JPS6020320A - 真空蒸着による磁気テ−プ製作装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 この発明は、真空蒸着によりテープの表面に磁化膜等の
薄膜を形成して、磁気テープを製作する方法に関するも
のである。

画像処理や情報処理の分野で記録媒体として磁気テープ
が多用されるに伴い、その製造技術の開発や実用化が進
められている。現在用心）られている磁気テープは、高
分子フィルム等、非磁性材料からなるテープの表面に直
接または下地膜を介して、磁性金属の薄膜（磁化膜）を
形成したものであり、この場合磁化膜を形成する手段と
してスパッタリング法や真空蒸着法が使用される。この
うち、スパッタリング法は、生産性が低いため、工業的
に量産するのに幾つかの問題点を残しているが、他方の
真空蒸着法は、生産性に優れ、工業生産に適した方法と
して注目されている。　ところでテープの表面に磁性金
属等を蒸着するに当たっては、テープに蒸着材料が凝着
しやすい表面状態を得ることを主な目的として、蒸着前
にその表面を処理することが行われており、この場合の
処理手段として一般に真空放電によるイオンエツチング
が採用されている。ところがテープは長いものであるか
ら、１組のドラムの間でテープを巻き替えながらその間
で上記表面処理や蒸着等の処理を行う必要があるが、上
記表面処理と真空蒸着にそれぞれ必要とされる真空度に
相違があるため、テープの取り扱いに様々な問題を生じ
る。

この点をより具体的に説明すると、蒸着においては、蒸
着材料と被蒸着面との間の距離が、分子の平均自由行路
に比べて充分小さくなる程度の真空度が必要であり、特
にこの真空度が磁気テープの品質にも影響を与えること
から、通常は１０’　Ｔｏｒｒ程度の高真空雰囲気の中
で蒸着を行う必要がある。これに対し、イオンエツチン
グによる表面処理の場合は、電極の間で真空放電（一般
にグロー放電）を起こす必要があることから、１０”２
Ｔｏｒｒ程度の真空度が必要となる。

このため従来では、表面処理と蒸着に必要な真空度を得
るため、それぞれ別個のチャンバを用意し、一方のチャ
ンバでテープの表面処理を行った後、その中からテープ
を取り出して他方のチャンバへ移し、ここで蒸着を行う
という手順が採られていた。

しかしながら、２つのチャンバの間でテープを移動させ
る場合は、その都度各チャンバを減圧して、大気圧に戻
したりしなければならず、多くの時間と手数を必要とす
る。そればかりか表面処理によって折角清浄にしたテー
プの表面を蒸着前に大気中に晒すことによって再び汚染
させることにもなる。また、テープの巻き込み、巻き戻
しを繰り返すことによって、テープの品質に悪い影響を
与えることが考えられる。

この発明は、従来の蒸着テープ製作手段における上記の
ような問題点を解消せんとしてなされたものであって、
テープの表面処理から真空蒸着による磁化膜等の形成に
至るまでをチャンバの真空状態を破らずに一貫して処理
することができるようにし、もって磁気テープ製作の簡
易化とその品質の向上を図ったものである。以下、この
発明の構成を図示の実施例に基づき、詳細に説明する。

第１図で示すように、この発明では、真空蒸着に必要な
高い真空度に減圧するチャンバを主チャンバｌとし、こ
の中に副チャンバ２を収め、同側チャンバ２の中を電極
間で真空放電を発生させるに必要な真空度に減圧する。

具体的には主チャンバ１を１０’　Ｔｏｒｒ程度に、そ
の中の副チャンバ２を１０’　Ｔｏｒｒ程度の真空度と
す。

副チャンバ２は、テープａが通過するごとができるに充
分かつ最小限の幅と長さを持った細い通孔を６を介して
主チャンバ１と通じており、その中には、ドラム３を装
着する支軸４と放電手段が設けられている。第２図で示
すように、図示の放電手段は、筒形の放電管５の両端に
一対の電極を対向させたもので、この間に所要の電圧を
加えることによって真空放電が起こり、荷電粒子が一方
の電極７から他方の電極８へ向けて放出される。この放
電管５の側面には、テープａを挿通するため縦に細長い
一対の通孔９゜９が開設されている。

一方、主チャンバ１にあって、副チャンバ２の外側には
、冷却ドラム１０．ドラム３を装着できる支軸１１並び
に蒸着手段が収められており、副チャンバ２から引き出
されたテープａが冷却ドラムに添えられ、ここで蒸着が
行われた後、ドラム３に巻き取られる。図示の場合、蒸
着手段は２つあり、一方はテープａの表面に磁性金属か
らなる蒸着材料すを蒸着してテープａの表面に磁化膜を
形成するためのもので、他方はこうして形成された磁化
膜に樹脂等のコーティングを施すものである。

