JPS636418A - エンコ−ダ - Google Patents
エンコ−ダInfo
- Publication number
- JPS636418A JPS636418A JP14977586A JP14977586A JPS636418A JP S636418 A JPS636418 A JP S636418A JP 14977586 A JP14977586 A JP 14977586A JP 14977586 A JP14977586 A JP 14977586A JP S636418 A JPS636418 A JP S636418A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- code plate
- encoder
- eccentricity
- detection means
- error components
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims abstract description 27
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 15
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 abstract 1
- 239000011295 pitch Substances 0.000 description 19
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 7
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Landscapes
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、例えば、円周方向に透光スリットなどのマー
ク手段が設けられたコード板の動きを、このマーク手段
の配列ピッチに対して一定の位相差をもって配列された
受光素子群などの検出手段により検出し、マーク手段の
配列ピッチより小さな回転角を内挿して求めるようにし
たエンコーダに関するものである。
ク手段が設けられたコード板の動きを、このマーク手段
の配列ピッチに対して一定の位相差をもって配列された
受光素子群などの検出手段により検出し、マーク手段の
配列ピッチより小さな回転角を内挿して求めるようにし
たエンコーダに関するものである。
上記のような内挿形のエンコーダの一例としては、本願
出願人が特願昭58−13951号としてすてに出願し
た装置がある。これは、マーク手段として透光スリット
が設けられたコード板の動きを、この透光スリットの配
列ピッチに対して一定の位相差をもって配列された受光
素子群(イメージセンサ)を使用して検出することを特
徴としたもので、コード板の回転角度を基準信号の位相
シフト量に変換して、高精度に測定することができるも
のである。
出願人が特願昭58−13951号としてすてに出願し
た装置がある。これは、マーク手段として透光スリット
が設けられたコード板の動きを、この透光スリットの配
列ピッチに対して一定の位相差をもって配列された受光
素子群(イメージセンサ)を使用して検出することを特
徴としたもので、コード板の回転角度を基準信号の位相
シフト量に変換して、高精度に測定することができるも
のである。
第2図はこのような構成を有するエンコーダの一例を示
す構成図である。図において、1はコード板、2はコー
ド板1上に所定のピッチで設けられた透光スリット、3
は光源、3oは光源3がら照射された光ビームを平行ビ
ームに変換するためのレンズ、4は透光スリット2を通
過した光(スリット像)を受光するイメージセンサで、
ここでは、動作を簡単に説明するために、4個の受光素
子41〜44を7レイ状に配列したものを例示している
。
す構成図である。図において、1はコード板、2はコー
ド板1上に所定のピッチで設けられた透光スリット、3
は光源、3oは光源3がら照射された光ビームを平行ビ
ームに変換するためのレンズ、4は透光スリット2を通
過した光(スリット像)を受光するイメージセンサで、
ここでは、動作を簡単に説明するために、4個の受光素
子41〜44を7レイ状に配列したものを例示している
。
SWl〜SW4は受光素子41〜44からの信号を一定
のタイミングで順次取り出すスイッチ、5は各スイッチ
SW1〜SW4を介して印加される信号を増幅する増幅
器、6は増幅器5の出力信号から基本波成分を抽出する
バンドパスフィルタである・第3図はコード板1に形成
された透光スリット2とイメージセンサ4における受光
素子41〜44との配列関係を示す図である。図に示す
ように、4つの受光素子41〜44を1つのグループと
仮定し、このグループのピッチをイメージセンサ4にお
ける基本ピッチとすれば、この基本ピッチは透光スリッ
ト2の配列ピッチPと等しく形成されている。
のタイミングで順次取り出すスイッチ、5は各スイッチ
SW1〜SW4を介して印加される信号を増幅する増幅
器、6は増幅器5の出力信号から基本波成分を抽出する
