JPS6052571B2 - 電解質中にグラフアイトを埋蔵した固体バルブメタルコンデンサ - Google Patents

電解質中にグラフアイトを埋蔵した固体バルブメタルコンデンサ

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JPS6052571B2
JPS6052571B2 JP51061722A JP6172276A JPS6052571B2 JP S6052571 B2 JPS6052571 B2 JP S6052571B2 JP 51061722 A JP51061722 A JP 51061722A JP 6172276 A JP6172276 A JP 6172276A JP S6052571 B2 JPS6052571 B2 JP S6052571B2
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graphite
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01GCAPACITORS; CAPACITORS, RECTIFIERS, DETECTORS, SWITCHING DEVICES, LIGHT-SENSITIVE OR TEMPERATURE-SENSITIVE DEVICES OF THE ELECTROLYTIC TYPE
    • H01G9/00Electrolytic capacitors, rectifiers, detectors, switching devices, light-sensitive or temperature-sensitive devices; Processes of their manufacture
    • H01G9/004Details
    • H01G9/008Terminals
    • H01G9/012Terminals specially adapted for solid capacitors

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は固体電解質バルブメタルコンデンサ、特にグ
ラファイトを部分的に埋蔵している固体二酸化マンガン
電解質を有するタンタルコンデンサに関するものである
固体電解質バルブメタルコンデンサが下記の方法で製
造されることは公知である。
焼結した多孔質タンタル体の露出表面全体上に酸化タン
タル膜を形成するように陽極酸化する。硝酸第一マンガ
ン溶液を、タンタル体の細孔内の部分まで含めて酸化タ
ンタル上に数回、代表的には8回適用する。各被覆を約
40(代)に焼成して硝酸第一マンガンを熱分解して半
導体すなわち二酸化マンガン(MnO2)に変化する。
熱分解した二酸化マンガンの複合膜上に水中懸濁物から
造つたグラフアイト層、ペイントの懸濁液からの銀の層
、ハンダ層および金属導体で被覆される。次に得られた
単位コンデンサをエポキシ樹脂等の中にカプセルを造つ
て収納する。固体電解質コンデンサ等の電子機器構成部
分は数分間360℃の温度に耐えることが要求されるこ
とが多いが、これらはプリント配線盤またはその他の組
豆回路にハンダで接続される。
前述の標準的なコンデンサ構造物においては36Cf′
Cの温度での故障の代表的原因は銀、ハンダおよびカプ
セル用に使用する樹脂が不適当であることから起る。た
とえば銀中の有機接着剤が変質し、有機物蒸気がMrO
2を還元してこれを電気伝導率の低い化合物にする。金
属銀もまたハンダの被覆層を滲透する。ハンダと共に使
用されるフラツクスはMrO2の還元を起し易い有機物
蒸気の発生源の他の一つである。ハンダ自身が360℃
で熔融することは明らかに好ましくない性質である。も
つとも厄介な問題はカプセル用樹脂から発生する蒸気に
よつて起るのである。またカプセル中に収容することの
ために接着剤やフラツクスから発生するすべての蒸気の
反応が、とじこめられた状態下にあるため強められる。
銀/ハンダ系の代りに95%鉛/5%錫のような通常融
点の高いハンダの熔射金属系を使用する試みも行なわれ
てた。
然しこの場合の構成は一層実施困難であつて、収率が低
い結果となつた。更に熔射したハンダは36CfCで熔
融し、高温度に処した后のコンデンサの外側にハンダの
