JPS60160608A - キヤリアボツクス - Google Patents
キヤリアボツクスInfo
- Publication number
- JPS60160608A JPS60160608A JP1519584A JP1519584A JPS60160608A JP S60160608 A JPS60160608 A JP S60160608A JP 1519584 A JP1519584 A JP 1519584A JP 1519584 A JP1519584 A JP 1519584A JP S60160608 A JPS60160608 A JP S60160608A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- carrier
- wafer
- lower case
- case
- carrier box
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔技術分野〕
本発明は試料を収納する技術に関するもので、特にウェ
ハやマスク等の収納に利用して有効な技術に関するもの
である。
ハやマスク等の収納に利用して有効な技術に関するもの
である。
半導体装置の主体となる半導体素子は、半導体ウェハに
不純物拡散、ホトレジスト塗布、感光。
不純物拡散、ホトレジスト塗布、感光。
現像等の同様な処理作業を何回か繰り返して形成される
。この場合、各処理工程に運搬する場合、または各工程
で一定時期保管する場合に、ウェハの収納ケース等が使
用されている。第１図は、ウェハ収納ケースの斜視図で
あって、実公昭５３−４８５９８号公報で知られている
。その内容は第２図に示すように、キャリアボックスに
キャリアを水平に入れて保管、運搬されている。
。この場合、各処理工程に運搬する場合、または各工程
で一定時期保管する場合に、ウェハの収納ケース等が使
用されている。第１図は、ウェハ収納ケースの斜視図で
あって、実公昭５３−４８５９８号公報で知られている
。その内容は第２図に示すように、キャリアボックスに
キャリアを水平に入れて保管、運搬されている。
しかしながら、かかる収納ケース即ちキャリアボックス
によりウェアが運搬された場合、キャリア内でウェハが
振動、揺動するため、チッピングによるシリコン片がウ
ェハ表面に付着するという問題点がある。また、上部ケ
ースと下部ケースの嵌合に喰み合せ方式が使用されるた
め、喰み合せの摩耗による異物発生という問題点がある
。
によりウェアが運搬された場合、キャリア内でウェハが
振動、揺動するため、チッピングによるシリコン片がウ
ェハ表面に付着するという問題点がある。また、上部ケ
ースと下部ケースの嵌合に喰み合せ方式が使用されるた
め、喰み合せの摩耗による異物発生という問題点がある
。
この発明の目的は、運搬の際に被収容物に異物が付着す
るのを防止できうる技術を提供することにある。
るのを防止できうる技術を提供することにある。
本発明の前記並びにそのほかの目的と新規な特徴は、本
明細書の記述及び添付図面からあきらかになるであろう
。
明細書の記述及び添付図面からあきらかになるであろう
。
本願において開示される発明のうち代表的なものの概要
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
すなわち、キャリアボックスにキャリアを傾斜した状態
で収納することにより、キャリアに収納されたウェハを
傾斜させて、ウェハの振動、揺動を防止し、ウェハがチ
ッピングしてシリコン片がウェハ表面上に付着するのを
低減するようにした〔実施例〕 以下、本発明を図面に示す実施例にしたがって説明する
。
で収納することにより、キャリアに収納されたウェハを
傾斜させて、ウェハの振動、揺動を防止し、ウェハがチ
ッピングしてシリコン片がウェハ表面上に付着するのを
低減するようにした〔実施例〕 以下、本発明を図面に示す実施例にしたがって説明する
。
第３図は、本発明の一実施例であるキャリアボックスの
斜視図、第４図はその概略断面図、第５図はその上部ケ
ースの斜視図、第６図はその下部ケースの平面図である
。
斜視図、第４図はその概略断面図、第５図はその上部ケ
ースの斜視図、第６図はその下部ケースの平面図である
。
本実施例において、このキャリアボックスは、上部ケー
スｌと下部ケース２とが嵌合して構成されている。この
上部ケース１は下方に向かってテーパ状に広がる例えば
ポリプロピレン樹脂からなり、下部ケース２にキャリア
５０を入れた場合のカバー（蓋）の役割を果たすもので
ある。また上部ケース１には、他のキャリアボックスを
重ねやすいようにガイド３を平行に設け、下部ケース２
