JPH04107843A - 被把持体の把持方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、被把持体の把持方法及びその装置に関し、例
えば、半導体ウェハを収容する収容具の把持方法及び把
持装置に関する。

口、従来技術 半導体ウェハの表面に酸化珪素膜等の堆積膜を形成する
ために、化学的気相成長（ＣＶＤ）装置が広く使用され
ている。半導体ウェハ（以下、単にウェハと呼ぶ）は、
珪素又はガリウム−砒素等の半導体単結晶からなる厚さ
数百μｍの薄い円板状を呈し、ボートと呼ばれる載置具
に通常水平方向に所定の間隔で垂直に多数（例えば２５
枚）載置され、ボートと共にＣＶＤ装置内に挿入され、
ＣＶＤ処理を受ける。このボートは、ウェハを支持する
ための水平に位置する４本のバーを有し、これらのバー
には所定のピッチで溝が設けられ、ウェハはこれらの溝
に挿入されて水平方向に所定間隔で垂直にボートに！！
置される。このボートは、ＣＶＤ装置内でウェハと共に
加熱されるので、その材料には石英が使用される。以下
、このボートを石英ボートと呼ぶ。

ウェハは、上記石英ボートとは別の載置具（カセットと
呼ばれ、一般にプラスチック製である。）に載置されて
ＣＶＤ装置付近に搬送され、此所で前述の石英ボートに
移載される。また、ＣＶＤ処理が終了したウェハは、石
英ボートからカセットに移載され、次の工程へ搬送され
る。上記カセットは、側壁にウェハを挿入するために溝
が多数設けられている。また、ウェハは、ＣＶＤ処理後
にフォトリソグラフィーの手法によって表面に種々の素
子が形成されるのであるが、これら素子の形成過程及び
形成後に石英ボートに載置された状態にてエツチング及
び弗酸（ＨＦ）や純水等による洗浄が施される。このエ
ツチングや洗浄の工程でも、ウェハは、カセットに載置
されて搬送され、石英ボートに移載されてこれらの処理
を施され、処理終了後に再びカセットに移載されて次の
工程に搬送される。

ウェハが載置されたカセット又は石英ボートは、搬送や
移載の度毎にグリッパによって把持され、所定の位置に
送られる。

第１２図及び第１３図は従来のグリッパを示し、同図の
各（ａ）は平面図、Φ）は正面図である。但し、両図共
、（ｂ）ではカセットをも図示しである。

第１２図のグリッパ５１は、回動可能な円板５２．５２
を設けてあり、円板５２．５２に回動可能に取付けられ
た対のバー５３．５３の先端部に把持部５４．５４が揺
動可能に取付けられている。円板５２．５２が矢印のよ
うに所定角度回転すると、バー５３．５３の動作によっ
て把持部５４．５４がガイド５５．５５に案内されて仮
想線位置から実線位置に移動し、第１２図（ロ）に示す
ように、カセット４７の上端に設けられた対のつば４７
ａ、４７ａの下に把持部５４．５６のフィンガ５４ａ、
５４ａが入ってグリッパ５１がカセット４７を把持する
。

第１３図のグリッパ６１は、同図（ａ）に示すように、
回動可能な対のリンク６３．６３の一端が共通の軸６２
に軸支され、リンク６３．６３の他端にはフィンガ６５
．６５が軸支されていて、フィンガ６５．６５は軸６２
の移動によって軸６４．６４を支点にして仮想線位置か
ら実線位置へ揺動するようになっている。このようにフ
ィンガ６５．６５が仮想線位置から実線位置に移動する
と、第１３図（ｂ）に示すように、カセット４７のつば
４７ａ、４７ａの下にフィンガ６５．６５が入ってグリ
ッパ６１がカセット４７を把持する。

ところで、カセット４７は、その下面が載置台７０に載
置され、載置台７０の両側縁に設けられた突部７０ａ、
７０ａに挟まれるようにして位置決めされる。載置台７
０は床４９に固定されている。