玉が屡々認められた。この方法はMnQ.ど反応する成
型用樹脂から発生する蒸気問題の解決には何の役にも立
たぬことは同様であつた。これらの理由によりこと方法
は標準的なコンデンサが耐え得ると考えられる温度より
若干高い温度である300℃に耐えることは出来るけれ
ども、360℃の高温度に処するには適していない。こ
の問題の端的ではあるが費用がかかる解決方法は通常コ
ンデンサを有機物質を使用しないで密閉金属中に収容す
る方法である。
現在係属中の特許出願番号540,028(197師1
月10日出願)中にこの問題をもつと巧妙な方法で解決
しているコンデンサが記載されている。
その対向電極は複合したMnO,被覆中に埋蔵している
卑金属部より成立つている。卑金属と易還元性MIlO
2との間の直接接触は卑金属を貴金属でメツキするか、
これをグラフアイト被覆で覆うことにより避けられる。
本発明はこの問題の別のかつ補完的解決を提供するもの
である。従つて本発明の目的は、固体バルブメタルコン
デンサ中に新規の対向電極系を提供するにある。
本発明の別の目的は、製造工程に新しい工程を附け加え
ることのない低コストの固体バルブメタルコンデンサを
提供するにある。本発明の更に別の目的は、すぐれた動
作特性を有する固体バルブメタルコンデンサ、特に高温
中に置いた后の動作特性のすぐれものを提供するにある
。本発明の更に別の目的は、36CfCの高温に数分間
変質することなく鑞付工程に附することができる、廉価
な有機材料のハウジングを有する固体バルブメタルコン
デンサを提供するにある。
本発明の固体電解質コンデンサは、多孔質のバルブメタ
ル体と、多孔質バルブメタル体の表面を被覆しているバ
ルブメタルの酸化物の膜と、該酸化物の膜上に存在する
二酸化マンガン被覆の固体電解質被覆とより成立つてい
る。
二酸化マンガン被覆の外表面上には、グラフアイト層が
あり、これが更に外部グラフアイト層と接合している銀
、銅、ニツケル等の金属粒子より成り、これらの粒子は
シリコン樹脂またはエポキシ樹脂の如き有機接着剤で互
いに接合している導電性対向電極によつて覆われている
。1層または1層以上のグラフアイト層が二酸化マンガ
ン被覆中に埋蔵されている。
グラフアイト層の隣接層は(外部グラフアイト層も含め
て)、その間に二酸化マンガン被覆の層状部分をサンド
イツチ状に挾んいる。サンドイツチ状に挾まれている二
酸化マンガンは、グラフアイト粒子を含み、これが隣接
グラフアイト層ど電気的に接続している。このコンデン
サの部分は有機材料を含むかまたは有機材料より成るハ
ウジングまたは保護用の外部カプセルを附加的に持つて
いることもある。このようなコンデンサを回路に鑞付し
て組込み36(代)程度の温度に数分間置くと、有機物
蒸気を発生しこれがグラフアイト層間に挾まれている二
酸化マンガン被覆の外方の部分を透過し、この挾れてい
る二酸化マンガンの若干または全部を還元する。すなわ
ち、挾まれている二酸化マンガンは還元されて抵抗が大
きくなるが、最も内部に埋蔵されているグラフアイト層
と絶縁性酸化物膜との間に存在する二酸化マンガンの高
電気伝動率は変化せず、また最も内部に埋蔵されている
グラフアイト層は対向電極に通する低インピダンスのグ
ラフアイト通路を有する。挾まれている二酸化マンガン
層が外部表面に近く、かつ還元性有機物蒸気の発生源に
近く存在するので、これらの層のみの選択的還元が、外
部サンドイツチ層中の蒸気を吸収、消費することにより
強められると考えられる。
これらのコンデンサの製法は、多孔質のバルブメタル体
を陽極酸化してその上にバルブメタル酸化物の絶縁性フ
イルムを形成することおよびバルブメタル体上にマンガ
ン塩を適用し、熱分解することを反復することによつて
順次重なり合つているMrlO2層を形成して二酸化マ
ンガン被覆を構成することより成り立つている。これら
の層のいくつかが形成された后、コロイド状グラフアイ
トの稀薄容液を適用し、グラフアイトを乾燥してグラフ
アイト層を附着させる。第一番目のグラフアイト層の上
にもう一つまたはそれ以上のMr!02の層が形成され
ている。このようにして第一番目の埋蔵グラフアイト層
が形成される。更に追加のMnO2層を所望により形成
して、いくつかの埋蔵層が形成される。最后に外部グラ
フアイト被覆が附着され、また、銀粉を含有するシリコ
ン樹脂を適用し、樹脂を好ましくは36(代)以下の温
