JPS60222719A - 変位変換器 - Google Patents
変位変換器Info
- Publication number
- JPS60222719A JPS60222719A JP7956484A JP7956484A JPS60222719A JP S60222719 A JPS60222719 A JP S60222719A JP 7956484 A JP7956484 A JP 7956484A JP 7956484 A JP7956484 A JP 7956484A JP S60222719 A JPS60222719 A JP S60222719A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- code plate
- slits
- reference position
- light
- slit
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 title claims abstract description 22
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 31
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 claims description 14
- 230000007274 generation of a signal involved in cell-cell signaling Effects 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- 241000557769 Iodes Species 0.000 description 1
- 101700004678 SLIT3 Proteins 0.000 description 1
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
- 102100027339 Slit homolog 3 protein Human genes 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 230000002452 interceptive effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 238000010587 phase diagram Methods 0.000 description 1
- 239000004575 stone Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/366—Particular pulse shapes
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optical Transform (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
（発明の利用分野）
本発明は、ロボットなどに使用されてその原点復帰動作
を最小限に押えることができる変位変換器に関するもの
である。
を最小限に押えることができる変位変換器に関するもの
である。
（従来技術）
関節を直接駆動する方式のロボットでは、その関節角を
１０゛ｓ〜１０−６の分解能で検出するエンコーダが不
可欠である。このようなエンコーダは特願昭５８−８６
３９１の変位変換器によって実現できるが、本質的にイ
ンクレメンタル形であるため電源投入時には原点復帰動
作が必要となる。
１０゛ｓ〜１０−６の分解能で検出するエンコーダが不
可欠である。このようなエンコーダは特願昭５８−８６
３９１の変位変換器によって実現できるが、本質的にイ
ンクレメンタル形であるため電源投入時には原点復帰動
作が必要となる。
原点復帰動作の際に必要となる原点検出については実願
昭５８−７３３４１の原点信号発生装置などにより高精
度で行うことができる。第１図は実願昭５８−７３３４
１の原点信号発生装置で使用される符号板の構成を示す
平面図で、１は符号板、２は位置検出用のスリット、３
は原点検出用のスリットである。位置検出用のスリット
２はスリットがｎ個あり、この１つのスリットを更に■
倍に内挿してｍｘｎの高分解能を得ることができる。原
点復帰動作は符号板１を電源投入時に一定方向に回転し
、原点検出用スリット３が原点に一致した位置で停止す
ることによりなされる。
