JPH0330105B2 - - Google Patents
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- JPH0330105B2 JPH0330105B2 JP59001947A JP194784A JPH0330105B2 JP H0330105 B2 JPH0330105 B2 JP H0330105B2 JP 59001947 A JP59001947 A JP 59001947A JP 194784 A JP194784 A JP 194784A JP H0330105 B2 JPH0330105 B2 JP H0330105B2
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N29/00—Investigating or analysing materials by the use of ultrasonic, sonic or infrasonic waves; Visualisation of the interior of objects by transmitting ultrasonic or sonic waves through the object
- G01N29/04—Analysing solids
- G01N29/06—Visualisation of the interior, e.g. acoustic microscopy
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
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Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は、高周波超音波エネルギを利用する超
音波撮像装置にかかり、特に超音波顕微鏡におい
て、生物試料などを観察するに便なる超音波カバ
ープレートを有するものに関する。
音波撮像装置にかかり、特に超音波顕微鏡におい
て、生物試料などを観察するに便なる超音波カバ
ープレートを有するものに関する。
音波周波数1GHz、従つて水中での音波長とし
て約1.5μｍに及ぶ超高周波を利用して、観察対象
の微視的な弾性的性質を反映した画像を得る装置
として、機械走査型超音波顕微鏡がある。
て約1.5μｍに及ぶ超高周波を利用して、観察対象
の微視的な弾性的性質を反映した画像を得る装置
として、機械走査型超音波顕微鏡がある。
即ち第１図に示すように、サフアイア等の円柱
状の結晶よりなる音響レンズ２０は、その一端面
は光学研磨された平面で他端面には凹面状の半球
穴のレンズ面２５が形成されている。前記平面に
形成された圧電薄膜１５に信号源１０よりRF電
気信号を印加し、音響レンズ２０内に平面波の
RF音波を放射させる。この平面音波は音響レン
ズ２０と媒質３０（通常水）の音速差による正の
レンズ作用により、その焦点Ｆに集束される。
状の結晶よりなる音響レンズ２０は、その一端面
は光学研磨された平面で他端面には凹面状の半球
穴のレンズ面２５が形成されている。前記平面に
形成された圧電薄膜１５に信号源１０よりRF電
気信号を印加し、音響レンズ２０内に平面波の
RF音波を放射させる。この平面音波は音響レン
ズ２０と媒質３０（通常水）の音速差による正の
レンズ作用により、その焦点Ｆに集束される。
焦点付近におかれた試料により、この集束音波
は反射、散乱、透過減衰といつたじよう乱を受け
るから、音響レンズ２０及び圧電薄膜１５よりな
る超音波探触子４０によつて、このじよう乱音波
エネルギーを検出する事により試料の弾性的な性
質を反映した電気信号を得ることが出来る。試料
もしくは超音波探触子を機械的に２次元に走査し
ながら、この電気信号をこの走査に同期して
CRT上に表示して、音波顕微鏡像が得られる。
は反射、散乱、透過減衰といつたじよう乱を受け
るから、音響レンズ２０及び圧電薄膜１５よりな
る超音波探触子４０によつて、このじよう乱音波
エネルギーを検出する事により試料の弾性的な性
質を反映した電気信号を得ることが出来る。試料
もしくは超音波探触子を機械的に２次元に走査し
ながら、この電気信号をこの走査に同期して
CRT上に表示して、音波顕微鏡像が得られる。
この様なじよう乱音波を検出する構成には、第
２図及び第３図に示すものがある。第２図は、超
音波ビームを発生させた探触子４０によつて、試