バンドパスフィルタである・第3図はコード板1に形成
された透光スリット2とイメージセンサ4における受光
素子41〜44との配列関係を示す図である。図に示す
ように、4つの受光素子41〜44を1つのグループと
仮定し、このグループのピッチをイメージセンサ4にお
ける基本ピッチとすれば、この基本ピッチは透光スリッ
ト2の配列ピッチPと等しく形成されている。
すなわち、受光素子41−44は透光スリット2の配列
ピッチに対して、順次90°づつ位相がずれるように配
列されている。
ピッチに対して、順次90°づつ位相がずれるように配
列されている。
以下、上記のように構成されたエンコーダの動作を、第
4図の波形図を参照しながら説明する。
4図の波形図を参照しながら説明する。
光源3からの光は、レンズ30により平行ビームに変換
され、コード板1の透光スリット2を通過して、イメー
ジセンサ4の受光素子41−44上に透光スリット2の
像を結像させる。イメージセンサ4においては、スイッ
チSW1〜SW4が第4図(a)〜(d)に示すような
タイミングで順次オンオフされ(オン時間をTとする)
、受光素子41〜44からの信号を順次増幅器5に印加
している。この結果、増幅器5の出力信号C1は、第4
図(e)に示すように、スイッチSWI〜SW4がそれ
ぞれオンとなる時間ごとにその大きさが変化する階段波
形となる。したがって、このような階段波形をバンドパ
スフィルタ6に加えると、第4図(f)に示すような正
弦波信号c、〔基本波成分〕を得ることができる。
され、コード板1の透光スリット2を通過して、イメー
ジセンサ4の受光素子41−44上に透光スリット2の
像を結像させる。イメージセンサ4においては、スイッ
チSW1〜SW4が第4図(a)〜(d)に示すような
タイミングで順次オンオフされ(オン時間をTとする)
、受光素子41〜44からの信号を順次増幅器5に印加
している。この結果、増幅器5の出力信号C1は、第4
図(e)に示すように、スイッチSWI〜SW4がそれ
ぞれオンとなる時間ごとにその大きさが変化する階段波
形となる。したがって、このような階段波形をバンドパ
スフィルタ6に加えると、第4図(f)に示すような正
弦波信号c、〔基本波成分〕を得ることができる。
ここで、この正弦波信号C6の基本波周波数は、スイッ
チSW1〜SW4を順次駆動する繰り返し周波数と一致
しており、また、コード板1が測定すべき回転角に応じ
て回転すると、受光素子41〜44上に結像するスリッ
ト像も移動するので、バンドパスフィルタ6から得られ
る正弦波信号C1の位相は、スリット像の移動量すなわ
ちコード板1の回転角に応じて、例えば、図中に破線で
示すように、小だけシフトすることになる。いま、コー
ド板1が透光スリット2の配列ピッチ2分だけ回転する
と、正弦波信号C1の位相シフト量6は2ダだけ変化す
る。したがって、この位相のシフト最小を測定すれば、
コード板1の回転角度を高精度に検出することができる
。
チSW1〜SW4を順次駆動する繰り返し周波数と一致
しており、また、コード板1が測定すべき回転角に応じ
て回転すると、受光素子41〜44上に結像するスリッ
ト像も移動するので、バンドパスフィルタ6から得られ
る正弦波信号C1の位相は、スリット像の移動量すなわ
ちコード板1の回転角に応じて、例えば、図中に破線で
示すように、小だけシフトすることになる。いま、コー
ド板1が透光スリット2の配列ピッチ2分だけ回転する
と、正弦波信号C1の位相シフト量6は2ダだけ変化す
る。したがって、この位相のシフト最小を測定すれば、
コード板1の回転角度を高精度に検出することができる
。
(発明が解決しようとする問題点〕
しかしながら、上記のように複数の受光素子41〜44
に発生する電圧の差を利用して、コード板1の回転角を
内挿するようにしたエンコーダにおいては、光源3から
照射される光ビームの強度が均一でないと、受光素子4
1〜44によって各出力電圧のレベルに差を生じ、高精
度の角度検出が行なえなくなってしまう。
に発生する電圧の差を利用して、コード板1の回転角を
内挿するようにしたエンコーダにおいては、光源3から
照射される光ビームの強度が均一でないと、受光素子4
1〜44によって各出力電圧のレベルに差を生じ、高精
度の角度検出が行なえなくなってしまう。
例えば、光源3から照射される光ビームが均一であると
すると、透光スリット2を介して受光素子41〜44に
入射する光は、どれも等しい強さとなるので、コード板
1の回転に応じて受光素子41〜44から得られる出力
電圧C1〜c4は、第5図に示す如く、互に90゛の位
相差を有する三角波となる。
すると、透光スリット2を介して受光素子41〜44に
入射する光は、どれも等しい強さとなるので、コード板
1の回転に応じて受光素子41〜44から得られる出力
電圧C1〜c4は、第5図に示す如く、互に90゛の位
相差を有する三角波となる。
しかしながら、光ビームが均一ではなく、場所によって
その強さが興なる場合には、出力電圧C1〜c4は第6
図に示す如く、不揃いなものとなり、コード板1の回転
角と正弦波信号C,の位相シフト量φとが正確に対応せ
ず、検出結果に誤差を生じてしまう、しかも、このよう
