optische System derart angeordnet, daß der Brennpunkt des Lichtmikroskops 17 auf den Bereich gerichtet ist, in dem sich die akustische Lim« 1 und die Probe 7 gegenüberstehen.

Bei dem obigen Aufbau wird die auf dem Objekttisch 14 befindliche Probe 7 mit Hilfe des Ultraschallmikroskops beobachtet, nachdem der Fokussierungsvorgang der akustischen Linse 1 bezüglich der Probe 7 beendet ist. Der Fokussierungsvorgang der akustische» Linse 1 wird durchgeführt, während der Bereich, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 gegenüberstehen, mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 über die Linse 20 und den Reflexionsspiegel 21 beobachtet wird. Im einzelnen wird ein vom Lichtmikroskop 17 erzeugtes Bild an der Bildschirmeinheit 19 angezeigt, um die Bestimmung eines zwischen der akustischen Linse 1 nnH rW Pmli» 7

ausgebildeten Spalts zu erleichtern. Falls die Probe 7 direkt mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 beobachtet werden soll, wird die Probe 7 in das Gesichtsfeld des Lichtmikroskops 17 placiert, indem sowohl das Halteeiement 22 für das optische System als auch der Objekttisch 14 bewegt wird, wie in F i g. 5 dargestellt.

Mit solch einem Aufbau kann der Zustand des Bereiches, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 gegenüberstehen, mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 bestimmt werden, indem lediglich das Halteelement 22 für das optische System vorgesehen wird, das einfach im Aufbau ist. Da weiterhin die Beobachtung des Bereiches, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 gegenüberstehen, stets durchgeführt werden kann, wenn die Probe 7 mit Hilfe der akustischen Linse 1 bzw. dem Ultraschallmikroskop beobachtet wird, kann eine Kollision der akustischen Linse 1 mit der Probe 7 verhindert werden.

Obwohl beim vorliegenden Ausführungsbeispiei das vom Lichtmikroskop 17 erzeugte Bild zur visuellen Betrachtung an der Bildschirmeinheit 19 angezeigt wird, kann das vom Lichtmikroskop 17 erzeugte Bild direkt von einer Beobachtungsperson betrachtet werden. Falls weiterhin der Abstand zwischen der akustischen Linse 1 und dem Lichtmikroskop 17 weitgehend dem Arbeitsabstand des Lichtmikroskops 17 entspricht, der durch den Abstand zwischen der Spitze bzw. dem Kopf des Lichtmikroskops und einem Betrachtungspunkt und somit durch die Brennweiten aller im Lichtmikroskop enthaltenen Linsen einschließlich dem Auge und der Objektivlinsen sowie durch die Anordnung dieser Linsen bestimmt ist, kann die Linse 20 weggelassen werden.

Als nächstes wird mit Bezug auf Fig. 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung erläutert. In F i g. 6 kennzeichnen die gleichen Bezugszeichen wie in den F i g. 1 bis 5 gleiche Teile oder Elemente. Bei diesem Ausführun^cTsb6isⁿie! ist das in F \ ⁿ 3 dargestellte HaHeelement 22 für das optische System lösbar an einem Ende des Lichtmikroskops 17 befestigt. In Fig.6 kennzeichnet das Bezugszeichen 22' ein Halteelement für das optische System, das mit Hilfe von Befestigungsschrauben 25 an einem Ende des Lichtmikroskops 17 lösbar befestigt ist. An dem Halteelement 22' für das optische System ist ein Reflexionsspiegelhalter 23 befestigt, der den Reflexionsspiegel 21 in einem Winkel abstützt, bei dem das Gesichtsfeld des Lichtmikroskops 17 mit dem Bereich übereinstimmt, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 gegenüberstehen. Ein Linsenhalter 24 stützt die Linse 20 ab, die zwischen dem Reflexionsspiegel 21 und dem Bereich angeordnet ist, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen. Der Linsenhalter 24 ist an dem Halteelement 22' für das optische System befestigt, und das Gesichtsfeld bzw. der Beobachtungspunkt des Lichtmikroskops 17 befindet sich an einer Stelle, die um einen vorbestimmten Arbeitsabstand A des Lichtmikroskops von der Spitze des Lichtmikroskops entfernt ist. Demzufolge wird die Brennweite der Linse 20 so ausgewählt, daß ein Bild des Bereichs, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen, an einer Stelle erzeugt werden kann, die um den Arbeitsabstand des Lichtmikroskops vom Lichtmikroskop entfernt ist, und zwar innerhalb eines Raumes, der zwischen dem Lichtmikroskop 17 und dem Bereich, in dem sich die akustische Linse ! und die Probe 7 einander gegenüberstehen, ausgebildet wird.