料台８０上の試料６０よりの反射音波を検出する
反射型の構成を示す。この反射型は、ICやLSI等
のデバイスや厚い金属試料等を観察する際に用い
られ、超音波顕微鏡の重要な撮像対象である生物
組織切片などの生物資料ではこのような反射構成
では良好な反射信号が得られない。
２図及び第３図に示すものがある。第２図は、超
音波ビームを発生させた探触子４０によつて、試
料台８０上の試料６０よりの反射音波を検出する
反射型の構成を示す。この反射型は、ICやLSI等
のデバイスや厚い金属試料等を観察する際に用い
られ、超音波顕微鏡の重要な撮像対象である生物
組織切片などの生物資料ではこのような反射構成
では良好な反射信号が得られない。
第２図に示すような反射構成における試料から
の反射信号は、周知のように媒質７０及び試料６
０の音響インピーダンスで定まり次の音圧反射率
ｒに比例する。
の反射信号は、周知のように媒質７０及び試料６
０の音響インピーダンスで定まり次の音圧反射率
ｒに比例する。
ｒ＝（ZS−ZW）／（ZS＋ZW）……(1)
ここで、ZS，ZWはそれぞれ試料及び媒質の音
響インピーダンスを表わしている。生物試料で
は、音響インピーダンスZSの大きさの範囲は0.6
〜2.0MKSである。媒質に水を用いると、ZW＝
1.5MKSであるから、上記反射率は極めて小さ
く、ZS＝2.0MKSの場合ですら−16.9dB（ｒ＝１
即ち完全反射体のときを0dBとしている）にすぎ
ない。超音波顕微鏡の分解能を向上する為には使
用超音波数を高める必要があるが、音響レンズと
試料間の音波伝播媒質での伝播減衰（常温の水で
200dB／mm＠1GHz）が大きいので、出来るだけ
強い反射信号を得ることがシステムのＳ／Ｎ比か
らみて不可欠である。
響インピーダンスを表わしている。生物試料で
は、音響インピーダンスZSの大きさの範囲は0.6
〜2.0MKSである。媒質に水を用いると、ZW＝
1.5MKSであるから、上記反射率は極めて小さ
く、ZS＝2.0MKSの場合ですら−16.9dB（ｒ＝１
即ち完全反射体のときを0dBとしている）にすぎ
ない。超音波顕微鏡の分解能を向上する為には使
用超音波数を高める必要があるが、音響レンズと
試料間の音波伝播媒質での伝播減衰（常温の水で
200dB／mm＠1GHz）が大きいので、出来るだけ
強い反射信号を得ることがシステムのＳ／Ｎ比か
らみて不可欠である。
そこで、第３図に示す透過型の構成が用いられ
る。これは、超音波発振用の探触子４０と別の探
触子４０′とを対向して共焦点に配置し、探触子
４０より放射し試料６０を透過した音波を探触子
４０′により検出するものである。
る。これは、超音波発振用の探触子４０と別の探
触子４０′とを対向して共焦点に配置し、探触子
４０より放射し試料６０を透過した音波を探触子
４０′により検出するものである。
資料６０は試料台８０′に貼つており、この試
料台としては金属わくにはられた薄いマイラー膜
が用いられていた。マイラー膜の音響インピーダ
ンスは水と殆んど同じで、支持膜の存在が無視出
来るからである。
料台としては金属わくにはられた薄いマイラー膜
が用いられていた。マイラー膜の音響インピーダ
ンスは水と殆んど同じで、支持膜の存在が無視出
来るからである。
透過構成では、探触子が２つ必要であるばかり
でなく、２つの探触子を共焦点に配置する為に複
雑かつ微妙なアライメント調整が必要で反射構成
に比べて著るしく操作性が悪くなる。従つて、も
し、反射構成のままで、良好な反射信号が得られ
るなら、このような難点は解消され、又、装置も
単純化されることが期待される。
でなく、２つの探触子を共焦点に配置する為に複
雑かつ微妙なアライメント調整が必要で反射構成
に比べて著るしく操作性が悪くなる。従つて、も
し、反射構成のままで、良好な反射信号が得られ
るなら、このような難点は解消され、又、装置も
単純化されることが期待される。
本発明は以上の点に鑑みてなされたもので、反
射型構成の超音波顕微鏡において、生物試料にお
いても良好な反射信号をもつて良好な画像を得ら
れるようにする事を目的としている。
射型構成の超音波顕微鏡において、生物試料にお
いても良好な反射信号をもつて良好な画像を得ら
れるようにする事を目的としている。
本発明の特徴は、試料と音波伝播媒介との間に
この両者より音響インピーダンスの大きなカバー
プレートを介在させた構成にある。
この両者より音響インピーダンスの大きなカバー
プレートを介在させた構成にある。