昭５８−７３３４１の原点信号発生装置などにより高精
度で行うことができる。第１図は実願昭５８−７３３４
１の原点信号発生装置で使用される符号板の構成を示す
平面図で、１は符号板、２は位置検出用のスリット、３
は原点検出用のスリットである。位置検出用のスリット
２はスリットがｎ個あり、この１つのスリットを更に■
倍に内挿してｍｘｎの高分解能を得ることができる。原
点復帰動作は符号板１を電源投入時に一定方向に回転し
、原点検出用スリット３が原点に一致した位置で停止す
ることによりなされる。
この原点信号発生装置は原点の検出を数十万分の−の高
精度で行うことができるが、原点復帰動作の際にロボッ
トの腕などを大きくスウィングするので衝突などの危険
性や時間のロスなどの問題がある。エンコーダを絶対値
型とすることにより前記の原点復帰動作を無くすことは
一つの方法であるが、上記のような高分解能のものは入
手が困難でありまたコスト的にも非常に高価となる。
精度で行うことができるが、原点復帰動作の際にロボッ
トの腕などを大きくスウィングするので衝突などの危険
性や時間のロスなどの問題がある。エンコーダを絶対値
型とすることにより前記の原点復帰動作を無くすことは
一つの方法であるが、上記のような高分解能のものは入
手が困難でありまたコスト的にも非常に高価となる。
（発明の目的）
本発明は上記の問題点を解決するためになされたもので
、原点復帰動作を最小限に押えることができる変位変換
器を実現することを目的としている。
、原点復帰動作を最小限に押えることができる変位変換
器を実現することを目的としている。
（発明の概要）
本発明の変位変換器は所定ピッチで配列するスリットと
基準位置を示すスリットを有する第１の符号板、この第
１の符号板に対して相対的に変位し所定ピッチで配列す
る複数の角度検出用スリットとこの角度検出用スリット
に対して前記変位方向にそれぞれが異なる位相のずれを
伴って配列する複数の基準位置検出用スリットとが形成
された第２の符号板、この第２の符号板の前記各スリッ
トに平行な光を投射させる光源、前記第１の符号板の所
定ピッチで配列するスリットおよび前記第２の符号板の
角度検出用スリットを通過する光を受光する複数分割し
た第１の受光素子、前記第１の符号板の基準位置を示す
スリットおよび前記第２の符号板の基準位置検出用スリ
ットを通過する光を受光する第２の受光素子、複数分割
した前記第１の受光素子からの信号を順次取り出すスイ
ッチ手段、このスイッチ手段から得られる信号から基本
波成分を抽出するバンドパスフィルタ、このバンドパス
フィルタの出力信号と前記スイッチ手段の駆動信号とを
入力し前記基本波成分の位相シフト量に基づいて前記第
２の符号板の変位をめる位相測定手段、前記第２の受光
素子からの信号に基づいて基準位置を示す信号を出力す
る基準位置信号発生回路を具備したことを特徴とする。
基準位置を示すスリットを有する第１の符号板、この第
１の符号板に対して相対的に変位し所定ピッチで配列す
る複数の角度検出用スリットとこの角度検出用スリット
に対して前記変位方向にそれぞれが異なる位相のずれを
伴って配列する複数の基準位置検出用スリットとが形成
された第２の符号板、この第２の符号板の前記各スリッ
トに平行な光を投射させる光源、前記第１の符号板の所
定ピッチで配列するスリットおよび前記第２の符号板の
角度検出用スリットを通過する光を受光する複数分割し
た第１の受光素子、前記第１の符号板の基準位置を示す
スリットおよび前記第２の符号板の基準位置検出用スリ
ットを通過する光を受光する第２の受光素子、複数分割
した前記第１の受光素子からの信号を順次取り出すスイ
ッチ手段、このスイッチ手段から得られる信号から基本
波成分を抽出するバンドパスフィルタ、このバンドパス
フィルタの出力信号と前記スイッチ手段の駆動信号とを
入力し前記基本波成分の位相シフト量に基づいて前記第
２の符号板の変位をめる位相測定手段、前記第２の受光
素子からの信号に基づいて基準位置を示す信号を出力す
る基準位置信号発生回路を具備したことを特徴とする。
（実施例）
以下本発明を図面を用いて詳しく説明する。
第２図は本発明に係わる変位変換器の一実施例を示す構
成説明図である。１１は第１の符号板、１２はこの符号
板１１に所定ピッチで円周方向に複数個配列する透光ス
リット、１３は基準位置を示すスリット、２１はこの第
１の符号板１１に対して相対的に変位する第２の符号板
、２２はこの第２の符号板２１に所定ピッチで配列する
複数の角度検出用スリット、２３はこの角度検出用スリ
ット２２に対して前記変位方向にそれぞれが異なる位相
