JPS60237318A - 変位変換器 - Google Patents
変位変換器Info
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- JPS60237318A JPS60237318A JP9365284A JP9365284A JPS60237318A JP S60237318 A JPS60237318 A JP S60237318A JP 9365284 A JP9365284 A JP 9365284A JP 9365284 A JP9365284 A JP 9365284A JP S60237318 A JPS60237318 A JP S60237318A
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- image sensor
- displacement
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- plate
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- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims abstract description 11
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 claims 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 abstract 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/366—Particular pulse shapes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（産業上の利用分野）
本発明は、光を利用して機械的な変位を検出する変位変
換器における直線性の改良に関するものである。
換器における直線性の改良に関するものである。
（従来の技術）
このような光学式の変位変換器の一種として従来からあ
るロータリーエンコーダの分解能および応答速度を改良
したものが特願昭５８−８６３９１号記載の変位変換器
である。これは、透光スリットを通った光を受光する受
光素子として、複数分割したフォトダイオードを使用す
るとともに、このフォトダイオード上に所定ピッチで配
列する透光スリン１〜を有する位置板を設置したもので
、第２図はその構成説明図である。この図において、１
はコード板、１１はこのコード板１に所定ピッチで円周
方向に複数個配列する透光スリット、３は光源、３０は
この光源３からの光ビームを平行ビームにするためのレ
ンズ、４は透光スリン１〜１１を通った光源３からの光
（スリット像）を受光するイメージセンサで、ここでは
動作を簡単に説明する都合上、４分割したフォトダイオ
ード４１゜４２’、４３．４４と、このフォトダイオー
ド上に所定ピッチで配列するスリット孔を有する位相板
２を設置したものを示す。Ｓ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ａは４
分割した各フォトダイオード４１〜４／Ｉがらの信号を
一定のタイミングで、順次取り出すスイッチである。５
は各スイッチＳＷＩ〜Ｓ Ｗ ４を介して印加されるイ
メージセンサ４からの信号を増幅する増幅器、６は増幅
器５からの出力信号の基本波成分を抽出するバンドパス
フィルタである。
るロータリーエンコーダの分解能および応答速度を改良
したものが特願昭５８−８６３９１号記載の変位変換器
である。これは、透光スリットを通った光を受光する受
光素子として、複数分割したフォトダイオードを使用す
るとともに、このフォトダイオード上に所定ピッチで配
列する透光スリン１〜を有する位置板を設置したもので
、第２図はその構成説明図である。この図において、１
はコード板、１１はこのコード板１に所定ピッチで円周
方向に複数個配列する透光スリット、３は光源、３０は
この光源３からの光ビームを平行ビームにするためのレ
ンズ、４は透光スリン１〜１１を通った光源３からの光
（スリット像）を受光するイメージセンサで、ここでは
動作を簡単に説明する都合上、４分割したフォトダイオ
ード４１゜４２’、４３．４４と、このフォトダイオー
ド上に所定ピッチで配列するスリット孔を有する位相板
