CN215869331U - 一种晶圆再生用表层膜剥离装置 - Google Patents
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Abstract
本实用新型涉及半导体技术领域，且公开了一种晶圆再生用表层膜剥离装置，包括主机，所述主机的顶部铰接有防护盖，所述主机的顶部设置有工作盘，所述主机通过连杆连接有固定框，所述固定框的左侧与防护盖右侧固定连接，所述固定框通过轴承连接有丝杆。该晶圆再生用表层膜剥离装置，通过主机、工作盘、防护盖、固定框、轴承、丝杆、定位杆、移动板、真空吸盘、伺服电机、主齿轮、从齿轮、连通槽、抽气管、微型气泵、通槽、固定轴、扭簧和挡板之间的相互配合，达到了便于晶圆上下料，降低晶圆表面沾染灰尘杂质概率的效果，解决了现有晶圆撕膜机上下料不便，在开盖取晶圆的过程中，晶圆表面易沾染灰尘杂质的问题。
Description
技术领域
本实用新型涉及半导体技术领域，具体为一种晶圆再生用表层膜剥离装置。
背景技术
晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，目前国内晶圆生产线以八英寸和十二英寸为主，晶圆的电路面称为正面，而另外一面则为背面，晶圆在加工过程中，为了保护晶圆需要在其背面贴一层薄膜进行固定，但在加工完成后，又需要通过揭膜设备将这层薄膜撕去，这种揭膜设备被称为晶圆撕膜机。
现在市场上常见的晶圆撕膜机多为半自动撕膜机，在进行上料和卸料时，需要先打开设备的防护盖，再手动对晶圆进行上下料，这种开盖手动上下料的方式不仅操作繁琐，而且在开盖取出晶圆的过程中，很容易导致晶圆表面沾染上杂质灰尘，影响晶圆的品质。
实用新型内容
(一)解决的技术问题
针对现有技术的不足，本实用新型提供了一种晶圆再生用表层膜剥离装置，具备便于晶圆上下料，降低晶圆表面沾染灰尘杂质概率的优点，解决了现有晶圆撕膜机上下料不便，在开盖取晶圆的过程中，晶圆表面易沾染灰尘杂质的问题。
(二)技术方案
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种晶圆再生用表层膜剥离装置，包括主机，所述主机的顶部铰接有防护盖，所述主机的顶部设置有工作盘，所述主机通过连杆连接有固定框，所述固定框的左侧与防护盖右侧固定连接，所述固定框通过轴承连接有丝杆，所述丝杆的右端固定连接有定位杆，所述丝杆的侧表面螺纹连接有移动板，所述移动板与固定框的内部活动连接，所述移动板的底部固定连接有真空吸盘，所述固定框的右侧固定连接有固定盒，所述固定盒的右侧固定连接有伺服电机。
所述伺服电机转动轴的侧表面连接有主齿轮，所述丝杆的侧表面固定套接有从齿轮，所述主齿轮与从齿轮啮合，所述移动板的内部开设有连通槽，所述连通槽的内部固定连接有抽气管，所述主机的右侧固定连接有微型气泵，所述微型气泵通过导管与抽气管连接，所述防护盖右侧的内壁开设有通槽，所述移动板位于通槽的内部，所述防护盖右侧的内壁固定连接有固定轴，所述固定轴通过扭簧连接有挡板。
优选的，所述连杆的左端与防护盖的右侧固定连接，所述连杆的右端与固定框的顶部固定连接。
优选的，所述固定框的内部开设有轴承槽，所述轴承与轴承槽的内部固定连接，所述丝杆的侧表面与轴承的内部固定连接。
优选的，所述移动板的内部开设有第一螺纹槽和第二螺纹槽，所述丝杆的侧表面与第一螺纹槽的内部螺纹连接，所述定位杆的侧表面与第二螺纹槽的内部螺纹连接。
优选的，所述伺服电机转动轴的左端贯穿固定盒的右侧并延伸至固定盒的内部，且伺服电机转动轴位于固定盒内部的一端与主齿轮的内部固定连接。
优选的，所述固定框前后两侧的内壁均活动连接有导轮，所述移动板的前后两侧均开设有导槽，所述导轮的侧表面与导槽的内部活动连接。
与现有技术相比，本实用新型提供了一种晶圆再生用表层膜剥离装置，具备以下有益效果：
1、该晶圆再生用表层膜剥离装置，通过主机、工作盘、防护盖、固定框、轴承、丝杆、定位杆、移动板、真空吸盘、伺服电机、主齿轮、从齿轮、连通槽、抽气管、微型气泵、通槽、固定轴、扭簧和挡板之间的相互配合，达到了便于晶圆上下料，降低晶圆表面沾染灰尘杂质概率的效果，解决了现有晶圆撕膜机上下料不便，在开盖取晶圆的过程中，晶圆表面易沾染灰尘杂质的问题。
