JPS60214239A - ガス分析装置 - Google Patents
ガス分析装置Info
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- JPS60214239A JPS60214239A JP59072273A JP7227384A JPS60214239A JP S60214239 A JPS60214239 A JP S60214239A JP 59072273 A JP59072273 A JP 59072273A JP 7227384 A JP7227384 A JP 7227384A JP S60214239 A JPS60214239 A JP S60214239A
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- Japan
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- detector
- slit
- interference filter
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
- G01N21/35—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light
- G01N21/3504—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry using infrared light for analysing gases, e.g. multi-gas analysis
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
- G01J3/00—Spectrometry; Spectrophotometry; Monochromators; Measuring colours
- G01J3/12—Generating the spectrum; Monochromators
- G01J2003/1226—Interference filters
- G01J2003/1243—Pivoting IF or other position variation
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- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
くＭ架上の利用分野〉
本発明は光源からセルを通って検出器に至る光路中に多
層膜干渉フィルタを備えてなるガス分析装置佇に関する
。
層膜干渉フィルタを備えてなるガス分析装置佇に関する
。
〈従来技術〉
この神の分析装置りに用いる多層膜干渉フィルタは通常
バンドパスフィルタである。バンドパスフィルタの場合
、中心波長がいかなる波長であるかは重要であり、各分
析装置によって特定の中心波長が指定される。バンドパ
スフィルタは一般にフィルタ基板に０．０６μ程度の薄
膜を１００層程度真空蒸着して作られ、特定の中心波長
に合わせるためには膜淳精度を０．５ ％以下にする必
要がある。
バンドパスフィルタである。バンドパスフィルタの場合
、中心波長がいかなる波長であるかは重要であり、各分
析装置によって特定の中心波長が指定される。バンドパ
スフィルタは一般にフィルタ基板に０．０６μ程度の薄
膜を１００層程度真空蒸着して作られ、特定の中心波長
に合わせるためには膜淳精度を０．５ ％以下にする必
要がある。
しかるに、多層膜干渉フィルタの製造技術上、特定の中
心波長のものばかりを製造するのは困難で、フィルタ製
造後に特定の中心波長のものを選別する必要がある。こ
のため、多層膜干渉フィルタの使用可能範囲が中心波長
の僅かの遅いというは高価であるため、歩留まりの悪さ
はコスト高を助長する原因にもなっていた。
心波長のものばかりを製造するのは困難で、フィルタ製
造後に特定の中心波長のものを選別する必要がある。こ
のため、多層膜干渉フィルタの使用可能範囲が中心波長
の僅かの遅いというは高価であるため、歩留まりの悪さ
はコスト高を助長する原因にもなっていた。
〈発明の目的〉
本発明はこのような点にあって、光の入射角度が変わる
と中心波長がシフトするという多層膜干渉フィルタの性
質に着目し、中心波長が分析装置に要求される特定の波
長からズしていても中心波長を特定の波長にシフトさせ
て使用することができるという新規技術を提供するもの
である。
と中心波長がシフトするという多層膜干渉フィルタの性
質に着目し、中心波長が分析装置に要求される特定の波
長からズしていても中心波長を特定の波長にシフトさせ
て使用することができるという新規技術を提供するもの
である。
〈発明の構成〉
上記目的を達成するため、本発明に係るガス分析装置は
、光源からセル及び多層膜干渉フィルタを通って検出器
に至る光路中にスリットを設け、検出器又はスリットを
光路に沿って移動させてスリットと検出器の間の相離を
変更可能に構成したことを要旨としている。
、光源からセル及び多層膜干渉フィルタを通って検出器
に至る光路中にスリットを設け、検出器又はスリットを
光路に沿って移動させてスリットと検出器の間の相離を
変更可能に構成したことを要旨としている。
〈実施例〉
第１図において、（１）は光源、（２）はセル、（３）
は検出器として例えばパイロセンサ、（４）は光源（１
）から検出器（３）に至る光路中に設けられたチョッパ
ー、（５）は多ＡＭＩＦＪ干渉フィルタ、（６）はセル
（２）の−側表面に設けられたスリットである。このス
リット（６）及び多層膜干渉フィルタ（５）も光路中に
存在させである。（７）はセンサブロックで、その外側
表面に曲記多触暎干渉フィルタ（５）が設けであると共
に、内部に検出器（３）が第２図に示す如くガイド筒（
８）に保持されて光路に沿って移動できる構成としであ
る。
は検出器として例えばパイロセンサ、（４）は光源（１
