JPS6063337A - 耐熱性導電材料 - Google Patents
耐熱性導電材料Info
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- JPS6063337A JPS6063337A JP58170089A JP17008983A JPS6063337A JP S6063337 A JPS6063337 A JP S6063337A JP 58170089 A JP58170089 A JP 58170089A JP 17008983 A JP17008983 A JP 17008983A JP S6063337 A JPS6063337 A JP S6063337A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(イ)技術分野
IC基盤、熱交換器抵抗溶接用電極、シーム溶接用電極
で;t−に用いる耐熱性に優れた導電月利に関するもの
である。
で;t−に用いる耐熱性に優れた導電月利に関するもの
である。
(ロ)従来技術とその問題点
本発明は耐熱性、導電性、熱伝導性に優れ、ICノ。(
盤の板4」、熱交換器の管イ4などに好適な銅合金材料
及びアルミニウム合金41料に関し、特に7100℃程
度の温度に於いて良好な機械強度、電気伝導度、熱伝尋
度を保持する銅合金材料及びアルミニウム合金利A′1
を提供するものである。
盤の板4」、熱交換器の管イ4などに好適な銅合金材料
及びアルミニウム合金41料に関し、特に7100℃程
度の温度に於いて良好な機械強度、電気伝導度、熱伝尋
度を保持する銅合金材料及びアルミニウム合金利A′1
を提供するものである。
近時、IC基盤へのICの高密度化に付なう発熱の対策
から基盤利料の導電゛l’−Lを維持し、熱伝導性が良
好で小型化、軽’ffE化を計り、高W1itに於いて
も機械的強さの優れた酬熱性材利が要求される。
から基盤利料の導電゛l’−Lを維持し、熱伝導性が良
好で小型化、軽’ffE化を計り、高W1itに於いて
も機械的強さの優れた酬熱性材利が要求される。
従来、これらの要求特性を有する分散粒子強化合金の製
造法として内部酸化法、粉末冶金法がある。
造法として内部酸化法、粉末冶金法がある。
しかし内部酸化法では7トリノクス金)、・ハの酸化が
生しること、或いは内部酸化不十分により合金元計;の
固溶で導電性、熱伝導性が劣化しやすいこと等のため、
管理がむずかしく高価になる。又製造+iJ’能な合金
が限定されるという問題がある。
生しること、或いは内部酸化不十分により合金元計;の
固溶で導電性、熱伝導性が劣化しやすいこと等のため、
管理がむずかしく高価になる。又製造+iJ’能な合金
が限定されるという問題がある。
一方、粉末冶金法では、混合時の伺加エネルギーが低く
乾式ボールミルによると耐熱分散粒子を均一微細に分1
1tさぜることが困;、il+である。又、湿式ボール
ミル混合によると微細な分散は可能であるが、粉末の発
火の危険や粉末の酸化の問題がある。
乾式ボールミルによると耐熱分散粒子を均一微細に分1
1tさぜることが困;、il+である。又、湿式ボール
ミル混合によると微細な分散は可能であるが、粉末の発
火の危険や粉末の酸化の問題がある。
本発明は上記Iji月値点を解決するためメカニカルア
ロイング法により高温での機械的強さが高く、導電性、
熱伝導1り1の良好な銅合金拐刺及びアルミニウム合金
材料を得るものである。
ロイング法により高温での機械的強さが高く、導電性、
熱伝導1り1の良好な銅合金拐刺及びアルミニウム合金
材料を得るものである。
Cつ発明の構成
本発明は、金属粉或いは合金粉に耐熱粒子を混合し、メ
カニカルアロイング法によって複合粉を作成し、型押・
熱間鍛造、ホットプレス、冷間静水圧プレス 熱間鍛造
、熱間押出等の加工により製造された等電拐料を特徴と
する。
カニカルアロイング法によって複合粉を作成し、型押・
熱間鍛造、ホットプレス、冷間静水圧プレス 熱間鍛造
、熱間押出等の加工により製造された等電拐料を特徴と
する。
金属粉には銅粉又はアルミニウム粉を使用する。
合金粉には銅合金粉又はアルミニウム合金粉を用いる。
耐熱粒子としては、Th02. Al2O3,Zr2O
3,5i02などの酸化物、Al 4CB 、 SiC
、TiCなとの炭化物、窒化物(例えば513N4)、
高融点金属(例えばW)等を単独又は数種用いかつ、混
合比を容量比30%以下とする。H熱粒子が容量比30
