JPH047450B2 - - Google Patents
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- JPH047450B2 JPH047450B2 JP58183595A JP18359583A JPH047450B2 JP H047450 B2 JPH047450 B2 JP H047450B2 JP 58183595 A JP58183595 A JP 58183595A JP 18359583 A JP18359583 A JP 18359583A JP H047450 B2 JPH047450 B2 JP H047450B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- photodiode
- displacement
- code plate
- image sensor
- Prior art date
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Links
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 claims description 28
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 13
- 230000010363 phase shift Effects 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000000284 extract Substances 0.000 description 2
- QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N (r)-(6-ethoxyquinolin-4-yl)-[(2s,4s,5r)-5-ethyl-1-azabicyclo[2.2.2]octan-2-yl]methanol;hydrochloride Chemical group Cl.C([C@H]([C@H](C1)CC)C2)CN1[C@@H]2[C@H](O)C1=CC=NC2=CC=C(OCC)C=C21 QNRATNLHPGXHMA-XZHTYLCXSA-N 0.000 description 1
- 102100027340 Slit homolog 2 protein Human genes 0.000 description 1
- 101710133576 Slit homolog 2 protein Proteins 0.000 description 1
- 230000002401 inhibitory effect Effects 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
- G01D5/366—Particular pulse shapes
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の属する分野〕
本発明は、光を利用して機械的な変位を検出す
る変位変換器の改良に関するものである。
る変位変換器の改良に関するものである。
このような変位変換器の一種として従来からあ
るロータリーエンコーダを改良したものが特願昭
58−86391号記載の変位変換器である。これは、
透光スリツトを通つた光を受光する受光素子とし
て、複数分割したフオトダイオードを使用すると
ともに、このフオトダイオード上に所定ピツチで
配列する透光スリツトを有する位置板を設置した
もので、第１図はその構成説明図である。この図
において、１はコード板、１１はこのコード板に
所定ピツチで円周方向に複数個配列する透光スリ
ツト、３は光源、３０は光源３からの光ビームを
平行ビームにするためのレンズ、４は透光スリツ
ト１１を通つた光源３からの光（スリツト像）を
受光するイメージセンサで、ここでは動作を簡単
に説明する都合上、４分割したフオトダイオード
４１，４２，４３，４４と、このフオトダイオー
ド上に所定ピツチで配列するスリツト孔を有する
位相板２を設置したものを示す。SW1，SW2，
SW3，SW4は、４分割した各フオトダイオード
４１〜４４からの信号を一定のタイミングで、順
次取り出すスイツチである。５は各スイツチ
SW1〜SW4を介して印加されるイメージセンサ
４からの信号を増幅する増幅器、６は増幅器５か
らの出力信号の基本波成分を抽出するバンドパス
フイルタである。
るロータリーエンコーダを改良したものが特願昭
58−86391号記載の変位変換器である。これは、
透光スリツトを通つた光を受光する受光素子とし
て、複数分割したフオトダイオードを使用すると
ともに、このフオトダイオード上に所定ピツチで
配列する透光スリツトを有する位置板を設置した
もので、第１図はその構成説明図である。この図
において、１はコード板、１１はこのコード板に
所定ピツチで円周方向に複数個配列する透光スリ
ツト、３は光源、３０は光源３からの光ビームを
平行ビームにするためのレンズ、４は透光スリツ
