JPS603126A - 絶縁層の形成方法 - Google Patents
絶縁層の形成方法Info
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- JPS603126A JPS603126A JP11135083A JP11135083A JPS603126A JP S603126 A JPS603126 A JP S603126A JP 11135083 A JP11135083 A JP 11135083A JP 11135083 A JP11135083 A JP 11135083A JP S603126 A JPS603126 A JP S603126A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/30—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26
- H01L21/31—Treatment of semiconductor bodies using processes or apparatus not provided for in groups H01L21/20 - H01L21/26 to form insulating layers thereon, e.g. for masking or by using photolithographic techniques; After treatment of these layers; Selection of materials for these layers
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
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Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、電極膜の内部に絶縁層をうめこみ形成する方
法に関する。
法に関する。
従来、容量の形成は、半導体もしくはit体などの基板
表面に、又は也惧層を表面に設けた半導体もしくは絶縁
体基板辰面に、杷線繰を形成し、次いで該絶に、膜表面
に亀儒を形成することによ9行われていた。即ち、基板
表面に絶は腺、−毬を順次つみ重ねることにより形成さ
れていた。
表面に、又は也惧層を表面に設けた半導体もしくは絶縁
体基板辰面に、杷線繰を形成し、次いで該絶に、膜表面
に亀儒を形成することによ9行われていた。即ち、基板
表面に絶は腺、−毬を順次つみ重ねることにより形成さ
れていた。
本発明は、かかる従来法とは全く異る手法を用いて容量
を形成する手法を提供するものでめり、その要旨は、T
az T I % Al/などの金属膜、又は多結晶
シリコンなどの電極膜の表面〃・らば素、窒素などのイ
オンをイオン打込みすることにより、当該金属膜又は電
極膜の内部に絶縁層をうめこみ形成するものである。
を形成する手法を提供するものでめり、その要旨は、T
az T I % Al/などの金属膜、又は多結晶
シリコンなどの電極膜の表面〃・らば素、窒素などのイ
オンをイオン打込みすることにより、当該金属膜又は電
極膜の内部に絶縁層をうめこみ形成するものである。
以下、本発明を用いて容量を形成する工程を実施例を用
いて詳細に説明する0 第1図は、本発明を用いて容量を形成する一実施例を示
しており、その製作工程を説明するための断面構造を示
している。図において、1は半導体基板、2は絶縁膜、
25は悪、3は高濃度不純物領域、4.41.42、は
1を極、45は絶縁膜、5として金属タンタルを用いる
こととして工程を1114を追って説明する。1ず、−
4心型を有するシリコン基板1の表面に、SiO□なと
の絶縁膜2を設け、続いて当該絶縁膜2の一部を選択除
去し窓25を形成する(第1図a)。
いて詳細に説明する0 第1図は、本発明を用いて容量を形成する一実施例を示
しており、その製作工程を説明するための断面構造を示
している。図において、1は半導体基板、2は絶縁膜、
25は悪、3は高濃度不純物領域、4.41.42、は
1を極、45は絶縁膜、5として金属タンタルを用いる
こととして工程を1114を追って説明する。1ず、−
4心型を有するシリコン基板1の表面に、SiO□なと
の絶縁膜2を設け、続いて当該絶縁膜2の一部を選択除
去し窓25を形成する(第1図a)。
次に、絶縁膜2をマスクとして窓25からシリコン基板
10表面に不純物を導入し、該基板】と逆の導屯型全市
する不純物領域3を形成し、続いてタンタル1換4を真
空蒸着法などの手段r用いて形成する(第J図b)。自
該不71屹物の導入は、熱拡散法を用いても、あるいは
イオン打込法を用いても良く、その蔵択は自由である。
10表面に不純物を導入し、該基板】と逆の導屯型全市
する不純物領域3を形成し、続いてタンタル1換4を真
空蒸着法などの手段r用いて形成する(第J図b)。自
該不71屹物の導入は、熱拡散法を用いても、あるいは
イオン打込法を用いても良く、その蔵択は自由である。
該7′踏部領域3は覗甑として用いるため、高凝度に形
、す・必要がある。また、タンタル族4はその−2分は
電極としても用いるため、厚く形成される必要がめpl
その好ましい厚さは03〜0.6ミクロンである。
、す・必要がある。また、タンタル族4はその−2分は