%を越える場合は、後加工を困難にする。
3,5i02などの酸化物、Al 4CB 、 SiC
、TiCなとの炭化物、窒化物(例えば513N4)、
高融点金属(例えばW)等を単独又は数種用いかつ、混
合比を容量比30%以下とする。H熱粒子が容量比30
%を越える場合は、後加工を困難にする。
本発明は耐熱粒子の分散による強化のほか、7トリノク
ス金属の合金元素添加による強化を1つの要件としてい
る。導電性を主目標とする場合は、7トリックスとして
純銅又は純アルミニウムが望しいが、1制熱性を最重点
とし若干導電性の犠牲を認める場合は、重量比10%以
下のZr 、 Cr 、 Thを単独又は数種用いた銅
合金、或いは重量比10%以下のFe、 Co、 Ni
、 Cu、 Zrを単独又は数種使用したアルミニウム
合金を7トリノクスとして利用出来る。これらの合金元
素は銅、アルミニウムへの固溶解度が小さいので熱処理
により析出硬化させ、導電性の低下を少なくする効果を
有する。10%を越える添加は後加工を困シミ11.に
する。
ス金属の合金元素添加による強化を1つの要件としてい
る。導電性を主目標とする場合は、7トリックスとして
純銅又は純アルミニウムが望しいが、1制熱性を最重点
とし若干導電性の犠牲を認める場合は、重量比10%以
下のZr 、 Cr 、 Thを単独又は数種用いた銅
合金、或いは重量比10%以下のFe、 Co、 Ni
、 Cu、 Zrを単独又は数種使用したアルミニウム
合金を7トリノクスとして利用出来る。これらの合金元
素は銅、アルミニウムへの固溶解度が小さいので熱処理
により析出硬化させ、導電性の低下を少なくする効果を
有する。10%を越える添加は後加工を困シミ11.に
する。
本発明の要件の1つは、耐熱粒子を800λ以下に細か
く、均一に分11女させることにある。分散強化の11
977機4111の理論からは概算で0. I Ir
フIL以下が要求される。もし粒子径が数μmに達する
と、(トム位の運動に対する障害効果よりも、むしろ合
金の破壊源となり、拐料を劣化させる。なお耐熱粒子−
の原料は細粒が好しいが、I 07i m以下なら、メ
カニカルアロイニング法による処理で細かくきれるので
問題はない。
く、均一に分11女させることにある。分散強化の11
977機4111の理論からは概算で0. I Ir
フIL以下が要求される。もし粒子径が数μmに達する
と、(トム位の運動に対する障害効果よりも、むしろ合
金の破壊源となり、拐料を劣化させる。なお耐熱粒子−
の原料は細粒が好しいが、I 07i m以下なら、メ
カニカルアロイニング法による処理で細かくきれるので
問題はない。
本発明の要件の1つは、真空、不活性ガス、窒素ガスあ
るいは種々の1・匣素分圧のりメ囲気中、乾式で高エネ
ルギーのアトライク或いはボールミルを用いたメカニカ
ルアロイング法によって母金属(又は母合金)中に80
0Å以下の耐熱粒子を均一に分散した複合粉(粒径20
μ711以上)を作成することにある。拳法では高エネ
ルギーのボールの打撃により粉末の冷間接合、破砕が繰
り返えされ、機械的に合金化し、一定粒径に成長した複
合粉を得ることが出来る。なふ・銅合金、アルミニウム
合金とも鉄合金、ニッケル合金に比較して冷間接合性が
良いので、有機系潤滑剤を添加し、メカニカルアロイン
グ法を行なうとiij:l熱粒子の均一化に有効である
。
るいは種々の1・匣素分圧のりメ囲気中、乾式で高エネ
ルギーのアトライク或いはボールミルを用いたメカニカ
ルアロイング法によって母金属(又は母合金)中に80
0Å以下の耐熱粒子を均一に分散した複合粉(粒径20
μ711以上)を作成することにある。拳法では高エネ
ルギーのボールの打撃により粉末の冷間接合、破砕が繰
り返えされ、機械的に合金化し、一定粒径に成長した複
合粉を得ることが出来る。なふ・銅合金、アルミニウム
合金とも鉄合金、ニッケル合金に比較して冷間接合性が
良いので、有機系潤滑剤を添加し、メカニカルアロイン
グ法を行なうとiij:l熱粒子の均一化に有効である
。
次に本発明の実施例を示す。
実施例1
+00メツシー以下の電解銅粉に、平均粒径04μ?+
Zのアルミナ粒子を重量比で1.8.’3.6゜72%
混合後、各混合粉] +<gと96龍直径のステンレス
ポール20 Kgをアトライクに装入し、乾式で10
torrの真空中あるいはアルゴン中で回転数180
rprnで25時間メカニカルアロイング処理を行なっ
