JPS60195406A - 走査モアレ法による2次元ひずみ計測法 - Google Patents

走査モアレ法による2次元ひずみ計測法

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JPS60195406A
JPS60195406A JP5248084A JP5248084A JPS60195406A JP S60195406 A JPS60195406 A JP S60195406A JP 5248084 A JP5248084 A JP 5248084A JP 5248084 A JP5248084 A JP 5248084A JP S60195406 A JPS60195406 A JP S60195406A
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Osaka University NUC
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    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/16Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge
    • G01B11/165Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring the deformation in a solid, e.g. optical strain gauge by means of a grating deformed by the object

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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、モアレ法により得られたし:1:模様(モア
レパターン)から2次元のひずみ(応力および変位を含
む。)の分布を計測するための計測方法に関する。
従来のモアレ法による2次元ひずみ計測法としては、モ
デルグリッドとマスクグリッドとを使用したものが提案
されており、このような計測法では、分析すべきひずみ
のとりうる範囲が大きい試料を解析する場合には、複数
の種類のマスタグリッドを取り替えて使用しなければな
らないという問題点がある。
また、従来の計測法により直交する2方向のひずみ3− 成分を同時に計測する方法に用いられる装置は、第1図
に示すように構成されており、符号1は走査型画像入力
装置であるテレビカメラ、2は入力画像用のモニタテレ
ビ、3はその画像をアナログ的に記録するビデオテープ
レフーダを示している。
また、符号4は画像処理ユニットであり、この画像処理
ユニットは、入力画像をディジタル化して記憶するもの
で、この画像処理ユニット4には、A/D変換器、IC
画像メモリ、D/A変換器が内蔵されており、IC画像
メモリの画像をアナログ画像としても出力でき、モニタ
テレビ5で処理中および処理後の画像を観察することが
できる。
符号6はパーソナルコンピュータを示しており、符号7
〜10は、パソコンの周辺装置である。
拡張ユニット7には、RAMが増設されており、メモリ
の不足分を補っている。
ディスプレイ(CRT)8は処理メニューを表示するも
ので、ドツトプリンタ9は画像のハードコピーをとるも
ので、フロッピーディスクユニット10はディジ4− タル画像やプログラムを記憶する。
従来のしま画像解析の一例を第2図(、)〜(d)にそ
れぞれ示す。
第2図(、)に示すように、1字形容器に入った粉体の
変形を示すモアレし主のしま中心線をめ、それよりひず
み分布をめる方法を示す。なお、ここで示す図は左右対
称形状の右半分のみを示しており、圧縮は上下方向に行
なわれる。
まず、しま中心をめる手順を以下に示す。
(1)画像をCCD−TVカメラあるいはVTRにより
IC画像メモリに取り込む。
(2)その画像をフロッピーディスクに保存する。
(3)平滑化を行ない、一点ノイズを消去する。
(4)濃度分布を調べ、必要なら強調を行なう。
(5)適切な(できるだけ黒に近い)しきい値を決め二
値化を行なう。
(6)細線化を行なう。必要ならその前処理として平滑
化を行なっておく。
(7)シきい値が不適切なため、明らかにしま中心でな
5− いと判断される領域はカーソルを移動させ、その領域内
のデータを消去する。
(8)得られたしま中心線をミニフロッピーディスクに
