JPS6098352A - 超音波顕微鏡 - Google Patents
超音波顕微鏡Info
- Publication number
- JPS6098352A JPS6098352A JP58204722A JP20472283A JPS6098352A JP S6098352 A JPS6098352 A JP S6098352A JP 58204722 A JP58204722 A JP 58204722A JP 20472283 A JP20472283 A JP 20472283A JP S6098352 A JPS6098352 A JP S6098352A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ultrasonic
- observation
- head
- sample
- optical
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01S—RADIO DIRECTION-FINDING; RADIO NAVIGATION; DETERMINING DISTANCE OR VELOCITY BY USE OF RADIO WAVES; LOCATING OR PRESENCE-DETECTING BY USE OF THE REFLECTION OR RERADIATION OF RADIO WAVES; ANALOGOUS ARRANGEMENTS USING OTHER WAVES
- G01S15/00—Systems using the reflection or reradiation of acoustic waves, e.g. sonar systems
- G01S15/88—Sonar systems specially adapted for specific applications
- G01S15/89—Sonar systems specially adapted for specific applications for mapping or imaging
- G01S15/8906—Short-range imaging systems; Acoustic microscope systems using pulse-echo techniques
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Radar, Positioning & Navigation (AREA)
- Remote Sensing (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
- Microscoopes, Condenser (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明は、超音波ヘッドど光学ヘッドどを貝え。
スライド機構を介しＣヘッドを切り換えＣ１超音波観察
ど光学観察を共に（ｊなえるようにしたｌ合波顕微鏡に
関り−るものである。
ど光学観察を共に（ｊなえるようにしたｌ合波顕微鏡に
関り−るものである。
従来技術
従来、超音波ヘッドと光学ヘッドとを具え、超音波ビー
ムを利用して試料を観察づるど共に、）を学観察も行な
えるようにした川音′６！１．顕微鏡が実用化されてい
る。この種超音波顕微鏡にＪ３いＪ ｉａ、試料の同一
箇所について超音波観察及び光学観察を行なえることが
望まれＣいる。しかし、従来の超音波顕微鏡にＪ３い−
Ｃは、光学観察の光路を形成りる鏡筒に直接対物レンズ
を取り（＝Ｊｉプる構成になっＣいるため超音波ヘッド
ど対物レンズどを離間して配置しなければならず、超音
波観察と光学観察が対応しない不具合が生じでいた。
ムを利用して試料を観察づるど共に、）を学観察も行な
えるようにした川音′６！１．顕微鏡が実用化されてい
る。この種超音波顕微鏡にＪ３いＪ ｉａ、試料の同一
箇所について超音波観察及び光学観察を行なえることが
望まれＣいる。しかし、従来の超音波顕微鏡にＪ３い−
Ｃは、光学観察の光路を形成りる鏡筒に直接対物レンズ
を取り（＝Ｊｉプる構成になっＣいるため超音波ヘッド
ど対物レンズどを離間して配置しなければならず、超音
波観察と光学観察が対応しない不具合が生じでいた。
このため超音波観察と光学ｉ察とを止確にＭ’ｌ ｌ、
ａさけるためには、−りのヘッドｅ観Ｅ（Ｌ、 ｔ；：
後、ｉｉＡ籾を他方のヘッドの視野内に移動しＣＩＩ確
に位置出ししな１〕ればならない。しかし、超１？、ン
皮Ｗｌ ｉ’ｉｋ鏡の観略警ン遥ｌ野は０．１１１和四