た。得られた複合粉の平均粒度は約2007171Z
(最大1200 μ7+z、最小301i m)であっ
た。
Zのアルミナ粒子を重量比で1.8.’3.6゜72%
混合後、各混合粉] +<gと96龍直径のステンレス
ポール20 Kgをアトライクに装入し、乾式で10
torrの真空中あるいはアルゴン中で回転数180
rprnで25時間メカニカルアロイング処理を行なっ
た。得られた複合粉の平均粒度は約2007171Z
(最大1200 μ7+z、最小301i m)であっ
た。
更にこの複合粉を銅製シースに入れ、400℃。
10 ”torrの真空中で脱気し、シースを旧人し、
800℃で1時間加熱後、押出比16.1で熱間押出し
た。その月別を400℃で引張UyHさ及び電気伝導度
の測定をし、結果を第1図の111目%I Cで示す。
800℃で1時間加熱後、押出比16.1で熱間押出し
た。その月別を400℃で引張UyHさ及び電気伝導度
の測定をし、結果を第1図の111目%I Cで示す。
本発明の銅合金材料は、400℃で引張強さ30〜40
Kg/ 7n71+で、電気伝導度が70〜83%であ
り、高温に於いて優れた機械強度と電気伝導度をイJす
る。
Kg/ 7n71+で、電気伝導度が70〜83%であ
り、高温に於いて優れた機械強度と電気伝導度をイJす
る。
実施例2
+00メツシー以下の噴霧アルミニウム粉に、粒径1μ
m18以下の黒鉛粉末を重量比で3.6.10%混合し
、各混合粉を9.6 mm直径のステンレスポール20
Kgとともにアトライクに装入し、10 torrの
真空中あるいはアルゴン中で、回転数18Orpmで2
0時間メカニカルアロイング処理を行なった。
m18以下の黒鉛粉末を重量比で3.6.10%混合し
、各混合粉を9.6 mm直径のステンレスポール20
Kgとともにアトライクに装入し、10 torrの
真空中あるいはアルゴン中で、回転数18Orpmで2
0時間メカニカルアロイング処理を行なった。
得られた複合粉の平均粒度は400μjl11 (最大
1500μm、最小40μ7?l)であった。この複合
粉を銅製シースに入れ、110℃で10 torr の
真空中で脱気後、シースを封入し、500℃で1時間加
熱後押出比16:1で熱間押出し、400℃での引張強
さ及び電気伝導度をめた結果を第1図の曲線Bで示す。
1500μm、最小40μ7?l)であった。この複合
粉を銅製シースに入れ、110℃で10 torr の
真空中で脱気後、シースを封入し、500℃で1時間加
熱後押出比16:1で熱間押出し、400℃での引張強
さ及び電気伝導度をめた結果を第1図の曲線Bで示す。
本発明の拐刺は400℃で引張強さ25〜40Kg/m
J電気伝導度40〜63%である。
J電気伝導度40〜63%である。
従来のアルミニウム合金利料では電気伝導度が63%で
あっても引張強さは6 Kg/ m7!であり、本発明
の利斜が400℃に於いて優れた機械強度、電気伝導度
を有することを示している。
あっても引張強さは6 Kg/ m7!であり、本発明
の利斜が400℃に於いて優れた機械強度、電気伝導度
を有することを示している。
に)発明の効果
前項の結果から明らかなように本願発明のイΔ料は、高
温に於ける機械強度、電気伝導度及び熱伝導度(電気伝
導度と比例関係にある)が優れているので、このイΔ料
をic基盤の仮相、熱交換器の管材等に用いた場合、導
電性、熱伝導性を損うことなく、機械強度を保持するこ
とが出来又、仮相、管材の薄肉化、軽量化に有効利用出
来る。
温に於ける機械強度、電気伝導度及び熱伝導度(電気伝
導度と比例関係にある)が優れているので、このイΔ料
をic基盤の仮相、熱交換器の管材等に用いた場合、導
電性、熱伝導性を損うことなく、機械強度を保持するこ
とが出来又、仮相、管材の薄肉化、軽量化に有効利用出
来る。
第2の効果として、製造時、アトライタにより高エネル
ギーで粉末が処理されるので、塑性変形、破砕、再接合
を繰り返えすため、複合粉は一定の大きさに成長し、粉
末の発火、酸化の危1灸カー戊少し、製造中の粉末の取
扱b)管理が容意しニなる。
ギーで粉末が処理されるので、塑性変形、破砕、再接合
を繰り返えすため、複合粉は一定の大きさに成長し、粉
末の発火、酸化の危1灸カー戊少し、製造中の粉末の取
扱b)管理が容意しニなる。
又、限合粉は強エネフレギー加工を受けてυ−るため後
加−に(例えば焼結)に於ける緻密化を(Iii j(
iiし、加熱111J間が短縮出来る。