な出力電圧の不揃いを、光源3などの光学系や可変砥抗
器などの電気的手段によりa整することは容易ではない
。また、各素子の位置が正確に出ていなかったり、受光
素子41〜44の感度が不揃いであったりした場合にも
、同様な誤差を生じてしまう。
その強さが興なる場合には、出力電圧C1〜c4は第6
図に示す如く、不揃いなものとなり、コード板1の回転
角と正弦波信号C,の位相シフト量φとが正確に対応せ
ず、検出結果に誤差を生じてしまう、しかも、このよう
な出力電圧の不揃いを、光源3などの光学系や可変砥抗
器などの電気的手段によりa整することは容易ではない
。また、各素子の位置が正確に出ていなかったり、受光
素子41〜44の感度が不揃いであったりした場合にも
、同様な誤差を生じてしまう。
なお、従来より、コード板1の偏心による誤差を補償す
る方法としては、第7図に示す如く、2つのイメージセ
ンサ4. 、4. (検出手段)をコード板1に対して
180°ずれた位置関係に配置し、これらのイメージセ
ンサ4. 、4.における出力の和を求める方法が提案
されているが、このような方法では、上記のような光学
系に起因する誤差までも補償することはできない。
る方法としては、第7図に示す如く、2つのイメージセ
ンサ4. 、4. (検出手段)をコード板1に対して
180°ずれた位置関係に配置し、これらのイメージセ
ンサ4. 、4.における出力の和を求める方法が提案
されているが、このような方法では、上記のような光学
系に起因する誤差までも補償することはできない。
本発明は、上記のような従来装置の欠点をなくし、コー
ド板の偏心による誤差や光ビームの不均一などの光学系
に起因する誤差を除去し、高精度の検出を行なうことの
できるエンコーダを簡単な構成により実現することを目
的としたものである。
ド板の偏心による誤差や光ビームの不均一などの光学系
に起因する誤差を除去し、高精度の検出を行なうことの
できるエンコーダを簡単な構成により実現することを目
的としたものである。
本発明のエンコーダは、円周方向に透光スリットなどの
マーク手段が設けられたコード板の回転角を受光素子群
などの検出手段により検出するようにしたエンコーダに
おいて、2つの検出手段を前記コード板に対して180
°ずれた位置関係に配置するとともに、これらの検出手
段間の位置関係をさらに前記マーク手段の配列ピッチの
172ピッチ分だけずらし、これらの検出手段における
出力信号の和から前記コード板の回転角を検出するよう
にしたものである。
マーク手段が設けられたコード板の回転角を受光素子群
などの検出手段により検出するようにしたエンコーダに
おいて、2つの検出手段を前記コード板に対して180
°ずれた位置関係に配置するとともに、これらの検出手
段間の位置関係をさらに前記マーク手段の配列ピッチの
172ピッチ分だけずらし、これらの検出手段における
出力信号の和から前記コード板の回転角を検出するよう
にしたものである。
(作 用〕
このように、2つの検出手段をコード板に対して180
°ずれた位置関係に配置するとともに、これらの検出手
段間の位置関係をさらにマーク手段の配列ピッチの17
2ピッチ分だけずらすようにすると、コード板の偏心に
よる誤差成分や光学系に起因する誤差成分が2つの検出
手段の出力信号中にそれぞれ位相が反転して現われるよ
うになり、これらの検出手段における出力信号の和から
コード板の回転角を検出するようにすれば、コード板の
偏心や光学系に起因する誤差を除去して、高精度の検出
を行なうことができる。
°ずれた位置関係に配置するとともに、これらの検出手
段間の位置関係をさらにマーク手段の配列ピッチの17
2ピッチ分だけずらすようにすると、コード板の偏心に
よる誤差成分や光学系に起因する誤差成分が2つの検出
手段の出力信号中にそれぞれ位相が反転して現われるよ
うになり、これらの検出手段における出力信号の和から
コード板の回転角を検出するようにすれば、コード板の
偏心や光学系に起因する誤差を除去して、高精度の検出
を行なうことができる。
(実施例〕
第1図は本発明のエンコーダの一実施例を示す構成図で
ある。図において、前記第2130および第7図と同様
のものは同一符号を付して示す。2つのイメージセンサ
4. 、4.はコード板1に対して180゛ずれた位置
関係に配置されるとともに、その位置関係をさらに透光
スリット2の配列ピッチの172ピッチ分(α)だけず
らされている、すなわち、透光スリット2の数をNとす
れば、α露2ダ/2N となる。
ある。図において、前記第2130および第7図と同様
のものは同一符号を付して示す。2つのイメージセンサ
4. 、4.はコード板1に対して180゛ずれた位置
関係に配置されるとともに、その位置関係をさらに透光
スリット2の配列ピッチの172ピッチ分(α)だけず
らされている、すなわち、透光スリット2の数をNとす
れば、α露2ダ/2N となる。
ここで、コード板1の偏心によりイメージセンサ4.
、4.の出力信号中に混入する誤差信号は、コード板1
の1回転を周期として現われることになり、また、光ビ
ームの不均一などの光学系に起因する誤差信号は、透光
スリット2の1ピツチを周期として現われることになる
