JPS60213616A - 真空中における試料表裏反転装置 - Google Patents
真空中における試料表裏反転装置Info
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- JPS60213616A JPS60213616A JP59069064A JP6906484A JPS60213616A JP S60213616 A JPS60213616 A JP S60213616A JP 59069064 A JP59069064 A JP 59069064A JP 6906484 A JP6906484 A JP 6906484A JP S60213616 A JPS60213616 A JP S60213616A
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
- H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
- H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B65—CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
- B65G—TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
- B65G47/00—Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
- B65G47/22—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors
- B65G47/24—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles
- B65G47/248—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning over or inverting them
- B65G47/252—Devices influencing the relative position or the attitude of articles during transit by conveyors orientating the articles by turning over or inverting them about an axis substantially perpendicular to the conveying direction
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、半導体製造装置におしてウニへ等の試料を真
壁中で表裏反転きせる装置に関するものである。
壁中で表裏反転きせる装置に関するものである。
〔発明の技術的背景及びその問題点〕 ′従来、半導体
製造装置等におするウニへ等試料（基板）のハンドリン
グにおいてその表裏面を反転する方法としては大気中で
は添附図面の第１図に示すように移送装ｋｌによって移
送されてきた試刺コに反転腕３に設けたパッド弘を押し
付け、パツドダ内を減圧（真空）してパッド弘で試料コ
を保持し、そして反転腕３を矢印で示すように回動して
試料コを受け部材ｓ上に反転移送するものが知られてい
る。
製造装置等におするウニへ等試料（基板）のハンドリン
グにおいてその表裏面を反転する方法としては大気中で
は添附図面の第１図に示すように移送装ｋｌによって移
送されてきた試刺コに反転腕３に設けたパッド弘を押し
付け、パツドダ内を減圧（真空）してパッド弘で試料コ
を保持し、そして反転腕３を矢印で示すように回動して
試料コを受け部材ｓ上に反転移送するものが知られてい
る。
しかしながら、このような構造のものでは試料コを吸着
保持する方式であるため真空中では使用しに＜く、また
試料一の片面にパッド弘を吸着させるため試料面Ｋ Ａ
ッドダの接触跡が残ったシ、ざらにはパッド弘による吸
引力で試料２にストレスがかかるなどの欠点がある。
保持する方式であるため真空中では使用しに＜く、また
試料一の片面にパッド弘を吸着させるため試料面Ｋ Ａ
ッドダの接触跡が残ったシ、ざらにはパッド弘による吸
引力で試料２にストレスがかかるなどの欠点がある。
そこで本発明では、上述のような試料に対する問題点を
伴なわずに真壁中において試料を表裏反転できる装置を
提供することを目的とする。
伴なわずに真壁中において試料を表裏反転できる装置を
提供することを目的とする。
この目的を達成する．た袷に、本発明による真空中にお
ける試料表裏反転装置は、それぞれほぼ水平位置と上方
位置との間で回動できそして上方位置で互いに当接して
