JPS6050799A - 半導体記憶装置 - Google Patents

半導体記憶装置

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JPS6050799A
JPS6050799A JP58157870A JP15787083A JPS6050799A JP S6050799 A JPS6050799 A JP S6050799A JP 58157870 A JP58157870 A JP 58157870A JP 15787083 A JP15787083 A JP 15787083A JP S6050799 A JPS6050799 A JP S6050799A
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JP
Japan
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data line
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memory
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Pending
Application number
JP58157870A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazunori Furusawa
和則 古沢
Yoichi Matsuno
松野 庸一
Kenichi Harada
健一 原田
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Hitachi Microcomputer System Ltd
Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
Hitachi Microcomputer Engineering Ltd
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Publication date
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Publication of JPS6050799A publication Critical patent/JPS6050799A/ja
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    • GPHYSICS
    • G11INFORMATION STORAGE
    • G11CSTATIC STORES
    • G11C17/00Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards

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  • Read Only Memory (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 この発明は、MOSFET (絶縁ゲート形電界効果ト
ランジスタ)で構成された半導体記憶装置に関するもの
で、例えば、FAMO3(フローティング・アバランシ
ュインジェクションMO3FET)のような半導体素子
を記憶素子(メモリセル)とするEFROM (エレク
トリカリ・プログラマブル・リード・オンリー・メモリ
)装置に有効な技術に関するものである。
〔背景技術〕
FAMO3(フローティング・アバランシュインジェク
ションMO3FET)のような半導体素子を記憶素子(
メモリセル)とするEPROM装置が公知である(例え
ば、特開昭54−152933号公報参照)。
このような電気的な書込みを行う半導体記憶装置におい
て、製品名コード等を記憶させておいて、ライターによ
り自動vgmさせることが考えられる。
この場合、ワード線を1本追加する等によりメモリアレ
イ内に上記製品コードを記憶させるものとすると、使用
しないメモリセルが占める空間が大きくなって集積度を
低下させるという欠点がある。
なぜなら、8ビツト等のコードによって製品名を表示で
きるのに対して、1本のワード線に接続されるメモリセ
ルの数は、数百個と多数であるからである。
〔発明の目的〕
この発明の目的は、簡単な構成により電気的な書込み動
作等に便利な情報を記憶することのできる半導体記憶装
置を提供することにある。
この発明の前記ならびにその他の目的と新規な特徴は、
この明細書の記述および添付図面から明らかになるであ
ろう。
〔発明の概要〕
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記の通りである。
すなわち、特定の外部端子から供給される通常の論理レ
ベルより高レベルとされたアドレス信号に応答するアド
レスバッファの出力信号を受け、メモリアレイの共通デ
ータ線に一端が接続されたスイッチMO3FETと、コ
ノスイッチMO3FETの他端側に設けられ、所定のコ
