JPS584939A - 半導体装置のテスト装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 零発ｌｊＩは、ウェハース段階にてペレットの試験（以
下ＰＷチェックと言う）を行なう際の試験装置に関し１
％にブロービング装置の構成に関するものである。

ＰＷチェ、り工程に於いて、ＬＳＩテストシステ、ムは
、ＬＳＩテスターノロ−ピング装置そして周辺機器より
構成されておｎ、　（Ｅ米は各構成単体での装置の信頼
性に−ＤＩ／％ては、ＰＷチェ、夕前に点検するだけで
、測定中での装置の検査は行なわれていなかった０％に
、ブロービング装置の探針とペレットのパッド間のズレ
（以下探針ズレと言う）についてはその検出ができなか
りた。従りて、ペレットの試験では良品として判定して
も実際さは良品とは判定できない間亀点がありた。又、
探針ズレに関しては、どうしても作業者の顕微鏡による
チェックに頼る方法しかなく、装置自身が判断できない
と、いう欠点があった。

そこで本発明は、プロービング装置の信頼性をリアルタ
イムでチェックするための探針ズレ防止機能を有するテ
スト装置を得ることを目的とする。

ＰＷチェ、り工程に於いて、ブロービング装置の誤動作
に伴う探針ズレは、装置の信頼性の向上によル低減して
いるものの依然として問題となりて−る。そこで本発明
は、ブロービング装置単体ではなく、システムとして探
針ズレを検出してプるパッドとは独立した２１１６１の
パッドを設け、又。

前記のパッドに接触する探針もベレットの特性をチェッ
クする探針とは独立して設ける。又％前記の２個のパッ
ドは所定の抵抗値をもつ抵抗体によって接続される。Ｌ
ＳＩテスターより電流（又は電８Ｅ）を印加し、その測
定信号によシ探針が正確にパ・ラドに当っているか否か
を検出回路で判定した場合は、システムを停止し、アラ
ームを発生させる。前記の様な機能を加えることによ〕
プＷＦ−ピング装置の誤動作による誤測定を防止し１作
業者がＰＷチェ、り中に装置を停止して確認する必要が
なくな９．自動化、無人化に極めて有効である。

以下１本発明ｔ−１面を参照して説明する。

本発明の一実施例として、第１図に示すブロービング装
置１．ＬＳＩテスター２．および周辺機器３で構成され
るＬＳＩテストシステムについて述べる。

測定用のパッド８，９と抵抗体４は、ペレット内の回路
とは独立しておシ、配線が接続されるパッドとは無関係
のパッド２個８．９よ多構成されておシ、前記２個のパ
ッドは、ある抵抗値を持った素子（抵抗体４）で接続さ
れて−る。又、前記２個のパッド８．９は、配線が接続
されるパッドよシ小さくすることにより％そして形状を
円形にすることにより探針ズレの検出精度を上げること
ができる。検査用探針５ｒｊ、前記２個のパッドに電流
（又は電ｆＥ）を印加するための探針で、２本で構成さ
れ、１本はアースに接続し、もう１本は、電流印加電圧
測定ユニット（又は電圧印加電流測定ユニット）６に接
続される。印加電流（又は印加電圧）、検出回路７での
設定値は、デバイスプログラム内で設定される。検出回
路で判定され九結来が、探針ズレ有りと判定されたら、
ＬＳＩテスターを停止し、かつブロービング装置も停止
する。

システムが停止した時点でアラーム信号１０を発生する
機能を持たせてもよ一０探針ズレが有る場合Ｋｔ！、ウ
ェハーの位置を権正して測定用探針が正しくパッドに触
れるようにする。

以上の説明の如く、本発明は、ＰＷチェ、り工程でのペ
レット測定装置であるＬＳＩテストシステムの信頼性を
リアルタイムでチェックし、システムＩｆＩＫプ勘−ビ
ング装置の不具合による誤測定を極力低減させ、ウェハ
ー内の良品ベレットの歩留９を向上させるのに効果を発
揮する探針ズレ防止機構が得られる。

尚、前述した検査用パッド８．９はウェハー内の少なく
とも１つのペレットＫｍけておけばよい。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明の一実施例を説明するためのシステム
ブロック図である。 １は、ブロービング装置、２はＬＳＩテスター、：ｌｊ
周辺機器％４は測定用のパッドと抵抗体％５は検査用探
針、６は電流印加電圧測定（又は電圧印加電流測定）ユ
＝、）、７は検出回路（判定回路）、８．９は検査用パ
ッド、１０−アラーム信号である。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. ウニへ−内の所定の場所に設けられた検査用パッドに探
   針を接触させて、探針に対するウェハーの位置を検出す
   る機構を有することを特徴とする半導体装置のテスト装
   置。