第１２図（ｂ）、第１３図Ｃｂ）に仮想線で示すように
、グリッパ５１．６１の中心線がカセット４７の中心線
に対して狂っていると、カセット４７は把持と同時に動
いて、載置台７０の一方の突部７０ａ、７０ａに乗り上
げるようになる。すると、このとき載置台７０の突部７
０ａとカセット４７の下面との摺擦によって塵が発生す
ることになる。ウェハは、塵の付着によって品質が劣化
するので、清浄なりリーンルーム内で取扱われる。従っ
て、上記のような発塵は甚だ不都合である。

グリッパは一般にロッポットによって操作されるのであ
るが、上記の問題を解消する方策として、ロボットを複
雑に多軸化し、またロボットへの教示（ティーチング）
を高精度にすることが考えられる。然し、これでは、ロ
ボットの製造原価が昂騰する上に、ロボットは高精度に
なる程度誤動作を起こし易くなるので、上記の方策では
万全を期し難い。

ハ０発明の目的 本発明は、把持装置と被把持体との位置関係が正確では
な（でも、被把持体がこれを支持する支持手段と摺擦す
ることなく被把持体を把持でき、かつ、把持装置の構造
を簡単にできる、被把持体の把持方法及びこの方法に使
用する把持装置を提供することを目的としている。

二０発明の構成 第一の発明は、被把持体係合手段に係合された被把持体
を、把持装置を用いて把持するに際し、前記被把持体を
、前記の係合を維持した侭、把持手段で把持する把持工
程と、 前記の係合を解除して前記被把持体と前記被把持体係合
手段とを空間的に離間させる係合解除工程と、 前記の係合解除と同時又はそれ以降に、前記把持手段を
構成する対の把持部を所定の位置関係に位置させて前記
被把持体の位置を前記把持装置の所定の位置に整合させ
る位置整合工程とを有する、被把持体の把持方法に係る
。

第二の発明は、被把持体係合手段に係合された被把持体
を把持する、被把持体の把持装置において、 前記被把持体を把持するための把持手段と、この把持手
段を構成する対の把持部で前記被把持体を把持させるた
めの対の把持部駆動軸と、この対の把持部駆動軸のうち
のいずれか一方の把持部駆動軸のみを駆動可能にする差
動機構、と、 前記対の把持部を所定の位置関係に位置させて前記被把
持体の位置を前記把持装置の所定の位置に整合させるた
めの位置整合手段と、前記把持手段を移動させるための
移動手段とを有することを特徴とする、被把持体の把持
装置に係る。

ホ、実施例 以下、本発明の詳細な説明する。

第１図はグリッパを示し、同図（ａ）は正面図、同図（
５）は同図（ａ）のＩ　ｂ−１ｂ線拡大断面図であって
、同図（ａ）のみカセットを併示しである。

ケーシング２に収容された差動機３から図において左右
に左側ドライブシャフト９Ｌと右側ドライブシャフト９
Ｒとがケーシング２を貫通して突出している。差動機３
の図において右側には、■字形の溝を形成するガイド面
４ａ、４ａを有するガイド４がドライブシャフト９Ｒを
囲むようにして固定されている。ガイド面４ａ、４ａに
は、コイルばね６によって左方に付勢されるソケット５
の対のローラ５ｃが接当し、ソケット５はドライブシャ
ツ）９Ｒに外嵌してこれと一体に回動するようにしであ
る。上記の各部分はケーシング２に収容される。ドライ
ブシャフト９Ｌ、９Ｒのケーシング２から突出する部分
は、ケーシング２に固定された左右のケーシング８Ｌ、
８Ｒに夫々収容され、これらに軸支される。

ケーシング２の下には減速器歯車１２Ｂ付きのモータ１
２Ａを収容するケーシング１１が固定されていて、モー
タ１２Ａの減速歯車１２Ｂの軸に取付けられたファイナ
ルピニオン１３と差動機３のファイナルギヤ１０とが互
いに噛合する。自動車の差動機にあってはファイナルピ
ニオンとファイナルギヤとは傘歯車を使用するが、本例
にあってはケーシング１．１１をコンパクトにするため
、ファイナルピニオン１３とファイナルギヤ１０とは薄
幅の平歯車としている。