）から検出器（３）に至る光路中に設けられたチョッパ
ー、（５）は多ＡＭＩＦＪ干渉フィルタ、（６）はセル
（２）の−側表面に設けられたスリットである。このス
リット（６）及び多層膜干渉フィルタ（５）も光路中に
存在させである。（７）はセンサブロックで、その外側
表面に曲記多触暎干渉フィルタ（５）が設けであると共
に、内部に検出器（３）が第２図に示す如くガイド筒（
８）に保持されて光路に沿って移動できる構成としであ
る。
この構成によれば、光源（１）から出た光はセル（２）
内面の鏡面で反射され、スリット（６）で絞られること
によって第１図に示す如き角度で検出器（３）の受光面
に入射する。この場合、検出器（３）を光路に沿って移
動すると、スラット（６）との間の距ぬ［が変化するの
で、多層膜干渉フィルタ（６）への光の入射角度が変化
することとなる。即ち、検出器（３）がスリット（６）
に近付けば入射角は第８図（イ）に示すように大多鹿膜
干渉フィルタの中心波長は入射角の変化によって第４図
に示す如く変化するから、使用する多ｍ ＩＩＫ干ｐフ
ィルタ（５）の中心波長が分析装置に要求される中心波
長からズしていても、検出器を上述の如く移動させるこ
とにより、中心波長のズレを解消できることとなる。従
って、中心波長が分ルタの歩留まりを著しく向上できる
。
内面の鏡面で反射され、スリット（６）で絞られること
によって第１図に示す如き角度で検出器（３）の受光面
に入射する。この場合、検出器（３）を光路に沿って移
動すると、スラット（６）との間の距ぬ［が変化するの
で、多層膜干渉フィルタ（６）への光の入射角度が変化
することとなる。即ち、検出器（３）がスリット（６）
に近付けば入射角は第８図（イ）に示すように大多鹿膜
干渉フィルタの中心波長は入射角の変化によって第４図
に示す如く変化するから、使用する多ｍ ＩＩＫ干ｐフ
ィルタ（５）の中心波長が分析装置に要求される中心波
長からズしていても、検出器を上述の如く移動させるこ
とにより、中心波長のズレを解消できることとなる。従
って、中心波長が分ルタの歩留まりを著しく向上できる
。
尚、上記実施例では検出器（３）を移動できる構成とし
ているが、検出器を固定し、スリットを移動できる構成
として実施することもできる。そのような構成としても
多層膜干渉フィルタへの入射角が灰化するからである。
ているが、検出器を固定し、スリットを移動できる構成
として実施することもできる。そのような構成としても
多層膜干渉フィルタへの入射角が灰化するからである。
また、本発明とは別の手段であるが、スリット穴の径を
変化できるようにしても多層膜干渉フィルタへの入射角
を変化することができ、歩留まりの向上を図り得る。次
に、実施例ではチョッパ（４）をセル（２）と検出器（
３）の間に設けているが、光源（１）とセル（２）の間
に設けて実施できることは勿論である。
変化できるようにしても多層膜干渉フィルタへの入射角
を変化することができ、歩留まりの向上を図り得る。次
に、実施例ではチョッパ（４）をセル（２）と検出器（
３）の間に設けているが、光源（１）とセル（２）の間
に設けて実施できることは勿論である。
〈発明の効果〉
本発明に係るガス分析装置は以上の如く構成したので、
次のような効果がある。
次のような効果がある。
■ 多層膜干渉フィルタの中心波長が分析装置に要求さ
れる特定の波長からズしていたとしても、検出器又はス
リットを移動させることによし、波長のズレを解消でき
るので、多層膜干渉フィルタの歩留まりの著しい向上が
図れ、コスト低減にもなる。
れる特定の波長からズしていたとしても、検出器又はス
リットを移動させることによし、波長のズレを解消でき
るので、多層膜干渉フィルタの歩留まりの著しい向上が
図れ、コスト低減にもなる。
（２）多Ｍ１１％干渉フィルタの中心波長をシフトでき
るので、ＨＣ測定におけるプロパンとｎ−ヘキサンの相
対感度の改善、ｃｏ２検量線の改善、干渉影響の改善と
いつた性能上の利点もある。
るので、ＨＣ測定におけるプロパンとｎ−ヘキサンの相
対感度の改善、ｃｏ２検量線の改善、干渉影響の改善と
いつた性能上の利点もある。
■ 本考案を積極的に用い、中心波長の微妙なシフトを
故意に行なうこともできる。
故意に行なうこともできる。
図は本発明の一実施例を示し、第１図はガス分析装置の
全体構成図、第２図は検出器を移動できる構成を示す図
、第８図（イバロ）は多Ｎ膜干渉フィルタの入射角の変
化を示す図、篤４図は多層膜干渉フィルタの中心波長と
入射角との関係を示す図である。 （１）・・・光源、（２）・・・セル、（３）・・・検
出器、（５）・・・多層膜干渉フィルタ、（６）・・・
スリット。 第１図 第２図 ８ 第３図 第４図 自発手続補正書 昭和５９年６月２／日 特Ｗ１庁長官 殿 適 １ ・１１ （’ｌの表示 昭和５９イ１ 特 誇 にＣ１第７２２７３υ２ 発明
の名称 ガス分析装置 ３ 補正をする者 到り１との関係 特許出願人 ４ 代 理 人 ５ 補」１−命令の）ｌ ｆｌ ６ 補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄
全体構成図、第２図は検出器を移動できる構成を示す図
、第８図（イバロ）は多Ｎ膜干渉フィルタの入射角の変
化を示す図、篤４図は多層膜干渉フィルタの中心波長と
入射角との関係を示す図である。 （１）・・・光源、（２）・・・セル、（３）・・・検
出器、（５）・・・多層膜干渉フィルタ、（６）・・・
スリット。 第１図 第２図 ８ 第３図 第４図 自発手続補正書 昭和５９年６月２／日 特Ｗ１庁長官 殿 適 １ ・１１ （’ｌの表示 昭和５９イ１ 特 誇 にＣ１第７２２７３υ２ 発明
の名称 ガス分析装置 ３ 補正をする者 到り１との関係 特許出願人 ４ 代 理 人 ５ 補」１−命令の）ｌ ｆｌ ６ 補正により増加する発明の数 ７、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄
Claims (1)