ード化された情報を記憶する記憶素子とを設けて、上記
外部端子からの高レベルの供給によってスイッチMO3
FETをオン状態にするとともに、この記憶素子を選択
状態として、その記憶情報を読み出すようにするもので
ある。
〔実施例〕
第1図には、この発明をEPROMに適用した場合のメ
モリアレイ部の一実施例の回路図が示されている。
同図に示されているの各回路素子は、公知のMO3半導
体集積回路の製造技術によって、シリコンのような半導
体基板上において形成される。
同図に示されているEPROM装置おいては、図示しな
い外部端子から図示しないアドレスバッファに外部アド
レス信号が供給される。アドレスバッファは、相補対ア
ドレス信号(外部アドレス信号に対応したアドレス信号
と、それに対して位相反転されたアドレス信号)を形成
して、それをアドレスデコーダX−DCR,Y−DCR
に供給する。
アドレスデコーダX−DCRは、その相補対アドレス信
号に従ったメモリアレイM−ARYにおけるワード線W
の選択信号を形成する。
アドレスデコーダY−DCRは、その相補対アドレス信
号に従ったメモリアレイM−ARYのデータ線りの選択
信号を形成する。
」二記メモリアレイM−ARYは、複数のFAMO3I
−ランジスタ、ワード線及びデータ線によって構成され
る。同図には、その代表として複数のFAMO3I−ラ
ンジスタ(不揮発性メモリ素子・・MO3FETQI〜
Q6)と、ワード線W1゜W2及びデータ線D1〜Dn
が示されている。
上記メモリアレイM−ARYにおいて、同じ行に配置さ
れたFAMO3)ランジスタQ1〜Q3(Q4〜Q6)
のコントロールゲートは、それぞれ対応するワード線W
2 (Wl)に接続され、同じ列に配置されたFAMO
SトランジスタQl。
Q4〜Q3.Q6のドレインは、それぞれ対応するデー
タ線DI−Dnに接続されている。
そして、上記FAMO3)ランジスタのそれぞれのソー
スは、共通ソース線C8に結合される。
特に制限されないが、この実施例においては、書込み信
号weを受けるディプレッション型MO3FETQIO
を介して上記共通ソース線CSが接地される。また、上
記各データ線D1〜Dnは、カラム(列)選択スイッチ
MO3FETQ7〜Q9を介して、共通データ線CDに
接続される。
この共通データ線CDには、外部端子I10から入力さ
れる書込み信号を受ける書込み用のデー夕大カバッファ
DIBの出力端子が接続される。
また、次に説明するレベルリミッタ回路と、このレベル
リミッタ回路に設けられた増幅MO3FETQ15を通
した出力信号を受けるセンスアンプSAと、このセンス
アンプSAの増幅出力を受けるデータ出力バッファDO
Bとが設けられている。
上記レベルリミッタ回路は、特に制限されないが、次の
ような回路構成とされる。直列形態のディプレッション
型MO3FETQIIとエンハンスメント型MO3FE
TQI 2とは、そのコンダクタンス比により、電源電
圧Vccを分圧して所定の中間レベルを形成する。上記
MO3FETQI 1゜Ql2で形成された中間レベル
は、リミッタ用MO3FETQ13及び増幅用MO5F
ETQ15のゲートに印加される。これらのMO3FE
TQ13及びMO3FETQI 5のソースは、共に上
記共通データ線CDに接続される。そして、上記MO3
FETQI 3171ドレインは、電源電圧Vccに接
続され、上記MO3FETQ15のドレインは、負荷M
O3FETQ14を介して電源電圧Vccに接続される
。また、上記MO3FETQI 1゜Ql2と類似の回
路で形成された中間レベルのバイアス電圧VBは、MO
3FETQI 6(7)ゲートに印加される。このMO
3FETQ16のソースは接地され、そのドレインは上
記共通データ線CDに接続されている。
メモリセルに記憶された情報の読み出し時において、ア
ドレスデコーダX−DCR,Y−DCHによって選択さ
れたメモリセルには、上記MO3FETQ13を介して
バイアス電圧が与えられる。
選択されたメモリセルは、書込まれた情報に従って、ワ
ード線選択レベルに対して、高いしきい値電圧か又は低
いしきい値電圧を持つものである。
選択されたメモリセルがワード線選択レベルにかかわら
ずにオフ状態にされている場合、共通データ線CDの電
位は、MO3FETQI 3によって比較的ハイレベル
にされる。一方、選択されたメモリセルがワード線選択
レベルによってオン状態にされている場合、共通データ
線CDは比較的ロウレベルにされる。この場合、共通デ
ータ線CDのハイレベルは、MO3FETQI 3のゲ
ート電圧が上記MO3FETQI 1.Ql 2のコン
ダクタンス比に従って、比較的低(されていることによ
って比較的低いレベルにされる。
共通データ線CDのロウレベルは、MO5FETQ13
及びMO3FETQI 5とメモリセルを構成するMO
SFETとの寸法比を適当に設定することによって比較
的高いレベルにされる。
このように共通データ線CDのハイレベルとロウレベル
とを制限すると、この共通データlJI CD等に信号
変化速度をM限する浮遊容量等の容量が存在するにかも
かわらず、読み出しの高速化を図ることができる。すな
