CN215547346U - 一种半导体配件的平磨加工工装 - Google Patents
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Abstract
本实用新型公开了一种半导体配件的平磨加工工装，包括工作台，所述工作台的上表面固定安装有安装架，所述安装架的内部设置有升降机构，所述工作台的上端内部设置有打磨机构，所述升降机构的内部设置有固定机构，所述工作台的下端内部设置有去屑降温机构，通过设置升降机构、打磨机构和固定机构，使得此装置只需通过伺服电机工作，就能够带动打磨盘和工件放置板进行相反方向的转动，提高了工件的平磨效率，实用性高，通过设置的去屑降温机构，能够对平磨过程中产生的灰尘和碎屑进行清理，避免碎屑残留在工件上划伤工件，从而提高了成品率，降低了成本损失，同时能够对水资源进行循环利用，降低了加工成本。
Description
技术领域
本实用新型属于半导体配件加工技术领域，具体涉及一种半导体配件的平磨加工工装。
背景技术
平面研磨机是用涂上或嵌入磨料的研具对工件表面进行研磨的磨床，主要用于研磨工件中的高精度平面、内外圆柱面、圆锥面、球面、螺纹面和其他型面，用于材料的单面研磨、抛光，平面研磨机广泛用于LED蓝宝石衬底、光学玻璃晶片、石英晶片、硅片、诸片、模具、导光板、光扦接头等各种材料的单面研磨、抛光。
现有的半导体配件在平磨加工时，需要多个动力源来使得打磨盘和工件安装板进行相反方向的旋转，此方式虽然工作效率较高，但使用成本也高，实用性较差，为此我们提出一种半导体配件的平磨加工工装。
实用新型内容
本实用新型的目的在于提供一种半导体配件的平磨加工工装，以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种半导体配件的平磨加工工装，包括工作台，所述工作台的上表面固定安装有安装架，所述安装架的内部设置有升降机构，所述工作台的上端内部设置有打磨机构，所述升降机构的内部设置有固定机构，所述工作台的下端内部设置有去屑降温机构。
优选的，所述升降机构包括电动伸缩杆，所述电动伸缩杆固定安装在安装架的上表面，所述电动伸缩杆的伸缩端贯穿安装架的上端并固定连接有升降板，所述升降板的下端内部活动连接有转杆，且转杆设置有三个，中间所述转杆的下端固定连接有工件放置板，右边所述转杆的下端固定连接有第一限位轮，所述第一限位轮通过环形齿条与工件放置板的右端啮合连接。
优选的，所述打磨机构包括伺服电机，所述伺服电机通过电机箱固定安装在工作台的内顶壁，所述伺服电机的动力输出端通过联轴器传动连接有转轴，所述转轴的上方表面设置有第一主动轮，所述第一主动轮的右端通过环形齿条啮合连接有打磨盘，所述打磨盘下端通过转杆与工作台活动连接，所述打磨盘的右端通过环形齿条啮合连接有第二限位轮，且第二限位轮的下端通过转杆与工作台的上端内部活动连接，所述转轴的上端固定连接有第二主动轮，所述第二主动轮的右端啮合连接有从动轮，所述从动轮的上表面与升降板的左侧所述转杆固定连接，所述从动轮的右端通过环形齿条与工件放置板啮合连接。
优选的，所述工作台和升降板内部均固定安装有轴承，所述转轴和两个下端所述转杆均通过轴承与工作台的上端内部转动连接，三个上端所述转杆均通过轴承与升降板内部转动连接。
优选的，所述固定机构包括螺杆，所述螺杆前后对称设置有两个，两个所述螺杆分别螺纹连接在工件放置板的前后两端内部，两个所述螺杆的内端均固定连接有限位板，两个所述限位板之间夹持有加工件，且加工件的下表面与打磨盘的上表面紧密接触，两个所述螺杆的外端均贯穿工件放置板并延伸至外界，两个所述螺杆的外端均固定连接有旋钮。
优选的，所述去屑降温机构包括水箱和水泵，所述水箱和水泵均安装在工作台的内部，且水泵设置在水箱的前端，所述水箱的前端通过连通管与水泵相连接，所述水泵的上端固定连接有水管，所述水管的上端贯穿工作台的上端并固定连接有喷嘴，所述喷嘴的喷头朝向打磨盘与加工件的相接处。