ドライブシャフト９Ｌ、９Ｒの先端には傘歯車１６Ｌ、
１６Ｒが取付けられ、傘歯車１６Ｌ、１６Ｒにはフィン
ガシャフト１８Ｌ、１８Ｒの先端に取付けられた傘歯車
１７Ｌ、１７Ｒが夫々噛合する。傘歯車１６Ｌ、１７Ｌ
及びフィンガシャフト１８Ｌと、傘歯車１６Ｌ、１７Ｌ
及びフィンガシャフト１８Ｒとは、夫々ケーシング１５
Ｌ、１５Ｒに収容され、フィンガシャフト１８Ｌ、１８
Ｒには夫々ケーシング１５Ｌ、１５Ｒに軸支されている
。フィンガシャフト１８Ｌ、１８Ｒには、フィンガ１９
Ｌ、１９Ｒが下方に向けてケーシング１５Ｌ、１５Ｒか
ら突出して取付けられ、フィンガ１９Ｌ、１９Ｒの下端
には、内側に向けて互いに対向するように把持部２０Ｌ
、２０Ｒが夫々固定されている。フィンガ１９Ｌ、１９
Ｒには反射型のセンサ２１Ｌ、２１Ｒが夫々取付けられ
ているケーシング１５Ｌ、１５Ｒは、補強のためのバー
２５によって互いに連結されている。但し、バー２５は
第１図（ａ）では図示省略しである（後述の第３図（→
、（ロ）も同様）。

以上の各部分によってグリッパ１が構成される。

第１図（ａ）に示すように、同図（ハ）のモータ１２Ａ
が駆動してフィンガ１９Ｌ、１９Ｒが矢印のように回動
し、フィンガ１９Ｌ、１９Ｒが鉛直方向に位置すると、
把持部２０Ｌ、２０Ｒが、カセットの両端上面に延設さ
れたつば４７ａ、４７ａの下側に入り、グリッパ１がカ
セットを把持する。

第２図はフィンガがカセットを把持する要領を示し、同
図（ａ）は要部平面図、同図（ｂ）は要部右側面図であ
る。

第２図（ａ）において、フィンガ１９Ｌ、１９Ｒが仮想
線位置から実線位置に移動して把持部２０Ｌ、２０Ｒが
、カセット４７のつば４７ａ、４７ａの下に位置すると
、同図師）に示すように、センサ２１Ｒ１２１Ｌの光が
把持部２０Ｒ１２０Ｌから反射してフィンガがカセット
４７を把持した状態が検出される。この検出結果に基い
て第１図（ロ）のモータ１２Ａの駆動を停止させ、フィ
ンガ１９Ｌ、１９Ｒの回動が停止する。これによってカ
セット４７に無理な荷重がかかってカセット４７が破損
するというトラブルが防止される。

第３図はカセットの鉛直中心線とグリッパのそれとが一
致していないときのカセットとグリッパとの移動の様相
を示し、同図（ａ）はフィンガがカセットを把持した状
態を、同図（ｂ）はグリッパがカセットを持ち上げた状
態を示す正面図である。これらの図中、Ｗはウェハであ
る。

第３図（ａ）に示すように、カセット４７は、床４９に
固定された載置台４８にＭ２置され、載置台４８の両側
縁の突部４８ａ、４８ａに挟まれて位置決めされている
。カセット４７の中心線ＣＬ、７に対してグリッパ１の
中心ＩＣＬ、は一致しておらず、従って、この状態では
フィンガ１９Ｌ、１９Ｒは対称位置には位置していない
。

第３図（ａ）において、センサ２１Ｌ、２１Ｒの双方が
カセット４７のつば４７ａ、４７ａを検出すると、第３
図（ａ）の把持状態が検出される（第１図（ａ）でも同
様）。この検出結果に基いて第１図（ｂ）のモータ１２
Ａの駆動が停止し、この停止と同時又は、これ以降にグ
リッパ１が上昇する。すると、第３図β）に示すように
、フィンガ１９Ｌ、１９Ｒが鉛直方向に位置してグリッ
パ１の中心線ＣＬ。