保存する。
(9)必要に応じ、しきい値を変えて(5)に戻る。
(10) Lきい値を変えて得られたいくつがのしよ中
心を重ね合わせる。同じしま次数のしよ中心の位置が異
なる場合は、濃い濃度のしきい値によって得られたしよ
中心の方を採用する。
(11)必要に応じ、平滑化、二値化、細線化を行なう
(12) Lま密度を増加させたいならば、(2)の画
像を白黒反転させ(3)〜(11)の手続外によりしま
中心をめ、反転前にめたしよ中心と合成する。
このようにして、第2図(、)のしま画像を解析して得
られたしま中心線を第2図(b)に示す。
つぎに、第2図(b)のモアレしま中心線よりひずみ分
布をめる方法について示す。その手順は以下の通りであ
る。
(13)隣合う等変位線の間隔を読み、その開の平均ひ
6− ずみを計算し、その座標とひずみの値を記憶する。
(14)試料面」―で離散的に得られたいくつかのひず
み値により、2次元スプライン関数を用いて補間および
平滑化を行ない、得られたひずみ値を16段階の濃度値
に対応させて試料全面のひずみ分布を描く1第2図(c
)参照]。
(15)ラプラシアン処理をして境界検出を行ない、等
ひずみ線を描く[第2図(d)参照1゜(16)以」二
の処理中および処理後、必要に応じて画像をディスクに
セーブする。また、必要に応じてハードコピーを取る。
以上の処理において、一点ノイズ消去のための平滑化は
、3×3のマスクを用い、注目点の重みを0.2゜周囲
の一点の重みを0.1とするローパスフィルタを用いた
。しよ中心をめるに当って細線化を行なったが、細線と
しては一般に4連結が8連結がとられるが、ここでは、
より線の細くなる8連結とし、二値図形の8連結に対し
て最もよいといわれているヒルディッチ(Hi!dit
ch)の方法を用いた。本来のし主中心は、濃7一 度値が極大値をとる位置に存在する。しま画像を単に二
値化してから細線化すると、細線化中心と極大値の位置
がずれる恐れがある。そこで、本実施例では、二値化の
しきい値となる濃度値を数段階変えて二値化を行ない、
それらを重ね合わせ、し主中心線が異なる場所では、濃
い濃度値のしきい値で得られたしま中心線の方を採用し
た。
このようにしてめたしま中心線(すなわも等変位線)は
離散化したために一画素分程度の位置誤差を含んでいる
。このデータよりひずみ分布をめるには微分操作が入る
ため、その誤差は非常に大きくなる。誤差を含む有限個
のデータから全体のひずみ分布をめるには、ひずみ分布
を関数の形で表現し、補間、平滑化を行なう必要がある
。その手段として、多項式関数による最小自乗法がある
が、この方法により得られた関数値は振動することが多
い。そこで、これらの欠点を少なくするためスプライン
関数を用いた。そのスプライン関数の表現方法はいくつ
かあるが、ここでは、安定性のよいB−スプラインを用
い、2次元の3次間8− 数で表現した。このようにして、補間平滑化を行なった
結果、視覚的に見やすい滑らかな濃度分布として、試料
全面におけるひずみ分布を得ることができる。
また、走査モアレ法について説明すると、規則的な模様
を規則的にサンプリングしたときにも発生するモアレし
まは、エリアシングと呼ばれ、モデルグリッドをテレビ
の走査線でサンプリングする走査モアレ法の原理となっ
ている。
走査モアレ法は、モデルグリッドとサンプリングのピッ
チとの違いによって干渉じまが生じる。
このように、走査モアレ法により発生するしまは、従来
の方法によるしまと発生原理が異なり、し主の位置など
の議論は走査線をマスタグリッドに置き換えるだけで、
従来のモアレ法の議論をそのまま適用することができる
したがって、走査線と試料に描いたモデルグリッドとを
干渉させ、発生したモアレしまを画像解析することによ
り、上述とほぼ同様の手順で、試料の変形やひずみ分布
をめることができる。
9− この方法の特徴は以下の点である。
(1)マスクグリッドを作る必要がない。
(2)テレビカメラで画像を取り込むので現像処理など
が不要である。
(3)ズームレンズなどを用いれば、モデルグリッドと
走査線のピッチとを相対的に簡単に変えること(ミスマ
ツチ)ができ、解析できる変形の範囲やひずみの範囲を
変えることができる。
(4)ズームレンズを用いる代わりに、得られた1枚の
画像の走査線を画像処理によって間引くと走査線による
サンプリング間隔が変わることになるので、簡単にミス
マツチを行なうことができるしたがって、1枚の画像を
画像処理することにより、小ひずみから大ひずみまで解
析できる。
(5)計算機により画像処理を行なうためには、上述の