２を設置したものを示す。Ｓ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ａは４
分割した各フォトダイオード４１〜４／Ｉがらの信号を
一定のタイミングで、順次取り出すスイッチである。５
は各スイッチＳＷＩ〜Ｓ Ｗ ４を介して印加されるイ
メージセンサ４からの信号を増幅する増幅器、６は増幅
器５からの出力信号の基本波成分を抽出するバンドパス
フィルタである。
第３図は、位相板２に設けた透光スリン１〜２１゜２２
．２３．２４と、４分割したフォトダイオード４１〜４
４の配列関係を示す図である。この図に示すように、透
光スリット２１，２２，２３゜２４（実線で示す）の配
列ピッチは、４分割フォトダイオード４１．４２．４３
．４４ （破線で示す）の配列ピッチと等しく、また、
コード板１に設けられた透光スリット（斜線で示す）１
１の配列ビッヂＰに対して５／４Ｐとなるよう形成され
ている。なあ、各スリット孔２１〜２４のスリット幅は
ここではＰ／２にしである。
．２３．２４と、４分割したフォトダイオード４１〜４
４の配列関係を示す図である。この図に示すように、透
光スリット２１，２２，２３゜２４（実線で示す）の配
列ピッチは、４分割フォトダイオード４１．４２．４３
．４４ （破線で示す）の配列ピッチと等しく、また、
コード板１に設けられた透光スリット（斜線で示す）１
１の配列ビッヂＰに対して５／４Ｐとなるよう形成され
ている。なあ、各スリット孔２１〜２４のスリット幅は
ここではＰ／２にしである。
このように構成した装置の動作を、次に第４図の動作波
形図を参照しながら説明する。
形図を参照しながら説明する。
光源３からの光は、レンズ３０で平行ビームとなり、コ
ード板１の透光スリット１１１３よび位相板２の透光ス
リット２１−２４を通過し、４分割フォトダイオード４
１〜４４上に透光スリット１１の像を結像さ′せる。各
スイッチＳ Ｗ ＋〜ＳＷｄは第４図（ａ ）〜（ｄ
）に示すようなタイミングで順次オン、オフ（オン時間
を王とする）し、各フォトダイオード４１〜４４からの
信号を順次取り出す。増幅器５はこの信号を増幅づる。
ード板１の透光スリット１１１３よび位相板２の透光ス
リット２１−２４を通過し、４分割フォトダイオード４
１〜４４上に透光スリット１１の像を結像さ′せる。各
スイッチＳ Ｗ ＋〜ＳＷｄは第４図（ａ ）〜（ｄ
）に示すようなタイミングで順次オン、オフ（オン時間
を王とする）し、各フォトダイオード４１〜４４からの
信号を順次取り出す。増幅器５はこの信号を増幅づる。
この結果、増幅器５の出力信＠ｅ５は、第４図（ｅ）に
示すように、各スイッチＳ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ａがオン
となる時間ごとに大きさが階段状に変化する階段波形と
なる。このような階段波形ｅ５をバンドパスフィルタ６
に力りえると、第４図（ｆ）に示すような正弦波信号ｅ
６が得られる。この正弦波信号ｅ６の基本波周波数は、
各スイッチＳ Ｗ ＋〜ＳＷ、１を順次駆動するくり返
し周波数に一致する。ここで、コード板１が測定すべき
変位に応じて回転すると、各フォトダイオード４１〜４
４上に結像する像が移動し、バンドパスフィルタ６から
得られる正弦波信号ｅ６の位相が、像の移動量、すなわ
ち、コード板の変位に応じて、例えば破線に示すように
Φだけシフトする。コード板１が透光スリット１１の配
列ピッチの１ピッチＰ分だけ回転すると、正弦波信号ｅ
６の位相シフト量は２πとなる。
示すように、各スイッチＳ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ａがオン
となる時間ごとに大きさが階段状に変化する階段波形と
なる。このような階段波形ｅ５をバンドパスフィルタ６
に力りえると、第４図（ｆ）に示すような正弦波信号ｅ
６が得られる。この正弦波信号ｅ６の基本波周波数は、
各スイッチＳ Ｗ ＋〜ＳＷ、１を順次駆動するくり返
し周波数に一致する。ここで、コード板１が測定すべき
変位に応じて回転すると、各フォトダイオード４１〜４
４上に結像する像が移動し、バンドパスフィルタ６から
得られる正弦波信号ｅ６の位相が、像の移動量、すなわ
ち、コード板の変位に応じて、例えば破線に示すように
Φだけシフトする。コード板１が透光スリット１１の配
列ピッチの１ピッチＰ分だけ回転すると、正弦波信号ｅ
６の位相シフト量は２πとなる。
したがって、この位相のシフト量Φを測定することによ