2、该晶圆再生用表层膜剥离装置，通过固定框、轴承、丝杆、定位杆、移动板、第一螺纹槽和第二螺纹槽之间的相互配合，定位杆的直径略大于丝杆的直径，当定位杆的右端与与第一螺纹槽右侧内壁抵持时，真空吸盘位于工作盘的正上方，达到了便于定位真空吸盘的效果，解决了移动板偏移，导致真空吸盘难以与晶圆对准的问题。
附图说明
图1为本实用新型局部剖视图；
图2为本实用新型图1中A处放大图；
图3为本实用新型图1中B处放大图；
图4为本实用新型移动板结构示意图；
图5为本实用新型固定框结构示意图。
其中：1、主机；2、工作盘；3、防护盖；4、固定框；5、轴承；6、丝杆；7、定位杆；8、移动板；9、第一螺纹槽；10、第二螺纹槽；11、真空吸盘；12、伺服电机；13、主齿轮；14、从齿轮；15、连通槽；16、抽气管；17、微型气泵；18、导管；19、导轮；20、导槽；21、通槽；22、固定轴；23、扭簧；24、挡板。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-5，一种晶圆再生用表层膜剥离装置，包括主机1，主机1为晶圆撕膜机，该撕膜机为半自动撕膜机，主机1的顶部铰接有防护盖3，主机1的顶部设置有工作盘2，工作盘2表面开设有多个吸孔，当晶圆放置在工作盘2上后，晶圆会被吸附在工作盘2的顶部，主机1通过连杆连接有固定框4，连杆的左端与防护盖3的右侧固定连接，连杆的右端与固定框4的顶部固定连接，连杆的数量共有两个，且均以固定框4的中心线为对称轴对称分布，固定框4的左侧与防护盖3右侧固定连接，固定框4通过轴承5连接有丝杆6，固定框4的内部开设有轴承槽，轴承5与轴承槽的内部固定连接，轴承5外圈的侧表面与轴承槽的内壁固定连接，丝杆6的侧表面与轴承5的内部固定连接，丝杆6的侧表面与轴承5内圈的内壁固定连接。
丝杆6的右端固定连接有定位杆7，丝杆6的侧表面螺纹连接有移动板8，移动板8的内部开设有第一螺纹槽9和第二螺纹槽10，丝杆6的侧表面与第一螺纹槽9的内部螺纹连接，丝杆6的侧表面与第二螺纹槽10的内部活动连接，定位杆7的侧表面与第二螺纹槽10的内部螺纹连接，通过固定框4、轴承5、丝杆6、定位杆7、移动板8、第一螺纹槽9和第二螺纹槽10之间的相互配合，定位杆7的直径略大于丝杆6的直径，当定位杆7的右端与与第一螺纹槽9右侧内壁抵持时，真空吸盘11位于工作盘2的正上方，达到了便于定位真空吸盘11的效果，解决了移动板8偏移，导致真空吸盘11难以与晶圆对准的问题，移动板8与固定框4的内部活动连接，固定框4前后两侧的内壁均活动连接有导轮19，移动板8的前后两侧均开设有导槽20，导轮19的侧表面与导槽20的内部活动连接，移动板8的底部固定连接有真空吸盘11，真空吸盘11的底部吸附有晶圆，固定框4的右侧固定连接有固定盒，固定盒的右侧固定连接有伺服电机12。
伺服电机12转动轴的侧表面连接有主齿轮13，伺服电机12转动轴的左端贯穿固定盒的右侧并延伸至固定盒的内部，且伺服电机12转动轴位于固定盒内部的一端与主齿轮13的内部固定连接，丝杆6的侧表面固定套接有从齿轮14，主齿轮13与从齿轮14啮合，主齿轮13余从齿轮14均位于固定盒的内部，移动板8的内部开设有连通槽15，连通槽15的内部与真空吸盘11的内部连通，连通槽15的内部固定连接有抽气管16，主机1的右侧固定连接有微型气泵17，微型气泵17通过导管18与抽气管16连接。
防护盖3右侧的内壁开设有通槽21，移动板8位于通槽21的内部，移动板8可在通槽21的内部移动，防护盖3右侧的内壁固定连接有固定轴22，固定轴22通过扭簧23连接有挡板24，在移动板8退出防护盖3后，挡板24的右侧会在扭簧23的作用下将通槽21堵死，以防止外部灰尘进入防护盖3内部，通过主机1、工作盘2、防护盖3、固定框4、轴承5、丝杆6、定位杆7、移动板8、真空吸盘11、伺服电机12、主齿轮13、从齿轮14、连通槽15、抽气管16、微型气泵17、通槽21、固定轴22、扭簧23和挡板24之间的相互配合，达到了便于晶圆上下料，降低晶圆表面沾染灰尘杂质概率的效果，解决了现有晶圆撕膜机上下料不便，在开盖取晶圆的过程中，晶圆表面易沾染灰尘杂质的问题。