し主画像解析や走査モアレ法で述べた手法が使え、等ひ
ずみ線を簡単にめることができる。
この走査モアレ法の原理を第3図(、)〜(e)を用い
て説明すると、試料に描かれたモデルグリッド11[第
310− 図(、)参照1がテレビカメラ1の走査線12゛[第3
図(1))参照1の位置でサンプリングされる。
このサンプリング時において、走査線12°がモデルグ
リッド11の黒い線の−Lにある場合には、黒し)線の
画像が得られて、白い線の上にある場合には、白り)線
の画像が得られる[第3図(c)参照]。
試料のひずみが小さい場合には、モデルグリ・ンド11
のピッチとテレビカメラ1の走査線12のピ・ンチはほ
ぼ等しく、白い像と黒い像とがかたまって現われ、認識
しやすいモアレし主となる。
試料のひずみが、第3図(、)に示すように、天外くな
って、モデルグリッド11のピッチが走査線12゛のビ
・ノチのほぼ2倍になると、白い像と黒い像とがほぼ交
互に現われ、モアレしまを認識することは困難である。
この場合、走査線12°を一本置トにfl<と、第3図
(d)に示すように、白い像と黒い像とが分離されモア
レしまが現われる。
さらに、偶数番目の走査線12′のデータを奇数番目の
走査線12゛のデータと置き換えると、第3図(e)に
示すように、モアレしまはより明瞭になる。
この方法は一種のミスマツチ法であり、これらの処理は
画像処理によって行なろことができる。
この方法を用いると応力集中などのように、計測したい
領域の一部に大きいひずみを含む場合でも、1枚の画像
から画像処理を行なうことによって全範囲のひずみを解
析することができる。
次に、従来の走査モアレ法と画像処理とを用いて等ひず
み線13”をめた例を第4図(8)〜(1])を用いて
説明すると、第4図(a)は、次式で表される変位を受
けた変形したグリッド11′を示している。
X=x Y = y−(1+cos x)sin y/ 4 (
1)ここで、(x、y)は変形前の座標、(X、Y)は
変形後の座標を示しており、−π≦X≦π、0≦y≦π
、ピッチP、=π/100である。
そして、このグリッド11′をCCD−TVカメラ1に
より、IC画像メモリに取り込み、その画像[第4図(
1))参照]の中央部のし主は認識しにくいものとなり
ている。
そして、走査線12゛を1本毎に間引くと、第4図(C
)に示すように、しまが明瞭に現われる。
また、第4図(1))に示す画像に細線化を行なったも
のが、第4図(d)に示されて、同様に、第4図(c)
に示す画像に細線化を行なったものが、第4図(e)に
示される。
そして、このように細線化された画像を合成し、ひずみ
値をめた点の位置を表示したものが、第4図(f)に示
される。
また、スプライン関数による平滑化と補間とにより、ひ
ずみ分布がめられ[第4図録)参@1、ここでは、スプ
ライン関数の境界条件として固定値をとるようになって
いないので、本来ひずみがOである左右の周辺で0とな
っていない部分も存在しているが、ひずみ分布としては
それほど大きな誤差をもっていないとみなせる。なお、
境界条件も入れtこスプライン関数をめる必要がある。
また、第4図(8)に示す画像にラプラシアン処理を1
3− して等ひずみ線13°がめられる[第4図(1])参照
1゜このように、従来の走査モアレ法と画像処理とを用
いることにより、試料の2次元の変位分布やひずみ分布
をめることがでとる。
しかしながら、このような従来の一方向に平行なグリッ
ドを用いたモアレ法による面内測定法では、グリ・ンド
に垂直な方向の変形しか測定できないので、面内変形の
すべての情報を得るには、格子状のグリッドを用いなけ
ればならない。
しかしなが呟このような計測法では、2種類のモアレし
まが同時に現われるので、これを分離するのが困難であ
る。
本発明は、このような問題点を解決しようとするもので
、格子状モデルグリッドを走査モアレ法により撮像して
、ひずみのとりうる範囲が大きな試料でも解析を行なう
ことができ、交叉する2方向のひずみ成分を同時に計測
できるようにした、走査モアレ法による2次元ひずみ計
測法を提供することを目的とする。
このrこめ、本発明の走査モアレ法による2次元ひず1
4− み計測法は、試料上に描画された格子状モデルグリッド
を撮像して走査型画像入力装置へ画像入力する走査モア
レ法において、この入力画像を第1の方向および同第1
の方向と交叉する第2の方向にそれぞれ間引いて第1の
間引き画像を得るとともに、上記入力画像を」二配電1
の方向における間引きの位相を変化させ」−記の第1お
よび第2の方向に間引いて第2の間引き画像を得るとと