优选的，所述工作台的上端开设有通槽，且通槽的下端固定安装有导流板，所述水箱设置在导流板的正下方，所述水箱的内部设置有过滤网。
与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：
(1)、该半导体配件的平磨加工工装，通过设置升降机构、打磨机构和固定机构，使得此装置只需通过伺服电机工作，就能够带动打磨盘和工件放置板进行相反方向的转动，提高了工件的平磨效率，实用性高。
(2)、该半导体配件的平磨加工工装，通过设置的去屑降温机构，能够对平磨过程中产生的灰尘和碎屑进行清理，避免碎屑残留在工件上划伤工件，从而提高了成品率，降低了成本损失，同时能够对水资源进行循环利用，降低了加工成本。
附图说明
图1为本实用新型的立体结构示意图；
图2为本实用新型的正剖视图；
图3为本实用新型的右剖视图；
图4为本实用新型的图3中A处的结构放大图。
图中：1、工作台；2、安装架；3、升降机构；301、电动伸缩杆；302、升降板；303、转杆；304、工件放置板；4、打磨机构；401、伺服电机；402、转轴；403、第一主动轮；404、打磨盘；405、第二主动轮；406、从动轮；5、固定机构；501、螺杆；502、限位板；503、旋钮；6、去屑降温机构；601、水箱；602、水泵；603、水管；604、喷嘴；7、第一限位轮；8、第二限位轮。
具体实施方式
下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1－图4，本实用新型提供一种半导体配件的平磨加工工装，包括工作台1，工作台1的上表面固定安装有安装架2，安装架2的内部设置有升降机构3，工作台1的上端内部设置有打磨机构4，升降机构3的内部设置有固定机构5，工作台1的下端内部设置有去屑降温机构6。
本实施例中，优选的，升降机构3包括电动伸缩杆301，电动伸缩杆301固定安装在安装架2的上表面，电动伸缩杆301的伸缩端贯穿安装架2的上端并固定连接有升降板302，升降板302的下端内部活动连接有转杆303，且转杆303设置有三个，中间转杆303的下端固定连接有工件放置板304，右边转杆303的下端固定连接有第一限位轮7，第一限位轮7通过环形齿条与工件放置板304的右端啮合连接，开启电动伸缩杆301，电动伸缩杆301带动升降板302垂直移动，从而带动工件放置板304垂直移动，继而便于后续的打磨工作，第一限位轮7的设置，能够对工件放置板304进行限定，避免工件放置板304转动过程中发生偏移影响打磨效率和打磨质量，从而提高了打磨时的稳定性。
本实施例中，优选的，打磨机构4包括伺服电机401，伺服电机401通过电机箱固定安装在工作台1的内顶壁，伺服电机401的动力输出端通过联轴器传动连接有转轴402，转轴402的上方表面设置有第一主动轮403，第一主动轮403的右端通过环形齿条啮合连接有打磨盘404，打磨盘404下端通过转杆303与工作台1活动连接，打磨盘404的右端通过环形齿条啮合连接有第二限位轮8，且第二限位轮8的下端通过转杆303与工作台1的上端内部活动连接，转轴402的上端固定连接有第二主动轮405，第二主动轮405的右端啮合连接有从动轮406，从动轮406的上表面与升降板302的左侧转杆303固定连接，从动轮406的右端通过环形齿条与工件放置板304啮合连接，开启伺服电机401，伺服电机401带动转轴402、第一主动轮403和第二主动轮405顺时针转动，第一主动轮403顺时针转动能够带动打磨盘404逆时针转动，继而能够进行打磨工作，第二主动轮405顺时针转动能够带动从动轮406逆时针转动，继而带动工件放置板304顺时针转动，通过打磨盘404和工件放置板304相反方向的旋转，能够加快打磨速度，提高了整体的打磨效率。
本实施例中，优选的，工作台1和升降板302内部均固定安装有轴承，转轴402和两个下端转杆303均通过轴承与工作台1的上端内部转动连接，三个上端转杆303均通过轴承与升降板302内部转动连接，轴承的设置，能够对转杆303和转轴402起到限位固定的作用，且由于轴承自身的特性，使得转杆303和转轴402转动更加顺畅，避免转杆303和转轴402发生卡顿影响使用。
