JPS6049148B2 - 可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体の製造法 - Google Patents
可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体の製造法Info
- Publication number
- JPS6049148B2 JPS6049148B2 JP55163241A JP16324180A JPS6049148B2 JP S6049148 B2 JPS6049148 B2 JP S6049148B2 JP 55163241 A JP55163241 A JP 55163241A JP 16324180 A JP16324180 A JP 16324180A JP S6049148 B2 JPS6049148 B2 JP S6049148B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sintered body
- zno
- metal oxide
- gas sensor
- sensor element
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 title claims description 9
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 title claims description 9
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 7
- 238000005245 sintering Methods 0.000 claims description 13
- 238000002156 mixing Methods 0.000 claims description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 6
- 238000001354 calcination Methods 0.000 claims description 3
- 238000000465 moulding Methods 0.000 claims description 3
- 238000010298 pulverizing process Methods 0.000 claims description 3
- 239000002994 raw material Substances 0.000 claims description 3
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 22
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 12
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 7
- 238000010304 firing Methods 0.000 description 7
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 5
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N isobutane Chemical compound CC(C)C NNPPMTNAJDCUHE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 2
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000001273 butane Substances 0.000 description 1
- 230000002301 combined effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 229910052593 corundum Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000018109 developmental process Effects 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N n-butane Chemical compound CCCC IJDNQMDRQITEOD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N n-pentane Natural products CCCCC OFBQJSOFQDEBGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 1
- 238000005303 weighing Methods 0.000 description 1
- 229910001845 yogo sapphire Inorganic materials 0.000 description 1
Landscapes
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体に関