。
、4.の出力信号中に混入する誤差信号は、コード板1
の1回転を周期として現われることになり、また、光ビ
ームの不均一などの光学系に起因する誤差信号は、透光
スリット2の1ピツチを周期として現われることになる
。
このため、偏心による誤差成分の振幅をδ、光学系に起
因する誤差成分の振幅を6とすると、コード板1の回転
角θに対してイメージセンサ4.の出力信号に含まれる
誤差信号E、は、 E、+lllδ 5jnfl + t 5inNθイ
メージセンサ4.の出力信号に含まれる誤差信号E、は
、 E、職a 5in(θ十臂+α) + a 5in(N (θ+ダ+α))諒−65jn(
1!+α〕 + a 5in(Nθ+(N+1)w)Nを偶数とする
と、 E、諺−δ5in(# + a) −(5inNθと
表わすことができる。
因する誤差成分の振幅を6とすると、コード板1の回転
角θに対してイメージセンサ4.の出力信号に含まれる
誤差信号E、は、 E、+lllδ 5jnfl + t 5inNθイ
メージセンサ4.の出力信号に含まれる誤差信号E、は
、 E、職a 5in(θ十臂+α) + a 5in(N (θ+ダ+α))諒−65jn(
1!+α〕 + a 5in(Nθ+(N+1)w)Nを偶数とする
と、 E、諺−δ5in(# + a) −(5inNθと
表わすことができる。
また、これらの誤差信号E、 、 E、の和を求めると
、E、+E、m & sfθ+s 5inN&−a
5in(θ+α)gsinNθ 寓& (sin# −5rn(θ+α))−δ((1−
cosα)sinl? −cos# sinα)となる
。ここで、透光スリット2の数が多く、αくく2fであ
れば、 E、 + E、−〇 となる。
、E、+E、m & sfθ+s 5inN&−a
5in(θ+α)gsinNθ 寓& (sin# −5rn(θ+α))−δ((1−
cosα)sinl? −cos# sinα)となる
。ここで、透光スリット2の数が多く、αくく2fであ
れば、 E、 + E、−〇 となる。
したがって、イメージセンサ4. 、4.を第1図の如
く配置すると、コード板1の偏心による誤差成分や光学
系に起因する誤差成分(Eo、E、)は2つのイメージ
センサ4. 、4.の出力信号中にそれぞれ位相が反転
した状態で現われるようになり、これらの出力信号の和
からコード板1の回転角を検出するようにすれば、互い
の誤差成分を打ち消して、高精度の検出を行なうことが
できる。
く配置すると、コード板1の偏心による誤差成分や光学
系に起因する誤差成分(Eo、E、)は2つのイメージ
センサ4. 、4.の出力信号中にそれぞれ位相が反転
した状態で現われるようになり、これらの出力信号の和
からコード板1の回転角を検出するようにすれば、互い
の誤差成分を打ち消して、高精度の検出を行なうことが
できる。
なお、上記の説明においては、マーク手段として透光ス
リット2を設けるとともに、検出手段としてイメージセ
ンサ4. 、4.を使用した光学式のエンコーダを例示
したが、エンコーダの構成はこれに限られるものではな
く、例えば、静電式や磁気式のエンコーダにおいても同
様な動作を行なわせることができる。また、イメージセ
ンサ4. 、4.を1/2ピッチ分ずらす方向は、進み
、遅れどちらでも可能である。
リット2を設けるとともに、検出手段としてイメージセ
ンサ4. 、4.を使用した光学式のエンコーダを例示
したが、エンコーダの構成はこれに限られるものではな
く、例えば、静電式や磁気式のエンコーダにおいても同
様な動作を行なわせることができる。また、イメージセ
ンサ4. 、4.を1/2ピッチ分ずらす方向は、進み
、遅れどちらでも可能である。
以上説明したように、本発明のエンコーダでは、円周方
向に透光スリットなどのマーク手段が設けられたコード
板の回転角を受光素子群などの検出手段により検出する
ようにしたエンコーダにおいて、2つの検出手段を前記
コード板に対して180°ずれた位置関係に配置すると
ともに、これらの検出手段間の位置関係をさらに前記マ
ーク手段の配列ピッチの172ピッチ分だけずらし、こ
れらの検出手段における出力信号の和から前記コード板
の回転角を検出するようにしているので、コード板の偏
心による誤差成分や光学系に起因する誤差成分を2つの
検出手段にそれぞれ位相が反転した状態で作用させるこ
とができ、コード板の偏心や光学系に起因する誤差を除
去し、高精度の検出を行なうことのできるエンコーダを
簡単な構成により実現することができる。
向に透光スリットなどのマーク手段が設けられたコード
板の回転角を受光素子群などの検出手段により検出する
ようにしたエンコーダにおいて、2つの検出手段を前記
コード板に対して180°ずれた位置関係に配置すると
ともに、これらの検出手段間の位置関係をさらに前記マ
ーク手段の配列ピッチの172ピッチ分だけずらし、こ
れらの検出手段における出力信号の和から前記コード板
の回転角を検出するようにしているので、コード板の偏
心による誤差成分や光学系に起因する誤差成分を2つの
検出手段にそれぞれ位相が反転した状態で作用させるこ
とができ、コード板の偏心や光学系に起因する誤差を除
去し、高精度の検出を行なうことのできるエンコーダを