万′ｃあるＩこめ試オ゛之１の移１Ｆカ（、二は厳格４
１粕用が要求され、また超音波観察ｆへ：ど光学観祭像
は外観形状が相異する場合らあるｉｓめ１・１（ｌｌ像
を観察しながら手動操作０位１へ出しりるこ−どは極め
Ｃ困ＩＩＩ ｔ’ある。また、観察リベき試オ′シを載
置した試＃１台を超音波観察の副走査に用いわ駆動装置
を用いで所定の距離だ１〕移動さけるノ′）払し乙えら
れるが、試料台の移動に要りる時間や、精度を確保する
ためにはほぼ不可能に近いものＣある。
ａさけるためには、−りのヘッドｅ観Ｅ（Ｌ、 ｔ；：
後、ｉｉＡ籾を他方のヘッドの視野内に移動しＣＩＩ確
に位置出ししな１〕ればならない。しかし、超１？、ン
皮Ｗｌ ｉ’ｉｋ鏡の観略警ン遥ｌ野は０．１１１和四
万′ｃあるＩこめ試オ゛之１の移１Ｆカ（、二は厳格４
１粕用が要求され、また超音波観察ｆへ：ど光学観祭像
は外観形状が相異する場合らあるｉｓめ１・１（ｌｌ像
を観察しながら手動操作０位１へ出しりるこ−どは極め
Ｃ困ＩＩＩ ｔ’ある。また、観察リベき試オ′シを載
置した試＃１台を超音波観察の副走査に用いわ駆動装置
を用いで所定の距離だ１〕移動さけるノ′）払し乙えら
れるが、試料台の移動に要りる時間や、精度を確保する
ためにはほぼ不可能に近いものＣある。
発明の目的
本発明の目的は、上述した欠点を解消し、簡単な装置で
超音波ヘッドと光学ヘッドとを一体に移動させＣ試オ′
３１の同一部分について正確に超曾波観察と光学観察を
行なえるようにした超音波顕微鏡を提供することにある
。
超音波ヘッドと光学ヘッドとを一体に移動させＣ試オ′
３１の同一部分について正確に超曾波観察と光学観察を
行なえるようにした超音波顕微鏡を提供することにある
。
発明の慨要
本弁明は、加振装置によりＸ方向に振動りる超音波ヘッ
ドと光学ヘットとをＹ方向にフラ１］〜川能なスライ］
〜仮にＹ方向に離間しＵ ＩＩＭす６１す、このスジイ
ド板を前記超音波ヘットと光学ヘラ１〜どの前間距離に
超音波ヘッドのＹ方向の副走査外ｐ、１１の半分の距離
を加瞠又は減鋒し１＝距阿Ｉだけスライドできるように
しノごことを特徴どりるものである。
ドと光学ヘットとをＹ方向にフラ１］〜川能なスライ］
〜仮にＹ方向に離間しＵ ＩＩＭす６１す、このスジイ
ド板を前記超音波ヘットと光学ヘラ１〜どの前間距離に
超音波ヘッドのＹ方向の副走査外ｐ、１１の半分の距離
を加瞠又は減鋒し１＝距阿Ｉだけスライドできるように
しノごことを特徴どりるものである。
実施例
第１図は本発明に係る超音波顕微鏡の側面図（あり、第
２図はその正面図である。第１図と第２図を参照して本
発明に係る超音波顕微鏡の全体構成をｉ３２明づる。ベ
ース１にはアーム２が固定さ１（ＣいＣ１このアーム２
にはスジイド板３かＹ Ｒｌ１ｊ１に摺動【可能に装着
され−Ｃいる。スライド４ｔｘ 、’３の７＋−ム２へ
の装着はアリ満結合により行ない、各ヘッドの配置位置
を規制するためのクリック（幾構〈図示Ｕ−ず）を設け
る。スライド板３３には光伊観察用の対物レンズ４ど加
振装置５を介しＣ超音波ヘラ１−６とを所定の距離だけ
離間してＹ方向に冶っＣ同一軸線上に装着りる。またア
ーム２には鏡筒７と光伝送体８とを介して落射照明用の
光：１♀９を駅名し、鏡筒７には光学像観察用の双眼の
ｌ＞； ｌｌｌ５レンス１０を装着する。観察用のヘッ
ドの１・ｈにはＹツノ向に摺動ＩＪ」能に試料台１１が
配置され−Ｕ（／”（、この試料台１１は超音波観察時
に試）’１ｌｉ２をＹ方向（、：副走査りるための駆動
装置（図示せず）に連ｊ１−されＣいる。
２図はその正面図である。第１図と第２図を参照して本
発明に係る超音波顕微鏡の全体構成をｉ３２明づる。ベ
ース１にはアーム２が固定さ１（ＣいＣ１このアーム２
にはスジイド板３かＹ Ｒｌ１ｊ１に摺動【可能に装着
され−Ｃいる。スライド４ｔｘ 、’３の７＋−ム２へ
の装着はアリ満結合により行ない、各ヘッドの配置位置
を規制するためのクリック（幾構〈図示Ｕ−ず）を設け
る。スライド板３３には光伊観察用の対物レンズ４ど加
振装置５を介しＣ超音波ヘラ１−６とを所定の距離だけ
離間してＹ方向に冶っＣ同一軸線上に装着りる。またア
ーム２には鏡筒７と光伝送体８とを介して落射照明用の
光：１♀９を駅名し、鏡筒７には光学像観察用の双眼の
ｌ＞； ｌｌｌ５レンス１０を装着する。観察用のヘッ
ドの１・ｈにはＹツノ向に摺動ＩＪ」能に試料台１１が
配置され−Ｕ（／”（、この試料台１１は超音波観察時
に試）’１ｌｉ２をＹ方向（、：副走査りるための駆動
装置（図示せず）に連ｊ１−されＣいる。
次に観察操作につい−Ｃ説明づる。超合波観副を行なう