するものてある。
するものてある。
従来より可燃性ガスセンサに用いられる金属酸化物半導
体の研究は数多く行なわれており、すでに実用化されて
いるものも多い。
体の研究は数多く行なわれており、すでに実用化されて
いるものも多い。
しかるに、いまだ信頼性に優れる素子の出現はみられず
、安定性、耐久性の両面より優れたセンサの開発が待た
れている。本発明はこのような現状に鑑み、鋭意研究の
結果信頼性ある可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結
体を見出したものである。
、安定性、耐久性の両面より優れたセンサの開発が待た
れている。本発明はこのような現状に鑑み、鋭意研究の
結果信頼性ある可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結
体を見出したものである。
つまり本発明による可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物
焼結体は、ＺｎＯを主体とし、ＮＩＯを０．１〜４０．
０モル％、Ａｌ■。００を０．１〜１０．０モル％の割
合になるように秤量し−ー −）−−！’７ーｎ ＬＡ
ρ−ｎへｆ−鉛店月台し、これを５００〜１３００℃の
温度で予備焼成した後、あらかじめ秤量したＮｉＯを加
えて粉砕混合し、所定の形状に成型した後８００〜１３
００’Ｃにて焼結させるもので、電極は成型時又は焼結
後に設けて１００゜Ｃ以上焼結温度以下で可燃性ガスセ
ンサ素子として使用するものてある。
焼結体は、ＺｎＯを主体とし、ＮＩＯを０．１〜４０．
０モル％、Ａｌ■。００を０．１〜１０．０モル％の割
合になるように秤量し−ー −）−−！’７ーｎ ＬＡ
ρ−ｎへｆ−鉛店月台し、これを５００〜１３００℃の
温度で予備焼成した後、あらかじめ秤量したＮｉＯを加
えて粉砕混合し、所定の形状に成型した後８００〜１３
００’Ｃにて焼結させるもので、電極は成型時又は焼結
後に設けて１００゜Ｃ以上焼結温度以下で可燃性ガスセ
ンサ素子として使用するものてある。
本発明において、主体として用いたＺｎＯは、金属過剰
のｎ型半導体であり、これを使用したガスセンサは多く
開発されてきた。
のｎ型半導体であり、これを使用したガスセンサは多く
開発されてきた。
しかし、ＺｎＯ単味では可燃性ガスの吸着による抵抗率
の減少は少なく実用とすることはできない。このため、
従来は、各種触媒を添加し、感度を高めることによりセ
ンサ素子が製造されているが、触媒の添加はセンサ素子
の長期的耐久性が問題となることが知られている。また
、触媒とガスとの吸着平衡が安定せず、センサ素子の抵
抗値が安定しない欠点がある。そこで本発明者等はこの
ような問題点を解決するために、触媒を使用しない方法
において研究をフ進めた結果、触媒の代りにＮｉＯとＡ
ｌ２Ｏ。
の減少は少なく実用とすることはできない。このため、
従来は、各種触媒を添加し、感度を高めることによりセ
ンサ素子が製造されているが、触媒の添加はセンサ素子
の長期的耐久性が問題となることが知られている。また
、触媒とガスとの吸着平衡が安定せず、センサ素子の抵
抗値が安定しない欠点がある。そこで本発明者等はこの
ような問題点を解決するために、触媒を使用しない方法
において研究をフ進めた結果、触媒の代りにＮｉＯとＡ
ｌ２Ｏ。
の二つの金属酸化物を使用し、さらにその製造工程を工
夫することによつて新たな、信頼性の高く感度の優れた
可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体が得られるこ
とを見出したものである。５ 以下に本発明に至つた経
緯について順次述べることにする。
夫することによつて新たな、信頼性の高く感度の優れた
可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体が得られるこ
とを見出したものである。５ 以下に本発明に至つた経
緯について順次述べることにする。
第一表はＺｎＯ単独における焼結体の性質を示ｅもので
ある。
ある。
表より明らかなごとく、ＺｒＯ単独了は可燃性ガス、こ
の場合はｉ−ブタンを使用し１が、感度が極めて低くガ
スセンサとして使用す冫ことはできないことがわかる。
また、第２表にＺｎＯに対してＡ′２０３、またはＮｉ
Ｏを混合した場合の焼結体の性質を示す。
の場合はｉ−ブタンを使用し１が、感度が極めて低くガ
スセンサとして使用す冫ことはできないことがわかる。
また、第２表にＺｎＯに対してＡ′２０３、またはＮｉ
Ｏを混合した場合の焼結体の性質を示す。
表から明らかなごとく、Ａ′２０３を少量添加すること
により、ＺｎＯ単独のものに対して比抵抗が減少するが
、嵩密度の増加は認められず、Ａｆ２Ｏ，のＺｎＯに対
する効果として、導電性の向上と焼結の抑制作用がある
ことがわかる。この現象については、原子価制御理論よ
り説明することができる。しかし、実際にはＡｅ２Ｏ３
が０．１モル％以下の場合、導電率は向上するが焼結の
抑制作用は認められなかつた。またＡｆ２Ｏ３が１０モ
ル％以上添加された場合は、逆に、焼結は抑制されるが
、導電率は添加量と共に急激に減少する。またＺｎＯ自
体は易焼結性物質でありＡｌ２Ｏ３の添加量が少ないと
きは５００℃でも焼結体が得られた。一方、Ａｆ２Ｏ３