簡単な構成により実現することができる。
第1図は本発明のエンコーダの一実施例を示す構成図、
第2図〜第7図は従来のエンコーダの一例を示す構成図
および信号波形図である。 1・・・コード板、2・・・透光スリット(マーク手段
)、3・・・光源、30・・・レンズ、4.4..4゜
・・・イメージセンサ〔検出手段〕、41〜44・・・
受光素子、SWI〜SW4 ・・・スイッチ、5・・
・増幅器、6・・・バンドパスフィルタ。 第1図 第2図 第3図
第2図〜第7図は従来のエンコーダの一例を示す構成図
および信号波形図である。 1・・・コード板、2・・・透光スリット(マーク手段
)、3・・・光源、30・・・レンズ、4.4..4゜
・・・イメージセンサ〔検出手段〕、41〜44・・・
受光素子、SWI〜SW4 ・・・スイッチ、5・・
・増幅器、6・・・バンドパスフィルタ。 第1図 第2図 第3図
Claims (1)
- 円周方向に透光スリットなどのマーク手段が設けられた
コード板の回転角を受光素子群などの検出手段により検
出するようにしたエンコーダにおいて、2つの検出手段
を前記コード板に対して180°ずれた位置関係に配置
するとともに、これらの検出手段間の位置関係をさらに
前記マーク手段の配列ピッチの1/2ピッチ分だけずら
し、これらの検出手段における出力信号の和から前記コ
ード板の回転角を検出するようにしてなるエンコーダ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14977586A JPS636418A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | エンコ−ダ |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP14977586A JPS636418A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | エンコ−ダ |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS636418A true JPS636418A (ja) | 1988-01-12 |
Family
ID=15482455
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP14977586A Pending JPS636418A (ja) | 1986-06-27 | 1986-06-27 | エンコ−ダ |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS636418A (ja) |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0665116A2 (en) * | 1994-01-31 | 1995-08-02 | Hewlett-Packard Company | Print medium advance control with dual-resolution encoding |
US6492806B2 (en) | 2000-06-14 | 2002-12-10 | Pentax Corporation | Magnetic encoder and survey instrument having magnetic encoder |
US6622391B1 (en) | 1999-04-28 | 2003-09-23 | Pentax Corporation | Incremental rotary encoder, and a surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder |
KR100911599B1 (ko) | 2005-09-30 | 2009-08-07 | 아바고 테크놀로지스 이씨비유 아이피 (싱가포르) 피티이 리미티드 | 움직임 인코더 세트, 코드 휠의 움직임 결정 방법 및 코드휠의 회전형 움직임 측정 방법 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5272244A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detector for rotary speed |
JPS59164913A (ja) * | 1983-03-11 | 1984-09-18 | Samutaku Kk | ロ−タリ−エンコ−ダ |
-
1986
- 1986-06-27 JP JP14977586A patent/JPS636418A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5272244A (en) * | 1975-12-12 | 1977-06-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Detector for rotary speed |