のずれを伴って配列する複数の基準位置検出用スリット
、４は光源、４０はこの光源４からの光ビームを平行ビ
ームにし前記第２の符号板２１の各スリットを投射する
ためのレンズ、５１〜５４は４分割したフォトダイオー
ドから成り前記第２の符号板２−１゛の角度検出用スリ
ット２２および前記第１の符号板１１の所定ピッチで配
列するスリット１２を通過する光（スリットＷＡ）を受
光する第１の受光素子、６は前記第２の符号板２１の基
準位置検出用スリット２３および前記第１の符号板１１
の基準位置を示すスリット１３を通過する光を受光する
フォトダイオードなどの第２の受光素子、Ｓ Ｗ ＋〜
Ｓ Ｗ ４は４分割したフオトダ 、イオード５１〜５
４からの信号を一定のタイミングで、順次取り出すスイ
ッチ、５はフォトダイオード５１〜５４およびスイッチ
Ｓ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ４からなるセンサ部、７はこのス
イッチＳＷＩ〜ＳＷ４を介して印加されるセンサ部５か
らの出力信号を増幅する増幅器、８は増幅器７からの出
力信号の基本波成分を抽出するバンドパスフィルタ、９
は前記フォトダイオード６からの信号に基づいて基準位
置を示す信号を出力する基準位置検出回路である。
成説明図である。１１は第１の符号板、１２はこの符号
板１１に所定ピッチで円周方向に複数個配列する透光ス
リット、１３は基準位置を示すスリット、２１はこの第
１の符号板１１に対して相対的に変位する第２の符号板
、２２はこの第２の符号板２１に所定ピッチで配列する
複数の角度検出用スリット、２３はこの角度検出用スリ
ット２２に対して前記変位方向にそれぞれが異なる位相
のずれを伴って配列する複数の基準位置検出用スリット
、４は光源、４０はこの光源４からの光ビームを平行ビ
ームにし前記第２の符号板２１の各スリットを投射する
ためのレンズ、５１〜５４は４分割したフォトダイオー
ドから成り前記第２の符号板２−１゛の角度検出用スリ
ット２２および前記第１の符号板１１の所定ピッチで配
列するスリット１２を通過する光（スリットＷＡ）を受
光する第１の受光素子、６は前記第２の符号板２１の基
準位置検出用スリット２３および前記第１の符号板１１
の基準位置を示すスリット１３を通過する光を受光する
フォトダイオードなどの第２の受光素子、Ｓ Ｗ ＋〜
Ｓ Ｗ ４は４分割したフオトダ 、イオード５１〜５
４からの信号を一定のタイミングで、順次取り出すスイ
ッチ、５はフォトダイオード５１〜５４およびスイッチ
Ｓ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ４からなるセンサ部、７はこのス
イッチＳＷＩ〜ＳＷ４を介して印加されるセンサ部５か
らの出力信号を増幅する増幅器、８は増幅器７からの出
力信号の基本波成分を抽出するバンドパスフィルタ、９
は前記フォトダイオード６からの信号に基づいて基準位
置を示す信号を出力する基準位置検出回路である。
第３図は符号板１１に設けた透光スリット１２１〜１２
４と、４分割したフォトダイオード５１〜５４の配列関
係を示す図である。この図に示すように、透光スリット
１２１〜１２４（実線で示ず）の配列ピッチは、４分割
フォトダイオード５１〜５４（破線で示す）の配列ピッ
チと等しく、また、符号板２１に設けられた透光スリッ
ト（斜線で示す）２２の配列ピッチＰに対して５／４Ｐ
となるよう形成されている。なお、各スリット孔１２１
〜１２４のスリット幅はここではＰ／２にしである。
４と、４分割したフォトダイオード５１〜５４の配列関
係を示す図である。この図に示すように、透光スリット
１２１〜１２４（実線で示ず）の配列ピッチは、４分割
フォトダイオード５１〜５４（破線で示す）の配列ピッ
チと等しく、また、符号板２１に設けられた透光スリッ
ト（斜線で示す）２２の配列ピッチＰに対して５／４Ｐ
となるよう形成されている。なお、各スリット孔１２１
〜１２４のスリット幅はここではＰ／２にしである。
このように構成した装置のエンコーダ部分の動作を、次
に第４図の動作波形図を参照しながら説明する。
に第４図の動作波形図を参照しながら説明する。
光源４からの光は、レンズ４０で平行ビームとなり、符
号板２１の透光スリット２２および符号板１１の透光ス
リット１２１〜１２４を通過し、４分割フォトダイオー
ド５１〜５４上に透光スリット２２の像を結像させる。
号板２１の透光スリット２２および符号板１１の透光ス
リット１２１〜１２４を通過し、４分割フォトダイオー
ド５１〜５４上に透光スリット２２の像を結像させる。