もに、上記入力画像を上記第2の方向における間引きの
位相を変化させ上記の第1および第2の方向に間引いて
第3の間引外画像を得た後、上記の第1および第2の間
引き画像を重ね合わせることにより、」二配電2の方向
に間引いた時の第1のモアレパターンを分離するととも
に、上記の第1および第3の間引き画像を重ね合わせる
ことにより、上記第1の方向に間引いた時の第2のモア
レパターンを分離して、上記の第1および第2のモアレ
パターンから2次元等ひずみ線を得ることを特徴として
いる。
また、本発明の走査モアレ法による2次元ひずみ計測法
は、試料上に描画された2つの相異なる有彩色からなる
格子状モデルグリッドを、」二記相異なる有彩色の一方
の補色をなす第1有彩色用第1の撮像素子および上記相
異なる有彩色の他方の補色をなす第2有彩色用第2の撮
像素子により撮像して走査型画像入力装置へ画像入力す
る走査モアレ法において、」二配電1の撮像素子からの
第1有彩色の入力画像を第1の方向に間引いて第1の間
引き画像を得るとともに、上記第1有彩色の入力画像を
上記第1の方向における間引トの位相を変化させ」―記
憶1の方向に間引いて第2の間引き画像を得るとともに
、」−記憶2の撮像素子からの第2有彩色の入力画像を
」二配電1の方向と交叉する方向に間引いて第4の間引
き画像を得るとともに、上記第2有彩色の入力画像を上
記第2の方向における間引きの位相を変化させて上記第
2の方向に間引いて第3の間引ぎ画像を得た後、上記の
第1および第2の間引き画像を重ね合わせることにより
、」−記憶2の方向に間引いた時の第1のモアレパター
ンを分離するとともに、」1記の第3および第4の間引
き画像を重ね合わせることにより、上記第1の方向に間
引いた時の第2のモアレパターンを分離して、上記の第
1および第2のモアレパターンから2次元等ひずみ線を
得ることを特徴としている。
以下、図面により本発明の詳細な説明すると、第5図は
本発明の第1実施例としての走査モアレ法による2次元
ひずみ計測法の作用を示すもので、第5図(、)はその
変形後の格子状グリッドの入力画像を示すグラフ、第5
図(b)はその第1の間引ぎ画像を示すグラフ、第5図
(c)はその第2の間引ぎ画像を示すグラフ、第5図(
d)はその第1のモアレパターンを示すグラフ、第5図
(e)はその第1のしま中心線を示すグラフ、第5図(
f)はそのy方向等ひずみ線を示すグラフである。
本発明の第1実施例としての走査モアレ法による2次元
ひずみ計測法を実施するための装置は、第1図に示すよ
うに構成されており、符号1は走査型画像入力装置であ
るテレビカメラ、2は入力画像用のモニタテレビ、3は
その画像をアナログ的に記録するビデオテープレフーダ
を示している。
また、符号4は画像処理ユニットであり、この画像17
− 処理ユニットは、入力画像をディジタル化して記憶する
もので、この画像処理ユニット4には、AID変換器、
IC画像メモリ、I)/A変換器が内蔵されており、I
C画像メモリの画像をアナログ画像としても出ツノでき
、モニタテレビ5で処理中および処理後の画像を観察す
ることができる。
符号6はパーソナルフンピユータを示しており、符号7
〜10は、バソフンの周辺装置である。
拡張ユニット7には、RAMが増設されており、メモリ
の不足分を補っている。
ディスプレイ(CRT)8は処理メニューを表示するも
ので、ドツトプリンタ9は画像のハードコピーをとるも
ので、フロッピーディスクユニット10はディジタル画
像やプログラムを記憶する。
以下、その装置の具体的構成例を示すと、しま画像解析
により計測を行なうには、画像入力装置としては取り込
み画像の寸法精度のよいものが必要であり、従来の撮像
管を使ったテレビカメラは、本質的に偏向ひずみが存在
し、環境による変化も大きいので、本実施−18= 例では、画像入力装置1としてCCI)−TVカメラ(
来夏製TM−1300)を使用した。このカメラは、縦
13μm。
横22μIの間隔で縦512×横400個のホトダイオ
ードが寸法精度よく並んでいる固体撮像素子を用いてい
る。
画像信号を計算機に取り込むためには、通常、A/D変
換を行なわねばならないが、画像入力装置としてテレビ
カメラを用いた場合、一画面を1/30秒で取り込まね
ばならず、高速のA/D変換器が必要である。
本実施例で用いた画像処理ユニット4(アマストコンビ
よ−タ&!Mode15000)は、縦256×横25
6(有効画素数縦256×横240)の画素数の画像メ
モリを持ち、−画素当り16段階(4ビツト)の濃度レ
