JPS60238773A - 試験装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （技術分野） 本発明は電子デバイスの試り義１に関するものである。

（従来技術） 従来は、第１図に示すように試験装％ｌで試験をしたあ
と２のように大気中で一定時間放飢した＋＋−＋、Ｐ−
−シａｚ＋＋、−ｙ＋ｔＦｚ＾二二１−＊１１ｃゴーｘ
ｅａｔＪ−ｒ平１ｉｅ’＝ｌイいた。この方法では、試
験装置１内において電圧が印加され例えば高温動作中不
良であ−ても常温では良品になるデバイスは良品となり
市場で実際に出荷された稜不良となる。

（発明の目的） 本発明の目的は、試験動作中に不良となるデバイスを判
定できる試験装置を提供することにある。

（実施例） 第２図は本発明の一実施ｆＩＪであり、その動作原理を
以下に説明する。

計算＆７はあらかじめ組込まれたプログラムに従って規
定時間毎にガれば測定機６に対し℃試触装富５に実装さ
れた電子デバイスの電気的＃性を測定するための指示を
与える。測定後６は装置５内に実施されたデバイスの一
気的特性の値を計算８ｔ７へ送る。計算機７は測定＆６
より送られた電気的特性を判定し、良品と不良品のカウ
ント行い、残存不良率の計算を行う。

無３図は従来例と本発明の残存不良率と試験時ｒｄ】と
の関係を示し、曲線８は従来例であり、曲線９は本発明
の実施例である。すなわち、時間Ｔまでは従来と本発明
では大差ないが、Ｔ以後では従来例では不良を検出でき
ない°のに対し本発明では動作中の不良を検出できるの
で不良検出率を高めることができる。

第４図は本発明の他の構成例であり、段数の試験装置１
０．１１・・・、１２を接続し、且つ表示装置１５で不
良品を表示し、不良品のテストを停止することができる
。１３は測定器、１４は計算機である。試験装置１０−
　］、　２　、測定器１３．計算機１４９表示装置１５
は一体型であっても１通信回線で接続された分離型であ
っても良い。

以上述べた計算機制御試験装置は動作中不良となるデバ
イスを効率よく検出できるので高信頼度デバイスのテス
ト等に非常に有効である。なお。

試験装置はデバイスにバイアス電圧、温度、および湿度
を与えることができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来の試験装備方法の手ＩＩを示す図であり、
１は試験装置、２は一定時間大気中における放置、３は
測定機、４は判定である。 第２図は不発明の一実施例によるブロック図であり、５
は試験装置、６は測定様、７は計算様である。 第３図は本発明の一実施例による残存不良率と試験時間
との関係を示しだ図であり、ｉ＄軸は試験時間、縦軸は
残存不良率、８は従来例による残存不良率曲線、９は本
発明の実施例による残存不良率曲線である。 第４図は本発明の他の実施例を示すブロック図であり、
１０，１１．１２は試験装置、１３ｉａ測定機、１４は
計′ＪＩＩ−機、１５は表示装置である。 第１図 第２図 □を人騒６４間 第４図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）被試験デバイスＣζ試験条件を与える手段と、前
   記被試験デバイスの電気的特性を測定するための手段と
   、規定時間毎に前記泥足手段の測定結果を判定する手段
   とを有することを特徴とする試験装置。