Bei dem obigen Aufbau wird die Beobachtung des Bereiches, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen dadurch bewerkstelligt, daß lediglich das Halteelement 22' für das optische System an dem Lichtmikroskop 17 befestigt wird. Es ist einleuchtend, daß das vorliegende Ausführungsbeispiei die gleichen Wirkungen wie das in F i g. 3 gezeigte Ausführungsbeispiel entfalten kann. Selbstverständlich wird das Lichtmikroskop einer Feinjustierung unterzogen, um dieses auf die Probe 7 einzustellen.
Falls beim vorliegenden Ausführungsbeispiel der Abstand zwischen der akustischen Linse 1 und dem Lichtmikroskop 17 im wesentlichen dem Arbeitsabstand des Lichtmikroskops 17 entspricht, kann die Linse 20 weggelassen werden. Ferner kann das vom Lichtmikroskop 17 erzeugte Bild direkt von einer Bedienungsperson bctrachtet werden, ohne daß dabei die Bildschirmeinheit 19 verwendet wird.

Die F i g. 7 und 8 zeigen ein weiteres Ausführungsbeispiei der Erfindung. Dieses Ausführungsbeispiel ist dadurch gekennzeichnet, daß eine öbjektiviinse \T des Lichtmikroskops 17 und ein Halteelement 22' für das optische System, wie in F i g. 6 gezeigt, über ein drehbares Halteelement 30 an einem Ende des Lichtmikroskops 17 befestigt sind. Um sowohl die Objektivlinse 17' als auch das Halteelement 22' für das optische System auf der Mittelachse des Lichtmikroskops 17 anordnen zu kennen, ist das drehbare Halteelement mit seiner Drehachse so befestigt, daß diese mit der Mittelachse des optischen Mikroskops einen geeigneten Winkel bildet. Falls die Objektivlinse 17' auf der Mittelachse des Lichtmikroskops 17, wie in Fig.8 gezeigt, angeordnet ist, kann die Probe 7 direkt durch das Lichtmikroskop 17 beobachtet werden. Ist andererseits das Halteelement 22' auf der Mittelachse des Lichtmikroskops 17 angeordnet, wie in F i g. 7 gezeigt, so kann der Bereich, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen, mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 beobachtet werden.

Entsprechend einem derartigen Aufbau kann von einer direkten Beobachtung der Probe 7 augenblicklich auf eine Beobachtung des zwischen der akustischen Linse 1 und der Probe 7 liegenden Bereiches übergegangen werden, wie auch umgekehrt. Demzufolge kann ein Beobachtungsvorgang in bezug auf die Probe 7 schnell durchgeführt werden.

F i g. 9 zeigt ein weiteres Ausführungsbeispiel der Erfindung. Bei diesem Ausführungsbeispiel ist das Lichtmikroskop 17 selbst schwenkbar angeordnet, um den Bereich, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen, beobachten zu können. In F i g. 9 kennzeichnen die gleichen Bezugszeichen "vie in den Fig. 1 bis 8 gleiche Teile oder Elemente. Zur Abstützung des Lichtmikroskops 17 ist ein Halteelement 29 vorgesehen, das einen Führungsmechanismus 28 aufweist, um das Lichtmikroskop 17 zu einer ersten Stelle, bei der die Probe 7 direkt mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 betrachtet werden kann, sowie zu einer zweiten Stelle bewegen zu können, bei der der Bereich, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen, mit Hilfe des Lichtmikroskops 17 betrachtet werden kann. Ferner ist eine Justiereinrichtung 27 vorgesehen, um den Abstand zwischen dem Lichtmikroskop 17 und der zu beobachtenden Probe gleich dem Arbeitsabstand des Lichtmikroskops 17 machen zu können.