に対してカセット４７の中心線ＣＬ、、が一致する。

この状態では、カセット４７は、グリッパ１と共に上昇
して載置台４８から離れるので、カセット４７と載置台
４８の突部４８ａとが擦れ合うことがなく、好ましくな
い塵の発生が起こることがない。従って、クリーンルー
ムでの使用に頗る好適である。

第３図（ａ）で、フィンガ１９Ｌが鉛直方向に迄回転す
る前に回転を停止し、フィンガ１９Ｒが鉛直方向を越え
て回転するのは、第１図（ｂ）の差動機３の機能によっ
てなされる。

第５図は差動機の断面図、第６図は差動機の動作を説明
するための吠ｌ内部断面図である。

これらの図中、３５Ｌ及び３５Ｒはデフサイドギヤで、
夫々ドライブシャフト９Ｌ、９Ｒに固着され、２個のデ
フピニオン３４．３４と噛合している。デフピニオン３
４．３４はこれらを貫通するピニオンシャフト３３を軸
としてその周囲を回動できるようになっていて、デフピ
ニオンシャフト３３は上記部品を収容するデフケース３
１にテーバビン３２によって固着されている。以上の部
品からなる部分が差動機である。また、デフケース３１
にはボルト３６．３６によってファイナルギヤ１０が固
定されている。ファイナルギヤ１０は、第１図［有］）
の減速歯車１２日の軸に固定されたファイナルピニオン
１３と噛合していて、これらが最終減速機を構成する。

差動機を構成する各部分は、デフキャリヤ３ａに収容さ
れ、油中に浸漬されている。

第３図（ａ）において、フィンガ１９Ｌが仮想線で示す
初期状態から実線位置に到達する迄は、ファイナルピニ
オン１３の回転がファイナルギヤ１０に伝達され、更に
ファイナルギヤ１０に固定されたデフケース３１、テー
パピン３２によってデフケース３１に固定されたデフビ
ニオンシャフト３３及びデフビニオン３４．３４を介し
てデフサイドギヤ３５Ｌ、３５Ｒに伝達される。かくし
て、デフサイドギヤ３５Ｌの回転によってドライブシャ
フト９Ｌが、デフサイドギヤ３５Ｒの回転によってドラ
イブシャフト９Ｒが夫々回転し、第３図（ａ）のフィン
ガ１９Ｌ、１９Ｒが回転する。この場合、デフビニオン
シャフト３３、デフビニ第３４．３４及びデフサイドギ
ヤ３５Ｌ、３５Ｒは互いに相対的に動くことなく、一体
となってドライブシャフト９Ｌ、９Ｒを軸として回転す
る即ち、差動機は作動することなく、左右のドライブシ
ャフト９Ｌ、９Ｒは同一回転数で回転し、前述したよう
に対のフィンガを回転させる。

第３図（ａ）において、フィンガ１９Ｌがカセット４７
のつば４７ａに接当すると、ドライブシャフト９Ｌが停
止し、かつ、ドライブシャフトが回転して第３図（ａ）
のフィンガ１９Ｒが実線位置に到達する迄の間は、差動
機は以下のように作動する。

ドライブシャフト９Ｌに固着されたデフサイドギヤ３５
Ｌが回転を停止し、デフビニオン３４．３４は自転しな
がらデフサイドギヤ３５Ｌの歯部円周上を公転してデフ
サイドギヤ３５Ｒを回転させ、ドライブシャフト９Ｒは
正常な回転状態での回転数の２倍の回転数で回転する。

即ちデフサイドギヤ３５Ｌが太陽傘歯車として、デフビ
ニ第３４．３４が遊星傘歯車として動作する（第３図（
ａ）で、グリッパ中心線ＣＬ、がカセット中心線ＣＬ、
、の左側にずれている場合は、デフサイドギヤ３５Ｒが
太陽傘歯車となる。）、かくして、ドライブシャフト９
Ｒの回転によって第３図（ａ）のフィンガ１９Ｒがカセ
ット４７のつば４７ａに接当する迄回転する。