本発明では、このカバープレートの板内での超
音波の多重反射を利用するのであるが、以下第４
図により本発明の要旨を詳細に説明する。音響レ
ンズを有する超音波探触子４０及び試料６０、音
波伝播媒質７０（通常、生物試料の場合、水や生
理的食塩水が用いられる）は上述した通りであ
る。本発明の特徴である超音波カバープレート５
が試料６０の前面に設置されている。超音波探触
子４０から放射された超音波ビーム７はカバープ
レート５の上面ｌ、や下面l2で多重反射する。
音波の多重反射を利用するのであるが、以下第４
図により本発明の要旨を詳細に説明する。音響レ
ンズを有する超音波探触子４０及び試料６０、音
波伝播媒質７０（通常、生物試料の場合、水や生
理的食塩水が用いられる）は上述した通りであ
る。本発明の特徴である超音波カバープレート５
が試料６０の前面に設置されている。超音波探触
子４０から放射された超音波ビーム７はカバープ
レート５の上面ｌ、や下面l2で多重反射する。
媒質、試料及びカバープレートのそれぞれの音
響インピーダンスをZW，ZS，ZLとすると、上面l1
の反射率r12および下面の反射率r23は次の式で表
わされる。
響インピーダンスをZW，ZS，ZLとすると、上面l1
の反射率r12および下面の反射率r23は次の式で表
わされる。
r12＝（ZL−ZW）／（ZL＋ZW）
r23＝（ZS−ZL）／（ZS＋ZL）
音速VLで厚さｄのカバープレートを媒質と試
料で挟んだ多層構造に周波数ｆの超音射を媒質側
から入射したときの多層構成全体の反射率は次式
になる。
料で挟んだ多層構造に周波数ｆの超音射を媒質側
から入射したときの多層構成全体の反射率は次式
になる。
ｒ＝r12＋r23e-j〓／１＋r12r23e-j〓
ただしθ＝4πdf／VL
上式より音圧反射率の絶対値は｜ｒ｜は次式の
ようになる。
ようになる。
｜ｒ｜＝〔r12 2＋2r12r23cosθ＋r23 2／１＋2r12r23c
osθ＋r12 2r23 2〕1/2 この系において音圧反射率｜ｒ｜がカバープレ
ートの厚さｄ（上式ではθ）や音響インピーダン
スZL、音波伝播速度VLによつてどう変化するか
を詳細に検討したところ、媒質と試料の間にこれ
らの音響インピーダンスより大きな音響インピー
ダンスを有し、かつその厚さが1/4波長であるよ
うなカバープレートを用いると、試料の音響イン
ピーダンスが、媒質の音響インピーダンスに近似
する範囲で変化した場合でも充分な反射率従つて
反射音波信号が得られることを見出した。
osθ＋r12 2r23 2〕1/2 この系において音圧反射率｜ｒ｜がカバープレ
ートの厚さｄ（上式ではθ）や音響インピーダン
スZL、音波伝播速度VLによつてどう変化するか
を詳細に検討したところ、媒質と試料の間にこれ
らの音響インピーダンスより大きな音響インピー
ダンスを有し、かつその厚さが1/4波長であるよ
うなカバープレートを用いると、試料の音響イン
ピーダンスが、媒質の音響インピーダンスに近似
する範囲で変化した場合でも充分な反射率従つて
反射音波信号が得られることを見出した。
第５図は、媒質に水を使用した場合について、
横軸に試料の音響インピーダンスZSを、縦軸に反
射強度をとり、1/4波長の厚さのカバープレート
の音響インピーダンスZLをパラメータとしてその
変化の様子を示したものである。図中ａは、ZL＝
1.5MKS、即ち、本発明のカバープレートを用い
ない場合、又はマイラーのような水と同じ音響イ
ンピーダンスのフイルムを使用した場合を示して
いる。試料の音響インピーダンスZSが1.5MKSに
近付くと、著るしく反射率が減少することがわか
る。生物試料の音響インピーダンスZSは、水の音
響インピーダンスである1.5MKSの付近に分布し
ていて反射波が極めて微弱であるというにとどま
らず、第５図のａに示されるような特異性は、反
射強度と試料の音響インピーダンスが１対１に対
応しないという事情を生じ、画像の解釈に極めて
不便である。
横軸に試料の音響インピーダンスZSを、縦軸に反
射強度をとり、1/4波長の厚さのカバープレート
の音響インピーダンスZLをパラメータとしてその
変化の様子を示したものである。図中ａは、ZL＝
1.5MKS、即ち、本発明のカバープレートを用い
ない場合、又はマイラーのような水と同じ音響イ
ンピーダンスのフイルムを使用した場合を示して
いる。試料の音響インピーダンスZSが1.5MKSに
近付くと、著るしく反射率が減少することがわか