- 光源からセル及び多層膜干渉フィルタを通って検出器に
至る光路中にスリットを設け、検出器又はスリットを光
路に沿って移動させてスリットと検出器の間の距離を変
更可能に構成した仁とを特徴とするガス分析装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072273A JPS60214239A (ja) | 1984-04-10 | 1984-04-10 | ガス分析装置 |
| US06/721,633 US4662755A (en) | 1984-04-10 | 1985-04-09 | Gas analyzer with means for varying angle of incidence of light on interference filter |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59072273A JPS60214239A (ja) | 1984-04-10 | 1984-04-10 | ガス分析装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60214239A true JPS60214239A (ja) | 1985-10-26 |
| JPH031615B2 JPH031615B2 (ja) | 1991-01-11 |
Family
ID=13484509
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59072273A Granted JPS60214239A (ja) | 1984-04-10 | 1984-04-10 | ガス分析装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4662755A (ja) |
| JP (1) | JPS60214239A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012504248A (ja) * | 2008-09-30 | 2012-02-16 | センセエアー アーベー | 高濃度ガスのスペクトル解析に適合されたアレンジメント |
Families Citing this family (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62148834A (ja) * | 1985-12-23 | 1987-07-02 | Horiba Ltd | 分析計 |
| US5241178A (en) * | 1989-03-16 | 1993-08-31 | John Shields | Infrared grain analyzer with controllable measurement wavelength |
| US5026992A (en) * | 1989-09-06 | 1991-06-25 | Gaztech Corporation | Spectral ratioing technique for NDIR gas analysis using a differential temperature source |
| JPH04113235A (ja) * | 1990-09-04 | 1992-04-14 | Minolta Camera Co Ltd | 光センサー |
| US5815276A (en) * | 1996-10-11 | 1998-09-29 | Transgenomic Inc. | Long-path absorbance-cell imaging system with decreased system element parameter change based sensitivity and method of use |
| US6882426B1 (en) | 2002-06-26 | 2005-04-19 | Digital Control Systems, Inc. | Gas sensor with slotted diffusive gas sample chamber |
| JP5870270B2 (ja) | 2011-10-24 | 2016-02-24 | パナソニックＩｐマネジメント株式会社 | 検出器 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| GB1421950A (en) * | 1973-07-20 | 1976-01-21 | Carves Simon Ltd | Discharge from hoppers |
-
1984
- 1984-04-10 JP JP59072273A patent/JPS60214239A/ja active Granted
-
1985
- 1985-04-09 US US06/721,633 patent/US4662755A/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012504248A (ja) * | 2008-09-30 | 2012-02-16 | センセエアー アーベー | 高濃度ガスのスペクトル解析に適合されたアレンジメント |
| US9001331B2 (en) | 2008-09-30 | 2015-04-07 | Senseair Ab | Arrangement adapted for spectral analysis of high concentrations of gas |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH031615B2 (ja) | 1991-01-11 |
| US4662755A (en) | 1987-05-05 |
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