わち、複数のメモリセルからのデータを次々に読み出す
ような場合において共通データ線CDの一方のレベルが
他方のレベルへ変化させられるまでの時間を短(するこ
とができる。
なお、上記増幅用のMO3FETQI 5は、ゲート接
地型ソース入力の増幅動作を行い、次段の分動増幅回路
で構成されたセンスアンプSAにその出力を伝える。そ
して、このセンスアンプSAの出力は、データ出力バッ
ファDOBを介して上記外部端子りから送出される。
制御回路C0NTは、外部端子GE、 OR,PRG及
びvppに供給されるチップイネーブル信号。
アウトプットイネーブル信号、プログラム信号及び書込
み用高電圧に応じて、内部制御信号ce。
we等を形成する。
゛この実施例では、書込み動作時において、所定のコー
ド化された書込み設定条件を読み出して、ライターにそ
の自動t@識を行わせることによって、書込み動作を簡
便にするため、次のコード発生回路ESM (Elec
tronlc Signature Mode )回路
が設けられる。すなわち、このコード発生回路ESMは
、その記憶情報をメモリアレイM−ARYの共通データ
線CDに直接送出するようにするものである。
この実施例のEFROM装置は、特に制限されないが、
上記構成のメモリアレイが8組設けられ8ビツトのデー
タを並列的に書込み及び銃の出すものである(図示せず
)。
第2図には、上記コード発生回路ESMの具体的一実施
例の回路図が示されている。
特に制限されないが、アドレス端子Anから供給された
高レベルの信号は、次のアドレスバッファに入力される
。すなわち、アドレス端子Anは、高しきい値電圧(約
12V程度)の駆動MO3FET01Bのゲートに接続
される。この駆動MO3FETQ1Bのドレインには、
ディプレッション型負荷MO3FETQI 7が設けら
れることによってインバータ回路を構成する。この初段
インバータ回路の出力信号は、通常のしきい値電圧を有
する駆動MO3FETQ20と負荷MO3FETQ19
とで構成された次段のインバータ回路に入力される。そ
して、このインバータ回路の出力信号は、同様な構成の
インバータ回路(Q21゜Q22)とプッシュプル形態
の出力MO3FETQ23 (Q24)、Q25とで構
成されたイーンバーテッドプッシュプル出力回路に入力
される。特に制限されないが、電源電圧側の出力MO3
FETQ23には、しきい値電圧によるレベル損失をす
くな(するため、低しきい値電圧とされたMO3FET
Q24が並列形態に設けらでいる。
上記構成のアドレスバッファの出力信号は、その一端が
上記共通データ線CDに接続されたスイッチMO3FE
T026のゲートに供給される。
そして、このスイッチMO3FET0.26の他端側に
は、次の記憶回路が設けられる。
特に制限されないが、8ビツトからなる4種類のコード
信号を記憶させるため、並列形態とされた4個の記憶素
子を構成するMO8FETQ21〜Q30が設けられる
。これらの記憶素子は、その書込みデータに従って、製
造工程におけるマスクにより、そのゲート絶縁膜を異な
らせること等によってゲートに印加される選択信号に対
してオフ状態となる高しきい値電圧かまたはオン状態と
なる低しきい値電圧かにされる。すなわち、これらのM
O3FETQ27〜Q30は、マスク型ROMと同じ製
造方法により形成される。
これらのMO3FETQ27〜Q30のゲート1 には、特に制限されないが、2ビツトのアドレス信号に
より形成された2対の相補アドレス信号のうち2つが選
択的に入力されたアドレスデコーダを構成するノアゲー
ト回路N0RI〜N0R4の出力信号が供給される。同
図では、そのうちノアゲート回路N0RI、N0R4が
示されている。
残り7本の共通データ線に対しても上記同様なスイッチ
MO3FETと、記憶回路がそれぞれ設けられる。この
場合、上記アドレスバッファの出力信号は、同様なスイ
ッチMO3FETのゲートに共通に供給される。また、
アドレスデコーダを構成するノアゲート回路N OP、
 1〜N0R4の出力信号は、対応する8個の記憶用M
O3FETのゲートに共通に供給される。
次に、書込み時での上記記憶回路の読み出し動作を説明
する。
上記アドレス端子Anを12Vの高レベルを供給する。
これにより上記アドレスバッファが応答してハイレベル
の出力信号を形成するので、スイッチMO3FETQ2
6がオン状態となる。そし2 て、上記2つのアドレス信号の組合せにより、記憶MO
3FETQ27〜Q30を順に選択すると、その情報が
上記センスアンプSAOとデータ出力バッファDOBO
を通して外部端子DOから送出される。上記同様な回路
が8組設けらていることより、8ビツト(Do〜T)7
)のコード信号を最大4個読み出すことができる。特に
制限されないが、製品名、電源電圧マージン、書込み電
圧及び書込み時間等の41!類の書込み動作に必要な動
作条件を記憶させておき、これをライターにより読み出
すことによって、自動的に書込み条件の設定の行うこと
ができる。
なお、上記アドレスバッファの出力信号を用いることに
よって、メモリアレイのカラム選択スイッチMO3FE