ベル数でA/D変換を行ない記憶する。しま画像の場合
、白と黒の2段階の濃度レベル数でも解析は可能である
が、現実には、入力画像に濃度むらがあり、それをカバ
ーできるだけの濃度レベル数が必要である。
また、2種類以上の画像の合成などを行なう場合に、濃
度レベルをシフトさせて合成することを考慮して、本実
施例では、16段階(4ビツト)の濃度レベル数とした
この画像メモリの画素データをパーソナルコンピュータ
(NECI!! PC−8000シ’J 7:)でnみ
出して演算処理を行なう。パーソナルコンピュータは大
型計算機に比べて、メモリ容量および計算速度の点で不
利であるが、本実施例では、メモリ容量不足の点は、外
部に前述のIC画像メモリとフロッピーディスクユニッ
ト10を設けることにより、メモリを増加させた。計算
速度の遅い点については、プログラミングを機械語(ア
センブラ)で行なうことにより高速化をはかった。
このプログラムを用いて行なえる基本処理内容は以下の
通りである。
(1)任意の座標点における画素の濃度表示、領域指定
の濃度ヒストグラム (2)処理領域指定[全体、カーソル移動あるいは座標
値入力による部分領域] (3)濃度変換[任意変換1強調、二値化、シフF1反
転、ペイント] (4)70ツピーデイスクへの書込み、呼出しく5)画
像合成(2枚の画像間の演算)[元の場所、移動。
部分はめ込み、任意濃度部分のみはめ込み、加算、減算
、平均、AND、OR,XORなど1(6)プリンタ出
力[全画像および拡大部分画像/)−トコピー、濃度数
値] (力処理過程の記録 (8)平均化による平滑化(ノイズ除去)、微分、ラプ
ラシアン(境界検出)、細線化 (9)2次元3犬Bスプライン関数による補間と平滑化
(10)寸法計測、その他 以上のプログラムは基本処理であるが、種々の使用目的
に合わせて、上記処理を組み合わせたり、新たな処理を
付は加えて、それぞれの目的に合ったプログラムを別途
作成している。
以下、本発明の第1実施例としての走査モアレ法による
2次元ひずみ計測法について、第5図(a)〜(f)を
用いて説明する。
格子状グリッドをテレビカメラ1で標本化する際に、グ
リッドが再生されるか、または2種類のモアレパタ21
− 一ンが別々にあるいは重なって現われる場合が考えられ
る。
グリッドが再生される場合には、標本化間隔に比べてグ
リッドのピッチが大きく、X方向およびX方向のそれぞ
れの方向に適当な間引き数で間引くと標本化間隔が大き
くなり、2種類のモアレパターンが重なって現われる。
しま中心を決定して、しま間隔から変形量を調べるため
には、X方向およびX方向のそれぞれの方向に間引いた
時に現われるしまを単独に抽出しなければならない。
そこで、必要なしまの抽出方法について具体的な例を挙
げて述べると、試料」二には、X方向およびX方向のそ
れぞれの方向に白黒のモデルグリッドが描画されており
、この格子状モデルグリッドをテレビカメラ1の固体撮
像素子によって撮像した際に、X方向およびX方向のピ
ッチがともに8画素長となるように設定されており、そ
の直交格子状グリッドが次式で表わされるよ)に変形を
加えられた場合について、以下にシミュレ22− −ジョンを行なった結果を示す[第5図(a)参照1゜
X= X 十(x2y/A) Y”y (xy2/B) ・・・(2)ここで、(x、
y)は変形前の座標を示しており、(X。
Y)は変形後の座標、A、Bはそれぞれ定数を示して0
る。この変形後の格子状グリッドについて、次のように
ひずみを計測する。
(1)応力等の加わった試料上に予め描画された格子状
グリッドをテレビカメラ1により撮像する。
(2)テレビカメラ1からの入力画像を画像処理ユニ・
ント4のIC画像メモリに取り込む。
(3)その入力画像をパーソナルコンピュータ6および
拡張ユニット7を介して70ツピーデイスクユニ・ント
10内のフロッピーディスクに記憶する。
(4)この入力画像を第1の方向(X方向)に7本間引
き、同時に第2の方向(X方向)に5本間引くことによ
り、第51仙)に示すような2種類のモアレが重なった
第1の間引外画像(パターン)が得られて、この第1の
間引き画像を適宜フロッピーディスクに記憶する。
(5)入力画像をX方向における間引きの位相を180
゜変化させて7本間引と、X方向における間引きは、第
4項と同じ位相で5本間引くことにより、第5図(c)
に示すような2種類のモアレが重なった第2の間引き画
像(パターン)が得られて、この第2の間引き画像を適
宜フロッピーディスクに記憶する。
(6)第1および第2の間引き画像の各画素において平