って、コード板１に形成された透光スリット１１の配列
ピッチ１以内の回転角度をめることができる。
って、コード板１に形成された透光スリット１１の配列
ピッチ１以内の回転角度をめることができる。
第５図は、このような位相シフト量測定回路の一例をし
めす構成ブロック図である。この回路はバントパスフィ
ルタ６から得られる正弦波信号ｅ６の位相を１００〜１
０００程度内拝する動作をなすものである。すなわち、
正弦波信号ｅ６を、帰還回路に１／Ｎ（Ｎは分周比）分
周器７２を有したフェース′ロックドループ（ＰＬＬ）
７１に印加し、ここでＮ倍された信号ｆｓ０ｇと、基準
クロック（この基準クロックはイメージセンサ４の駆動
信号として用いられる）ｆｃを同時パルス禁止回路８を
通した後、アップダウンカウンタ９に与えるようにした
ものである。ＰＬＬ７１でＮ倍された信＠ｒｓｉｇの周
波数がｒｃより高くなる方向（ｒｃ＋八ｆへへコード板
１が回転すると、アップダウンカウンタ９はアップカウ
ントし、また、ｆｓＩｇがｆｃより低くなる方向（ｆＣ
−ａｒ＞へコード板１が回転すると、ダウンカウントす
る。
めす構成ブロック図である。この回路はバントパスフィ
ルタ６から得られる正弦波信号ｅ６の位相を１００〜１
０００程度内拝する動作をなすものである。すなわち、
正弦波信号ｅ６を、帰還回路に１／Ｎ（Ｎは分周比）分
周器７２を有したフェース′ロックドループ（ＰＬＬ）
７１に印加し、ここでＮ倍された信号ｆｓ０ｇと、基準
クロック（この基準クロックはイメージセンサ４の駆動
信号として用いられる）ｆｃを同時パルス禁止回路８を
通した後、アップダウンカウンタ９に与えるようにした
ものである。ＰＬＬ７１でＮ倍された信＠ｒｓｉｇの周
波数がｒｃより高くなる方向（ｒｃ＋八ｆへへコード板
１が回転すると、アップダウンカウンタ９はアップカウ
ントし、また、ｆｓＩｇがｆｃより低くなる方向（ｆＣ
−ａｒ＞へコード板１が回転すると、ダウンカウントす
る。
したがって、アップダウンカウンタ９の出力から、位相
シフト量、すなわちコード板１の回転角を、例えば、分
周比Ｎを１０００とすれば、１Ｐの１／１０００といっ
た高い分解能で内挿することができる。
シフト量、すなわちコード板１の回転角を、例えば、分
周比Ｎを１０００とすれば、１Ｐの１／１０００といっ
た高い分解能で内挿することができる。
このような構成の変位変換器は比較的簡単な構成で、高
分解能、高速応答性を有し、光源の強度変化やイメージ
センサを構成する素子の感度変化等の影響を受けないと
いう特徴を有するが、下記の様な非直線誤差の問題を有
している。
分解能、高速応答性を有し、光源の強度変化やイメージ
センサを構成する素子の感度変化等の影響を受けないと
いう特徴を有するが、下記の様な非直線誤差の問題を有
している。
第６図は前記コード板１の変位に対して前記フォトダイ
オード４１〜４４のそれぞれから異った位相で出力され
る信号波形を示す動作波形図である（変位速度が一定の
場合にはタイムチャートも同一波形となる）。フォトダ
イオードに入る光量はコード板１と位相板２の開口面積
に比例するので、コード板１の変位がピッチＰ増加する
度に同一の三角波の繰り返し波形６０１〈点線）が現わ
れる。この波形６０１は基本波のほかに３．５゜７．９
，１１．・・・次の空間高調波を含んでいるので第４図
の正弦波信号ｅ６のシフト量φは変位に比例せず、前記
高調波成分の影響を受けた値となる。この結果上記の変
位変換器では出力に第７図（Ａ）のような±１％前後の
非直線誤差を生じる。
オード４１〜４４のそれぞれから異った位相で出力され
る信号波形を示す動作波形図である（変位速度が一定の
場合にはタイムチャートも同一波形となる）。フォトダ
イオードに入る光量はコード板１と位相板２の開口面積
に比例するので、コード板１の変位がピッチＰ増加する
度に同一の三角波の繰り返し波形６０１〈点線）が現わ
れる。この波形６０１は基本波のほかに３．５゜７．９
，１１．・・・次の空間高調波を含んでいるので第４図
の正弦波信号ｅ６のシフト量φは変位に比例せず、前記
高調波成分の影響を受けた値となる。この結果上記の変
位変換器では出力に第７図（Ａ）のような±１％前後の
非直線誤差を生じる。
非直線誤差の原因となるこのような高調波はできる□だ
け減少させることが望ましい。
け減少させることが望ましい。
（発明が解決しようとする問題点）
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、光を利用して機械的な変位を検出する変位変換器の非