上方位置のある角度にわたって当接状態で回動できるよ
うにした二つの試料受は部材と、雌は水平位置において
一力の試料受は部材に試別をのせる際に該試料受は洲・
材に対して試料を位置決めする位置決め装置とを有し、
各試料受は部材が試別の外周部を支持１．かつ試別を保
持する保持部を備えていることを特徴としている。
ける試料表裏反転装置は、それぞれほぼ水平位置と上方
位置との間で回動できそして上方位置で互いに当接して
上方位置のある角度にわたって当接状態で回動できるよ
うにした二つの試料受は部材と、雌は水平位置において
一力の試料受は部材に試別をのせる際に該試料受は洲・
材に対して試料を位置決めする位置決め装置とを有し、
各試料受は部材が試別の外周部を支持１．かつ試別を保
持する保持部を備えていることを特徴としている。
以下添附図面の第一図を参照して本発明の一実施例につ
いて説明する。
いて説明する。
躯コ図に示す装置は真空室内Ｋｌ’ｌ［１ｆｉｌｉｌさ
れ、６は軸でこの軸６に二つの試料受は汎１・拐り、７
′が回動自在処装着されており、各試料受は部材７，７
′はアーム（試料受は部材７′のアームｇだけか示され
ている）およびリンク９．９′を介してカム輪１０゜ｌ
θ′にそれぞれ連結されている。これらのカム輪／ ０
、１０’は同一駆動軸ｌｌに装着されておシ、かさ歯
車／コを介して図示してないモータによって駆動される
。すなわち、カム輪１０．／θ′が一回転すると、各カ
ム輪／ ０ 、１０’に直径方向に各々連結されている
同一長さのリンク９．９′によって二つの試料受は部材
７，７′は上方向に回動される。この場会、二つの試料
受は部材り、７′が垂直方向よシ僅かに一方の試料受は
部材を側で互いに箔接し、そしてそのまま他側へ僅かに
転倒して、再び離れて元の位置へそれぞれ戻るように連
動機構が構成されている。各試料受は部材り、７′は図
示したように試料１３の外周部の一部を受けるようにさ
れた一対の受け面ｌダａ、／ダ１１．／ダ／ａ。
れ、６は軸でこの軸６に二つの試料受は汎１・拐り、７
′が回動自在処装着されており、各試料受は部材７，７
′はアーム（試料受は部材７′のアームｇだけか示され
ている）およびリンク９．９′を介してカム輪１０゜ｌ
θ′にそれぞれ連結されている。これらのカム輪／ ０
、１０’は同一駆動軸ｌｌに装着されておシ、かさ歯
車／コを介して図示してないモータによって駆動される
。すなわち、カム輪１０．／θ′が一回転すると、各カ
ム輪／ ０ 、１０’に直径方向に各々連結されている
同一長さのリンク９．９′によって二つの試料受は部材
７，７′は上方向に回動される。この場会、二つの試料
受は部材り、７′が垂直方向よシ僅かに一方の試料受は
部材を側で互いに箔接し、そしてそのまま他側へ僅かに
転倒して、再び離れて元の位置へそれぞれ戻るように連
動機構が構成されている。各試料受は部材り、７′は図
示したように試料１３の外周部の一部を受けるようにさ
れた一対の受け面ｌダａ、／ダ１１．／ダ／ａ。
／４”’ｂとこれらの受け面ｌダａ、／ダｂ、ｌダ／ａ
。
。
ｌダ′ｂに連続した一対の試別保持部／３ａ、／Ｓｂ
、 ／ｊ’ａ 、 ／ｊ−’１）とを備えており、各試
料受は部材り、７′にお妙る対の試料保持部／３ａ、／
３ｂ 、 １５’ａ 、 １３’ｂの一方（軸に近い方
）／Ｓａ。
、 ／ｊ’ａ 、 ／ｊ−’１）とを備えており、各試
料受は部材り、７′にお妙る対の試料保持部／３ａ、／
３ｂ 、 １５’ａ 、 １３’ｂの一方（軸に近い方
）／Ｓａ。
／Ｓ’ａは両者が尚接したとき互いにかみ合うように構
成され、これによシ試別が一方の試料受は部材７から他
方の試料受は部材７′へ移される際に落下するのを防止
する。なお上記各試料保持部／ ３ 、 ／ｊ’の高さ
およびその内側案内面は反転すぺき試料１３０寸法およ
び形状に合わせて適当に決められる。
成され、これによシ試別が一方の試料受は部材７から他
方の試料受は部材７′へ移される際に落下するのを防止
する。なお上記各試料保持部／ ３ 、 ／ｊ’の高さ
およびその内側案内面は反転すぺき試料１３０寸法およ
び形状に合わせて適当に決められる。
また第一図において１６はベルト装ｗｌりで一方の試料
受は部材７上に案内される試別１３をそれの受け面／４
（ａ、／Ｑｂ上に止め位置決めする位置決め装置で、試
料受は部材りに隣接してその両１ｌｌｌに配置され、そ
して上記試右受は部材りＫおける試料保持部１５ａの内
側案内面に沿ってのびかつベルト装置／り上を案内され
てきた試別）３に当接する内側案内面を侃１えている。
受は部材７上に案内される試別１３をそれの受け面／４
（ａ、／Ｑｂ上に止め位置決めする位置決め装置で、試
料受は部材りに隣接してその両１ｌｌｌに配置され、そ
して上記試右受は部材りＫおける試料保持部１５ａの内