度で硬化させて、MnO2被覆のサンドイツチ部の小部
分だけを環元するようにして外部グラフアイト層上に導
電性対向電極を構成する。すなわち、本発明のコンデン
サはその製造中に熱有機物蒸気を生成する有機材料をそ
の構造内に包含することができ、更に直列交流インピダ
ンスをほとんど低下させないで回路の組立のための高温
ハンダ付けの温度をかけることができる。
本発明のコンデンサの構造の特徴が第1図の断面図に示
されている。長方形のタンタル体10にはタンタル立上
り線11が部分的にその中に埋めこまれている。タンタ
ル10はコンデンサの陽極の作用をする一層一般的には
本発明のコンデンサは多孔質バルブメタル体を使用して
おり、該バルブメタルは、タンタル、アルミニウム、チ
タン、およびニオブより成立つている。酸化タンタルの
絶縁膜12が、細孔内の表面をも含むバルブメタル体の
表面上に形成されている。第1図中には該酸化物12が
、単にバルブメタル体10の外表面部分上に存在してい
るように描かれている。二酸化マンガン被覆13が酸化
物膜12上にかつこれに隣接して存在している。この被
覆は先づ硝酸第一マンガンの稀薄溶液をバルブメタル体
の全表面の細孔および酸化物膜上に適用して形成される
。バルブメタル体を水蒸気中で約3000に加熱するこ
とによつて、第一マンガン塩は熱分解して固体の半導体
性の二酸化マンガン(MnO2)に変化する。熱分解は
乾燥雰囲気中で約40(代)に加熱して行なつてもよい
。二度目に塗布した第一マンガン塩も前と同様にして再
び熱分解され、更に十分な厚さの二酸化マンガン被覆1
3がバルブメタル体上に形成されるまで三度目またはそ
れ以上の操作が行なわれる。ここまでの製法はすべて常
法に従う。次にMrO2被覆13上にグラフアイト層1
4が塗布される。
次にもう一つのM]02被覆15をグラフアイト層14
上に形成する。また更にもう一つのグラフアイト層16
を外部MrO2被覆15上に形成させる。このようにし
てMrO2の外部被覆15は二つのグラフアイト層の間
に挾まれているlように見える。然しこれら二つのグラ
フアイト層は第2図の詳細図に示されているように、ま
た後記の説明図のように完全に分離しているのではない
。外部グラフアイト層16上に金属を含有してい;る材
料の比較的重質な被覆19が存在し、これがコンデンサ
の対向電極となる。
金属陰極リード線23が該リード線ど該対向電極の間に
接合している導電性材料22によつて対向電極19ど電
気的および物理的に接続されている。陽極立上り線1′
)1が金属陽極リード線24に熔接またはその他の方法
で接続している。シリコン樹脂その他の適当な有機材料
がバルブメタル体とリード線23および24の一部分を
とり巻いている収容ハウジング20を構成している。こ
のように本発明の基本的コンデンサの部分は、10から
19までの番号を付けた要求より成立つている。
第1図に示した部分はハウジング20中に収容されてお
りパツケージリード線23および24を有する。本発明
のコンデンサの好ましい製造方法は次の通りである。
多孔質のタンタル体を常法により陽極酸化して酸化物を
形成する。
次にこれを先づ前記体の全表面に浸透しこれを被覆する
ように硝酸第一マンガンの稀薄溶液を適用し次にこれよ
り濃度の高い溶液を用いて前記体は外面上に所望のMn
O2被覆を形成させる常法で、硝酸第一マンガンの熱分
解によるMrlα被覆の形成を行なう。通常の構造にお
いては比重1.78の硝酸第一マンガン溶液等の濃厚溶
液に5回ないし1旧浸漬することが、所望の被覆を得る
ために必要である。
本発明の構成法においては上記に類似し、より一層多数
回のトツプコートが行なわれる。然し本実施態様のコン
デンサは約第4゛回又は第5回目のトツプコートから始
めて、コロイド状石墨懸濁物であるアクワダグ(Aqu
adag)を塗布する。次にアクワダグを任意の適当な
温度(150布等)で10分間乾燥する。アクワダグは
固体の濃度約2ないし4%の水容溶として使用する。こ
の第一番目のグラフアイト層を形成した後、一層または
それ以上のMnO2被覆を熱分解により附着させる。
次に第二番目のグラフアイト層を形成させる。この時点
で対向電極と陰極の接続を形成するように金属被覆を施
してコンデンサ部を完成する。このような有機材料が近
くに存在する装置は、グラフアイトが熱分解完了した後
