JPS60194516A - ウエハケ−ス - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔技術分野〕 本発明は物品収納技術に関し、特に半導体製造工程で使
用されるウェハケースに利用して有効な技術に関する。

〔背景技術〕

半導体装置の主体となる半導体素子は、半導体ウェハに
不純物拡散、ホトレジスト塗布、感光。

現像等の同様な処理作業を何回か繰り返して形成される
。この場合、各処理工程に運搬する場合、または各工程
で一定時期保管する場合に、クエハの収納ケース等が使
用されている。第１図は、ウェハ収納ケースの斜視図で
あって、実公昭５３−４８５９８号公報で知られている
。図において２０は上部ケース、２１は下部ケースであ
り、ウェハは、第２１図に示すように、ウェハ整列治具
２３に収納され、ウェハ整列治具２３ごと、上部ケース
２０と下部ケース２１内に入れられ保管、運搬される。

しかしながら、かかる収納ケース即ちキャリアボックス
によりウェハが運搬された場合、キャリア内でウェハが
振動、揺動するため、チヴビング忙よるシリコン片がウ
ェハ表面忙付着するという問題点がある。また、上部ケ
ースと下部ケースの嵌合に喰み合せ方式が使用されるた
め、喰み合せの摩耗による異物発生という問題点がある
。

また、保管用キャリアが多数必要とする場合、その費用
がかかる等という問題点があることが本発明者によって
明らか忙された。

〔発明の目的〕

本発明の目的は、前記問題点を解決し、下部ケースをキ
ャリア治具そのものとしたウェハケースを提供すること
にある。

本発明の前記並びにそのほかの目的と新規な特徴は１本
明細書の記述及び添付図面からあきらかになるであろう
。

〔発明の概要〕

本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。

すなわち、ウェハケースの下部ケースをそのままキャリ
ア治具として使用できる構成とすることにより、治具の
個数の低減を図るようにしたものである。

〔実施例！〕

以下１本発明を図面に示す実施例にしたがって説明する
。

第３図は１本発明の９エバケースの一実施例を示す斜視
図、第４図はその概略断面図、第５図はその上部ケース
の斜視図、第６図は下部ケースの底面部の斜視図、第７
図は下部ケースにウェハが収納されている状態の斜視図
である。

本実施例において、このウェハケース１は、上部ケース
２と下部ケース３とが嵌合して構成されている。この上
部ケース２は下方に向ってテーバ状に広がる半透明な例
えばポリプロピレン樹脂からなり下部ケース３のカバー
（蓋）の役割を果たすものである。また上部ケース２に
は、キャリアボックスとしてのウェハケース１を重ねや
すくするためのガイド４が平行に設けられ、下部ケース
３の底面に取付けられる底面部９と嵌合するよう忙なっ
ている。このガイド４の間にはコントロールガイドを止
めるストリバーバンド５用の突起６が設けられている。

上部ケース２の側面には工程管理のための磁気カード７
の差し退部８が設けられている。！５図に示されるよう
に、上部ケース２の嵌合部周辺の４角には下部ケース３
の嵌合部に設けられた穴（図示せず）Ｋ挿入できる突起
１１が設けられているう 一方下部ケース３は、第４図に示されるように、上方に
向ってテーバ状に広がる半透明な例えばポリプロピレン
樹脂からなり、下部ケース３自体がキャリア治具として
構成されている。このキャリア治具としての下部ケース
３は略２５枚のウェハが収容できるよう虻なっている。

また、ウェハなキャリア治具としての下部ケース３に収
容したままレジスト、洗浄できるように。

下部ケース３の底面部９は着脱自在となっているう下部
ケース３の開口部１０は上部ケース２と嵌合するのに差
し込み方式にするために、その先端部は外側方向に折り
曲げられている。この折り曲げられた突出把持部は、ど
こを持っても持ち運びやすいように下部ケースの開口部
１０の全周にわたって設けられている。

次に本発明の詳細な説明する。

ウェハｔｏｏｔｔキャリア治具としての下部ケース３に
収納する。収納できる枚数は２５枚で、ウェハ１００の
主表面が一定方向に向くように収納する。これは１作秦
者の取扱いを徹底させて、ワエへ表面に異物が付着する
のを出来るだけ防ごうとするものである。そして、上部
ケース２を下部ケース３に被せる場合、上下ケース２，
３のテーバ状の角度により、ケースの材質の弾力性を利
用して嵌合できるように構成されており、−ｆだ、上部
ケース２の高さ方向の寸法は１通常人の手で把握できる
寸法に適し、持ち易い形状となっている、また、上部ケ
ース２に付設した突起１１が下部ケース３に設けた穴（
図示せず）で嵌合し、嵌合の安定性を図っている。

また、上部ケース１ｍ、突起６とストｙ　バーバンド５
を用いてコントロールカード（図示せず）が取り付けら
れたり、更忙差し込み部８を用いて工程管理用の磁気カ
ード７を挿入することができる。また、ウェハケースを
複数個使用する場合、ウェハケースな重ねて保管したり
、運搬したりする。このとき、上部ケース２に設けたガ
イド４が下部ケース３の外部底面部９と嵌合でき、重ね
合せの安定化を図ることができる。

〔実施例■〕

第８図は本発明の他の実施例を説明するための下部ケー
スの底面部の斜視図である。

本実施例において、ウェハケースの上部、下部ケースの
外観は前記実施例Ｉと同じである。すなわち、上部ケー
スと下部ケースとが嵌合されてウェハケースを構成して
いる。下部ケースの底面部は着脱自在で、下部ケースそ
のものがキャリア治具として使用できるようになってい
る。