には、まず観察すべき試料を試料台１１の植゛１微鏡の
光軸上に載置し、超音波ヘラ１〜６を観宗装置まて手動
で移動さける。超音波ヘッド６（Ｊ加振装置５よりＸ方
向の振動が与えられＸｌ）向く紙面に垂直方向）に主走
査を行ない、同時に試料台１１がＹ１ノ向に所定のｒＩ
離だ（プ等速移動しＣ副走査を行ない、これにより試料
１２が超音波ヘッドによりノスタ走査される。走査しな
がら超音波ヘッド０から試料１２に超音波ビームを投ｑ
・１シ、試料Ｃ反射された超音波を超高波ヘッドで集め
Ｃ電気信号に変換し、これを適当に処理しＣ画像（ｌｊ
号を行、これを七−夕に供給しく超音波像を表示りる。
には、まず観察すべき試料を試料台１１の植゛１微鏡の
光軸上に載置し、超音波ヘラ１〜６を観宗装置まて手動
で移動さける。超音波ヘッド６（Ｊ加振装置５よりＸ方
向の振動が与えられＸｌ）向く紙面に垂直方向）に主走
査を行ない、同時に試料台１１がＹ１ノ向に所定のｒＩ
離だ（プ等速移動しＣ副走査を行ない、これにより試料
１２が超音波ヘッドによりノスタ走査される。走査しな
がら超音波ヘッド０から試料１２に超音波ビームを投ｑ
・１シ、試料Ｃ反射された超音波を超高波ヘッドで集め
Ｃ電気信号に変換し、これを適当に処理しＣ画像（ｌｊ
号を行、これを七−夕に供給しく超音波像を表示りる。
走査柊ｒ後に試オ゛）１台１１は逆方向に移動し最初の
スターｉ−位首に戻る。引き続い゛て光学観察をｉうな
・）に（ま、試料１２を顕微鏡の光軸上に配置したまま
の状Ｑｐ にしてＪ３き、手動操作にＪ、り対物レンズ
４を−Ｙ ／ｊ向に顕微鏡の光軸とり・Ｊ物しンスの光
軸が一致・Ｊる位ｂ；、＋ ｑｌ：て移動させる。この
時、スライＩ〜（ｋと１７−ムとのクリック機構により
移動距離か現１ｌＩＩＩされＣａ３す、１ｔ−１＋１（
に位置出しが行なわれる。対物レンズ４が取りイ；Ｊ（
ノられ（いるスライド、板３には光路を形成りる孔か設
（ノられ（おり光源１０からの照明光か光伝送体ε３ど
対物レンズの鏡筒を軒Ｃ試石１２の表面を照明づる。そ
して、試料表面からの反ｑ・１光が対物レンズ４、スラ
イド板に形成されＣいる孔、鏡筒７及び接眼レンズ１０
を経て観察される。このようにＹ方向に摺動可能なスラ
イド板に超音波ヘッド６ど光学ヘッド４どをＹ方向に臼
１間して配；１”７りれば、試料台１１を移動づること
なく簡単な手動操１′１により正確にヘッドの位置出し
がｉＪ能に肩−ろ。
スターｉ−位首に戻る。引き続い゛て光学観察をｉうな
・）に（ま、試料１２を顕微鏡の光軸上に配置したまま
の状Ｑｐ にしてＪ３き、手動操作にＪ、り対物レンズ
４を−Ｙ ／ｊ向に顕微鏡の光軸とり・Ｊ物しンスの光
軸が一致・Ｊる位ｂ；、＋ ｑｌ：て移動させる。この
時、スライＩ〜（ｋと１７−ムとのクリック機構により
移動距離か現１ｌＩＩＩされＣａ３す、１ｔ−１＋１（
に位置出しが行なわれる。対物レンズ４が取りイ；Ｊ（
ノられ（いるスライド、板３には光路を形成りる孔か設
（ノられ（おり光源１０からの照明光か光伝送体ε３ど
対物レンズの鏡筒を軒Ｃ試石１２の表面を照明づる。そ
して、試料表面からの反ｑ・１光が対物レンズ４、スラ
イド板に形成されＣいる孔、鏡筒７及び接眼レンズ１０
を経て観察される。このようにＹ方向に摺動可能なスラ
イド板に超音波ヘッド６ど光学ヘッド４どをＹ方向に臼
１間して配；１”７りれば、試料台１１を移動づること
なく簡単な手動操１′１により正確にヘッドの位置出し
がｉＪ能に肩−ろ。
次にスジイド板３のスライド距離ｉ ＮＵ定につい（説
明りる。
明りる。
第３図は試料Ｊ−の超音波ヘット６にｊ、る、Ｌ合Ｈ′
Ｉ＋１−・ｙと対物レンズ４の観察視野を表わす線図Ｃ
あろ３、実線は超音波ヘッド０の走査線を小し、破線は
λ・］物レしズ４の観察視野を示しＣいる。超音波ヘッ
ト６はスタート装置Ｓより走査を開始しくは（３１，四
角形をなり領域を走査し、対物レンズ４の観Ｓｋｉ ン
１ｓ野は超音波ヘット６の走査領域の中ＩＬ１に顕微類
の光軸か位ＥＨｐｉする１、Ｙぼ円形の領域となる。
Ｉ＋１−・ｙと対物レンズ４の観察視野を表わす線図Ｃ
あろ３、実線は超音波ヘッド０の走査線を小し、破線は
λ・］物レしズ４の観察視野を示しＣいる。超音波ヘッ
ト６はスタート装置Ｓより走査を開始しくは（３１，四
角形をなり領域を走査し、対物レンズ４の観Ｓｋｉ ン
１ｓ野は超音波ヘット６の走査領域の中ＩＬ１に顕微類
の光軸か位ＥＨｐｉする１、Ｙぼ円形の領域となる。
１１１−）Ｔ 、第３図から理解されるＪ、 ５ ｉこ
、超高波観察にＪハノる走査領域と対物レンズの観察ン
只野を一致させるには、対物１ノンズの光軸を超音波ヘ