の外部底面部１５と嵌合するようになっている。
スｌと下部ケース２とが嵌合して構成されている。この
上部ケース１は下方に向かってテーパ状に広がる例えば
ポリプロピレン樹脂からなり、下部ケース２にキャリア
５０を入れた場合のカバー（蓋）の役割を果たすもので
ある。また上部ケース１には、他のキャリアボックスを
重ねやすいようにガイド３を平行に設け、下部ケース２
の外部底面部１５と嵌合するようになっている。
このガイド３の間にはストッパーバンド５を設けて、コ
ントロールカード（図示せず）を取付けることができる
ようになっている。なお、突起４は、キャリアボックス
の重ね合せ時にキャリアボックスの底面にコントロール
カードが接触して異物が付着するのを防止している。上
部ケース１の側面には磁気カード７の差し退部６が設け
られている。
ントロールカード（図示せず）を取付けることができる
ようになっている。なお、突起４は、キャリアボックス
の重ね合せ時にキャリアボックスの底面にコントロール
カードが接触して異物が付着するのを防止している。上
部ケース１の側面には磁気カード７の差し退部６が設け
られている。
上部ケース１の嵌合部周辺の４角には下部ケース２の嵌
合部に設けられた穴１３に挿入する突起１２が設けられ
ている。
合部に設けられた穴１３に挿入する突起１２が設けられ
ている。
一方下部ケース２は上方に向ってテーパ状に広がる例え
ばポリプロピレン樹脂からなり、キャリア５０を入れる
ことができる空間を有すると共にこのキャリア５０を傾
斜して収納できるようにキャリア支持足８とキャリア５
０が下部ケース２に接触するのを防ぐためのストッパー
９が設けられている。また、キャリア支持足８には補強
部材１１が付設されている。下部ケース２の上部開口部
は上部ケース１と嵌合するのに差し込み方式にするため
に、その先端部は外側方向に折り７曲げ邊れている。こ
の折り曲げられた突出把持部は、どこを持っても持ち運
びやすいように下部ケース２の開口部１４の全周にわた
って設けられている。
ばポリプロピレン樹脂からなり、キャリア５０を入れる
ことができる空間を有すると共にこのキャリア５０を傾
斜して収納できるようにキャリア支持足８とキャリア５
０が下部ケース２に接触するのを防ぐためのストッパー
９が設けられている。また、キャリア支持足８には補強
部材１１が付設されている。下部ケース２の上部開口部
は上部ケース１と嵌合するのに差し込み方式にするため
に、その先端部は外側方向に折り７曲げ邊れている。こ
の折り曲げられた突出把持部は、どこを持っても持ち運
びやすいように下部ケース２の開口部１４の全周にわた
って設けられている。
次に本発明の詳細な説明する。
ある処理が終了したウェハは、運搬あるいは保管等のた
め１例えば２５枚を１０ツトとしてウェハ表面に対して
垂直方向に配列してキャリア５０に収納する。ウェハを
収納したキャリアは、キャリアボックスに配される。こ
のとき、下部ケース２の内側底面部は、２対設けられた
キャリア支持足止に位置する。このうちウェハ表面に対
して平行方向に位置する１対向士は、同じ高さであり、
ウェハ表面に対して直角方向に位置するキャリア支持足
はその高さが異にしている。この高さが異なるキャリア
支持足により傾斜するキャリア５０の傾斜角度は、約４
度が好ましい。
め１例えば２５枚を１０ツトとしてウェハ表面に対して
垂直方向に配列してキャリア５０に収納する。ウェハを
収納したキャリアは、キャリアボックスに配される。こ
のとき、下部ケース２の内側底面部は、２対設けられた
キャリア支持足止に位置する。このうちウェハ表面に対
して平行方向に位置する１対向士は、同じ高さであり、
ウェハ表面に対して直角方向に位置するキャリア支持足
はその高さが異にしている。この高さが異なるキャリア
支持足により傾斜するキャリア５０の傾斜角度は、約４
度が好ましい。
このようにキャリア５０を傾斜させてウェハを収納する
ことにより、ウェハがキャリア５０のウェハ収納溝内で
揺動するのを低減することができる。また、傾斜したキ
ャリア５０の上部が下部ケース２の側面に接触しないよ
うに、前記側面下部にキャリア５０の底部側面と当接す
るストッパー９が設けられている。
ことにより、ウェハがキャリア５０のウェハ収納溝内で
揺動するのを低減することができる。また、傾斜したキ
ャリア５０の上部が下部ケース２の側面に接触しないよ
うに、前記側面下部にキャリア５０の底部側面と当接す
るストッパー９が設けられている。
そして、上部ケースを下部ケースに被せる場合、上下ケ
ースのテーパー状の角度により、ケースの材質の弾力性
を利用して嵌合できるように構成されている。この嵌合
は、喰み合せを用いないで、差し込み方式が用いられて