本实施例中，优选的，固定机构5包括螺杆501，螺杆501前后对称设置有两个，两个螺杆501分别螺纹连接在工件放置板304的前后两端内部，两个螺杆501的内端均固定连接有限位板502，两个限位板502之间夹持有加工件，且加工件的下表面与打磨盘404的上表面紧密接触，两个螺杆501的外端均贯穿工件放置板304并延伸至外界，两个螺杆501的外端均固定连接有旋钮503，旋转旋钮503，旋钮503带动螺杆501转动，从而使得两个螺杆501向工件放置板304内部移动，继而带动两个限位板502相向移动，进而将加工件固定在工件放置板304的内部。
本实施例中，优选的，去屑降温机构6包括水箱601和水泵602，水箱601和水泵602均安装在工作台1的内部，且水泵602设置在水箱601的前端，水箱601的前端通过连通管与水泵602相连接，水泵602的上端固定连接有水管603，水管603的上端贯穿工作台1的上端并固定连接有喷嘴604，喷嘴604的喷头朝向打磨盘404与加工件的相接处，首先在水箱601内部加入清水，开启水泵602，水泵602将水箱601内的水通过水管603输送至喷嘴604处，从而通过喷嘴604将水喷洒在打磨盘404与加工件的相接处，继而对加工件进行降温，避免稳定过高导致加工件损坏，且能够将打磨时产生的灰尘和碎屑冲走，避免碎屑残留在加工件上导致加工件发生划伤，从而提高了成品率，降低了成本损失。
本实施例中，优选的，工作台1的上端开设有通槽，且通槽的下端固定安装有导流板，水箱601设置在导流板的正下方，水箱601的内部设置有过滤网，通槽和导流板的设置，能够将废水导流至水箱601内部，过滤网的设置，能够对废水中的杂质进行过滤，从而使得水能够循环利用。
本实用新型的工作原理及使用流程：该装置使用时，首先将水箱601内部加入清水，接着将加工件放入工件放置板304内部，旋转旋钮503，旋钮503带动螺杆501转动，从而使得两个螺杆501向工件放置板304内部移动，继而带动两个限位板502相向移动，进而将加工件固定在工件放置板304的内部，开启电动伸缩杆301，电动伸缩杆301带动升降板302、工件放置板304和从动轮406向下移动，使得加工件的下表面与打磨盘404的上表面接触，此时从动轮406也与第二主动轮405啮合，开启伺服电机401和水泵602，伺服电机401带动转轴402、第一主动轮403和第二主动轮405顺时针转动，第一主动轮403顺时针转动能够带动打磨盘404逆时针转动，继而能够进行打磨工作，第二主动轮405顺时针转动能够带动从动轮406逆时针转动，继而带动工件放置板304顺时针转动，通过打磨盘404和工件放置板304相反方向的旋转，能够加快打磨速度，提高了整体的打磨效率，水泵602将水箱601内的水通过水管603输送至喷嘴604处，从而通过喷嘴604将水喷洒在打磨盘404与加工件的相接处，继而对加工件进行降温，避免稳定过高导致加工件损坏，且能够将打磨时产生的灰尘和碎屑冲走，避免碎屑残留在加工件上导致加工件发生划伤，打磨结束后，关闭伺服电机401，开启电动伸缩杆301，使得电动伸缩杆301带动升降板302和工件放置板304向上移动，此时能够将成品从工件放置板304内部取出。
尽管已经示出和描述了本实用新型的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本实用新型的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本实用新型的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (7)
1.一种半导体配件的平磨加工工装，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)的上表面固定安装有安装架(2)，所述安装架(2)的内部设置有升降机构(3)，所述工作台(1)的上端内部设置有打磨机构(4)，所述升降机构(3)的内部设置有固定机构(5)，所述工作台(1)的下端内部设置有去屑降温机构(6)。