が多量に含まれているとＡｅ２Ｏ３の性質である難焼結
性が表われてくるが、Ａｅ２Ｏ３が１０モル％含まれて
いる試料は１３００℃にて絽時間以上焼成すると取り扱
いにこまらない程度の焼結体が得られた。従つて焼結温
度は８００〜１３０００Ｃが好ましい。
により、ＺｎＯ単独のものに対して比抵抗が減少するが
、嵩密度の増加は認められず、Ａｆ２Ｏ，のＺｎＯに対
する効果として、導電性の向上と焼結の抑制作用がある
ことがわかる。この現象については、原子価制御理論よ
り説明することができる。しかし、実際にはＡｅ２Ｏ３
が０．１モル％以下の場合、導電率は向上するが焼結の
抑制作用は認められなかつた。またＡｆ２Ｏ３が１０モ
ル％以上添加された場合は、逆に、焼結は抑制されるが
、導電率は添加量と共に急激に減少する。またＺｎＯ自
体は易焼結性物質でありＡｌ２Ｏ３の添加量が少ないと
きは５００℃でも焼結体が得られた。一方、Ａｆ２Ｏ３
が多量に含まれているとＡｅ２Ｏ３の性質である難焼結
性が表われてくるが、Ａｅ２Ｏ３が１０モル％含まれて
いる試料は１３００℃にて絽時間以上焼成すると取り扱
いにこまらない程度の焼結体が得られた。従つて焼結温
度は８００〜１３０００Ｃが好ましい。
ＺｎＯに対してＮｉＯを混合した場合では９００℃焼５
成においては嵩密度も比較的低く、ｉ−ブタンに対する
感度もやや大きい。しかし、１１００℃に焼成温度を高
めた場合、焼結反応の進行により高密度化が進み可燃性
ガスに対する感度がほとんど認められない。なお、９０
０℃焼成物における可燃性ガＩθスに対する感度はＺｎ
ＯとＰ型半導体であるＮｌＯの接合により生成した境界
における影響が表われたものと考えられる。以上述べた
ごとくＺｎＯは単独では可燃性ガスに対する検知素子と
しての可能性がないが、Ａｆｌ５。
成においては嵩密度も比較的低く、ｉ−ブタンに対する
感度もやや大きい。しかし、１１００℃に焼成温度を高
めた場合、焼結反応の進行により高密度化が進み可燃性
ガスに対する感度がほとんど認められない。なお、９０
０℃焼成物における可燃性ガＩθスに対する感度はＺｎ
ＯとＰ型半導体であるＮｌＯの接合により生成した境界
における影響が表われたものと考えられる。以上述べた
ごとくＺｎＯは単独では可燃性ガスに対する検知素子と
しての可能性がないが、Ａｆｌ５。
Ｏ３を混合することによつて焼結度を抑制し密度の低い
多孔性の焼結体を形成することによつて、可燃性ガスに
対して感度が生じる。しかし、実用的なところまでの感
度は得られない。また、ＮｉＯを混合してＰｎ接合を利
用することによつて、可Ｏ燃性ガスに対し、感度をもつ
焼結体が形成できるが、焼結温度を高めることにより、
焼結度の向上によつて感度が低下してしまう。金属酸化
物半導体の可燃性ガスに対する導電性の変化は常温では
認められず、一般に３００℃〜５００５℃においてその
現象が知らており、ＺｎＯを主体とした系においても３
５０知〜４００′Ｃにおいて最も高感度となる。
多孔性の焼結体を形成することによつて、可燃性ガスに
対して感度が生じる。しかし、実用的なところまでの感
度は得られない。また、ＮｉＯを混合してＰｎ接合を利
用することによつて、可Ｏ燃性ガスに対し、感度をもつ
焼結体が形成できるが、焼結温度を高めることにより、
焼結度の向上によつて感度が低下してしまう。金属酸化
物半導体の可燃性ガスに対する導電性の変化は常温では
認められず、一般に３００℃〜５００５℃においてその
現象が知らており、ＺｎＯを主体とした系においても３
５０知〜４００′Ｃにおいて最も高感度となる。
この場合常時素子を加温しておくことが必要でありこの
ような条件下において、焼結体構造に変化が起らないこ
とが不可欠となる。ノ そのためには、製造時の焼成温
度ができるだけ高温とすることが望まれ焼成温度による
影響の大きいＺｎＯ−ＮｉＱ昆合物は耐久性が問題とな
る。本発明は以上の知見並びに考察をもとに、更に鋭意
研究の結果完成されたもので、可燃性ガスに対して高感
度かつ耐久性の優れた素子を見出したものである。以下
に実施例にて説明する。（実施例−１） ＺｎＯ７８モル％、ＮｌＯ２Ｏモル％、Ａ′２０３２モ
ル％になるように秤量した後、これらの混合原料を６０
０℃にて仮焼成した後粉砕し、円板状に成型した後、１
０００℃にて１時間焼成し、センサ素子とする。
ような条件下において、焼結体構造に変化が起らないこ
とが不可欠となる。ノ そのためには、製造時の焼成温
度ができるだけ高温とすることが望まれ焼成温度による
影響の大きいＺｎＯ−ＮｉＱ昆合物は耐久性が問題とな
る。本発明は以上の知見並びに考察をもとに、更に鋭意
研究の結果完成されたもので、可燃性ガスに対して高感
度かつ耐久性の優れた素子を見出したものである。以下
に実施例にて説明する。（実施例−１） ＺｎＯ７８モル％、ＮｌＯ２Ｏモル％、Ａ′２０３２モ
ル％になるように秤量した後、これらの混合原料を６０
０℃にて仮焼成した後粉砕し、円板状に成型した後、１
０００℃にて１時間焼成し、センサ素子とする。
この素子に銀ペースト電極を取付け、空気中およびｉ−
ブタン３０００ｐｐｍ混合空気中において、３５０℃に
保持した雰囲気にて試料の抵抗値を測定した。測定は交
流２端子法にて行なつた。結果は以下のとおりである。
実施例−１にて明らかなごとく、ＺｎＯを主体とし、Ｎ
ｌＯ．．Ａｅ２Ｏ３を同時に混合し焼成したものにおい