JPS59164913A (ja) * | 1983-03-11 | 1984-09-18 | Samutaku Kk | ロ−タリ−エンコ−ダ |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP0665116A2 (en) * | 1994-01-31 | 1995-08-02 | Hewlett-Packard Company | Print medium advance control with dual-resolution encoding |
US5598201A (en) * | 1994-01-31 | 1997-01-28 | Hewlett-Packard Company | Dual-resolution encoding system for high cyclic accuracy of print-medium advance in an inkjet printer |
EP0665116A3 (en) * | 1994-01-31 | 1998-05-20 | Hewlett-Packard Company | Print medium advance control with dual-resolution encoding |
US6622391B1 (en) | 1999-04-28 | 2003-09-23 | Pentax Corporation | Incremental rotary encoder, and a surveying instrument incorporating a magnetic incremental rotary encoder |
US6492806B2 (en) | 2000-06-14 | 2002-12-10 | Pentax Corporation | Magnetic encoder and survey instrument having magnetic encoder |
KR100911599B1 (ko) | 2005-09-30 | 2009-08-07 | 아바고 테크놀로지스 이씨비유 아이피 (싱가포르) 피티이 리미티드 | 움직임 인코더 세트, 코드 휠의 움직임 결정 방법 및 코드휠의 회전형 움직임 측정 방법 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CN104457805B (zh) | 编码器和使用编码器的装置 | |
US4465373A (en) | Encoder | |
US4518859A (en) | Angle measuring device with line sensor | |
US5668331A (en) | Position sensor | |
US4421980A (en) | Position encoder with closed-ring diode array | |
EP0801724B2 (en) | Opto-electronic rotary encoder | |
JPH0658779A (ja) | 測定装置 | |
JPS60243514A (ja) | 光電的測定装置 | |
JP3644687B2 (ja) | 2つの物体の相対的な変位を測定する光電式距離及び角度測定装置 | |
JPH06347293A (ja) | 回転検出装置及び回転検出用のスケール | |
EP1045227B1 (en) | Encoder | |
JPS636418A (ja) | エンコ−ダ | |
JP2007064818A (ja) | 光学式エンコーダ | |
JPH09505150A (ja) | 直角回折エンコーダ | |
JPH0422261Y2 (ja) | ||
JPH0518783A (ja) | 光学式エンコーダ | |
SU1083070A2 (ru) | Интерференционное устройство дл измерени перемещений | |
SU714456A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь угла поворота вала в код | |
SU731283A1 (ru) | Фотоэлектрический автоколлиматор | |
JPS59211822A (ja) | 変位変換器 | |
CA2196617A1 (en) | Optical encoder with variable-phase sinusoidal output | |
SU781563A1 (ru) | Оптический датчик перемещений объекта | |
SU966722A1 (ru) | Преобразователь с электрооптической редукцией | |
JPS61102822A (ja) | エンコ−ダ | |
SU574741A1 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь угла поворота вала в код |