にだけ形成されるような従来の技術の装置よりも、36
0℃の温度に処している間のインピーダンス安定性が大
きいであろう。その上、MrlO2被覆とグラフアイト
被覆を更に交互に形成すると、これよりも更に大きいイ
ンピダンス安定性も得られるであろう。
このような被覆の数はコンデンサが最終的に取らねばな
らぬ寸法によつてだけ制限される。このようにして第1
図の層14のような埋蔵するべきグラフアイト層が形成
される。このような埋蔵層の各々を形成するために1回
ないし4回のアクワダグの適用を行なうことが好ましい
。一連の熱分解で生勢成したMnO,の最後の層は、比
較的緻密で非多孔性の下塗りMnO2層よりも多孔性で
あつて砕け易いことが認められていた。
このような多孔性の層に引つづいて硝酸第一マンガン溶
液を透過させると共にこの溶液で被覆して、後に熱分解
処理を行なうことによつて該最終層上に新に多孔性Mn
O2層が形成せられ、この最終層が充填され、もはや多
孔性でなくなることが主張されている。部分的に完成し
ているコンデ・ンサの代表的なMnO2層の断面を顕微
鏡で観察した結果、前記仮説が支持されている。MnO
2層が二つのグラフアイト層の間に挾まれている本発明
のコンデンサにおいては、介在または挾まれているMn
O2層はこのサンドイツチ型MnO2層を効果的に短絡
するに十分なグラフアイト粒を含有している。
すなわちグラフアイト外層上に存在し、これと接触して
いる金属対向電極はこの目的の介在MnO2に依存する
ことなく埋蔵グラフアイト層と常に直接電気的に接触し
ている。従つて介在しているMnO.が熱い有機物蒸気
に依る等の方法で還元され、抵抗が大きくなつた場合、
またはもしそのようにした場合には、金属を含有してい
る対向電極ど埋蔵しているグラフアイト層の下部にある
緻密なMIlOal!.覆の間に存在している電気的接
続は失われずあるいはほとんど劣化しない。グラフアイ
トの第一の被覆を行なうべき正確な実施時期は、酸化タ
ンタル表面との接触またはMnO2層構造に滲透するこ
とから漏洩電流の増加を起す点までの導電性の大きい炭
素を保持する必要性の程度によつて定まる。
グラフアイトは第一番目のMnO2上塗り後およびその
後の各上塗り段階の後で附着を行なう。然し、この被覆
の厚さが適当でない場合には、このような方法では適度
の漏洩電流のために多くの装置単位が失われる結果とな
る。従つて大きい漏洩電流による損失を防止するためグ
ラフアイトの附着を行なう前に十分なMnOIの形成を
行なうことが好ましい。第一番目のグラフアイト層の形
成を行なうに先立つて必要とされるMnO2層の数は、
それらを附着させる方法によつて異る。
すなわちフオーナ一等の係属中の出願番号569,71
3(1975.4月21E1出願)に記載されている、
MnO2粒子と硝酸第一マンガンのスラリー中に浸漬し
てMnO2の厚い層を附着させる方法では、このような
層は唯一つだけ必要である。MnO2の厚い層を形成す
る他の方法は、1969年12月2日発行の米国特許第
3,.481,029号および1966年3月15日発
行の第3,241,008号に記載されている。比重が
約1.789/Ccの硝酸第一マンガン溶液中に浸漬し
てMnO2を構成する方法を使用すると、第一番目のグ
ラフアイト層を導入する前に三層ないし五層の塗布を行
なうと適当なMrlO2被覆を形成することができる。
このようにこのMnO2の下地層は、その由来の如何に
かかわらず0.002インチ(0.051m)より厚い
方が良い。最後のMnO2被覆の熱分解の後に、グラフ
アイト懸濁液を1回またはそれ以上適用することによつ
て形成される最終のグラフアイト外層の形成が行われる
代表的な場合として、酸化物膜は熱分解後に再形成され
る。またグラフアイトをこの再形成の直前または直後に
附着させることによつて良好な結果が得られている。ま
た該再形成の前または後に行われる適用は一回だけで良
い。コンデンサは銀ペイントまたは熔射金属のような導
電層でコートされる。
これは次に導電媒体によつてハンダ付けすることができ
る金属リード線に接合される。多くの同様の末端を形成
する方法は360℃の温度に耐えなくとも良い場合には
使用しても良い。本発明の好ましい実施態様においては
、上記の装置部分は、200′Cで30分キユアされる
銀粒子を含有しているシリコン樹脂であるエツ2÷:2