電極としても用いるため、厚く形成される必要がめpl
その好ましい厚さは03〜0.6ミクロンである。
次に、当該膜4に、酸素イオン5がイオン打込みされ、
続いて、−I不活性ガス雰囲気中で熱処理することによ
シ当該膜4の内部にTa2O,N45が形成される(第
1図C)。当該イオン打込みは、Ta2鵠膜45が前記
タンタル族4の内部に形成されるようにまたTa2(J
6の組成となるように5+:π1−を迅ぶ必要があシ、
その好ましい条件1−を電圧が50〜150KeV、打
込み量が10′−10cInである。当該イオン打込み
によυ500〜1500 オングストロームの膜厚のT
a205膜が形成される。かかる条件で当該Ta205
膜に接して上側にタンタル膜421X−ト側にタンタル
膜41が炊シ、これら膜は電極として利用される。
続いて、−I不活性ガス雰囲気中で熱処理することによ
シ当該膜4の内部にTa2O,N45が形成される(第
1図C)。当該イオン打込みは、Ta2鵠膜45が前記
タンタル族4の内部に形成されるようにまたTa2(J
6の組成となるように5+:π1−を迅ぶ必要があシ、
その好ましい条件1−を電圧が50〜150KeV、打
込み量が10′−10cInである。当該イオン打込み
によυ500〜1500 オングストロームの膜厚のT
a205膜が形成される。かかる条件で当該Ta205
膜に接して上側にタンタル膜421X−ト側にタンタル
膜41が炊シ、これら膜は電極として利用される。
イオン打込み後の熱処理はAr、N2Heなどの不活性
ガス雰囲気中で70υ〜900°Cで行うのが好ましい
。
ガス雰囲気中で70υ〜900°Cで行うのが好ましい
。
当該雰囲気中に微霊の酸素、水分が含まれていた場合に
は、タンタル1極42の表面が劇化されるため、当該電
極42が薄くなるなど好ましい結果が得られない。かか
る時は、イオン打込みの前にもしくはイオン打込みの後
にS i 02などの絶縁膜を前記タンタル膜4の表面
に設け、タンタル膜を面にマスク拐料を設け、選択的に
行っても良い。
は、タンタル1極42の表面が劇化されるため、当該電
極42が薄くなるなど好ましい結果が得られない。かか
る時は、イオン打込みの前にもしくはイオン打込みの後
にS i 02などの絶縁膜を前記タンタル膜4の表面
に設け、タンタル膜を面にマスク拐料を設け、選択的に
行っても良い。
また、イオン(’]込みの1県に抽板1を加熱せしめ、
熱処理と同時に行っても良くその選択は自由でるる・ 次にタンタル膜42を選択的に除去し、電極ノく極41
はこのあとの工程で選択的に除去しても良いし、Iたけ
第1図(b)でタンタル膜4が形成された佐に選択的に
除去しておいても良くその選択は自由である。当該実施
例では、タンタル族41と高濃度不純物領域3とはオー
ム接地であるため、該不純物領域3と電極42との1i
j1に電圧を印加することで容量として動作させること
かでさる特長を持つ。
熱処理と同時に行っても良くその選択は自由でるる・ 次にタンタル膜42を選択的に除去し、電極ノく極41
はこのあとの工程で選択的に除去しても良いし、Iたけ
第1図(b)でタンタル膜4が形成された佐に選択的に
除去しておいても良くその選択は自由である。当該実施
例では、タンタル族41と高濃度不純物領域3とはオー
ム接地であるため、該不純物領域3と電極42との1i
j1に電圧を印加することで容量として動作させること
かでさる特長を持つ。
上記した実施例では、電&4としてTaを用い絶縁膜4
5としてTa205をを形成することとして説明したが
、該電極4として他の金属例えばA、g、Mg、 ’I
’ i、 N b iどを用い絶縁膜45 トLテ谷々
AZ、o3、MgO,’l’1o2Nb20. などを
形成する場曾にも12本発明は通用できる。さらに亀[
4として不純物をドープしたポリシリコン膜を用い、絶
縁[45として5in2もしくはSi3N4 を形成す
る場合も本発明は適用できる。
5としてTa205をを形成することとして説明したが
、該電極4として他の金属例えばA、g、Mg、 ’I
’ i、 N b iどを用い絶縁膜45 トLテ谷々
AZ、o3、MgO,’l’1o2Nb20. などを
形成する場曾にも12本発明は通用できる。さらに亀[
4として不純物をドープしたポリシリコン膜を用い、絶
縁[45として5in2もしくはSi3N4 を形成す
る場合も本発明は適用できる。
第1図は本発明の一実施例を説明するだめの図で各工程
図における半導体装置の概略断面を示す。 図において、1は半樽体基板、2は杷線腺、25は窓、
3は高濃度不純物領域、4.41.42、は電極膜、4
5は絶縁膜、5はイオ/の飛来方向をそれぞれ示す。 第1図 25 (d)
図における半導体装置の概略断面を示す。 図において、1は半樽体基板、2は杷線腺、25は窓、
3は高濃度不純物領域、4.41.42、は電極膜、4
5は絶縁膜、5はイオ/の飛来方向をそれぞれ示す。 第1図 25 (d)
Claims (1)
- 基板上に形成した電極膜の内部に酸素もしくは窒素をイ
オン打込みし続いて熱処理を行うこと区より、もしくは
基板を加熱した状態で酸素もしくは璧累をイオン打込み
することによシ、当該眠極膜の内部に絶縁層をうめこみ
形成することを特許とした絶縁層の形成方法、