直線誤差を小さくすることを目的としている。
、光を利用して機械的な変位を検出する変位変換器の非
直線誤差を小さくすることを目的としている。
（問題点を解′決するための手段）
本発明における第１の発明の変位変換器はピッチＰで配
列する複数個の透光スリットが形成されたコード板、こ
のコード板の透光スリットに平行な光を投射させる光源
、複数分割した受光素子とこの各受光素子上にｇ８１！
置され所定ビツヂで配列するスリット孔を有した位相板
と各受光素子からの信号を順次取出すスイッチ手段とで
構成されるイメージセンサ、このイメージセンサから得
られる信号から基本波成分を抽出するバンドパスフィル
タ、このバンドパスフィルタの出力信号と前記イメージ
センサの駆動信号とを入力し前記基本波成分の位相シフ
ト量に基づいて前記コード板の変位をめる位相測定手段
を具備するとともに、前記位相板のスリット孔の幅をＰ
／３とすることにより、前記各受光素子からの出力信号
に含まれる３次空間高調波を除去するようにしたことを
特徴とする。
列する複数個の透光スリットが形成されたコード板、こ
のコード板の透光スリットに平行な光を投射させる光源
、複数分割した受光素子とこの各受光素子上にｇ８１！
置され所定ビツヂで配列するスリット孔を有した位相板
と各受光素子からの信号を順次取出すスイッチ手段とで
構成されるイメージセンサ、このイメージセンサから得
られる信号から基本波成分を抽出するバンドパスフィル
タ、このバンドパスフィルタの出力信号と前記イメージ
センサの駆動信号とを入力し前記基本波成分の位相シフ
ト量に基づいて前記コード板の変位をめる位相測定手段
を具備するとともに、前記位相板のスリット孔の幅をＰ
／３とすることにより、前記各受光素子からの出力信号
に含まれる３次空間高調波を除去するようにしたことを
特徴とする。
本発明における第２の発明の変位変換器はピン。
チＰで配列する複数個の透光スリットが形成されたコー
ド板、このコード板の透光スリットに平行な光を投射さ
せる光源、複数分割した受光素子とこの各受光素子上に
設置され所定ピッチで配列するスリット孔を有した位相
板と各受光素子からの信号を順次取出すスイッチ手段と
で構成されるイメージセンサ、このイメージセンサから
得られる信号から基本波成分を抽出するバンドパスフィ
ルタ、このバンドパスフィルタの出力信号と前記イメー
ジセンサの駆動信号とを入力し前記基本波成分の位相シ
フト量に基づいて前記コード板の変位をめる位相測定手
段を具備するとともに、前記コード板の透光スリットの
幅をＰ／３とすることにより、前記各受光素子からの出
力信号に含まれる３次空間高調波を除去するようにした
ことを特徴とする。
ド板、このコード板の透光スリットに平行な光を投射さ
せる光源、複数分割した受光素子とこの各受光素子上に
設置され所定ピッチで配列するスリット孔を有した位相
板と各受光素子からの信号を順次取出すスイッチ手段と
で構成されるイメージセンサ、このイメージセンサから
得られる信号から基本波成分を抽出するバンドパスフィ
ルタ、このバンドパスフィルタの出力信号と前記イメー
ジセンサの駆動信号とを入力し前記基本波成分の位相シ
フト量に基づいて前記コード板の変位をめる位相測定手
段を具備するとともに、前記コード板の透光スリットの
幅をＰ／３とすることにより、前記各受光素子からの出
力信号に含まれる３次空間高調波を除去するようにした
ことを特徴とする。
（作用）
上記の手段を用いて、受光素子の出力信号に含まれる（
特に３次の）空間高調波成分を減少させ、変位変換器の
直線性を改善することができる。
特に３次の）空間高調波成分を減少させ、変位変換器の
直線性を改善することができる。
（実施例）
以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第１図は本発明に係わる変位変換器の一実施例で、従来
例で説明した第２図の変位変換器において使用される位
相板２のスリット配列を変えたものの要部構成説明図で
ある。第３図と異なる部分は位相板２のスリット孔１２
１，１２２，１２３゜１２４（実線で示す）のスリット
幅が、コード板１に設けられた透光スリット（斜線で示
す）１１の配列ピッチＰに対してＰ／３となるよう形成
されている点である。
例で説明した第２図の変位変換器において使用される位
相板２のスリット配列を変えたものの要部構成説明図で
ある。第３図と異なる部分は位相板２のスリット孔１２
１，１２２，１２３゜１２４（実線で示す）のスリット