コボンド59CCBcc0b0nd59C)(Errl
ersOnarKlCumning!Nc.,Cant
On,Mass.製)のような導電性塗料で被覆される
。次に前記エツコボンド59Cをコンデンサ部分の他の
表面に別にコートし、適当な端子の接合に使用する。こ
のような端子は中にコンデンサを収容している金属缶が
代表的であるが、金属リード線の帯状の枠または針金で
あつても良い。キユアを行ない、かつ導電性配合物から
揮発性の有機物蒸気の大部分を除去するため、珈50℃
で十分に焼付を行なつてから、コンデンサを金属缶中に
密封するか、または樹脂中に収容する。本発明を実施し
た場合に得られるべき利点を説明するため、種々の数の
埋蔵グラフアイト層を有する実験用固体タンタルコンデ
ンサのインピダンス値を第1表に示す。
各インーピダンス値は加熱前、360Cで3分間加熱後
、更に36(代)で3分間計6分間加熱後における値を
示している。コンデンサはエツコボンド59Cの銀ペイ
ントの対向電極を有し、シリコン樹脂すなわち DOw
COmingCOrp.(Midlarld,Mich
igan)の製品である第306番中に鋳込まれている
NPf,lOのタンタルコンデンサである。実験(例)
1ないし6の実験用コンデンサは本発明の範囲に入るも
のもである。
対照例としてグラフアイト層が一層だけ熱分解後に形成
されている点以外は正確に同じ方法で造られているコン
デンサについてのデータを例7として示している。熱分
解終了後に一層だけ通常のグラフアイト層を構成し、エ
ポキシ樹脂のケースを使用した実験用コンデンサ(例8
)についてのデータを更に対照的として示している。本
表からシリコン樹脂によるカプセル化の方がエポキシ樹
脂によるカプセル化よりすぐれていること、およびシリ
コン樹脂に収容されているコンデンサの場合には一般的
に埋蔵グラフアイト層は一層だけ必要であることが結論
として導かれる。本発明の前記のような好ましい実施態
様を行なうに当つて、グラフアイト粒子が埋蔵グラフア
イト層↓に塗布される多孔質のMnO2上にアクワダグ
を適用することによつてサンドイツチ型のMnO2被覆
中に形成されるけれども、同じ目的を達するために他に
も種々の方法を使用しても良く、これらの方法も本発明
の範囲に入るものと解釈される。
たとえば、埋蔵するべきグラフアイト層上に適用される
硝酸第一マンガン自身の中にグラフアイト粒子を含有し
ていても良い。また別の2例として、既に前述したよう
にグラフアイトを懸濁液として持ちこむ代りに乾燥粉末
として持ちこんでも良い。該装置部分にグラフアイトを
接着する液を適用しこれにグラフアイトを噴霧として附
着させるかまたは流動床中の粉末中に浸漬する等2の方
法で附着させても良い。本発明に係る1電解質中にグラ
フアイトを埋蔵した固体バルブメタルコンデンサョと従
来例(特開昭48−1855号および特公昭37−48
23号を含む)および参考例との比較試験の結果は次の
通りであ5る。
I 本発明の如く、グラフアイトを層状にし、かつその
層状のグラフアイト間に二酸化マンガン*層をはさんだ
所のサンドイツチ層の少なくとも一つを有することによ
り、次のような効果が得られる:(1) rインピーダ
ンス特性ョが、特開昭穏一1855号よりも改善する、
(第3図参照)。
(2)高周波における容量減少率および損失角の正接上
昇ョが、特公昭37−482鏝よりも改善する、(第4
図参照)。(3) r耐湿特性ョが、本発明の独自の効
果として優れている、(第5図参照)。
前記1のサンドイツチ構造に加え、 {1)陰極銀ペイントの有機材料として、アクリル系銀
ペイントからシリコン系銀(または銅またはニツケル)
ペイントにすること。
(2)陰極リード複合材料として、はんだまたは高融点
はんだからシリコン系接着剤にすること。
(3)ハウジング樹脂材料として、エポキシ系樹脂から
シリコ7系樹脂にすること、によつてさらに耐熱性が向
上する、(第6図参照)。
前記において、グラフアイト間に二酸化マンガン層をは
さんだサンドイツチ層の層数を増すことにより耐熱性が
向上する、(第7図参照)。
v前記第1表に記載のデータをグラフ化し、本発明のコ
ンデンサは従来例および参考例と対比して、その耐熱性
が優れていることを示す、(第8図参照)。
添付の第3〜8図における従来例1〜2、参考Jlおよ