各スイッチＳ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ４は第４図（ａ ）〜
（ｄ ）に示すようなタイミングで順次オン、オフ（オ
ン時間を王とする）し、各フォトダイオード５１〜５４
からの信号を順次取り出す。増幅器７はこの信号を増幅
する。
（ｄ ）に示すようなタイミングで順次オン、オフ（オ
ン時間を王とする）し、各フォトダイオード５１〜５４
からの信号を順次取り出す。増幅器７はこの信号を増幅
する。
この結果、増幅器７の出力信号ｅ７は、第４図に示すよ
うに、各スイッチＳ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ４がオンとなる
時間ごとに大きさが階段状に変化する階段波形となる。
うに、各スイッチＳ Ｗ ＋〜Ｓ Ｗ ４がオンとなる
時間ごとに大きさが階段状に変化する階段波形となる。
このような階段波形ｅ７をバンドパスフィルタ８に加え
ると、第４図（ｆ）に示すような正弦波信号ｅ８が得ら
れる。この正弦波信号ｅ８の基本波周波数は、各スイッ
チＳ Ｗ ＋〜ＳＷ４を順次駆動するくり返し周波数に
一致する。ここで、符号板２１が測定すべき変位に応じ
て回転すると、各フォトダイオード５１〜５４上に結像
する像が移動し、バンドパスフィルタ８から得られる正
弦波信＠ｅ日の位相が、像の移動量、すなわち、符号板
の変位に応じて、例えば破線に示すようにΦだ【スリッ
トする。符号板２１が透光スリット２２の配列ピッチの
１ピッチＰ分だけ回転すると、正弦波信号０日の位相シ
フト量は２πとなる。
ると、第４図（ｆ）に示すような正弦波信号ｅ８が得ら
れる。この正弦波信号ｅ８の基本波周波数は、各スイッ
チＳ Ｗ ＋〜ＳＷ４を順次駆動するくり返し周波数に
一致する。ここで、符号板２１が測定すべき変位に応じ
て回転すると、各フォトダイオード５１〜５４上に結像
する像が移動し、バンドパスフィルタ８から得られる正
弦波信＠ｅ日の位相が、像の移動量、すなわち、符号板
の変位に応じて、例えば破線に示すようにΦだ【スリッ
トする。符号板２１が透光スリット２２の配列ピッチの
１ピッチＰ分だけ回転すると、正弦波信号０日の位相シ
フト量は２πとなる。
したがって、この位相のシフト量Φを測定することによ
って、符号板２１に形成された透光スリット２２の配列
ピッチ２以内の回転角度をめることができる。
って、符号板２１に形成された透光スリット２２の配列
ピッチ２以内の回転角度をめることができる。
第５図は、このような位相シフト石測定回路の一例をし
めず構成ブロック図である。この回路はバンドパスフィ
ルタ８から得られる正弦波信号０日の位相を１００〜１
０００程度内拝する動作をなすものである。すなわち、
正弦波信号０日を、帰還回路に１／Ｎ（Ｎは分周比）分
周器１４２を有したフェース′ロックドループ（ＰＬＬ
）１４１に印加し、ここでＮ倍された信号ｆｓｔｇと、
基準クロック（この基準クロックはセンサ部５の駆動信
号として用いられる）ｆｃを同時パルス禁止回路１５を
通した後、アップダウンカウンタ１６に与えるようにし
たものである。ＰＬＬ７１でＮ倍された信号ｆ５□９の
周波数がｔ’ｃより高くなる方向（ｆｃ＋Δｆ）へ符号
板２１が回転すると、アップダウンカウンタ１６はアッ
プカウントし、また、ｆｓｉｅがｆｃより低くなる方向
（ｆｃ−Δｆ〉へ符号板２１が回転すると、ダウンカウ
ントする。
めず構成ブロック図である。この回路はバンドパスフィ
ルタ８から得られる正弦波信号０日の位相を１００〜１
０００程度内拝する動作をなすものである。すなわち、
正弦波信号０日を、帰還回路に１／Ｎ（Ｎは分周比）分
周器１４２を有したフェース′ロックドループ（ＰＬＬ
）１４１に印加し、ここでＮ倍された信号ｆｓｔｇと、
基準クロック（この基準クロックはセンサ部５の駆動信
号として用いられる）ｆｃを同時パルス禁止回路１５を
通した後、アップダウンカウンタ１６に与えるようにし
たものである。ＰＬＬ７１でＮ倍された信号ｆ５□９の
周波数がｔ’ｃより高くなる方向（ｆｃ＋Δｆ）へ符号
板２１が回転すると、アップダウンカウンタ１６はアッ
プカウントし、また、ｆｓｉｅがｆｃより低くなる方向
（ｆｃ−Δｆ〉へ符号板２１が回転すると、ダウンカウ
ントする。
したがって、アップダウンカウンタ１６の出力から、位
相シフト量、すなわち符号板２１の回転角を、例えば、
分周比Ｎを１０００とすれば、１Ｐの１／１０００とい
った高い分解能で内挿することができる。
相シフト量、すなわち符号板２１の回転角を、例えば、