ト１１を通つた光源３からの光（スリツト像）を
受光するイメージセンサで、ここでは動作を簡単
に説明する都合上、４分割したフオトダイオード
４１，４２，４３，４４と、このフオトダイオー
ド上に所定ピツチで配列するスリツト孔を有する
位相板２を設置したものを示す。SW1，SW2，
SW3，SW4は、４分割した各フオトダイオード
４１〜４４からの信号を一定のタイミングで、順
次取り出すスイツチである。５は各スイツチ
SW1〜SW4を介して印加されるイメージセンサ
４からの信号を増幅する増幅器、６は増幅器５か
らの出力信号の基本波成分を抽出するバンドパス
フイルタである。
第２図は、位相板２に設けた透光スリツト２
１，２２，２３，２４と、４分割したフオトダイ
オード４１〜４４の配列関係を示す図である。こ
の図に示すように、透光スリツト２１，２２，２
３，２４（実線で示す）の配列ピツチは、４分割
フオトダイオード４１，４２，４３，４４（破線
で示す）の配列ピツチと等しく、また、コード板
１に設けられた透光スリツト（斜線で示す）１１
の配列ピツチＰに対して5/4Ｐとなるよう形成さ
れている。なお、各スリツト孔２１〜２４のスリ
ツト幅はここではＰ／２にしてある。
１，２２，２３，２４と、４分割したフオトダイ
オード４１〜４４の配列関係を示す図である。こ
の図に示すように、透光スリツト２１，２２，２
３，２４（実線で示す）の配列ピツチは、４分割
フオトダイオード４１，４２，４３，４４（破線
で示す）の配列ピツチと等しく、また、コード板
１に設けられた透光スリツト（斜線で示す）１１
の配列ピツチＰに対して5/4Ｐとなるよう形成さ
れている。なお、各スリツト孔２１〜２４のスリ
ツト幅はここではＰ／２にしてある。
このように構成した装置の動作を、次に第３図
動作波形図を参照しながら説明する。
動作波形図を参照しながら説明する。
光源３からの光は、レンズ３０で平行ビームと
なり、コード板１の透光スリツト１１及び位相板
２の透光スリツト２１〜２４を通過し、４分割フ
オトダイオード４１〜４４上に透光スリツト１１
の像を結像させる。４分割フオトダイオード４１
〜４４において、各スイツチSW1〜SW4は第３
図(a)〜(d)に示すようなタイミングで順次オン、オ
フ（オン時間をＴとする）し、各フオトダイオー
ド４１〜４４からの信号を順次取り出す。増幅器
５はこの信号を増幅する。この結果、増幅器５の
出力信号e5は、第３図(e)に示すように、各スイツ
チSW1〜SW4がオンとなる時間ごとに大きさが
階段状に変化する階段波形となる。このような階
段波信号e5を、バンドパスフイルタ６に加える
と、第３図(f)に示すような正弦波信号e6が得られ
る。この正弦波信号e6の基本波周波数は、各スイ
ツチSW1〜SW4を順次駆動するくり返し周波数
に一致する。ここで、コード板１が測定すべき変
位に応じて回転すると、各フオトダイオード４１
〜４４上に結像する像が移動し、バンドパスフイ
ルタ６から得られる正弦波信号e6の位相が、像の
移動量、すなわち、コード板の変位に応じて、例
えば破線に示すようにだけシフトする。コード
板１が、透光スリツト１１の配列ピツチの１ピツ
チＰ分だけ回転すると、正弦波信号e6の位相シフ
ト量は２πとなる。
なり、コード板１の透光スリツト１１及び位相板
２の透光スリツト２１〜２４を通過し、４分割フ
オトダイオード４１〜４４上に透光スリツト１１
の像を結像させる。４分割フオトダイオード４１
〜４４において、各スイツチSW1〜SW4は第３
図(a)〜(d)に示すようなタイミングで順次オン、オ
フ（オン時間をＴとする）し、各フオトダイオー
ド４１〜４４からの信号を順次取り出す。増幅器
５はこの信号を増幅する。この結果、増幅器５の
出力信号e5は、第３図(e)に示すように、各スイツ
チSW1〜SW4がオンとなる時間ごとに大きさが
階段状に変化する階段波形となる。このような階
段波信号e5を、バンドパスフイルタ６に加える
と、第３図(f)に示すような正弦波信号e6が得られ
る。この正弦波信号e6の基本波周波数は、各スイ
ツチSW1〜SW4を順次駆動するくり返し周波数
に一致する。ここで、コード板１が測定すべき変
位に応じて回転すると、各フオトダイオード４１
〜４４上に結像する像が移動し、バンドパスフイ
ルタ６から得られる正弦波信号e6の位相が、像の
移動量、すなわち、コード板の変位に応じて、例
えば破線に示すようにだけシフトする。コード
板１が、透光スリツト１１の配列ピツチの１ピツ
チＰ分だけ回転すると、正弦波信号e6の位相シフ
ト量は２πとなる。
したがつて、この位相のシフト量を測定する
ことによつて、コード板１に形成された透光スリ
ツト１１の配列ピツチＰ以内の回転角度を求める
ことができる。
ことによつて、コード板１に形成された透光スリ
ツト１１の配列ピツチＰ以内の回転角度を求める
ことができる。
第４図は、このような位相シフト量測定回路の
一例を示す構成ブロツク図である。この回路はバ
ンドパスフイルタ６から得られる正弦波信号e6の
位相を100〜1000程度内挿する動作をなすもので
ある。すなわち、正弦波信号e6を、帰還回路に
１／Ｎ（Ｎは分周比）分周器７２を有したフエー