おり、また、上部ケースに付設した突起１２が、下部ケ
ースに設けた穴１３で嵌合し、嵌合の安定性を図ってい
る。
ースのテーパー状の角度により、ケースの材質の弾力性
を利用して嵌合できるように構成されている。この嵌合
は、喰み合せを用いないで、差し込み方式が用いられて
おり、また、上部ケースに付設した突起１２が、下部ケ
ースに設けた穴１３で嵌合し、嵌合の安定性を図ってい
る。
また、上部ケー゛スに、突起４とストッパーハンド５を
用いてコントロールカードが取り付けられたり、更に差
し込み部６を用いて工程管理用の磁気カードを挿入する
ことができる。
用いてコントロールカードが取り付けられたり、更に差
し込み部６を用いて工程管理用の磁気カードを挿入する
ことができる。
また、キャリアボックスを複数個使用する場合、キャリ
アボックスを重ねテ保管したり運搬したりする。このと
き、上部ケースに設けたガイド３が下部ケースの外部底
面部１５と嵌合でき、重ね合せの安定化を図ることがで
きる。
アボックスを重ねテ保管したり運搬したりする。このと
き、上部ケースに設けたガイド３が下部ケースの外部底
面部１５と嵌合でき、重ね合せの安定化を図ることがで
きる。
（１）キャリアを傾斜して収納するキャリアボックスに
より、キャリアに収納されたウェハの振動。
より、キャリアに収納されたウェハの振動。
揺動を防止させることができるためウェハが、チッピン
グして、そのシリコン片がウェハ表面上に付着するのを
低減するという効果が得られる。
グして、そのシリコン片がウェハ表面上に付着するのを
低減するという効果が得られる。
（２）上部ケースと下部ケースの嵌合を差し込み方式で
行うことにより、嵌合による異物発生を防止できるため
、異物がウェハ表面上に付着するのを低減するという効
果が得られる。
行うことにより、嵌合による異物発生を防止できるため
、異物がウェハ表面上に付着するのを低減するという効
果が得られる。
（３）上部ケースの開口部全周にわたって把手溝を設け
たことにより、キャリアボックスのどこを把握してもよ
く、取扱いやすいという効果が得られる。
たことにより、キャリアボックスのどこを把握してもよ
く、取扱いやすいという効果が得られる。
（４）上部ケースの表面にカード取付は用の突起を設け
たことにより、カードをストッパーハンドで該突起に取
付けることができるためカードを確実に固定でき、取扱
いやすいという効果が得られる。
たことにより、カードをストッパーハンドで該突起に取
付けることができるためカードを確実に固定でき、取扱
いやすいという効果が得られる。
（５）上部ケースの嵌合部に突起を設けたことにより、
前記突起を設けた方を下にして上部ケースを地表に置い
たとしても上記ケースの地表との接触面積が小さいため
、上部ケースの嵌合部に異物が付着しにくいので異物が
ウェハ表面上に付着するのを低減するという効果が得ら
れる。
前記突起を設けた方を下にして上部ケースを地表に置い
たとしても上記ケースの地表との接触面積が小さいため
、上部ケースの嵌合部に異物が付着しにくいので異物が
ウェハ表面上に付着するのを低減するという効果が得ら
れる。
以上本発明者によってなされた発明を実施例にもとづき
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
具体的に説明したが、本発明は前記実施例に限定される
ものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で種々変更可
能であることはいうまでもない。
たとえば、キャリアに収納するのはウェハに限らず、例
えばガラスマスク等であっても良い。また、キャリアが
複数個収納できるキャリアボックスであってもよい。
えばガラスマスク等であっても良い。また、キャリアが
複数個収納できるキャリアボックスであってもよい。
また、本実施例ではキャリアボックスに、キャリアを傾
斜する支持足を設けているが、キャリア自身にキャリア
を傾斜する突起を設は場合であってもよい。さらに、上
部及び下部ケース、キャリア等は弗素樹脂などの材料を
用いても良い。
斜する支持足を設けているが、キャリア自身にキャリア
を傾斜する突起を設は場合であってもよい。さらに、上
部及び下部ケース、キャリア等は弗素樹脂などの材料を
用いても良い。
以上の説明では主として本発明者によってなさ−れた発
明をその背景となった利用分野であるウェハ用保管運搬
ボックスについて説明したが、たとえば、ホトマスクプ
レート用保管運搬ボックス等さらには他の薄板の収納に
も適用できる。
明をその背景となった利用分野であるウェハ用保管運搬
ボックスについて説明したが、たとえば、ホトマスクプ
レート用保管運搬ボックス等さらには他の薄板の収納に