び本発明例1〜7の構成の詳細を、次の第シ表に示す。
図面の簡単な説明第1図は本発明のコンデンサの側面断
面図であり、第2図は第1図のコンデンサの拡大詳細図
である。
第3図は本発明例と従来例との35V−1μFにおける
インピーダンス特性比較を示す。第4図は本発明例と従
来例との35V−1μFにおける周波数一容量変化、損
失角の正接特性比較を示す。第5図は本発明例と従来例
との2気圧、121℃での35V−1μFにおけるプレ
ツシヤ一●クツカ一試験批較を示す。第6図は本発明と
従来例との35V−1μFにおけるはんだ耐熱性試験比
較を1MHzでのインピーダンス値で示す。第7図は本
発明例についてのI−22μFのグラフアイト焼付回数
と1MHzでの熱処理後インピーダンスとの関係を示す
。第8図は本発明例と従来例および参考例との1MHz
での10V−22μFの熱処理後インピーダンス特性比
較を示す。10:タンタル体、11:タンタル立上り線
、12:酸化タンタル絶縁膜、13:MnO2被覆、J
l4:グラフアイト層、15:別のMnO2被覆(外部
MnO2被覆)、16:グラフアイト層、19:金属を
含有している比較的重質の被覆(対向電極)、20:カ
プセル筐、22:導電性材料、23:リード線、24:
リード線。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1 多孔質のバルブメタル体、該バルブメタル体の表面
    を被覆する該バルブメタルの酸化物膜、該酸化物膜上に
    存在する二酸化マンガンより成る該固体電解質の被覆、
    該二酸化マンガン被覆の外面上に存在するグラファイト
    外層、および該グラファイト外層上にある導電性対向電
    極を有する固体電解質コンデンサにおいて、該二酸化マ
    ンガン被覆内に少なくとも一つのグラファイト層が埋蔵
    せられ、該グラファイト層の隣接層間に該二酸化マンガ
    ン被覆のサンドイッチ層部分の少なくとも一つを構成し
    、該サンドイッチ層部分が隣接グラファイト層間のイン
    ピーダンスを小さくするグラファイト粒子を含有してい
    ることより成る固体バルブメタルコンデンサ。 2 一端が対向電極と接続している金属陰極リード線、
    バルブメタル体から導かれている陽極立上がり線、該立
    上がり線に接続している金属陽極リード線および該コン
    デンサ体と該リード線の該接続部分を取り巻き該コンデ
    ンサの保護ハウジングの役割を有する有機物製カプセル
    より成ることを附加している特許請求の範囲第1項記載
    のコンデンサ。 3 対向電極と陰極リード線との間の接続がそれらの間
    に位置し、それらに接着している樹脂層で行われ、該樹
    脂層が金属粒子を含有し導電性である特許請求の範囲第
    2項記載のコンデンサ。 4 樹脂およびカプセルがシリコン樹脂である特許請求
    の範囲第3項記載のコンデンサ。 5 導電性対向電極が有機接続剤で相互に接合されてい
    る金属粒子よりなる特許請求の範囲第1項記載のコンデ
    ンサ。 6 金属粒子が銀、銅およびニッケルからえらばれた金
    属より成る特許請求の範囲第5項記載のコンデンサ。 7 該接着剤がシリコン樹脂である特許請求の範囲第5
    項記載のコンデンサ。 8 埋蔵グラファイト層とバルブメタル体との間隔が該
    二酸化マンガン被覆内において0.002インチ(0.
    05mm)以上である特許請求の範囲第1項記載のコン
    デンサ。
JP51061722A 1975-05-27 1976-05-27 電解質中にグラフアイトを埋蔵した固体バルブメタルコンデンサ Expired JPS6052571B2 (ja)

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US05/581,192 US4017773A (en) 1975-05-27 1975-05-27 Solid valve-metal capacitor with buried graphite in the particles in the electrolyte
US581192 1975-05-27

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