ズロツクドループ８（PLL）７１に印加し、ここ
でＮ倍された信号fsigと、基準クロツク（この基
準クロツクはイメージセンサ４の駆動信号として
用いられる）feを同時パルス禁止回路８を通した
後、アツプダウンカウンタ９に与えるようにした
ものである。PLL７１でＮ倍された信号fsigの周
波数がfeより高くなる方向（fe＋Δf）へコード体
１が回転すると、アツプタウンカウンタ９はアツ
プカウントされ、また、fsigがfeより低くなる方
向（fc−Δf）へコード体１が回転すると、ダウン
カウントする。したがつて、アツプダウンカウン
タ９の出力から、位相シフト量、すなわちコード
板１の回転角を、例えば、分周比Ｎを1000とすれ
ば１Ｐの1/1000といつた高い分解能で内挿するこ
とができる。
一例を示す構成ブロツク図である。この回路はバ
ンドパスフイルタ６から得られる正弦波信号e6の
位相を100〜1000程度内挿する動作をなすもので
ある。すなわち、正弦波信号e6を、帰還回路に
１／Ｎ（Ｎは分周比）分周器７２を有したフエー
ズロツクドループ８（PLL）７１に印加し、ここ
でＮ倍された信号fsigと、基準クロツク（この基
準クロツクはイメージセンサ４の駆動信号として
用いられる）feを同時パルス禁止回路８を通した
後、アツプダウンカウンタ９に与えるようにした
ものである。PLL７１でＮ倍された信号fsigの周
波数がfeより高くなる方向（fe＋Δf）へコード体
１が回転すると、アツプタウンカウンタ９はアツ
プカウントされ、また、fsigがfeより低くなる方
向（fc−Δf）へコード体１が回転すると、ダウン
カウントする。したがつて、アツプダウンカウン
タ９の出力から、位相シフト量、すなわちコード
板１の回転角を、例えば、分周比Ｎを1000とすれ
ば１Ｐの1/1000といつた高い分解能で内挿するこ
とができる。
このような構成の変位変換器は比較的簡単な構
成で、高分解能、高速応答性を有し、光源の強度
変化やイメージセンサを構成する素子の感度変化
等の影響を受けないという特徴を有するが、第２
図に示すようなスリツト形状の位相板を用いると
下記のように非直線誤差の問題を生じる。第５図
は前記スリツト孔２１〜２４のスリツト形状の場
合に、前記コード板１の変位に対して前記フオト
ダイオード４１〜４４のそれぞれから（異つた位
相で）出力される信号波形eDを示す特性曲線図で
ある。コード板１の変位θがピツチＰ増加する度
に同一の三角波の繰り返し波形ａが現われる。こ
の三角波ａはフーリエ級数展開すれば３θ，５θ
……に関する高調波成分を含んでいるので第３図
の正弦波信号e6のシフト量は変位θに正確に比
例せず、前記高調波成分の影響を受けた値とな
る。この結果上記の変位変換器では±１％の非直
線誤差を生じるという問題がある。
成で、高分解能、高速応答性を有し、光源の強度
変化やイメージセンサを構成する素子の感度変化
等の影響を受けないという特徴を有するが、第２
図に示すようなスリツト形状の位相板を用いると
下記のように非直線誤差の問題を生じる。第５図
は前記スリツト孔２１〜２４のスリツト形状の場
合に、前記コード板１の変位に対して前記フオト
ダイオード４１〜４４のそれぞれから（異つた位
相で）出力される信号波形eDを示す特性曲線図で
ある。コード板１の変位θがピツチＰ増加する度
に同一の三角波の繰り返し波形ａが現われる。こ
の三角波ａはフーリエ級数展開すれば３θ，５θ
……に関する高調波成分を含んでいるので第３図
の正弦波信号e6のシフト量は変位θに正確に比
例せず、前記高調波成分の影響を受けた値とな
る。この結果上記の変位変換器では±１％の非直
線誤差を生じるという問題がある。
本発明はこのような問題点を解消するためにな
されたもので、上記の変位変換器において非直線
誤差を小さくすることを目的とする。
されたもので、上記の変位変換器において非直線
誤差を小さくすることを目的とする。
上記の目的を達成するために本発明の要旨とす
るところは、所定ピツチで配列する複数個の透光
スリツトが形成されたコード板、このコード板の
透光スリツトに平行な光を投射させる光源、複数
分割したフオトダイオードとこの各フオトダイオ
ード上に設置され所定ピツチで配列するスリツト
孔を有した位相板と各フオトダイオードからの信
号を順次取り出すスイツチ手段とで構成されるイ
メージセンサ、このイメージセンサから得られる
信号から基本波成分を抽出するバンドパスフイル
タ、このバンドパスフイルタの出力信号と前記イ
メージセンサの駆動信号とを入力し前記基本波成
分の位相シフト量に基づいて前記コード体の変位
を求める位相測定手段を具備し、前記コード板の
変位に対応する前記フオトダイオードの出力信号
の変化が高周波成分の少ない波形となるように前
記位相板と前記コード板の少くともいずれか一方
のスリツト形状を構成したことを特徴とした変位
変換器に存する。
るところは、所定ピツチで配列する複数個の透光
スリツトが形成されたコード板、このコード板の
透光スリツトに平行な光を投射させる光源、複数
分割したフオトダイオードとこの各フオトダイオ
ード上に設置され所定ピツチで配列するスリツト