第３図（ａ）から同図ら）へのようにフィンガ１９Ｌが
更に回転し、フィンガ１９Ｒが前記とは逆に回転すると
き、グリッパは次のように作動する。

第７図（ａ）に正面図（一部断面）で、同図（ａ）の■
ｂ−■ｂｌＩＡ断面図である同図（５）に示すように、
差動機３のドライブシャフト９Ｒ側にはＶ字形の溝を設
けた円筒状ガイド４が固定され、ドライブシャフト９Ｒ
にはこれと一体になって回動しかつその中心軸線方向に
スライド可能なソケット５が外嵌し、ソケット５はコイ
ルばね６によってガド４へ向けて付勢されている。ソケ
ット５の先端には対のローラ５ｃ、５ｃが取付けられ、
ガイド４の７字形溝によって形成されるガイド面４ａに
ローラ５Ｃ１５ｃが圧設する。第７図は初期状態を示し
ている。第８図（ａ）、Φ）は第３図（ａ）の状態にお
ける第７図（ａ）、（ｂ）と同様の図面である。第３図
（ａ）のようにフィンガ１９Ｌが回転を停止した以後に
フィンガ１９Ｒが更に回転するときは、ドライシャツ）
９Ｒが回転を停止し、ドライシャフト９Ｒが回転する。

その結果、ソケット５も回転してその先端のローラ５ｃ
、５ｃが第８図（ａ）、（ｂ）に示すようにガイド４の
ガイド面４ａに沿って回転することにより、ソケット５
は第８図（ａ）において右方へ移動する。このとき、ソ
ケット５はコイルばね６によって左方に強く付勢される
。この状態から第３図のグリッパ１が上昇すると、カセ
ット４７は載置台４８の突部４８ａから離れ、グリッパ
１は自由になってソケット５がコイルばね６から強い付
勢力によって左方に移動しながら逆回転し、第７図（ａ
）、［有］）の状態に戻る。

第９図はガイドとローラとの関係を示す拡大斜視図で、
ローラ５ｃ、５Ｃが第７図の状態にあるときを実線で、
第８図の状態にあるときを仮想線で示しである。

ソケット５はドライブシャフト９Ｒと一体になって回動
し、かつその中心軸線方向にスライド可能にしであるが
、通常のスプラインシャフトとは異なり、ボールスプラ
イン機構としている。即ち、第１０図に示すように、ソ
ケット５はドライブシャツ）９Ｒに対して僅かの間隙を
隔てて外嵌する。

ソケット５の内面の３個所に設けられた断面略半円径の
溝５ａ、５ａ、５ａとドライブシャフト９Ｒの３個所に
設けられた断面略半円径の溝９ａ、９ａ、９ａに多数の
ボール７．７．７を収容させ、ボール７．７．７の回転
によってソケット５のスライド時の摩擦抵抗を極小にし
ている。ソケット５には、ボールねじのソケットと同様
に、溝５ａ。

５ａ、５ａの背後にボール７が循環する断面円形の通路
５ｂ、５ｂ、５ｂを設けである。

ソケット５が第８図の状態から第７図の状態へ戻る時の
差動機の動作を第６図によって説明する。

ドライブシャフト９Ｒが仮想線矢印のように逆回転する
と、これに固着されたデフサイドギヤ３５Ｒに噛合する
デフビニ第３４．３４が仮想線矢印のように回転し、こ
れらに噛合するデフサイドギヤ３５Ｌに固着したドライ
ブシャフト９Ｌが実線矢印（前の回転方向と同じ）のよ
うに回転する。従って第３図（ａ）から同（ｂ）へと、
フィンガ１９Ｌが更に回転し、フィンガ１９Ｒが逆回転
してフィンガ１９Ｌ、１９Ｒは共に鉛直方向に位置し、
グリッパ中心線ＣＬ、とカセット中心線ＣＬ４？とが一
致するようになる。なお、第３図（ａ）において、グリ
ッパ中心線ＣＬ、がカセット中心線ＣＬ、、の左側にず
れている場合のローラ５ｂ、５ｂの位置は、第８図（ｂ
）に仮想線で示しである。この場合もドライブシャツ１
−９Ｌ、９Ｒの回転方向が前述の場合の逆になるだけで
、差動機の同様の動作で第３図（ロ）の状態になる。