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11135083A JPS603126A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 絶縁層の形成方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11135083A JPS603126A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 絶縁層の形成方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS603126A true JPS603126A (ja) | 1985-01-09 |
Family
ID=14558962
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP11135083A Pending JPS603126A (ja) | 1983-06-21 | 1983-06-21 | 絶縁層の形成方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS603126A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6816355B2 (en) | 2001-09-13 | 2004-11-09 | Seiko Epson Corporation | Capacitor, semiconductor device, electro-optic device, method of manufacturing capacitor, method of manufacturing semiconductor device, and electronic apparatus |
JP2008273230A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-13 | Toyota Motor Corp | 車両用シート |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5331971A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Forming method of metal oxide film or semiconductor oxide film |
JPS54153575A (en) * | 1978-05-25 | 1979-12-03 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Manufacture for semiconductor device |
JPS556291A (en) * | 1978-06-26 | 1980-01-17 | Contraves Ag | Digital interporation system for three pahse analog signal period |
-
1983
- 1983-06-21 JP JP11135083A patent/JPS603126A/ja active Pending
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5331971A (en) * | 1976-09-06 | 1978-03-25 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Forming method of metal oxide film or semiconductor oxide film |
JPS54153575A (en) * | 1978-05-25 | 1979-12-03 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Manufacture for semiconductor device |
JPS556291A (en) * | 1978-06-26 | 1980-01-17 | Contraves Ag | Digital interporation system for three pahse analog signal period |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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US6816355B2 (en) | 2001-09-13 | 2004-11-09 | Seiko Epson Corporation | Capacitor, semiconductor device, electro-optic device, method of manufacturing capacitor, method of manufacturing semiconductor device, and electronic apparatus |
JP2008273230A (ja) * | 2007-04-25 | 2008-11-13 | Toyota Motor Corp | 車両用シート |
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