側案内面に沿ってのびかつベルト装置／り上を案内され
てきた試別）３に当接する内側案内面を侃１えている。
なお、この位置決め装置１６はベルト装置１７上を身内
されてくる試料１３を試料受は部材りに対して所定の位
置に案内できるものであれば任意の他の手段または構造
のものを用いてもよい。
されてくる試料１３を試料受は部材りに対して所定の位
置に案内できるものであれば任意の他の手段または構造
のものを用いてもよい。
図示実施例では試料受は部材７．７′は同−軸乙のまわ
りで回動するようｊｆｔｆｍ成されているが、必要なら
ば別個の−１１に取付けることもできる。
りで回動するようｊｆｔｆｍ成されているが、必要なら
ば別個の−１１に取付けることもできる。
このように構成した装置の動作において、まずはルト装
置ｌりによって案内されてきた試別１３は位置決め装置
１６によって＃１は水平状態にある試料受は部材の一方
７上に位置決めされる。そしてモータ（図示してない）
によってかさ歯車ｌコ、カム輪１０．１０’およびリン
クデ ｑｌを介して両試ｆ１受は部材７，７′はそれぞ
れ上方向に回動される。従って試料１３はベルト装置ｌ
りから離れ、試料受は部材りの対の受け面ｌダａ、／ダ
ｂで受けられ、上方へ持ち上げられる。こうして垂直位
置に近い位置着でくると、他方の試料受は部材７′と尚
接し、そして試料１３は両試料受は部材７゜７′間には
さまれた状態で垂直位置を通シ他方の試料受は部材７′
側へ移動される。試料１３が他方の試料受は部材７′の
受け面ｌダ’ａ、／４（’ｂで実質的に ″受けられる
位置までくると、両受は部材り、り′は離れはじめ、そ
して他方の受け部材７′上の試別／３はほぼ水平位置ま
で下され、こうして表裏が反転される。以後この動作が
繰返される。
置ｌりによって案内されてきた試別１３は位置決め装置
１６によって＃１は水平状態にある試料受は部材の一方
７上に位置決めされる。そしてモータ（図示してない）
によってかさ歯車ｌコ、カム輪１０．１０’およびリン
クデ ｑｌを介して両試ｆ１受は部材７，７′はそれぞ
れ上方向に回動される。従って試料１３はベルト装置ｌ
りから離れ、試料受は部材りの対の受け面ｌダａ、／ダ
ｂで受けられ、上方へ持ち上げられる。こうして垂直位
置に近い位置着でくると、他方の試料受は部材７′と尚
接し、そして試料１３は両試料受は部材７゜７′間には
さまれた状態で垂直位置を通シ他方の試料受は部材７′
側へ移動される。試料１３が他方の試料受は部材７′の
受け面ｌダ’ａ、／４（’ｂで実質的に ″受けられる
位置までくると、両受は部材り、り′は離れはじめ、そ
して他方の受け部材７′上の試別／３はほぼ水平位置ま
で下され、こうして表裏が反転される。以後この動作が
繰返される。
従って本発明による装置においては、試料受は部材の寸
法、形状等を適当に設計することによって試料の形状、
重さ等各種のものに使用でき、また機械式で駆動は［１
転だけであるので真空中で使用でき、駆動軸の負、發シ
ールか容易である。また本発明の装置では試滓１の外周
に接するのみで反転できるため、試料１対する機械的な
損傷を１ない。
法、形状等を適当に設計することによって試料の形状、
重さ等各種のものに使用でき、また機械式で駆動は［１
転だけであるので真空中で使用でき、駆動軸の負、發シ
ールか容易である。また本発明の装置では試滓１の外周
に接するのみで反転できるため、試料１対する機械的な
損傷を１ない。
ざらにまたリンク長さや連結点を適尚に選ぶことで試料
受は部材を水平口（よシ下方に下けることができるので
、Ｎ転駆動による停止精度の形量はない。
受は部材を水平口（よシ下方に下けることができるので
、Ｎ転駆動による停止精度の形量はない。
以上説明してきたように本発明によれば、従来の真空チ
ャック式のようＶｃ試試別片面保持しないので試料を実
質的な損傷を伴なうことなく容易に反転でき、しかも機
械式であるので真空中で使用できる実用的な真空中にお
ける試ｔ１表裏反転装置が提供される。
ャック式のようＶｃ試試別片面保持しないので試料を実
質的な損傷を伴なうことなく容易に反転でき、しかも機
械式であるので真空中で使用できる実用的な真空中にお
ける試ｔ１表裏反転装置が提供される。
第１図は従来の真空チャック式の試料反転装置を示す概
略斜視図、第一図は本発明の一実施例を示す概略斜視図
である。 図中、７，７′：試料受は部材、／ ４Ｉａ 、／４Ｃ
ｂ。 ／Ｑ’ａ、／ダ′ｂ＝受は面、１５ａ＊／ｊｔ＋ｓ１５
’ａ 、 ／ｊ’ｂ ：保持部、１６：位置決め装置。
略斜視図、第一図は本発明の一実施例を示す概略斜視図
である。 図中、７，７′：試料受は部材、／ ４Ｉａ 、／４Ｃ
ｂ。 ／Ｑ’ａ、／ダ′ｂ＝受は面、１５ａ＊／ｊｔ＋ｓ１５
’ａ 、 ／ｊ’ｂ ：保持部、１６：位置決め装置。
Claims (1)