グリッパを以上のような構造とすることにより、第３図
（萄に示したカセット中心線ＣＬ、、に対するグリッパ
中心ＩＩ　ＣＬ　Ｉの不一致は、６インチのウェハ載置
用カセットにあって、±１０■迄許容できる。従って、
繰返し使用時の精度の再現性が緩和される。更に、グリ
ッパを操作するロボットが簡単な構造で済み、ロボット
の製造原価が低減する上に、ロボットの構造を複雑にす
ることによる誤動作も防止できる。

グリッパがカセットを把持してこれを所定位置に搬送す
ると、図示しないロボットがグリッパを下降させてカセ
ットを＠置台に載置し、グリッパ１９Ｌ、１９Ｒを開い
て第３図（ａ）に仮想線で示した初期状態にする。この
とき、第１図Φ）のモータ１２Ａが前記とは逆方向の回
転をし、差動機３の前記とは逆の動作によってグリッパ
１９Ｌ、１９Ｒが開く。

本例にあっては、ロボットが誤動作を起してグリッパが
石英ボート把持の作業に入る前にフィンガを起こし、そ
の後の把持作業に支障をきたさぬよう、次のような方策
を講じている。

第３図（ａ）の拡大断面図である第４図に示すように、
ケーシング１５Ｌ、１５Ｒの中には扇形の遮光板２３Ｌ
、２３Ｒが設けられていて、断面コの字形の透過型フォ
トカプラ２２Ｌ、２２Ｒの光軸を遮光し得るようになっ
ている。遮光板２３Ｌ、２３Ｒはフィンガシャフト１８
Ｌ、１８Ｒと一体に回動し、フィンガ１９Ｌ、１９Ｒは
、遮光状態で通常の把持領域２７内に位置し、非遮光状
態で把持領域外開き側頭域２８内又は把持領域外閉じ側
頭域２９内に位置するようになっている。

次に、フィンガの各動作シーケンスについて説明する。

（１）、電源投入時にフォトカブラ２２Ｌ１２２Ｒ共に
非遮光状態にあるときは、フィンガ１９Ｌ、１９Ｒは開
く方向に動作し、フォトカブラ２２Ｌ、２２Ｒの双方又
はいずれか一方が即座に遮光状態になるとフィンガ１９
Ｌ、１９Ｒは把持領域外開き側頭域２８に入ったときに
停止して待機する。遮光されなかったときは、モータを
逆転させ、遮光されたことを検知してこの検知結果に基
いて再度モータを逆転させ、フィンガ１９Ｌ及び／又は
１９Ｒが把持領域外開き側頭域２８に入ったところで停
止させ、待機させる。全（遮光されなかったときはエラ
ーとなり、異常を知らせる。

（ｉｉ）、電源投入時にフォトカブラ２２Ｌ、２２Ｒの
双方又はいずれか一方が遮光状態にあるときは、フィン
ガ１９Ｌ及び／又は１９Ｒが開く方向に動作し、把持領
域外開き側頭域２８に入ったところで停止させ、待機さ
せる。