る。生物試料の音響インピーダンスZSは、水の音
響インピーダンスである1.5MKSの付近に分布し
ていて反射波が極めて微弱であるというにとどま
らず、第５図のａに示されるような特異性は、反
射強度と試料の音響インピーダンスが１対１に対
応しないという事情を生じ、画像の解釈に極めて
不便である。
第５図中ｂは、プレートの音響インピーダンス
ZL＝4.0のときの反射強度の状態を示している。
この場合には反射率は充分に大きく、しかも曲線
ａにみられるようなZS＝1.5MKSでの特異点が見
られない。超音波顕微鏡で生物試料を観察する場
合、反射率の２次元分布を表示しているから、こ
の例のような分布は試料の音響インピーダンスZS
の分布にほぼ比例しているので、顕微画像の解釈
が極めて明解になる。勿論、この場合は反射率の
大きさ自体も大きく、高いＳ／Ｎ比の反射信号を
得ることができるので、前述の限られたＳ／Ｎ比
の超音波送受信系を使わざるを得ないような超音
波顕微鏡では特に好都合である。
ZL＝4.0のときの反射強度の状態を示している。
この場合には反射率は充分に大きく、しかも曲線
ａにみられるようなZS＝1.5MKSでの特異点が見
られない。超音波顕微鏡で生物試料を観察する場
合、反射率の２次元分布を表示しているから、こ
の例のような分布は試料の音響インピーダンスZS
の分布にほぼ比例しているので、顕微画像の解釈
が極めて明解になる。勿論、この場合は反射率の
大きさ自体も大きく、高いＳ／Ｎ比の反射信号を
得ることができるので、前述の限られたＳ／Ｎ比
の超音波送受信系を使わざるを得ないような超音
波顕微鏡では特に好都合である。
第５図で曲線ｃは、同様にZL＝13.1MKSの場
合を示しているが、結果は同様であり、試料のよ
り大きな音響インピーダンスZSの範囲、例えば
0.6〜10MKSまで特異点なしで描画が可能であ
る。これは、生物試料でしばしば重金属による染
色や同定が行なわれているが、かかる試料では、
試料の音響インピーダンスの範囲は10MKSまで
達することもあり、この場合に極めて好適であ
る。
合を示しているが、結果は同様であり、試料のよ
り大きな音響インピーダンスZSの範囲、例えば
0.6〜10MKSまで特異点なしで描画が可能であ
る。これは、生物試料でしばしば重金属による染
色や同定が行なわれているが、かかる試料では、
試料の音響インピーダンスの範囲は10MKSまで
達することもあり、この場合に極めて好適であ
る。
第６図は本発明の実施例の全体構成を示す。信
号源１０からの励振信号は超音波探触子４０の圧
電素子に与えられる。探触子４０の前面には音響
レンズが備えられ、これにより音波伝播媒質７０
を介して所定の焦点に向つて超音波ビームが送波
される。試料台８０には金属枠６に張られたカバ
ープレート５が設置される。媒質７０、及びカバ
ープレート５を介して試料に照射される音波によ
り反射波が生じ、これが探触子４０で検出され、
この検出信号は受信器１２に受信され、画像用デ
ータとして画像表示部１８に加えられる。一方、
試料台８０は駆動部１６で機械的に走査、駆動さ
れ、画像表示部１８ではこの走査に対応した画像
処理を行なつて試料の画像を表示する。なお上記
駆動部は探触子の焦点と試料との相対位置を駆動
走査するものであれば良く、探触子４０を駆動す
るものでも良い。
号源１０からの励振信号は超音波探触子４０の圧
電素子に与えられる。探触子４０の前面には音響
レンズが備えられ、これにより音波伝播媒質７０
を介して所定の焦点に向つて超音波ビームが送波
される。試料台８０には金属枠６に張られたカバ
ープレート５が設置される。媒質７０、及びカバ
ープレート５を介して試料に照射される音波によ
り反射波が生じ、これが探触子４０で検出され、
この検出信号は受信器１２に受信され、画像用デ
ータとして画像表示部１８に加えられる。一方、
試料台８０は駆動部１６で機械的に走査、駆動さ
れ、画像表示部１８ではこの走査に対応した画像
処理を行なつて試料の画像を表示する。なお上記
駆動部は探触子の焦点と試料との相対位置を駆動
走査するものであれば良く、探触子４０を駆動す
るものでも良い。
このような上記カバープレート５は、第７図に
示すように、直径20mm、厚さ５mmの金属リング６
にシート状のカバープレート５を貼り、その裏側
に試料６０を貼つたものであり、これを反射型超
音波顕微鏡の試料台８０に設置して観察する。な
お、試料６０の裏側は空気である。
示すように、直径20mm、厚さ５mmの金属リング６