TQ7〜Q9等を強制的にオフ状態として、メモリアレ
イの記憶情報が共通データ線CDに読み出されるを禁止
するものである(図示せず)。また、通常の続み出し動
作においては、アドレス端子Anには、上記のうよな高
レベルのアドレス信号が供給されることがないから、ス
イソチMO3FETQ26は、定常的にオフ状態となる
ので、メモリアレイの記憶情報と上記コード情報とが同
時に読み出されてしまうことはない。
〔効 果〕
+11共通データ線にスイッチMO3FETを介して記
憶回路を設けることによって、必要なコード信号を任意
の数だけ記憶させることができる。これにより、ワード
線を追加する場合のような無駄な空間が生じないから、
高集積度のもとに書込み条件等の情報記憶回路を構成で
きるという効果が得られる。
(2)コードの数は、上記記憶回路のMOSFETを必
要に応じて増減させることによって任意の数に設定する
ことができるという効果が得られる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例に基づき具
体的に説明したが、この発明は上記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。例えば、コード信号を
記憶させる記憶素子は、FAMO3)ランジスタを用い
るものであってもよい。この場合には、メモリアレイと
同じ製造工程により形成することができるという効果が
得られる。ただし、このようにFAMO3)ランジスタ
を用いた場合には、アルミニュウム層によりその表面を
覆い、紫外線照射によってコード信号が失われてしまう
ことを防止するものである。
上記高レベルの信号を供給する端子は、アドレス端子と
共用するものの他、制御端子GE、OB等を用いるもの
であってもよい。
〔利用分野〕
以上の説明では主として本願発明者によってなされた発
明をその背景となった技術分野であるEPROM装置を
例にして説明したが、これに限定れるものではなく、電
気的に書込みを行う各種プログラマブルROMに広く利
用できるものである。
【図面の簡単な説明】
第1図は、この発明をEPROM装置に適用した場合の
一実施例を示す回路図、 第2図は、そのコード発生回路の具体的一実施例を示す
回路図である。 5 X−DCR,Y−DCR・・アドレスデコーダ、M−A
RY・・メモリアレイ、SA・・センスアンプ、DIB
・・データ人力バッファ、DOB・・データ出力バッフ
ァ、TG・・タイミング発生回路、ESM・・コード発
生回路 6

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 1、コントロールゲートとフローティングゲートとを有
    し、フローティングゲートに電荷を取り込むことにより
    情報記憶を行う不揮発性半導体記憶素子がマトリックス
    状に配置されて構成されたメモリアレイと、特定の外部
    端子から供給される通常の論理レベルより高レベルとさ
    れたアドレス信号に応答するアドレスバッファと、この
    アドレスバッファの出力信号を受け、上記メモリアレイ
    の共通データ線に一端が接続されたスイッチMO3FE
    Tと、このスイッチMO3FETの他端側に設けられ、
    所定のコード化された情報を記憶する記憶素子と、この
    記憶素子を選択するアドレスデコーダとを含むことを特
    徴とする半導体記憶装置。 2、上記所定のコード化された情報は、その製品名と書
    込み動作に必要な情報を含むものであることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項記載の半導体記憶装置。 3、上記所定のコード化された情報を記憶する記憶素子
    は、マスク型ROMであることを特徴とする特許請求の
    範囲第1又は第2項記載の半導体記憶装置。 4、上記所定のコード化された情報を記憶する記憶素子
    は、FAMO3素子であることを特徴とする特許請求の
    範囲第1又は第2項記載の半導体記憶装置。
JP58157870A 1983-08-31 1983-08-31 半導体記憶装置 Pending JPS6050799A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005317176A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Hynix Semiconductor Inc 識別情報を有するメモリ装置

Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005317176A (ja) * 2004-04-28 2005-11-10 Hynix Semiconductor Inc 識別情報を有するメモリ装置
JP2012109021A (ja) * 2004-04-28 2012-06-07 Hynix Semiconductor Inc 識別情報を有するメモリ装置

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