Bei einem solchen Aufbau wird das Lichirnikroskop 17, falls die Probe 7 direkt mit dem Lichtmikroskop 17 beobachtet werden soll, in einer senkrechten Stellung fixiert, wie dies in F i g. 9 anhand der strichpunktierten

Linien dargestellt ist. Um andererseits den Bereich beobachten zu können, in dem sich die akustische Linse I und die Probe 7 einander gegenüberstehen, wird das L.ichtmikroskop 17 in einer horizontalen Stellung fixiert, wie dies durch die voll ausgezogenen Linien in Fig. 9 dargestellt ist. Demzufolge kann das Lichtmikroskop 17 entweder in die vertikale oder horizontale Stellung beweg' werden.

bei dem Ausführungsbeispiel gemäß Fig. 9 kann die Ausrichtung des Gesichtsfelds des Lichtmikroskops 17 auf den Bereich, in dem sich die akustische Linse 1 und die Probe 7 einander gegenüberstehen, dadurch bewirkt werden, daß man das Lichtmikroskop 17 selbst bewegt, ohne dabei zusätzliche Teile, wie bei den vorstehend erwähnten Ausführungsbeispielen, verwenden zu müssen. Das heißt, es brauchen kein Reflexionsspiegel 21, keine Linse 20 und keine anderen Teile verwendet werden. Demzufolge kann die Anzahl der Teile verringert werden. Da weiterhin kein zusätzliches Element auf der optischen Achse des Lichtmikroskops 17 vorgesehen ist, kann ein Justiervorgang rasch durchgeführt werden.

Die vorstehenden Ausführungsbeispiele wurden in Verbindung mit einem Ultraschallmikroskop erläutert, das eine einzige akustische Linse aufweist. Die Erfindung kann jedoch in gleichem Maße bei einem Ultraschallmikroskop Anwendung finden, bei dem separate akustische Linsen in winkelförmig geneigter Beziehung zueinander auf einer Seite des Objekttisches oder sich einander gegenüberliegend zu beiden Seiten des Objekttisches angeordnet sind.

Wie vorstehend erläutert, kann der zwischen einer akustischen Linse und einer Probe ausgebildete Spalt mit Hilfe eines einfachen Aufbaues beobachtet werden. Demzufolge kann eine Beschädigung der akustischen Linse verhindert werden.

Hierzu 5 Blatt Zeichnungen

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Claims

Patentansprüche:

1. Ukraschallmikroskop mit

— einem Objekttisch (14) zum Auflegen einer zu beobachtenden Probe (7),

— einer gegenüber dem Objekttisch (14) angeordneten akustischen Linse (1), die Einrichtungen (2,3) zum Aussenden und Empfangen einer UI-traschallwelle (6) aufweist, und

— einer Anzeigeeinheit (12) zum Erzeugen und Anzeigen eines ^Bildes auf der Grundlage einer von der Probe (7) reflektierten und von der akustischen Linse (1) empfangenen Ultraschallwel-Ie,

gekennzeichnet durch

— ein Lichtmikroskop (17) zur Betrachtung der auf desfl Objekttisch (14) befindlichen Probe (7) und

— eine Gesichtsfeld-Justiereinrichtung (21, 20, 29, 30) zum Abstimmen des Gesichtsfeldes des Lichtmikroskops (17) auf einen Bereich, in dem sich die akustische Linse (1) und die Probe (7) einander gegenüberstehen.