にシート状のカバープレート５を貼り、その裏側
に試料６０を貼つたものであり、これを反射型超
音波顕微鏡の試料台８０に設置して観察する。な
お、試料６０の裏側は空気である。
第５図の曲線ｂに示したZL＝4MKSの例として
は、高分子のシートを用いることができる。デユ
ポン社製の商品名ベスペルとして知られているポ
リイミド樹脂の音響特性を調べたところ、音響イ
ンピーダンスZL＝3.5MKSで伝播速度2400ｍ／ｓ
であることを見出し、これを厚さ5μｍのシート
状にロール延伸して良好な結果を得た。
は、高分子のシートを用いることができる。デユ
ポン社製の商品名ベスペルとして知られているポ
リイミド樹脂の音響特性を調べたところ、音響イ
ンピーダンスZL＝3.5MKSで伝播速度2400ｍ／ｓ
であることを見出し、これを厚さ5μｍのシート
状にロール延伸して良好な結果を得た。
又、同様な例として、エポキシ樹脂のなかで、
エマーソン・アンド・カミング社製の商品名スタ
イキヤスト3050CDPの音響特性を測定してZL＝
3.7MKS、VL＝2400ｍ／ｓであることを見出し
た。これを5μｍの厚さのシートにして用いても
実現することが確認できた。いずれの場合も、
5μｍの厚さは、超音波周波数120MHzにおける1/
４波長に対応している。なお、超音波カバープレ
ートの厚さが正確に1/4波長に対応していなくて
も、本発明の趣旨は達せられることも併せて見出
している。
エマーソン・アンド・カミング社製の商品名スタ
イキヤスト3050CDPの音響特性を測定してZL＝
3.7MKS、VL＝2400ｍ／ｓであることを見出し
た。これを5μｍの厚さのシートにして用いても
実現することが確認できた。いずれの場合も、
5μｍの厚さは、超音波周波数120MHzにおける1/
４波長に対応している。なお、超音波カバープレ
ートの厚さが正確に1/4波長に対応していなくて
も、本発明の趣旨は達せられることも併せて見出
している。
上記のZL＝13.1MKSの例としては、SiO2を用
いて良好な結果を得た。即ち、第８図ａに示すよ
うに、10μｍの厚さの鋼のシート６′の片面にス
パツタリング2μｍの厚さのSiO2膜５′をつけ、そ
の後、酸などによつて中空にエツチングして鋼を
取り去り、第８図ｂのように第７図と同様な構造
を作成した。SiO2の音響インピーダンスはZL＝
13.1MKS、音波伝播速度はVL＝6000ｍ／ｓであ
ることから、周波数750MHzで良好な結果を得て
いる。
いて良好な結果を得た。即ち、第８図ａに示すよ
うに、10μｍの厚さの鋼のシート６′の片面にス
パツタリング2μｍの厚さのSiO2膜５′をつけ、そ
の後、酸などによつて中空にエツチングして鋼を
取り去り、第８図ｂのように第７図と同様な構造
を作成した。SiO2の音響インピーダンスはZL＝
13.1MKS、音波伝播速度はVL＝6000ｍ／ｓであ
ることから、周波数750MHzで良好な結果を得て
いる。
以上述べたように、本発明によれば、水と生物
試料のように試料と媒質の音響インピーダンスが
近似していて、反射型では描画が困難であつた試
料についても、等価的に極めて大きな反射信号
が得られ、高Ｓ／Ｎの反射画像を得ることが出来
る。使用媒質で定まる反射信号の特異点を除去
し、反射強度の分布と試料面内の音響インピーダ
ンスの分布が一定の傾向で対応するので明確な画
像処理が可能である。また附随的にはカバープレ
ートが試料の保護膜として働らくことにより、媒
質の水や食塩水と直接接することを嫌う膨潤性試
料などについて好適であるという効果もある。
試料のように試料と媒質の音響インピーダンスが
近似していて、反射型では描画が困難であつた試
料についても、等価的に極めて大きな反射信号
が得られ、高Ｓ／Ｎの反射画像を得ることが出来
る。使用媒質で定まる反射信号の特異点を除去
し、反射強度の分布と試料面内の音響インピーダ
ンスの分布が一定の傾向で対応するので明確な画
像処理が可能である。また附随的にはカバープレ
ートが試料の保護膜として働らくことにより、媒
質の水や食塩水と直接接することを嫌う膨潤性試
料などについて好適であるという効果もある。
第１図は超音波顕微鏡の基本構成部を示す図、
第２図及び第３図は従来の透過・反射構成の顕微
鏡の動作を説明する図、第４図は本発明の原理の
説明図、第５図は本発明の実施例の特性を示す
図、第６図は本発明の１つの実施例を示すブロツ
ク図、第７図・第８図は第６図のカバープレート