在使用时，先将晶圆放置于真空吸盘11正下方，晶圆正面朝上，背面朝下，打开微型气泵17，将晶圆吸附在真空吸盘11底部，再打开伺服电机12，通过伺服电机12带动丝杆6顺时针转动，当丝杆6转动后，移动板8会被迫左移，直至定位杆7的右端与第一螺纹槽9右侧的内壁抵持，此时，真空吸盘11位于工作盘2的正上方，两者圆心对齐，然后关闭微型气泵17，此时工作盘2将晶圆吸附在其顶部，接着通过伺服电机12控制移动板8右移，直至移动板8完全与防护盖3脱离，之后，待晶圆完成撕膜过程，再次通过伺服电机12控制移动板8左移，将真空吸盘11移至晶圆正上方，打开微型气泵17，将晶圆吸附在真空吸盘11底部，最后控制移动板8右移，便可将晶圆从主机1内取出。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (6)
1.一种晶圆再生用表层膜剥离装置，包括主机(1)，其特征在于：所述主机(1)的顶部铰接有防护盖(3)，所述主机(1)的顶部设置有工作盘(2)，所述主机(1)通过连杆连接有固定框(4)，所述固定框(4)的左侧与防护盖(3)右侧固定连接，所述固定框(4)通过轴承(5)连接有丝杆(6)，所述丝杆(6)的右端固定连接有定位杆(7)，所述丝杆(6)的侧表面螺纹连接有移动板(8)，所述移动板(8)与固定框(4)的内部活动连接，所述移动板(8)的底部固定连接有真空吸盘(11)，所述固定框(4)的右侧固定连接有固定盒，所述固定盒的右侧固定连接有伺服电机(12)；
所述伺服电机(12)转动轴的侧表面连接有主齿轮(13)，所述丝杆(6)的侧表面固定套接有从齿轮(14)，所述主齿轮(13)与从齿轮(14)啮合，所述移动板(8)的内部开设有连通槽(15)，所述连通槽(15)的内部固定连接有抽气管(16)，所述主机(1)的右侧固定连接有微型气泵(17)，所述微型气泵(17)通过导管(18)与抽气管(16)连接，所述防护盖(3)右侧的内壁开设有通槽(21)，所述移动板(8)位于通槽(21)的内部，所述防护盖(3)右侧的内壁固定连接有固定轴(22)，所述固定轴(22)通过扭簧(23)连接有挡板(24)。
2.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用表层膜剥离装置，其特征在于：所述连杆的左端与防护盖(3)的右侧固定连接，所述连杆的右端与固定框(4)的顶部固定连接。
3.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用表层膜剥离装置，其特征在于：所述固定框(4)的内部开设有轴承槽，所述轴承(5)与轴承槽的内部固定连接，所述丝杆(6)的侧表面与轴承(5)的内部固定连接。
4.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用表层膜剥离装置，其特征在于：所述移动板(8)的内部开设有第一螺纹槽(9)和第二螺纹槽(10)，所述丝杆(6)的侧表面与第一螺纹槽(9)的内部螺纹连接，所述定位杆(7)的侧表面与第二螺纹槽(10)的内部螺纹连接。
5.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用表层膜剥离装置，其特征在于：所述伺服电机(12)转动轴的左端贯穿固定盒的右侧并延伸至固定盒的内部，且伺服电机(12)转动轴位于固定盒内部的一端与主齿轮(13)的内部固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种晶圆再生用表层膜剥离装置，其特征在于：所述固定框(4)前后两侧的内壁均活动连接有导轮(19)，所述移动板(8)的前后两侧均开设有导槽(20)，所述导轮(19)的侧表面与导槽(20)的内部活动连接。
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