ては、期待される感度を有する焼結体が得られないこと
がわかる。
ブタン３０００ｐｐｍ混合空気中において、３５０℃に
保持した雰囲気にて試料の抵抗値を測定した。測定は交
流２端子法にて行なつた。結果は以下のとおりである。
実施例−１にて明らかなごとく、ＺｎＯを主体とし、Ｎ
ｌＯ．．Ａｅ２Ｏ３を同時に混合し焼成したものにおい
ては、期待される感度を有する焼結体が得られないこと
がわかる。
これは嵩密度の値からも考察されるが、Ａ′２０３を添
加することによる焼結反応の抑制効果がこの製造方法で
は発揮できないためと考えられる。（実施例−２） ＺｎＯ７８モル％、Ａｅ２Ｏ３２モル％、ＮｉＯ２Ｏモ
ル％の割合になるように秤量した原料において、ますＺ
ｎＯ（５Ａ１２０３を粉砕混合し、これを８００゜Ｃの
温度で予備焼成した後、ＮｌＯを混合し粉砕した後、円
板状に成型する。
加することによる焼結反応の抑制効果がこの製造方法で
は発揮できないためと考えられる。（実施例−２） ＺｎＯ７８モル％、Ａｅ２Ｏ３２モル％、ＮｉＯ２Ｏモ
ル％の割合になるように秤量した原料において、ますＺ
ｎＯ（５Ａ１２０３を粉砕混合し、これを８００゜Ｃの
温度で予備焼成した後、ＮｌＯを混合し粉砕した後、円
板状に成型する。
これを１０００′Ｃに１時間焼成し、センサ試料とし、
実施例−１と同様にして抵抗値の測定を行なつた。結果
は次のとおりである。以上実施例〜２で明らかなとおり
、本焼結体は嵩密度が３．６と小さく、可燃性ガスの移
動がしやすい多孔質構造を有し、かつ抵抗値の値が実用
的範囲において約２ケタと大きい感度を示すことがわか
る。
実施例−１と同様にして抵抗値の測定を行なつた。結果
は次のとおりである。以上実施例〜２で明らかなとおり
、本焼結体は嵩密度が３．６と小さく、可燃性ガスの移
動がしやすい多孔質構造を有し、かつ抵抗値の値が実用
的範囲において約２ケタと大きい感度を示すことがわか
る。
これは、実施例−１ては得られなかつた３成分の複合効
果が本実施例−２によつて効果的に発揮されることを示
しており、高感度かつ耐久性の優れた可燃性ガスセンサ
素子が得られることを示している。またＮｉＯは難焼結
性物質であるため高温で焼成することが望ましいが、Ｚ
ｎＯにＡ′２０３を添加する場合の最高温度が１３００
℃であるので、ＺｎＯの特性をＮｉＯとの混合焼成時に
損なわないようにするため、本系の焼成温度の上限は１
３００℃とした。
果が本実施例−２によつて効果的に発揮されることを示
しており、高感度かつ耐久性の優れた可燃性ガスセンサ
素子が得られることを示している。またＮｉＯは難焼結
性物質であるため高温で焼成することが望ましいが、Ｚ
ｎＯにＡ′２０３を添加する場合の最高温度が１３００
℃であるので、ＺｎＯの特性をＮｉＯとの混合焼成時に
損なわないようにするため、本系の焼成温度の上限は１
３００℃とした。
この温度で実用上問題のない焼結体がＮｉＯを４０モル
％混合した時には得られるが、それ以上ＮｉＯが混合し
ている場合には、ハンドリング中に焼結体が破壊してし
まつた。さらにＮｉＯは０．１モル％以下の添加では何
らその効果を発揮しないが、それ以上添加した楊合には
Ｐｎ接合が形成され、その効果が表われることを確認し
た。以上のように本発明は実施例−２で行なつた製造方
法により新たな性質を付与した素子を見出したものであ
り、３成分の混合操作を２段階にて実施することを特徴
とするものである。
％混合した時には得られるが、それ以上ＮｉＯが混合し
ている場合には、ハンドリング中に焼結体が破壊してし
まつた。さらにＮｉＯは０．１モル％以下の添加では何
らその効果を発揮しないが、それ以上添加した楊合には
Ｐｎ接合が形成され、その効果が表われることを確認し
た。以上のように本発明は実施例−２で行なつた製造方
法により新たな性質を付与した素子を見出したものであ
り、３成分の混合操作を２段階にて実施することを特徴
とするものである。
この２段階混合方式は従来の酸化物焼結体焼成工程にお
いては、試みられておらず、本発明は新規な発明として
十分評価されるものと確信する。この製造工程において
Ａ′２０３の添加効果とＮｉＯ（７）Ｐｎ接合効果が十
分生かされたものと考える。以上述べたとおり本発明は
ＺｎＯ．．Ａｅ２Ｏ３、ＮｉＯを用い２段階混合方式を
とり入れることによ７り従来得られなかつた高感度可燃
性ガス検知素子を触媒の利用なしで可能としたものであ
る。
いては、試みられておらず、本発明は新規な発明として
十分評価されるものと確信する。この製造工程において
Ａ′２０３の添加効果とＮｉＯ（７）Ｐｎ接合効果が十
分生かされたものと考える。以上述べたとおり本発明は
ＺｎＯ．．Ａｅ２Ｏ３、ＮｉＯを用い２段階混合方式を
とり入れることによ７り従来得られなかつた高感度可燃
性ガス検知素子を触媒の利用なしで可能としたものであ
る。
このため本発明による可燃性ガスセンサ素子は従来問題
とされてきた経年変化を解決可能とするものてあり今後
防災機器への広い応用が期待できるもの９と確信する。
なお、電極は実施例の如く焼結後設けてもよいし、従来
品の如く成型中に埋設してもよいことは勿論である。
とされてきた経年変化を解決可能とするものてあり今後
防災機器への広い応用が期待できるもの９と確信する。
なお、電極は実施例の如く焼結後設けてもよいし、従来
品の如く成型中に埋設してもよいことは勿論である。
Claims (1)