孔を有した位相板と各フオトダイオードからの信
号を順次取り出すスイツチ手段とで構成されるイ
メージセンサ、このイメージセンサから得られる
信号から基本波成分を抽出するバンドパスフイル
タ、このバンドパスフイルタの出力信号と前記イ
メージセンサの駆動信号とを入力し前記基本波成
分の位相シフト量に基づいて前記コード体の変位
を求める位相測定手段を具備し、前記コード板の
変位に対応する前記フオトダイオードの出力信号
の変化が高周波成分の少ない波形となるように前
記位相板と前記コード板の少くともいずれか一方
のスリツト形状を構成したことを特徴とした変位
変換器に存する。
以下図面を用いて本発明をくわしく説明する。
第６図は、従来例で説明した第１図の変位変換
器において使用される位相板２のスリツト形状を
菱形にしたものを示す構成説明図である。第７図
はこのような構成の位相板を用いた場合に、前記
コード板１の変位に対して前記フオトダイオード
４１〜４４のそれぞれの出力が異つた位相で示す
信号波形ｅを表わした特性曲線図である。比較の
ために第５図の三角波形ａも記載してある。信号
波形ｃにおいて、１ピツチ内の各範囲で曲線の方
程式は次のようになる。
器において使用される位相板２のスリツト形状を
菱形にしたものを示す構成説明図である。第７図
はこのような構成の位相板を用いた場合に、前記
コード板１の変位に対して前記フオトダイオード
４１〜４４のそれぞれの出力が異つた位相で示す
信号波形ｅを表わした特性曲線図である。比較の
ために第５図の三角波形ａも記載してある。信号
波形ｃにおいて、１ピツチ内の各範囲で曲線の方
程式は次のようになる。
０＜θ＜Ｐ／４：eD＝4A／Ｐθ2
Ｐ／４＜θ＜Ｐ／２：eD＝−4A／Ｐθ2＋4Aθ−AP／
２ すなわち曲線ｅは三角波ａに比べて、より高調
波が少なく正弦波に近い波形となつている。この
結果、このような位相板を第１図の変位変換器に
おいて使用すれば、第３図の正弦波信号e6のシフ
ト量は、高調波成分の影響が少なくなり、変位
変換器の非直線誤差が大幅に減少する。
２ すなわち曲線ｅは三角波ａに比べて、より高調
波が少なく正弦波に近い波形となつている。この
結果、このような位相板を第１図の変位変換器に
おいて使用すれば、第３図の正弦波信号e6のシフ
ト量は、高調波成分の影響が少なくなり、変位
変換器の非直線誤差が大幅に減少する。
第７図の波形ｃは三角波ａに比べれば第５図の
正弦波ｂに近い形をしているが、正確には一致し
ていない。第５図の正弦波形ｂを生じるような位
相板のスリツト形状は複雑な関係の曲線となる
が、高調波成分を全く含まないので変位変換器の
非直線誤差を完全になくすことができる。したが
つて変位変換器の非直線誤差を減少させるために
は、第６図の菱形のスリツト形状に限らず、コー
ド板１の変位に対するダイオードの出力信号変化
の波形が第５図の正弦波ｂに近ずき、高調波成分
の少ない形となるような任意のスリツト形状を用
いることができる。
正弦波ｂに近い形をしているが、正確には一致し
ていない。第５図の正弦波形ｂを生じるような位
相板のスリツト形状は複雑な関係の曲線となる
が、高調波成分を全く含まないので変位変換器の
非直線誤差を完全になくすことができる。したが
つて変位変換器の非直線誤差を減少させるために
は、第６図の菱形のスリツト形状に限らず、コー
ド板１の変位に対するダイオードの出力信号変化
の波形が第５図の正弦波ｂに近ずき、高調波成分
の少ない形となるような任意のスリツト形状を用
いることができる。
なお上記の実施例では位相板２のスリツト形状
のみを工夫した形としているが、コード板１の透
孔スリツト１１の形状を工夫することによつても
同様の効果を得ることができる。
のみを工夫した形としているが、コード板１の透
孔スリツト１１の形状を工夫することによつても
同様の効果を得ることができる。
以上述べたように本発明によれば、非直線誤差
の小さい変位変換器を容易に実現できる。また比
較的簡単な構成で、しかも高分解能、高速応答な
どの特長を備えている。
の小さい変位変換器を容易に実現できる。また比
較的簡単な構成で、しかも高分解能、高速応答な
どの特長を備えている。
第１図は従来装置の一例を示す構成説明図、第
２図は第１図装置における位相板２の透光スリツ
トと４分割フオトダイオードの配列関係を示す
図、第３図は動作波形図、第４図は位相シフト量
測定回路の一例を示す構成ブロツク図、第５図は
コード板１の変位に対するフオトダイオードの出
力信号の変化を示す特性曲線図、第６図は本発明
の一実施例を示す構成説明図、第７図は特性曲線
図である。 １……コード板、１１……透光スリツト、３…
…光源、４……イメージセンサ、４１〜４４……
４分割フオトダイオード、SW1〜SW4……スイ
ツチ、６……バンドパスフイルタ、θ……変位、
eD……フオトダイオードの出力信号。
２図は第１図装置における位相板２の透光スリツ
トと４分割フオトダイオードの配列関係を示す
図、第３図は動作波形図、第４図は位相シフト量
測定回路の一例を示す構成ブロツク図、第５図は
コード板１の変位に対するフオトダイオードの出
力信号の変化を示す特性曲線図、第６図は本発明