部分の具体的実施例を示す断面図である。 ５……カバープレート、４０……超音波探触
子、６０……試料、７０……音波伝播媒質。
第２図及び第３図は従来の透過・反射構成の顕微
鏡の動作を説明する図、第４図は本発明の原理の
説明図、第５図は本発明の実施例の特性を示す
図、第６図は本発明の１つの実施例を示すブロツ
ク図、第７図・第８図は第６図のカバープレート
部分の具体的実施例を示す断面図である。 ５……カバープレート、４０……超音波探触
子、６０……試料、７０……音波伝播媒質。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定の焦点を有する音波レンズを備えた超音
波探触子の前記焦点付近に試料を保持し、前記探
触子を励振して得る超音波収束ビームを音波伝播
媒質を介して、前記試料に向けて放射し、この試
料からの反射音波を前記音波レンズを介して、前
記超音波探触子で受信し、その検出信号を画像デ
ータとして用いる超音波顕微鏡において、前記音
波伝播媒質及び前記試料より大きな音響インピー
ダンスを有するカバープレートを、その一面を前
記音波伝播媒質、他面を前記試料と接して設置す
ることを特徴とする超音波顕微鏡。 ２ 前記カバープレートは実質的に使用超音波の
１／４波長の厚さであることを特徴とする特許請求
の範囲第１項に記載の超音波顕微鏡。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59001947A JPS60146152A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 超音波顕微鏡 |
| CA000471796A CA1225733A (en) | 1984-01-11 | 1985-01-09 | Scanning acoustic microscope |
| US06/689,955 US4597293A (en) | 1984-01-11 | 1985-01-09 | Scanning acoustic microscope |
| DE3500640A DE3500640C2 (de) | 1984-01-11 | 1985-01-10 | Akustisches Abtastmikroskop |
| GB08500641A GB2153997B (en) | 1984-01-11 | 1985-01-10 | Acoustic microscope |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59001947A JPS60146152A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 超音波顕微鏡 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60146152A JPS60146152A (ja) | 1985-08-01 |
| JPH0330105B2 true JPH0330105B2 (ja) | 1991-04-26 |
Family
ID=11515804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59001947A Granted JPS60146152A (ja) | 1984-01-11 | 1984-01-11 | 超音波顕微鏡 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4597293A (ja) |
| JP (1) | JPS60146152A (ja) |
| CA (1) | CA1225733A (ja) |
| DE (1) | DE3500640C2 (ja) |
| GB (1) | GB2153997B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2602043B1 (fr) * | 1986-07-24 | 1990-10-12 | France Etat | Procede de mesure non destructive du profil d'une surface |
| US5627320A (en) * | 1988-03-23 | 1997-05-06 | Texas Instruments Incorporated | Apparatus and method for automated non-destructive inspection of integrated circuit packages |