前者の蒸着手段は、蒸着材料すを収納する坩堝１３と、
同蒸着材料すに電子線を照射する電子線照射手段とから
なっており、電子線照射手段は電子線を発生させる電子
銃１２と、発生した電子線を蒸着材料に案内照射させる
電磁偏向手段（図示せず）を含んでいる。上記坩堝１３
と冷却ドラムＩＯの間には、細いスリット１４を開設し
たマスク２０が配置されており、蒸着材料すを加熱蒸発
することによって発生した蒸発気流が、上記マスク２０
によって規制され、テープａに対して一定の入射角を持
つ成分のみがスリッ目４を通ってテープａの表面に入射
する。

一方、後者の蒸着手段は、樹脂等のコーティング素材を
収納した坩堝１５と、同素材を加メ：ハ蒸発させるため
のヒータ１６を含んでおり、この場合もまた坩堝１５か
細いスリット１７を介して冷却ドラム１０側に臨んでい
る。

この装置において磁気テープを製作する場合は、１組の
ドラム３．３を支軸４．１１に装着すると共に、主チャ
ンバ１と副チャンバ２をそれぞれ所定の真空度に減圧し
、それぞれの雰囲気の中で一方のドラム３から繰り出し
たテープａを他方のドラム３で巻き取りながら、この間
でその表面処理から磁化膜の形成及び間膜のコーティン
グまでの各処理を行う。

この手順をさらに詳しく説明すると、先ず副チヤンバ２
内のドラム３から繰り出したテープ。

ａをピンチローラ１８とキャプスタン１９との間に送り
、ここで一定の送り速度を与えた後、通孔９．９を通し
て放電管５の中を通過させる。この放電管５の中では、
真空放電が行われ、一方の電極７から他方の電極８へ荷
電粒子が放出されるため、これによってテープａの表面
がエツチングされ、清浄でかつ蒸着材料すの蒸発気流が
凝着しやすい表面状態が作られる。

放電管５を通過したテープａは、通孔６を通って副チャ
ンバ２の外側へ引き出され、冷却ドラム１０に添えられ
る。この位置では、電子線の照射により、蒸着材料すか
ら発生した蒸発気流がスリット１４を通ってテープａの
表面に一定の角度で入射し、凝着するため、同表面に磁
化膜等の薄膜が形成される。次いで坩堝Ｉ５側からもス
リット１７を通ってコーティング素材の蒸発気流が入射
し、上記薄膜の表面にコーティングが施される。こうし
て順次処理されたテープａは、他方のドラム３に巻き取
られる。

この発明による装置では、テープａが一方のドラム３か
ら他方のドラム３へ巻き取られる間に、必要な処理を一
貫して行うことができるので、この間テープａを巻き直
したり、ドラム３゜３の取り付け、取り外しをする必要
がない。このため、チャンバの減圧、真空の破壊、ドラ
ムの着脱、テープａの巻き込み、巻き戻し等に伴う手数
や時間が大幅に省かれると同時に、これらによって生し
るテープの品質低下を防止することができ、品質のよい
磁気テープを簡易に製作することができるようになる。

【図面の簡単な説明】

第１図は、この発明の一実施例を示す断面説明図、第２
図は、その要部断面説明図である。 トー主チャンバ　２−副チャンバー ３−　ドラム　４．１１−支軸 ５−放電管　１２−電子銃 １３−坩堝　ａ−・テープ ｂ　−蒸着材料 第１頁の続き ■出　願　人　株式会社エイコーエンジニアリング 水戸市酒門町字千束４２５４番地の

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、真空雰囲気としたチャンバの中でテープ表面に磁性
   金属等の蒸着材料を蒸着させて磁化膜を形成するように
   した磁気テープ製作装置において、真空蒸着に必要な真
   空雰囲気を形成する上記チャンバを主チャンバとし、こ
   の中に一方のドラムから他方のドラムへ向けて一定の径
   路に沿ってフィルムを走行させる手段と、真空放電に必
   要な真空雰囲気を形成する副チャンバを設け、この副チ
   ャンバの中に真空放電によるテープの表面処理手段を、
   その外側に蒸着手段をそれぞれ設け、一方のドラムから
   他方のドラムへ曲りで走行する上記テープを、その間に
   おいて上記表面処理手段と蒸着手段に順次通過させてそ
   れぞれの処理を行うようにしたことを特徴とする真空蒸
   着による磁気テープ製作装置。 ２、表面処理手段が、テープをその中に挿通できるよう
   にした放電管からなる特許請求の範囲第１項記載の磁気
   テープ製作装置。