も適用できる。
第１図は、従来のウェハ収納ケースの斜視図、第２図は
、その概略断面図、 第３図は、本発明の一実施例であるキャリアボックスの
斜視図。 第４図は、その概略断面図 第５図は、その上部ケースの斜視図、 第６図は、その下部ケースの平面図である。 １．１０・・・上部ケース、２．２０・・・下部ケース
、３・・・ガイド、４，１２・・・突起、５・・・スト
ッパーバンド、６・・・差し辺部、７・・・磁気カー下
、８・・・キャリア支持足、９・・・ストッパー、１１
・・・補強部材、１３・・・穴、１４・・・下部ケース
開口部、１５・・・下部ケースの外部底面部、５０・・
・キャリア、１００・・・ウェハ。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
、その概略断面図、 第３図は、本発明の一実施例であるキャリアボックスの
斜視図。 第４図は、その概略断面図 第５図は、その上部ケースの斜視図、 第６図は、その下部ケースの平面図である。 １．１０・・・上部ケース、２．２０・・・下部ケース
、３・・・ガイド、４，１２・・・突起、５・・・スト
ッパーバンド、６・・・差し辺部、７・・・磁気カー下
、８・・・キャリア支持足、９・・・ストッパー、１１
・・・補強部材、１３・・・穴、１４・・・下部ケース
開口部、１５・・・下部ケースの外部底面部、５０・・
・キャリア、１００・・・ウェハ。 第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ■、上部ケースと下部ケースとが嵌合して一つのキャリ
アボックスを構成し、該下部ケースの内側底面にキャリ
ア支持足を複数設け、キャリアの被収容物を横方向で傾
斜して収納できるように前記キャリア支持足の突起高さ
を異ならしめことを特徴とするキャリアボックス。 ２、前記上部ケースと下部ケースの嵌合を差し込み方式
で行うことを特徴とする特許請求の範囲第１項記載のキ
ャリアボックス。 ３、前記下部ケース開口部、全周にわたって把手溝を設
けたことを特徴とする特許請求の範囲第１項又は第２項
記載のキャリアボックス。 ４、前記上部ケースの表面にカード取付は部を設けてい
ることを特徴とする特許請求の岬囲第１項〜第３項のい
ずれかに記載のキャリアボックス。 ５、前記上部ケースの嵌合部に突起を設けたことを特徴
とする特許請求の範囲第１〜第４項のいずれか記載のキ
ャリアボックス。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1519584A JPS60160608A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | キヤリアボツクス |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1519584A JPS60160608A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | キヤリアボツクス |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60160608A true JPS60160608A (ja) | 1985-08-22 |
Family
ID=11882074
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1519584A Pending JPS60160608A (ja) | 1984-02-01 | 1984-02-01 | キヤリアボツクス |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60160608A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315252U (ja) * | 1976-07-19 | 1978-02-08 | ||
| JPS5758760U (ja) * | 1980-09-25 | 1982-04-07 |
-
1984
- 1984-02-01 JP JP1519584A patent/JPS60160608A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5315252U (ja) * | 1976-07-19 | 1978-02-08 | ||
| JPS5758760U (ja) * | 1980-09-25 | 1982-04-07 |
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