ツドの副走査距Ｍｄの半分の距１ａｄ／２だけスター１
〜位置Ｓより離間しなければならない。第４図はヘッド
を観察位置に定位させるためのスライド板３の移動距離
を示す模式図であり、第４図Ａは超音波観察時の配置位
置を示し、第４図Ｂは光学観察時の配置位置を示す。こ
こＣ，試料１２は！Ｊｉ４徹鎮の光軸に配＠りるものど
じ、超音波ヘッド６ど光学ヘッド４の離間距離を１１超
音波観察の副走査外削をＣＩどし、試料台１１は距離ｃ
ｌ ｌ、″（ＪＹｈ向に移動するものとづる。そして、
超音波観察時に超音波ヘッド６は顕微鏡の光軸（一点鎖
線で示１）Ｊ、すｄ、／２だけ離間しで配置し、光学観
察時には顕微鏡の光軸と対物レンズ４の光軸が一致りる
ように配置づる。従って、超音波観察を行なった後光学
観察を行なう場合には、距ｌ１１℃＋ｄ／２に番ノスラ
イド板３を−Ｙ方向に移動させればよく、光学観察の後
に超音波観察を行なうには距離λ十ｄ／２だけスライド
板３をＹ方向に移動さければよいことになる。尚、本例
ではＹ方向に副走査する構成としたが、−Ｙ方向に副走
査する場合には、距離β−ｄ／２だけスライド板３を移
動させることになる。また、スライド板３を移動する場
合、アーム２とスライド板３にクリック機構を設【ｊて
常に所定の距離だけ移動すればヘッドが各々の観察位置
に定位できるように構成されているから、操作者はスラ
イド板３をＹ方向又は−Ｙ方向に上記距離だ（プ移動す
れば、正確に各ヘッドを所定の観察位置に定位できるこ
とになる。
、超高波観察にＪハノる走査領域と対物レンズの観察ン
只野を一致させるには、対物１ノンズの光軸を超音波ヘ
ツドの副走査距Ｍｄの半分の距１ａｄ／２だけスター１
〜位置Ｓより離間しなければならない。第４図はヘッド
を観察位置に定位させるためのスライド板３の移動距離
を示す模式図であり、第４図Ａは超音波観察時の配置位
置を示し、第４図Ｂは光学観察時の配置位置を示す。こ
こＣ，試料１２は！Ｊｉ４徹鎮の光軸に配＠りるものど
じ、超音波ヘッド６ど光学ヘッド４の離間距離を１１超
音波観察の副走査外削をＣＩどし、試料台１１は距離ｃ
ｌ ｌ、″（ＪＹｈ向に移動するものとづる。そして、
超音波観察時に超音波ヘッド６は顕微鏡の光軸（一点鎖
線で示１）Ｊ、すｄ、／２だけ離間しで配置し、光学観
察時には顕微鏡の光軸と対物レンズ４の光軸が一致りる
ように配置づる。従って、超音波観察を行なった後光学
観察を行なう場合には、距ｌ１１℃＋ｄ／２に番ノスラ
イド板３を−Ｙ方向に移動させればよく、光学観察の後
に超音波観察を行なうには距離λ十ｄ／２だけスライド
板３をＹ方向に移動さければよいことになる。尚、本例
ではＹ方向に副走査する構成としたが、−Ｙ方向に副走
査する場合には、距離β−ｄ／２だけスライド板３を移
動させることになる。また、スライド板３を移動する場
合、アーム２とスライド板３にクリック機構を設【ｊて
常に所定の距離だけ移動すればヘッドが各々の観察位置
に定位できるように構成されているから、操作者はスラ
イド板３をＹ方向又は−Ｙ方向に上記距離だ（プ移動す
れば、正確に各ヘッドを所定の観察位置に定位できるこ
とになる。
発明の詳細
な説明したように本発明によれば、超音波ヘッドと光学
ヘッドを取り付けたスライド板をＹ方向又は−Ｙ方向移
動するという簡単な操作で試料の同一部分について超音
波観察と光学観察を行なうことが可能になり、超音波観
察と光学観察を正確に対応ざ「ることができる。また、
スライド板はＹ方向に直線的に移動ざゼるだりでＪ、い
から、構成は非常に簡単となると共に位置出しの精度も
向上することになる。
ヘッドを取り付けたスライド板をＹ方向又は−Ｙ方向移
動するという簡単な操作で試料の同一部分について超音
波観察と光学観察を行なうことが可能になり、超音波観
察と光学観察を正確に対応ざ「ることができる。また、
スライド板はＹ方向に直線的に移動ざゼるだりでＪ、い
から、構成は非常に簡単となると共に位置出しの精度も
向上することになる。
第１図は本発明に係る超音波顕微ｔｉの側面図、第２図
は同じくその正面図、 第３図は超音波観察時の走査領域と光学観察の観察視野
を示η線図、 第４図△およびＢはスライド板の移１ＩＩＩＪ距離を示
１線図である。 １・・・ベース ２・・・アーム ３・・・スライド板 ４・・・対物レンズ５・・・加振
装置 ６・・・超音波ヘッド７・・・鏡筒 °８・・・
光伝送体 ９３８．光源 １０・・・接眼レンズ １１・・・試料台 １２・・・詭゛料 第１図 ｆｏ ：バｌ、 Ｊ’、’ｊｌ
は同じくその正面図、 第３図は超音波観察時の走査領域と光学観察の観察視野
を示η線図、 第４図△およびＢはスライド板の移１ＩＩＩＪ距離を示