幅が、コード板１に設けられた透光スリット（斜線で示
す）１１の配列ピッチＰに対してＰ／３となるよう形成
されている点である。
第６図の動作波形図には上記のような位相板を用いた場
合に、前記コード板１の変位に対して前記フォトダイオ
ード４１〜４４のそれぞれから異った位相で出力される
信号波形６０２（実線）が示されている（変位速度が一
定の場合にはタイムチャートも同一波形となる）。上記
のように位相板のスリット孔の幅（Ｐ／３）がコード板
１の透光スリットの幅（Ｐ／２＞より小さいため、コー
ド板１の変位に対して受光素子出力が変化しない範囲が
生じる。この結果、コード板１の変位がピッチＰ増加す
る度に同一の台形波の繰り返し波形が現われる。この波
形６０２は波形６０１における３次の空間高調波を殆ど
含んでいないので、第７図（Ｂ）に示すように第７図（
Ａ）の従来例の場合と比較して７倍程度直線性が改善さ
れる。
合に、前記コード板１の変位に対して前記フォトダイオ
ード４１〜４４のそれぞれから異った位相で出力される
信号波形６０２（実線）が示されている（変位速度が一
定の場合にはタイムチャートも同一波形となる）。上記
のように位相板のスリット孔の幅（Ｐ／３）がコード板
１の透光スリットの幅（Ｐ／２＞より小さいため、コー
ド板１の変位に対して受光素子出力が変化しない範囲が
生じる。この結果、コード板１の変位がピッチＰ増加す
る度に同一の台形波の繰り返し波形が現われる。この波
形６０２は波形６０１における３次の空間高調波を殆ど
含んでいないので、第７図（Ｂ）に示すように第７図（
Ａ）の従来例の場合と比較して７倍程度直線性が改善さ
れる。
なお上記の実施例では位相板のスリッｌ〜孔の幅をＰ／
３としたが、コード板の透光スリットの幅をＰ／３とし
ても同様の効果が（ｑられる。
３としたが、コード板の透光スリットの幅をＰ／３とし
ても同様の効果が（ｑられる。
なお上記の実施例では４分割フォトダイオードを用いた
が、分割する数は３以上の複数個であればよい。
が、分割する数は３以上の複数個であればよい。
また上記の各実施例ではいずれもロータリーエンコーダ
への適用を想定しているが、直線変位形にも適用できる
。
への適用を想定しているが、直線変位形にも適用できる
。
（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、光を利用して機械的
な変位を検出する方式で非直線誤差の少い変位変換器を
簡単な構成で実現することができる。さらに高分解能、
高速応答などの特長も備えている。
な変位を検出する方式で非直線誤差の少い変位変換器を
簡単な構成で実現することができる。さらに高分解能、
高速応答などの特長も備えている。
第１図は本発明に係わる変位変換器の一実施例の要部構
成説明図、第２図は従来の変位変換器の構成説明図、第
３図は第２図の変位変換器の部分説明図、第４図は第２
図の装置の動作を説明するための動作波形図、第５図は
位相シフ＋−ａｔ測定回路の従来の一例をしめす構成ブ
ロック図、第６図は第１図装置の動作を説明するための
動作波形図、第７図は第１図装置の直線性を示ずための
特性曲線図である。 １・・・コード板、２・・・位相板、３・・・光源、４
・・・イメージセンサ、６・・・バンドパスフィルタ、
１１・・・透光スリット、４１〜４４・・・受光素子、
１２１〜１２４・・・スリット孔、Ｓ Ｗ ＋〜ｓｗ、
＋・・・スイッチ手段、φ・・・位相シフト量。 第１図
成説明図、第２図は従来の変位変換器の構成説明図、第
３図は第２図の変位変換器の部分説明図、第４図は第２
図の装置の動作を説明するための動作波形図、第５図は
位相シフ＋−ａｔ測定回路の従来の一例をしめす構成ブ
ロック図、第６図は第１図装置の動作を説明するための
動作波形図、第７図は第１図装置の直線性を示ずための
特性曲線図である。 １・・・コード板、２・・・位相板、３・・・光源、４
・・・イメージセンサ、６・・・バンドパスフィルタ、
１１・・・透光スリット、４１〜４４・・・受光素子、
１２１〜１２４・・・スリット孔、Ｓ Ｗ ＋〜ｓｗ、
＋・・・スイッチ手段、φ・・・位相シフト量。 第１図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （７〉ピッチＰで配列する複数個の透光スリットが形成
されたコード板、このコード板の透光スリットに平行な
光を投射さゼる光源、複数分割した受光素子とこの各受
光素子上に設置され所定ピッチで配列するスリット孔を