2.根据权利要求1所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于：所述升降机构(3)包括电动伸缩杆(301)，所述电动伸缩杆(301)固定安装在安装架(2)的上表面，所述电动伸缩杆(301)的伸缩端贯穿安装架(2)的上端并固定连接有升降板(302)，所述升降板(302)的下端内部活动连接有转杆(303)，且转杆(303)设置有三个，中间所述转杆(303)的下端固定连接有工件放置板(304)，右边所述转杆(303)的下端固定连接有第一限位轮(7)，所述第一限位轮(7)通过环形齿条与工件放置板(304)的右端啮合连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于：所述打磨机构(4)包括伺服电机(401)，所述伺服电机(401)通过电机箱固定安装在工作台(1)的内顶壁，所述伺服电机(401)的动力输出端通过联轴器传动连接有转轴(402)，所述转轴(402)的上方表面设置有第一主动轮(403)，所述第一主动轮(403)的右端通过环形齿条啮合连接有打磨盘(404)，所述打磨盘(404)下端通过转杆(303)与工作台(1)活动连接，所述打磨盘(404)的右端通过环形齿条啮合连接有第二限位轮(8)，且第二限位轮(8)的下端通过转杆(303)与工作台(1)的上端内部活动连接，所述转轴(402)的上端固定连接有第二主动轮(405)，所述第二主动轮(405)的右端啮合连接有从动轮(406)，所述从动轮(406)的上表面与升降板(302)的左侧所述转杆(303)固定连接，所述从动轮(406)的右端通过环形齿条与工件放置板(304)啮合连接。
4.根据权利要求3所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于：所述工作台(1)和升降板(302)内部均固定安装有轴承，所述转轴(402)和两个下端所述转杆(303)均通过轴承与工作台(1)的上端内部转动连接，三个上端所述转杆(303)均通过轴承与升降板(302)内部转动连接。
5.根据权利要求3所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于：所述固定机构(5)包括螺杆(501)，所述螺杆(501)前后对称设置有两个，两个所述螺杆(501)分别螺纹连接在工件放置板(304)的前后两端内部，两个所述螺杆(501)的内端均固定连接有限位板(502)，两个所述限位板(502)之间夹持有加工件，且加工件的下表面与打磨盘(404)的上表面紧密接触，两个所述螺杆(501)的外端均贯穿工件放置板(304)并延伸至外界，两个所述螺杆(501)的外端均固定连接有旋钮(503)。
6.根据权利要求5所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于：所述去屑降温机构(6)包括水箱(601)和水泵(602)，所述水箱(601)和水泵(602)均安装在工作台(1)的内部，且水泵(602)设置在水箱(601)的前端，所述水箱(601)的前端通过连通管与水泵(602)相连接，所述水泵(602)的上端固定连接有水管(603)，所述水管(603)的上端贯穿工作台(1)的上端并固定连接有喷嘴(604)，所述喷嘴(604)的喷头朝向打磨盘(404)与加工件的相接处。
7.根据权利要求6所述的一种半导体配件的平磨加工工装，其特征在于：所述工作台(1)的上端开设有通槽，且通槽的下端固定安装有导流板，所述水箱(601)设置在导流板的正下方，所述水箱(601)的内部设置有过滤网。
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