均(重ね合わせ)値をとることにより、X方向に間引い
た時のモアレパターンは消えて、第5図(d)に示すよ
うに、X方向に間引いた時の第1のモアレパターンだけ
が残る。
(7)第1のモアレパターンを二値化して、さらに、細
線化することにより、第5図(e)に示すような第1の
し主中心線がまる。
(8)上記第5項とほぼ同様にして、入力画像をX方向
における間引トの位相を180°変化させて5本間引と
、X方向における間引きは、第4項と同じ位相で7本間
引くことにより、2種類のモアレが重なった第3の間引
ぎ画像(パターン)が得られて、この第3の間引ぎ画像
を適宜フロッピーディスクに記憶する。
(9)第1および第3の間引き画像の各画素において平
均(重ね合わせ)値をとることにより、X方向に間引い
た時のモアレパターンは消えて、X方向に間引いた時の
第2のモアレパターンだけが残る。
(10)第2のモアレパターンを二値化して、さらに、
細線化することにより、第2のしま中心線がまる。
(11)そして、第1および第2のしま中心線から、次
式を用いて、ひずみを計算し、第5図(f)に示すよう
に等ひずみ線を得ることができる。
ここで、QolPO:それぞれX+V方向のモデルグリ
ッドのピッチ。
Qm、Pm’、それぞれX+V方向のしま間隔。
φ勧θm:それぞれX+y方向の間引きにより現われる
モアレしまの傾き。
εy ;X方向のひずみ。
25− μ= 1 /Q、、λ=1/P、である。
このように、第1実施例では、間引トの位相を変えて、
第1の方向(X方向)および第2の方向(X方向)のモ
アレしまを分離することができ、これにより2次元ひず
みをめることがで島る。
なお、ビデオテープレフーグ3を用いることにより、大
変形や大ひずみ等の解析を行なうことができる。
本発明の第2実施例としての走査モアレ法による2次元
ひずみ計測法を実施するための装置では、テレビカメラ
1が、第1有彩色(例えば、赤色)用第1の撮像素子(
カラーCCD)および第1有彩色と相異なる第2有彩色
(例えば、緑色)用第2の撮像素子(カラーC0D)を
そなえたカラーテレビカメラとして構成され、試料上の
直交格子モデルグリッドが、そのX方向は赤の補色によ
り描かれるとともに、そのX方向は緑の補色により描か
れたグリッドとして構成されており、他の構成要素もカ
ラーイメージプロセッサ、カラープリンタ等が用いられ
て、その他の構成は第1実施例とほぼ同様である。
26− このように構成された直交格子グリッドに、赤色ないし
緑色の照明を行なうことによって、平行グリッドを2組
設けたのとほぼ同様の作用効果を得ることかで外、例え
ば、第1実施例における第4,5項の入力画像を第1の
撮像素子からの第1の入力画像として、第8項の前に次
に示す第8′項を挿入し、第8項および第9項をそれぞ
れ一部変更し第8″項および第9′項とする。
(8”)第2の撮像素子からの第2の入力画像を第1の
方向(X方向)に7本間引き、同時に第2の方向(X方
向)に5本間引くことにより、2種類のモアレが重なっ
た第4の開引き画像(パターン)が得られて、この第4
の間引き画像を適宜フロッピーディスクに記憶する。
(8°°)第2の撮像素子からの第2の入力画像をX方
向における間引トの位相を180゛変化させて5本間引
き、X方向における間引トは、第8′項と同じ位相で7
本間引くことにより、2種類のモアレが重なった第3の
間引外画像(パターン)が得られて、この第3の開引き
画像を適宜フロッピーディスクに記憶する。
(9゛)第3および第4の間引ト画像の各画素において
平均(重ね合わせ)値をとることにより、X方向に間引
いた時のモアレパターンは消えて、X方向に間引いた時
の第2のモアレパターンだけが残る。
その他の手順は、第1実施例と同様にして、本実施例で
は、カラー走査モアレ法を用いることにより、第1の方
向(X方向)および第2の方向(X方向)のモアレしま
を分離して計測することができる。
すなわち、面内変形のX方向成分およびY方向成分を分
離して計測することができる。
なお、本実施例において、照明を白黒の平行グリッド光
線とすると、モアレトポグラフィと画像処理とにより、
面外変形を示す青色のしまを発生させることができる。
そして、このようにして得られた3種類のグリッドによ
る3種類のしまを、上述の第1実施例に示すように、間
引ト、平滑化などのカラー処理を行なうことによって、
しまを分離することがで軽る。
これにより、より正確なひずみ計測を行なうことができ
る。
なお、第1実施例と第2実施例とを適宜組み合わせるこ
とにより、第1の撮像素子からの第1の入力画像を第1