分周比Ｎを１０００とすれば、１Ｐの１／１０００とい
った高い分解能で内挿することができる。
第６図は第２図の符号板２１の詳細を示す平面図である
。角度検出用スリット２２に対して複数の基準位置検出
用スリット２３は変位方向にそれぞれが異なる位相のず
れを伴って配列する。例えば、スリット２３１は角度検
出用スリット２２と同位相であるが、スリット２３２は
角度δだけずれている。スリット２３３は角度２δだけ
ずれて、以下同様に位相ずれが徐々に大きくなっている
。
。角度検出用スリット２２に対して複数の基準位置検出
用スリット２３は変位方向にそれぞれが異なる位相のず
れを伴って配列する。例えば、スリット２３１は角度検
出用スリット２２と同位相であるが、スリット２３２は
角度δだけずれている。スリット２３３は角度２δだけ
ずれて、以下同様に位相ずれが徐々に大きくなっている
。
基準位置検出時の動作を以下に説明する。ロボットなど
の電源投入時に符号板２１を一定方向に回転し、基準位
置検出用スリット２２の一つが基準位置を示すスリット
１３の位置に一致した時に基準発生回路９からの出力信
号で停止する。次に角度検出用スリットの位相を測定す
る。基準位置検出用スリット２３１を検出して符号板２
１を停止させた場合は位相のずれはＯであるが、基準位
置検出用スリット２３２を検出した場合はずれδにより
（δ／Δθ）ｘ３ＧＯ°の位相のずれが検出される（Δ
θは前記ピッチＰに対応する角度）。
の電源投入時に符号板２１を一定方向に回転し、基準位
置検出用スリット２２の一つが基準位置を示すスリット
１３の位置に一致した時に基準発生回路９からの出力信
号で停止する。次に角度検出用スリットの位相を測定す
る。基準位置検出用スリット２３１を検出して符号板２
１を停止させた場合は位相のずれはＯであるが、基準位
置検出用スリット２３２を検出した場合はずれδにより
（δ／Δθ）ｘ３ＧＯ°の位相のずれが検出される（Δ
θは前記ピッチＰに対応する角度）。
位相のずれは基準位置検出用スリットの位置により全て
異なるから、これを検出することにより基準位置をわず
かな復帰動作で（原点からの位置を）特定できる。実験
結果によれば内挿の分解能は数１０００はあるので、１
０００以上の基準位置検出用スリットを設けることがで
きるが、実際には５〜１００の復帰動作はほとんど問題
とならないので、５０〜１００のスリットがあれば十分
である。
異なるから、これを検出することにより基準位置をわず
かな復帰動作で（原点からの位置を）特定できる。実験
結果によれば内挿の分解能は数１０００はあるので、１
０００以上の基準位置検出用スリットを設けることがで
きるが、実際には５〜１００の復帰動作はほとんど問題
とならないので、５０〜１００のスリットがあれば十分
である。
基準位置復帰動作の際に必要となる基準位置検出につい
ては実願昭５８−７３３４１の原点信号発生装置などに
より高精度で行うことができる。
ては実願昭５８−７３３４１の原点信号発生装置などに
より高精度で行うことができる。
上記の変位変換器によればわずかな角度回転で基準位置
までの復帰ができるのでロボットの腕が周囲の物に干渉
するような事態が防げる。
までの復帰ができるのでロボットの腕が周囲の物に干渉
するような事態が防げる。
また電源投入後すみやかに正常動作に入ることができる
。
。
なお上記の実施例では基準位置検出用スリットの位相の
ずれを順に大きくしているが、これに限らず同一の位相
ずれさえ無ければ不規則的に並んでいても構わない。
ずれを順に大きくしているが、これに限らず同一の位相
ずれさえ無ければ不規則的に並んでいても構わない。
また上記の実施例ではいずれもロータリーエンコーダに
適用することを想定したものであるが、直線変位形にも
適用できる。また４分割フォトダイオードを用いたが、
分割する数は３以上の複数個であればよい。
適用することを想定したものであるが、直線変位形にも
適用できる。また４分割フォトダイオードを用いたが、
分割する数は３以上の複数個であればよい。
（発明の効果）
以上述べたように本発明によれば、原点復帰動作を最小
限に押えることができる変位変換器を簡単な構成で実現
することができる。
限に押えることができる変位変換器を簡単な構成で実現
することができる。
第１図は従来の原点信号発生装置で使用される符号板の
構成を示す平面図、第２図は本発明に係わる変位変換器
の一実施例を示す構成説明図、第３図は符号板１１に設
けた透光スリットと、４分割したフォトダイオードの配
列関係を示す図、第４図は第２図のｉ置のエンコーダ部
分の動作を説明するための動作波形図、第５図は位相シ