有した位相板と各受光素子からの信号を順次取出すスイ
ッチ手段とで構成されるイメージセンサ、このイメージ
センサから得られる信号から基本波成分を抽出するバン
ドパスフィルタ、このバンドパスフィルタの出力信号と
前記イメージセンサの駆動信号とを入力し前記基本波成
分の位相シフト量に基づいて前記コード板の変位をめる
位相測定手段を具備するとともに、前記位相板のスリッ
ト孔の幅をＰ／３とすることにより、前記各受光素子か
らの出力信号に含まれる３次空間高調波を除去するよう
にしたことを特徴とする変位変換器。 （２）ピッチＰで配列する複数個の透光スリットが形成
されたコード板、このコード板の透光スリットに平行な
光を投射させる光源、複数分割した受光素子とこの各受
光素子上に設置され所定ピッチで配列するスリット孔を
有した位相板と各受光素子からの信号を順次取出すスイ
ッチ手段とで構成されるイメージセンサ、このイメージ
センサから得られる信号から基本波成分を抽出するバン
ドパスフィルタ、このバンドパスフィルタの出力信号と
前記イメージセンサの駆動信号とを入力し前記基本波成
分の位相シフト量に基づいて前記コード板の変位をめる
位相測定手段を具備するとともに、前記コード板の透光
スリットの幅をＰ／３とすることにより、前記各受光素
子からの出力信号に含まれる３次空間高調波を除去する
ようにしたことを特徴とする変位変換器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9365284A JPS60237318A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 変位変換器 |
| US06/725,088 US4680466A (en) | 1984-04-20 | 1985-04-19 | Displacement transducer which simultaneously extracts signals via sequential switching |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9365284A JPS60237318A (ja) | 1984-05-10 | 1984-05-10 | 変位変換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60237318A true JPS60237318A (ja) | 1985-11-26 |
Family
ID=14088307
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9365284A Pending JPS60237318A (ja) | 1984-04-20 | 1984-05-10 | 変位変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60237318A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3616144A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrische messeinrichtung |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042616A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Sony Magnescale Inc | 光学スケ−ル装置 |
-
1984
- 1984-05-10 JP JP9365284A patent/JPS60237318A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6042616A (ja) * | 1983-08-19 | 1985-03-06 | Sony Magnescale Inc | 光学スケ−ル装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3616144A1 (de) * | 1986-05-14 | 1987-11-19 | Heidenhain Gmbh Dr Johannes | Fotoelektrische messeinrichtung |
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