１線図である。 １・・・ベース ２・・・アーム ３・・・スライド板 ４・・・対物レンズ５・・・加振
装置 ６・・・超音波ヘッド７・・・鏡筒 °８・・・
光伝送体 ９３８．光源 １０・・・接眼レンズ １１・・・試料台 １２・・・詭゛料 第１図 ｆｏ ：バｌ、 Ｊ’、’ｊｌ
Claims (1)
- １、加振装置によりＸ方向に振動する超音波ヘッドど光
学ヘッドどをＹ方向にフラ４］〜川能なスライド板にＹ
方向に離間しＣ取、り付け、このスライド板を前記超音
波ヘッドと光学ヘッドとの離間距離に超音波ヘッドのＹ
方向の副走査距離の半分の距−１を加Ｑ又は減ｔ＞ し
た距離だけスライドできるようにしたことを特徴とりる
超音波顕微鏡。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204722A JPS6098352A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
| US06/664,428 US4621531A (en) | 1983-11-02 | 1984-10-24 | Ultrasonic microscope |
| GB08427666A GB2149506B (en) | 1983-11-02 | 1984-11-01 | Ultrasonic microscope |
| DE3440152A DE3440152C2 (de) | 1983-11-02 | 1984-11-02 | Ultraschall-Mikroskop |
| US06/888,020 US4726229A (en) | 1983-11-02 | 1986-07-22 | Microscope having an optical head and an additional head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58204722A JPS6098352A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6098352A true JPS6098352A (ja) | 1985-06-01 |
Family
ID=16495222
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58204722A Pending JPS6098352A (ja) | 1983-11-02 | 1983-11-02 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (2) | US4621531A (ja) |
| JP (1) | JPS6098352A (ja) |
| DE (1) | DE3440152C2 (ja) |
| GB (1) | GB2149506B (ja) |
Families Citing this family (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5627320A (en) * | 1988-03-23 | 1997-05-06 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for automated non-destructive inspection of integrated circuit packages |
| CA1325537C (en) * | 1988-08-01 | 1993-12-28 | Timothy Peter Dabbs | Confocal microscope |
| US5319977A (en) * | 1991-06-20 | 1994-06-14 | The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Near field acoustic ultrasonic microscope system and method |
| USD387366S (en) * | 1996-09-11 | 1997-12-09 | Nikon Corporation | Microscope |
| US6398721B1 (en) * | 1999-02-19 | 2002-06-04 | Olympus Optical Co., Ltd. | Surgical microscope apparatus |