- １ ＺｎＯを主体とし、ＮｉＯを０．１〜４０．０モル
％、Ａｌ＿２Ｏ＿３を０．１〜１０．０モル％の割合に
なるように秤量した原料において、まずＺｎＯとＡｌ＿
２Ｏ＿３を粉砕混合し、これを５００〜１３００℃の温
度で予備焼成した後、あらかじめ秤量したＮｉＯを加え
て粉砕混合し、所定の形状に成型した後、８００〜１３
００℃にて焼結させることを特徴とする可燃性ガスセン
サ素子用金属酸化物焼結体の製造法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55163241A JPS6049148B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体の製造法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP55163241A JPS6049148B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体の製造法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5788069A JPS5788069A (en) | 1982-06-01 |
| JPS6049148B2 true JPS6049148B2 (ja) | 1985-10-31 |
Family
ID=15770021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP55163241A Expired JPS6049148B2 (ja) | 1980-11-21 | 1980-11-21 | 可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体の製造法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6049148B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021029421A1 (ja) * | 2019-08-15 | 2021-09-13 | Ｊｆｅミネラル株式会社 | 酸化亜鉛焼結体作製用酸化亜鉛粉末および酸化亜鉛焼結体、ならびに、これらの製造方法 |
-
1980
- 1980-11-21 JP JP55163241A patent/JPS6049148B2/ja not_active Expired
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2021029421A1 (ja) * | 2019-08-15 | 2021-09-13 | Ｊｆｅミネラル株式会社 | 酸化亜鉛焼結体作製用酸化亜鉛粉末および酸化亜鉛焼結体、ならびに、これらの製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5788069A (en) | 1982-06-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6054259B2 (ja) | 感湿セラミツク | |
| JPH0799103A (ja) | サーミスタ用磁器組成物およびサーミスタ素子 | |
| JPS6022302A (ja) | サ−ミスタ用酸化物半導体 | |
| JPS6049148B2 (ja) | 可燃性ガスセンサ素子用金属酸化物焼結体の製造法 | |
| JPS6161344B2 (ja) | ||
| JP3201477B2 (ja) | サーミスタ用組成物 | |
| US4231254A (en) | Rare earth or yttrium, transition metal oxide thermistors | |
| JP3559911B2 (ja) | サーミスタ | |
| JPH0572721B2 (ja) | ||
| JPH0766007A (ja) | 高温用サーミスタ | |
| JPS6236361B2 (ja) | ||
| JPS6325681B2 (ja) | ||
| JPH03223660A (ja) | ガスセンサ用金属酸化物系半導体素子 | |
| CN117819968A (zh) | 一种高温区负温度系数热敏陶瓷材料及其制备方法 | |
| JPS5849820B2 (ja) | 酸素ガスセンサ− | |
| JPS5931006B2 (ja) | 可燃性ガス検知素子 | |
| JPH0572722B2 (ja) | ||
| US4232441A (en) | Method for preparing rare earth or yttrium, transition metal oxide thermistors | |
| JPS6322601B2 (ja) | ||
| JP3202274B2 (ja) | サーミスタ用組成物 | |
| JPS58622B2 (ja) | 感ガス素子 | |
| JPH0133921B2 (ja) | ||
| JPS5853741B2 (ja) | カネンセイガスケンチソシ | |
| JPS58122453A (ja) | ガスセンサ素子 | |
| JPS588122B2 (ja) | 高温感熱素子 |