加−に(例えば焼結)に於ける緻密化を(Iii j(
iiし、加熱111J間が短縮出来る。
第3の効果として本願発明では金属7トリノクスの結晶
粒かに、tllかく、しかも微細な1fiiJ熱分子i
iA’イL子カニ均一に分11にしだ組織を得ることが
出来る。
粒かに、tllかく、しかも微細な1fiiJ熱分子i
iA’イL子カニ均一に分11にしだ組織を得ることが
出来る。
第1図は400℃に於ける材料の引張強さく1(g/
I+++II)と電気伝導度(%)の関係を示す。 曲線Aは従来のアルミニウム合金利着1の4’M tL
を、曲線Bは本願発明のアルシミニウム合金酊1’ %
Ws ’lノIE ’4′−[44(′’lの特性を、
又曲線Cは本願発明c7) 、il・16ン1[lj1
メ;゛jシ性導電材栢の特性を示す。 芳1図 電気伝導度(olo)
I+++II)と電気伝導度(%)の関係を示す。 曲線Aは従来のアルミニウム合金利着1の4’M tL
を、曲線Bは本願発明のアルシミニウム合金酊1’ %
Ws ’lノIE ’4′−[44(′’lの特性を、
又曲線Cは本願発明c7) 、il・16ン1[lj1
メ;゛jシ性導電材栢の特性を示す。 芳1図 電気伝導度(olo)
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 (1)導電性の金属粉あるいは合金粉に耐熱粒子を混合
した複合粉をメカニカルアロイング法により生成し80
0Å以下の耐熱粒子を均一に分11tさせた1l11.
I熱性導電月1’t。 (2)金属粉が銅粉又はアルミニウム粉であることを特
徴とする特許請求の範囲第1項記載の1liJ’ N!
S ’lノl導電材4’l 。 (3)合金粉が銅合金粉又はアルミニウム合金粉で;(
することを9.1徴とする特許請求の範囲第1月′1記
載の銅、・、″IV性導主導電4A 料4)耐熱粒子がT1102 、 Ae 203 、
Zr 2o3 、 S i02 、 Al4C3゜Si
C,TiC,5i3N71 及びWよりなる群より選ば
れた1神又は2種以上からなり、その混合室il’、’
:比が30%以下であることを1モ゛徴とする特許請求
範囲第1項、第2項又は第3項記載のif+iJ熱性導
電44 J”i。 (5)ハ金粉がZr、 Cr、及びThよりなる群より
選ばれた1種又は2種以上を重量比で10%以下含有す
る銅合金からなることを特徴とする特許請求範囲第1項
、第3項又は第4項記載の耐熱性導電材料。 (6)合金粉がFe、 Co、 Ni、Cr、及びZ−
よりなる群より選ばれた1種又は2種以上を重量比て1
0%以下含有するアルミニウム合金からなることを特徴
とする特許請求範囲第1項、第3項又は第4項記載の耐
熱性3ぶ型材料。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58170089A JPS6063337A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 耐熱性導電材料 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58170089A JPS6063337A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 耐熱性導電材料 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6063337A true JPS6063337A (ja) | 1985-04-11 |
Family
ID=15898437
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58170089A Pending JPS6063337A (ja) | 1983-09-14 | 1983-09-14 | 耐熱性導電材料 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6063337A (ja) |
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- 1983-09-14 JP JP58170089A patent/JPS6063337A/ja active Pending
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