| CN1019919C (zh) * | 1990-03-08 | 1993-02-17 | 清华大学 | 具有新型声镜的反射式声显微镜 |
| US5922961A (en) * | 1996-05-10 | 1999-07-13 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of Commerce | Time and polarization resolved acoustic microscope |
| DE10151593A1 (de) * | 2001-10-18 | 2003-04-30 | Contitech Luftfedersyst Gmbh | Abstands- und Druckmessung innerhalb einer Luftfeder |
| US7725167B2 (en) * | 2005-07-13 | 2010-05-25 | Clemson University | Microwave imaging assisted ultrasonically |
| JP5124741B2 (ja) * | 2006-03-13 | 2013-01-23 | 本多電子株式会社 | 音響インピーダンス測定方法、及び音響インピーダンス測定装置 |
| JP5130451B2 (ja) * | 2007-02-27 | 2013-01-30 | 国立大学法人豊橋技術科学大学 | 音響パラメータ測定装置、音響パラメータ測定装置用の試料支持体、音響パラメータ測定方法、及び超音波脳組織観察方法 |
| JP2015090281A (ja) * | 2013-11-05 | 2015-05-11 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 超音波測定方法および装置 |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4205686A (en) * | 1977-09-09 | 1980-06-03 | Picker Corporation | Ultrasonic transducer and examination method |
| US4503708A (en) * | 1983-02-07 | 1985-03-12 | Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University | Reflection acoustic microscope for precision differential phase imaging |
-
1984
- 1984-01-11 JP JP59001947A patent/JPS60146152A/ja active Granted
-
1985
- 1985-01-09 US US06/689,955 patent/US4597293A/en not_active Expired - Fee Related
- 1985-01-09 CA CA000471796A patent/CA1225733A/en not_active Expired
- 1985-01-10 DE DE3500640A patent/DE3500640C2/de not_active Expired
- 1985-01-10 GB GB08500641A patent/GB2153997B/en not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| GB8500641D0 (en) | 1985-02-13 |
| GB2153997B (en) | 1987-06-10 |
| JPS60146152A (ja) | 1985-08-01 |
| GB2153997A (en) | 1985-08-29 |
| DE3500640A1 (de) | 1985-07-18 |
| CA1225733A (en) | 1987-08-18 |
| US4597293A (en) | 1986-07-01 |
| DE3500640C2 (de) | 1986-07-03 |
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