フト量測定回路の一例をしめず構成ブロック図、第６図
は第２図の符号板２１の詳細を示す平面図である。 ４・・・光源、６・・・第２の受光素子、８・・・バン
ドパスフィルタ、９・・・基準位置検出回路、１１・・
・第１の符号板、１２，１２１〜１２４・・・所定ピッ
チで配列するスリット、１３・・・基準位置を示すスリ
ット、２１・・・第２の符号板、２２・・・角度検出用
スリット、２３・・・基準位置検出用スリット、５１〜
５４・・・第１の受光素子、Ｓ Ｗ ＋ ＝ Ｓ Ｗ
４・・・スイッヂ手段。
構成を示す平面図、第２図は本発明に係わる変位変換器
の一実施例を示す構成説明図、第３図は符号板１１に設
けた透光スリットと、４分割したフォトダイオードの配
列関係を示す図、第４図は第２図のｉ置のエンコーダ部
分の動作を説明するための動作波形図、第５図は位相シ
フト量測定回路の一例をしめず構成ブロック図、第６図
は第２図の符号板２１の詳細を示す平面図である。 ４・・・光源、６・・・第２の受光素子、８・・・バン
ドパスフィルタ、９・・・基準位置検出回路、１１・・
・第１の符号板、１２，１２１〜１２４・・・所定ピッ
チで配列するスリット、１３・・・基準位置を示すスリ
ット、２１・・・第２の符号板、２２・・・角度検出用
スリット、２３・・・基準位置検出用スリット、５１〜
５４・・・第１の受光素子、Ｓ Ｗ ＋ ＝ Ｓ Ｗ
４・・・スイッヂ手段。
Claims (1)
- 所定ピッチで配列するスリットと基準位置を示すスリッ
トを有する第１の符号板、この第１の符号板に対して相
対的に変位し所定ピッチで配列する複数の角度検出用ス
リットとこの角度検出用スリットに対して前記変位方向
にそれぞれが異なる位相のずれを伴って配列する複数の
基準位置検出用スリットとが形成された第２の符号板、
この第２の符号板の前記各スリットに平行な光を投射さ
せる光源、前記第１の符号板の所定ピッチで配列するス
リットおよび前記第２の符号板の角度検出用スリットを
通過する光を受光する複数分割した第１の受光素子、前
記第１の符号板の基準位置を示すスリットおよび前記第
２の符号板の基準位置検出用スリットを通過する光を受
光する第２の受光素子、複数分割した前記第１の受光素
子からの信号を順次取り出すスイッチ手段、このスイッ
チ手段から得られる信号から基本波成分を抽出するバン
ドパスフィルタ、このバンドパスフィルタの出力信号と
前記スイッチ手段の駆動信号とを入力し前記基本波成分
の位相シフト量に基づいて前記第２の符号板の変位をめ
る位相測定手段、前記第２の受光素子からの信号に基づ
いて基準位置を示す信号を出力する基準位置信号発生回
路を具備した変位変換器。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7956484A JPS60222719A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 変位変換器 |
| US06/725,088 US4680466A (en) | 1984-04-20 | 1985-04-19 | Displacement transducer which simultaneously extracts signals via sequential switching |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7956484A JPS60222719A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 変位変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60222719A true JPS60222719A (ja) | 1985-11-07 |
| JPH0476049B2 JPH0476049B2 (ja) | 1992-12-02 |
Family
ID=13693502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7956484A Granted JPS60222719A (ja) | 1984-04-20 | 1984-04-20 | 変位変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60222719A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6454768U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-04 | ||