| JP2001224595A (ja) * | 1999-12-08 | 2001-08-21 | Olympus Optical Co Ltd | 顕微鏡下手術用超音波プローブ |
| JP2005292320A (ja) * | 2004-03-31 | 2005-10-20 | Olympus Corp | 画像顕微鏡装置 |
| USD799576S1 (en) * | 2014-05-12 | 2017-10-10 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope |
| USD824445S1 (en) * | 2014-08-19 | 2018-07-31 | Leica Microsystems Cms Gmbh | Microscope |
| CN104792882A (zh) * | 2015-04-03 | 2015-07-22 | 上海和伍新材料科技有限公司 | 利用激光笔进行超声探头定位的装置和方法 |
| US20180372874A1 (en) * | 2017-06-26 | 2018-12-27 | GM Global Technology Operations LLC | Apparatus for mechanical scanning scheme for lidar illuminator |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS5824069B2 (ja) * | 1978-05-18 | 1983-05-19 | 松下電器産業株式会社 | 動コンバ−ゼンス調整回路 |
Family Cites Families (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JPS58118958A (ja) * | 1982-01-06 | 1983-07-15 | Hitachi Ltd | 超音波顕微鏡 |
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| DE3335480A1 (de) * | 1983-09-30 | 1985-04-18 | Ernst Leitz Wetzlar Gmbh, 6330 Wetzlar | Verfahren und vorrichtung zur durchfuehrung mehrerer einander ergaenzender mikroskopischer untersuchungen |
-
1983
- 1983-11-02 JP JP58204722A patent/JPS6098352A/ja active Pending
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1984
- 1984-10-24 US US06/664,428 patent/US4621531A/en not_active Expired - Fee Related
- 1984-11-01 GB GB08427666A patent/GB2149506B/en not_active Expired
- 1984-11-02 DE DE3440152A patent/DE3440152C2/de not_active Expired
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1986
- 1986-07-22 US US06/888,020 patent/US4726229A/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5824069B2 (ja) * | 1978-05-18 | 1983-05-19 | 松下電器産業株式会社 | 動コンバ−ゼンス調整回路 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3440152C2 (de) | 1986-07-31 |
| GB8427666D0 (en) | 1984-12-05 |
| DE3440152A1 (de) | 1985-05-23 |
| US4726229A (en) | 1988-02-23 |
| GB2149506B (en) | 1987-01-21 |
| US4621531A (en) | 1986-11-11 |
| GB2149506A (en) | 1985-06-12 |
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