の一実施例を示す構成説明図、第７図は特性曲線
図である。 １……コード板、１１……透光スリツト、３…
…光源、４……イメージセンサ、４１〜４４……
４分割フオトダイオード、SW1〜SW4……スイ
ツチ、６……バンドパスフイルタ、θ……変位、
eD……フオトダイオードの出力信号。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 所定ピツチで配列する複数個の透光スリツト
が形成されたコード板と、 このコード板の透光スリツトに平行な光を投射
させる光源と、 複数分割したフオトダイオード、これらの各フ
オトダイオードからの信号を所定のタイミングで
順次取出すスイツチ手段とで構成されたイメージ
センサと、 このイメージセンサの各フオトダイオード上に
設置され所定ピツチで配列するスリツト孔を有し
た位相板と、 前記イメージセンサから得られる前記スイツチ
手段の駆動信号の基本波成分を抽出するバンドパ
スフイルタと、 帰還回路に１／Ｎ（Ｎは分周比）の分周回路を
有し、前記バンドパスフイルタからの信号が印加
されるフエーズロツクドループ（PLL）と、 このPLLから出力される信号が与えられると
共に、前記イメージセンサを駆動する信号が基準
クロツクとして与えられるアツプダウンカウンタ
とを備え、 前記コード板の変位に対応する前記フオトダイ
オードの出力信号の変化が高調波成分の少ない波
形となるように前記位相板と前記コード板の少く
ともいずれか一方のスリツト形状が構成され、前
記アツプダウンカウンタから前記コード板の変位
に関連する信号を得ることを特徴とする変位変換
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18359583A JPS6073418A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 変位変換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18359583A JPS6073418A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 変位変換器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6073418A JPS6073418A (ja) | 1985-04-25 |
| JPH047450B2 true JPH047450B2 (ja) | 1992-02-12 |
Family
ID=16138563
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18359583A Granted JPS6073418A (ja) | 1983-09-30 | 1983-09-30 | 変位変換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6073418A (ja) |
Families Citing this family (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1987005693A1 (en) * | 1986-03-14 | 1987-09-24 | Mitutoyo Mfg. Co., Ltd. | Photoelectric displacement detector |
| JP2001066155A (ja) * | 1999-08-31 | 2001-03-16 | Harmonic Drive Syst Ind Co Ltd | レンズを用いた結像方式エンコーダ |
| JP4697359B2 (ja) * | 2000-06-20 | 2011-06-08 | 株式会社安川電機 | 光学式エンコーダ |
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| JPS52123645A (en) * | 1976-04-09 | 1977-10-18 | Hitachi Koki Kk | Position signal detecting device |
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1983
- 1983-09-30 JP JP18359583A patent/JPS6073418A/ja active Granted
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| JPS52123645A (en) * | 1976-04-09 | 1977-10-18 | Hitachi Koki Kk | Position signal detecting device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6073418A (ja) | 1985-04-25 |
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