実施例における入力画像としてX方向のひずみを得ると
ともに、第2の撮像素子からの第2の入力画像を第1実
施例における入力画像として得られるX方向のひずみを
得るように構成してもよく、この場合、面内2次元ひず
みを計測し、しかも面外変形も適宜計測することがで軽
る。
以」二詳述したように、本発明の走査モアレ法による2
次元ひずみ計測法によれば、試料上に描画された格子状
モデルグリッドを撮像して走査型画像入力装置へ画像入
力する走査モアレ法において、この入力画像を第1の方
向および同第1の方向と交叉する第2の方向にそれぞれ
間引いて第1の間引き画像を得るとともに、上記入力画
像を上記第1の方向における間引トの位相を変化させ上
記の第1および第2の方向に間引いて第29− 2の間引き画像を得るとともに、」二記入力画像を−1
−記憶2の方向における間引きの位相を変化させ−1−
記の第1および第2の方向に間引いて第3の間引ぎ画像
を得た後、上記の第1および第2の間引ぎ画像を重ね合
わせることにより、上記第2の方向に間引いた時の第1
のモアレパターンを分離するとともに、上記の第1およ
び第3の開引き画像を重ね合わせることにより、に記憶
1の方向に間引いた時の第2のモアレパターンを分離し
て、上記の第1および第2のモアレパターンから2次元
等ひずみ線を得るという簡易化された手段により、次の
ような効果ないし利点がある。
(1)ひずみ分布の解析に要する時間を大幅に短縮させ
ることができる。
(2)上記第1項により、本発明の方法を実施するため
の装置のコストを低下させることができる。
(3)交叉する2方向のひずみ成分を同時に計測するこ
とができる。
(4)走査型画像入力装置を用いて撮像でトるものであ
るならば、本方法を適用できるので、例えば、顕微30
− 鏡と組み合わせることにより、クラック近傍のひずみを
解析したり、望遠鏡と組み合わせることにより、本口架
橋のような吊り橋のゆれや低周波騒音発生源などの動的
変形計測などの小さなものでも計測することができる。
また、本発明の走査モアレ法による2次元ひずみ計測法
によれば、試料上に描画された2つの相異なる有彩色か
らなる格子状モデルグリッドを、上記相異なる有彩色の
一方の補色をなす第1有彩色用第1の撮像素子および」
1記相異なる有彩色の他方の補色をなす第2有彩色用第
2の撮像素子により撮像して走査型画像入力装置へ画像
人力する走査モアレ法1こおいて、上記第1の撮像素子
からの第1有彩色の入力画像を第1の方向に間引いて第
1の開引き画像を得るとともに、」二記第1有彩色の入
力画像を」二配電1の方向における間引トの位相を変化
させ上記第1の方向に間引いて第2の間引き画像を得る
とともに、上記第2の撮像素子からの第2有彩色の入力
画像を」二配電1の方向と交叉する方向に間引いて第4
の間引ト画像を得るとともに、上記第2有彩色の入力画
像を上記第2の方向における間引きの位相を変化させて
上記第2の方向に間引いて第3の間引き画像を得た後、
上記の第1および第2の間引き画像を重ね合わせること
により、上記第2の方向に間引いた時の第1のモアレパ
ターンを分離するとともに、」二記の第3および第4の
間引き画像を重ね合わせることにより、」二配電1の方
向に間引いた時の第2のモアレパターンを分離して、上
記の第1および第2のモアレパターンから2次元等ひず
み線を得るという簡易化された手段で、上述の第1項か
ら第4項までの効果を奏するとともに、2次元の形状、
変位やひずみを適宜計測することかでトる。
【図面の簡単な説明】
第1図は走査モアレ法による2次元ひずみ計測法を実施
するための装置の全体構成を示す接続図であり、第2図
は従来のしま画像解析の一例を示すもので、第2図(、
)はそのしま画像を示す模式図、第2図(b)はそのし
ま中心線を示す模式図、第2図(c)はそのひずみ分布
を示す模式図、第2図(d)はその等ひずみ線を示す模
式図、第3図は従来の走査モアレ法の原理を示すもので
、第3図(、)はその試料に描かれたモデルグリッドを
示す模式図、第3図(b)はそのテレビカメラの走査線
を示す模式図、第3図(c)はその入力画像の一例を示
す模式図、第3図(d)はその間引と状態を示す模式図
、第3図(e)はその間引き状態の他の例を示す模式図
、第4図は従来の走査モアレ法と画像処理とを用いた例
を示すもので、第4図(a)はその試料の2次元変位分
布を示すグラフ、第4図(b)はそのIC画像メモリに
取り込まれた画像を示すグラフ、第4図(c)はその走
査線を1本毎に間引いた画像を示すグラフ、第4図(d