| JPH01302110A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Fanuc Ltd | ロータリエンコーダ |
| US7329858B2 (en) | 2004-04-14 | 2008-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical encoder and electronic equipment having same |
| WO2014203314A1 (ja) * | 2013-06-17 | 2014-12-24 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、及びサーボシステム |
-
1984
- 1984-04-20 JP JP7956484A patent/JPS60222719A/ja active Granted
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6454768U (ja) * | 1987-09-30 | 1989-04-04 | ||
| JPH01302110A (ja) * | 1988-05-31 | 1989-12-06 | Fanuc Ltd | ロータリエンコーダ |
| US7329858B2 (en) | 2004-04-14 | 2008-02-12 | Sharp Kabushiki Kaisha | Optical encoder and electronic equipment having same |
| WO2014203314A1 (ja) * | 2013-06-17 | 2014-12-24 | 株式会社安川電機 | エンコーダ、エンコーダ付きモータ、及びサーボシステム |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0476049B2 (ja) | 1992-12-02 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4680466A (en) | Displacement transducer which simultaneously extracts signals via sequential switching | |
| JPH0130087B2 (ja) | ||
| JPH0445764B2 (ja) | ||
| EP2492647A2 (en) | Scale, optical encoder and optical device | |
| JPH0658779A (ja) | 測定装置 | |
| JP2572026B2 (ja) | 速度信号発生装置 | |
| US6285023B1 (en) | Apparatus for generating origin signal of optical linear scale | |
| JPS60222719A (ja) | 変位変換器 | |
| JPS61189415A (ja) | 高精度高分解能絶対位置スケール | |
| JPS6073418A (ja) | 変位変換器 | |
| JPH0473527B2 (ja) | ||
| JPH0143243B2 (ja) | ||
| JPH0299826A (ja) | エンコーダの信号処理装置 | |
| JPH0233132Y2 (ja) | ||
| JP2537980B2 (ja) | 速度検出方法 | |
| JPH0342326Y2 (ja) | ||
| JPS6263814A (ja) | エンコ−ダ | |
| JPS60237318A (ja) | 変位変換器 | |
| JPS63250522A (ja) | 光学式ロ−タリ・エンコ−ダ | |
| JP2540803B2 (ja) | 絶対番地形多回転式位置検出装置 | |
| JP2920415B2 (ja) | ロータリーエンコーダの回転軸振れの評価方法 | |
| JP2585857B2 (ja) | 位置検出装置 | |
| SU1089411A2 (ru) | Фотоэлектрический преобразователь перемещений | |
| JPH02231523A (ja) | アブソリュートエンコーダ | |
| JPS60237317A (ja) | 変位変換器 |