この検出結果によって以後の動作が遂行可能になるよう
にしである。

第１１図は把持部の水平方向の移動及び昇降をさせる把
持部移動機構の斜視図である。

床４９に回動可能に立設する軸３８の上端部には第一の
アーム４０が固定され、第一のアーム４０の先端部には
第二のアーム４１が揺動可能に取付けられている、第二
のアーム４１の下側にはソケット４３とこれに螺合する
軸４４とからなるボールねじ４２が取付けられ、ボール
ねじの軸４４の下端にはＬ字形の接続板４５が取付けら
れ、接続板４５には接続杆４６が固定されている。図中
、４４ａはボール嵌入用の螺旋状溝である。ボールねじ
の軸４４はスプライン機構によって第二のアーム４１に
対して上下方向にのみ移動可能に取付けられ、ボールね
じのソケット４３は軸４４及び第二のアーム４１に対し
て回動可能に取付けられている。そして、第二のアーム
４１に内蔵されたモータによってボールねじのソケット
４３が回動し、軸４４を昇降させるようになっている。

上記の各部分によって把持部移動機構３７が構成される
。

接続杆４６は把持部１のケーシング２に固定され、把持
部１は、把持部移動機構３７の上昇状態で第一、第二の
アーム４０．４１の組合せによるリンク装置３９によっ
て軸３８に近付き又はこれから遠去かるように移動可能
になっている。また、把持部１はカセット４７を把持し
た状Ｂ（又は把持しない状態）でボールねじの軸４４の
昇降に伴って昇降する。第１１図中、Ｗは半導体ウェハ
である。

上記の例では、グリッパでカセットを上昇させ、カセッ
トを載置台から離間させると同時にコイルばねの付勢力
によってグリッパ中心線とカセット中心線とを一致させ
るようにしているが、この動作はばね以外の適宜の手段
によることができる。

この場合、カセットが載置台から離間してから適当なタ
イミングをとって上記の中心線一致の動作をなさしめる
ようにしても良い。

以上の例は、カセットの把持の例であるが、ウェハを載
置していない或いは載置した石英ボートの把持も上記の
例と異なるところはないことは言う迄もない。また、被
把持体は、ウェハを載置した石英ポート、カセットのほ
か、例えば、液晶表示装置用ガラス基板等、他の物品を
載置した被把持体であっても、或いは物品自体であって
も良い。

前述したように、被把持体に対する把持装置の位置ずれ
を大幅に許容できることから、精度の高くない種々のハ
ンドリング装置に本発明を通用して高精度なハンドリン
グ装置と同様に使用することができ、その適用範囲は広
い。また、フィンガを交換して種々の被把持体の把持に
使用できる。

へ１発明の作用効果 第一の発明は、把持手段で被把持体を把持してこの被把
持体を被把持体係合手段から空間的に離間させ、この離
間と同時又はそれ以降に前記把持手段を構成する対の把
持部を所定の位置関係に位置させて前記被把持体の位置
を前記把持装置の所定の位置に整合させるようにしてい
る。第二の発明は、前記第一の発明の各動作をなさしめ
る手段を有し、前記対の把持部を駆動させるための対の
把持部駆動軸のうちのいずれか一方の把持部駆動軸のみ
を駆動可能にする差動機構を具備している。

従って、把持前に前記被把持体と前記把持装置との位置
関係が正確には整合していないとしても、前記の係合解
除と同時又はそれ以降に両者の位置関係を整合させるの
で、前記被把持体と前記被把持体係合手段とが摺擦する
ことなく、上記の整合をさせることができる。その結果
、前記の摺擦による好ましくない発塵が防止され、清浄
度の高い雰囲気中での把持と好適である。その上、把持
装置を駆動させる駆動手段（例えばロボット）に高い精
度が要求されることがなく、上記駆動手段が簡単な構造
で済んでその製造原価が低減でき、その構造を複雑にす
ることによる誤動作も防止される。