)、(e)はそれぞれ第4図(b)、(e)に示す画像
に細線化処理を行なった画像を示すグラフ、第4図(f
)は第4図(d)、(e)を合成した画像を示すグラフ
、第4図(g)はそのひずみ分布を示すグラフ、第4図
(11)は第4図(g)にラプラシアン処理をした等ひ
ずみ線を示すグラフであり、第5図は本発明の第1実施
例としての走査モアレ法による2次元ひずみ計測法の作
用を示すもので、第5図(、)はその変形後の格子状グ
リッドの入力画像33− を示すグラフ、第5図(b)はその第1の間引き画像を
示すグラフ、第5図(c)はその第2の間引き画像を示
すグラフ、第5図(d)はその第1のモアレパターンを
示すグラフ、第5図(e)はその第1のしま中心線を示
すグラフ、第5図(f)はそのy方向等ひずみ線を示す
グラフである。 1・・走査型画像入力装置としてのテレビカメラ(TV
カメラ)、2・・モニタテレビ、3・・ビデオテープレ
コーダ(VTR)、4・・画像処理ユニット、5・・モ
ニタテレビ、6番・パーソナルコンピュータ(バソフン
)、7・・拡張ユニット、8・・ディスプレイ(CRT
)、9・・ドツトプリンタ、10・・フロッピーディス
クユニット、11.11’ ・・モデルグリッド、12
″ ・・走査線、13′ ・・等ひずみ線。 代理人 弁理士 飯沼義彦 34− 第2図 (a) (b) 第3図 111 □ 口=コ ロ=コ ==コ (C) (e) 5図 (b) (d) (f)

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)試料上に描画された格子状モデルグリッドを撮像
    して走査型画像入力装置へ画像入力する走査モアレ法に
    おいて、この入力画像を第1の方向および同第1の方向
    と交叉する第2の方向にそれぞれ間引いて第1の間引外
    画像を得るとともに、上記入力画像を上記第1の方向に
    おける間引きの位相を変化させ上記の第1および第2の
    方向に間引いて第2の間引外画像を得るとともに、上記
    入力画像を上記第2の方向における間引きの位相を変化
    させ上記の第1および第2の方向に間引いて第3の間引
    ぎ画像を得た後、」1記の第1および第2の間引外画像
    を重ね合わせることにより、上記第2の方向に間引いた
    時の第1のモアレパターンを分離するとともに、4二記
    の第1および第3の間引熱画像を重ね合わせることによ
    り、」二配電1の方向に間引いた時の第2のモアレパタ
    ー1− ンを分離して、上記の第1および第2のモアレパターン
    から2次元等ひずみ線を得ることを特徴とする、走査モ
    アレ法による2次元ひずみ計測法。
  2. (2)試料」二に描画された2つの相異なる有彩色から
    なる格子状モデルグリッドを、上記相異なる有彩色の一
    方の補色をなす第1有彩色用第1の撮像素子および−に
    記相異なる有彩色の他方の補色をなす第2有彩色用第2
    の撮像素子により撮像して走査型画像入力装置へ画像入
    力する走査モアレ法において、−に配電1の撮像素子か
    らの第1有彩色の入力画像を第1の方向に間引いて第1
    の間引き画像を得るとともに、上記第1有彩色の入力画
    像を」―配電1の方向における間引きの位相を変化させ
    」二配電1の方向に間引いて第2の間引き画像を得ると
    ともに、」−配糖2の撮像素子からの第2有彩色の入力
    画像を」二配電1の方向と交叉する方向に間引いて第4
    の間引き画像を得るとともに、」二記第2有彩色の入力
    画像を−に配電2の方向における間引きの位相を変化さ
    せて−に配電2の方向に間引いて第3の間引き画像を得
    た後、−1−記2− の第1および第2の間引ト画像を重ね合わせることによ
    り、上記第2の方向に間引いた時の第1のモアレパター
    ンを分離するとともに、上記の第3および第4の間引き
    画像を重ね合わせることにより、」二配電1の方向に間
    引いた時の第2のモアレパターンを分離して、」二記の
    第1および第2のモアレパターンから2次元等ひずみ線
    を得ることを特徴とする、走査モアレ法による2次元ひ
    ずみ計測法。
JP5248084A 1984-03-19 1984-03-19 走査モアレ法による2次元ひずみ計測法 Granted JPS60195406A (ja)

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