- それぞれほぼ水平位置と上方位置との間で回動できそし
て上方位置で互いに当接して上方位置のある角度にわた
って酒楼状態で回動できるようにした二つの試料受は部
材と、はぼ水平位置において一方の試料受は色材に試料
をのせる際に該試料受は部材に対して試料を位置決めす
る位置決め装置とを有Ｌ１各試料受は部材が試料の外周
部を支持しかつ試料を保持する保持部を備えていること
を特徴とする真空中における試料表裏反転装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59069064A JPS60213616A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 真空中における試料表裏反転装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59069064A JPS60213616A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 真空中における試料表裏反転装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60213616A true JPS60213616A (ja) | 1985-10-25 |
Family
ID=13391763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59069064A Pending JPS60213616A (ja) | 1984-04-09 | 1984-04-09 | 真空中における試料表裏反転装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60213616A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01247321A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Yasutane Kameda | 物品供給方法並びにその装置 |
| JP2005156481A (ja) * | 2003-11-28 | 2005-06-16 | Kobe Steel Ltd | 試料位置決め装置，試料測定装置 |
| CN103183228A (zh) * | 2011-12-30 | 2013-07-03 | 旺矽科技股份有限公司 | 光电零组件测试机台用的进料机构 |
| WO2014060500A1 (en) * | 2012-10-17 | 2014-04-24 | Dtg International Gmbh | Apparatus for and method of handling workpieces |
| CN104418063A (zh) * | 2013-09-02 | 2015-03-18 | 江苏肯帝亚木业有限公司 | 木地板翻面送料机 |
| CN106695709A (zh) * | 2017-03-21 | 2017-05-24 | 成都振中电气有限公司 | 利于电气柜冷轧板加工的翻板方法 |
| CN111422568A (zh) * | 2020-05-28 | 2020-07-17 | 徐荣秀 | 一种基于齿轮尺寸变化进行变速自动采样的物流传送装置 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS472509U (ja) * | 1971-01-29 | 1972-08-29 |
-
1984
- 1984-04-09 JP JP59069064A patent/JPS60213616A/ja active Pending
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS472509U (ja) * | 1971-01-29 | 1972-08-29 |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01247321A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Yasutane Kameda | 物品供給方法並びにその装置 |
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| CN111422568B (zh) * | 2020-05-28 | 2021-08-24 | 青岛孚鼎泰智能技术有限公司 | 一种基于齿轮尺寸变化进行变速自动采样的物流传送装置 |
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