【図面の簡単な説明】

第１図〜第１１図は本発明の実施例を示すものであって
、 第１図はグリッパを示し、同図（ａ）はカセットを把持
した状態の正面図、同図（ハ）は同図（ａ）のＩｂＩｂ
線拡大線面大断面図ットは図示省略）、第２図は把持時
のカセットとグリッパとを示し、同図（ａ）は要部概略
平面図、同図（ｂ）は要部概略右側面図、 第３図はカセットを把持したグリッパを示し、同図（ａ
）はグリッパ上昇前の正面図、同図（ｂ）はグリンパ上
昇後の正面図、 第４図は第３図（ａ）の部分拡大図、 第５図は差動機の断面図、 第６図は差動機内部の拡ｌ断面図、 第７図は初期状態及び第３図（ロ）の状態における差動
機及びその周辺を示し、同図（ａ）は中心軸線に沿う正
面図（一部断面）、同図（ｂ）は同図（ａ）の■ｂ−■
ｂ線断面図、 第８図は第３図（ａ）の状態における差動機及びその周
辺を示し、同図（ａ）は中心軸線に沿う正面図（一部所
面図）、動図（ｂ）は同図（ａ）の■ｂ−■ｂ線断面図
、 第９図はガイドとローラとの関係を示す概略拡大断斜視
図、 第１０図はドライブシャフトとソケットとの関係を示す
拡大断面図、 第１１図は把持部移動機構の要部斜視図である。 第１２図及び第１３図は従来例を示すものであって、 第１２図はグリッパを示し、同図（ａ）はグリッパの動
作を示す平面図、同図（ロ）はカセットを把持したグリ
ッパの正面図、 第１３図は他の例によるグリッパを示し、同図（ａ）は
グリッパの動作を示す平面図、同図（ロ）はカセットを
把持したグリッパの正面図 である。 なお、図面に示された符号において、 Ｌ　　５Ｌ　　６１・・・・・・・・・グリ・ソバ３・
・・・・・・・・差動機 ４・・・・・・・・・ガイド ４ａ・・・・・・・・・ガイド面 ５・・・・・・・・・ソケット ５ｃ・・・・・・・・・ソケットのローラ６・・・・・
・・・・コイルばね ９Ｌ、９Ｒ・・・・・・・・・ドライブシャフト１０・
・・・・・・・・ファイナルギヤ１２Ａ・・・・・・・
・・モータ １２Ｂ・・・・・・・・・減速歯車 １３・・・・・・・・・ファイナルピニオン１６Ｌ、１
６Ｒ１１７Ｌ、１７Ｒ ・・・・・・・・・傘歯車 １８Ｌ、１８Ｒ・・・・・・・・・フィンガシャフト１
９Ｌ、１９Ｒ・・・・・・・・・フィンガ２０Ｌ、２０
Ｒ・・・・・・・・・把持部２１Ｌ、２１Ｒ，２２Ｌ、
２２Ｒ ・・・・・・・・・センサ ３７・・・・・・・・・把持部移動機構３８・・・・・
・・・・回転軸 ３９・・・・・・・・・リンク装置 ４０．４１・・・・・・・・・アーム ４２・・・・・・・・・ボールねし ４７・・・・・・・・・カセット ４７ａ・・・・・・・・・カセットのつば４８・・・・
・・・・・載置台 ４８ａ・・・・・・・・・突起 Ｗ・・申０・・・・ウェハ である。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被把持体係合手段に係合された被把持体を、把持装
   置を用いて把持するに際し、 前記被把持体を、前記の係合を維持した儘、把持手段で
   把持する把持工程と、 前記の係合を解除して前記被把持体と前記被把持体係合
   手段とを空間的に離間させる係合解除工程と、 前記の係合解除と同時又はそれ以降に、前記把持手段を
   構成する対の把持部を所定の位置関係に位置させて前記
   被把持体の位置を前記把持装置の所定の位置に整合させ
   る位置整合工程とを有する、被把持体の把持方法。 ２、被把持体係合手段に係合された被把持体を把持する
   、被把持体の把持装置において、 前記被把持体を把持するための把持手段と、この把持手
   段を構成する対の把持部で前記被把持体を把持させるた
   めの対の把持部駆動軸と、この対の把持部駆動軸のうち
   のいずれか一方の把持部駆動軸のみを駆動可能にする差
   動機構と、 前記対の把持部を所定の位置関係に位置させて前記被把
   持体の位置を前記把持装置の所定の位置に整合させるた
   めの位置整合手段と、 前記把持手段を移動させるための移動手段とを有するこ
   とを特徴とする、被把持体の把持装置。