第８図に示されるように底面部１２には突起１３．１４
が対となって設けられ、突起１３が突起１４より高くな
っている。この高さの差よりキャリア治具としての下部
ケースを傾斜させることになる。なお、キャリア治具と
しての下部ケースが傾斜しても、上部ケースは傾斜しな
いように構成されている。

次に本発明の詳細な説明する。

ウェハは、実施例Ｉと同様にウェハケース内に収納され
る。そして、ウェハケースを構成する上部ケースと下部
ケースのうち、下部ケース底部に、底面部１２が取り付
けられる。その際、ウェハ主表面が上向きになるように
することが好ましいうこれは、ウェハ主表面が、下部ケ
ースのウェハ収納溝に接触するのを防ぐためである。す
るとウェハは、下部ケースごと傾斜し、下部ケースのウ
ェハ収納溝内に安定するため、運搬時のワエへ〇振動、
揺動を少なく（小さく）することができる。

なお、底面部１２に設けられるそれぞれ１対の突起１３
．１４は、その長手方向に対して傾斜しており、その傾
斜角度は、４度程度が好−ましい。

また、底面部１２は下部ケースから着脱自在であり、下
部ケース圧着いている場合には、保管又は運搬ケースと
して使用できる。また下部ケースがら底面部を取れば、
下部ケース自体がキャリア治具としてレジスト、洗浄工
程にそのまま投入することができる。

なお、その他の使用については、前記実施例！で記載し
たものと同じである。

〔効　果〕

１、　ウェハケースの下部ケースをそのままキャリア治
具として使用できる構成とすることにより。

その治具でレジスト、洗浄等ができるため、治具の個数
を低減することができるという効果が得られる。

２　下部ケースの底面部が着脱自在となっていることに
より、中ヤリア治具自体の洗浄がやりゃすいという効果
が得られる。

８、上部ケースと下部ケースの嵌合を差し込み方式で行
うこと忙より、嵌合による異物発生を防止できるため、
異物がウェハ表面上に付着するのを低減するという効果
が得られる。

４、上部ケースの開口部全周にわたって把手溝を設げた
こと忙より、キャリアポ９クスのどこを把握してもよく
、取扱いやすいという効果が得られる。

５、上部ケースの表面にカード取付は用の突起を設げた
ことにより、カードをストッパーハンドで該突起に取付
けることができるため、カードを確実に固定でき、取扱
いやすいという効果が得られる。

６、上部ケースの嵌合部に突起を設けたことにより、上
記ケースの他表との接触面積が小さいため。

異物がウェハ表面上に付着するのを低減するという効果
が得られる。

？、試料としてのウェハ運搬時にウェハな傾斜させるこ
とＫよって、ウェハが安定するため、運搬時のウェハの
振動、揺動が少なく（小さく）でき得る。それゆえ、ウ
ェハの振動、揺動によるウニへの損傷、異物の発生、ウ
ェハ表面へお異物の付着を低減できるという効果が得ら
れる。

以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。

たとえばキャリアに収納するのは、ウェハに限らないし
、下部ケースが複数個で構成されていてもよい。

また、下部ケースの底面部に突起を設けてキャリア治具
を傾斜させているが、キャリア治具自身に突起を設けた
場合であってもよい。

〔利用分野〕

以上の説明では主として本発明者によってなされた発明
をその背景となった利用分野であるウェハ用保管運搬ボ
ヅクスについて説明したが、たとえば、ホトマスクプレ
ート用保管運搬ボ、ソクス等にも適用できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は従来のウェハ収納ケースの斜視図、第２図はそ
の概略断面図。 第３図は本発明のウエノ・ケースの一実施例を示す斜視
図。 第４図はその概略断面図。 第５図はその上部ケースの斜視図。 第６図は底面部の斜視図、 第７図は本発明の一実施例である下部ケースにウェハが
収納されている状態の斜視図、第８図は本発明の他の実
施例を説明するための図である。 ■・・・ウェハケース、２．２０・・・上部ケース、３
゜２１・・・下部ケース、４・・・ガイド、５・・スト
＋９パーバンド＋　６．１１．１３．１４・・突起、７
・・磁気カード、８・・・差し込み部％　９，１２・・
・底面部、１０・・・開口部、２３・・・ウエノ１整列
治具、１００・・・第　１　図 第　２　図 第　４　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 ■、上部ケースと下部ケースとが嵌合して一つのウェハ
   ケースを構成し、該下部クースが中ヤリア治具そのもで
   構成されていることを特徴とするウェハケース。 ２、前記下部ケースにおいて、底面部が着脱自在である
   ことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のウェハケ
   ース。 ８、前記下部ケースがつ二ノ・を横方向で傾斜して収容
   できるように構成されることを特徴とする特許に請求の
   範囲第１項又は第２項記載のウェハケース。 ４、前記上部ケースと下部ケースの嵌合を差し込み方式
   で行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第３項
   のいずれか記載のウェハケース。 ５、　前記下部ケース開口部全周にわたって把手溝を設
   けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第４項の
   いずれか記載のウェハケース。 ６、前記上部ケースの表面にカード取付は部を設けるこ
   とを特徴とする特許請求の範囲第１項〜第５項のいずれ
   か記載の９エバケース。 ７、前記上部ケースの嵌合部に突起を設けたことを特徴
   とする特許請求の範囲第１〜第６項のいずｉｔかｉ己載
   の９エバケース。