JPS6017985B2 - 薄片乾燥機 - Google Patents
薄片乾燥機Info
- Publication number
- JPS6017985B2 JPS6017985B2 JP51052336A JP5233676A JPS6017985B2 JP S6017985 B2 JPS6017985 B2 JP S6017985B2 JP 51052336 A JP51052336 A JP 51052336A JP 5233676 A JP5233676 A JP 5233676A JP S6017985 B2 JPS6017985 B2 JP S6017985B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- basket
- wafer
- case
- rotation
- dust
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F26—DRYING
- F26B—DRYING SOLID MATERIALS OR OBJECTS BY REMOVING LIQUID THEREFROM
- F26B5/00—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat
- F26B5/08—Drying solid materials or objects by processes not involving the application of heat by centrifugal treatment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Molecular Biology (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Drying Of Solid Materials (AREA)
- Centrifugal Separators (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は薄片の乾燥機に関し、とくに半導体ゥェハー乾
燥機の改良に関する。
燥機の改良に関する。
従来、この種の乾燥機は、−第１図に示すように構成さ
れていた。
れていた。
即ち、洗浄処理の施された多数のウェハー２を収納する
バスケット１を回転軸４にとりつけ、この回転軸４を軸
継手５を介してモーター３によって回転せしめ、一方バ
スケット１の周囲にはこのバスケット１を囲むケース７
が形成されており、このバスケット１はケース７に対し
、回転軸４を支持する軸受け６で回転自在に取り付けら
れている。バスケット１の上方には、空気導入口９を備
えたフタ１０を有している。洗浄処理の施された多数の
ウェハー２をバスケット１に設置した後、バスケット１
を２０００〜３００仇ｐｍで高速回転せしめるとともに
清浄な空気を空気導入口９から導入し排液口を兼ねる排
気口８から排気するものである。この時、洗浄液と混合
した状態で、ウェハーに付着した塵挨等が洗浄液ととも
に飛沫となって飛散するためにウェハー表面の塵挨等を
取り除きながら乾燥することができる。
バスケット１を回転軸４にとりつけ、この回転軸４を軸
継手５を介してモーター３によって回転せしめ、一方バ
スケット１の周囲にはこのバスケット１を囲むケース７
が形成されており、このバスケット１はケース７に対し
、回転軸４を支持する軸受け６で回転自在に取り付けら
れている。バスケット１の上方には、空気導入口９を備
えたフタ１０を有している。洗浄処理の施された多数の
ウェハー２をバスケット１に設置した後、バスケット１
を２０００〜３００仇ｐｍで高速回転せしめるとともに
清浄な空気を空気導入口９から導入し排液口を兼ねる排
気口８から排気するものである。この時、洗浄液と混合
した状態で、ウェハーに付着した塵挨等が洗浄液ととも
に飛沫となって飛散するためにウェハー表面の塵挨等を
取り除きながら乾燥することができる。
しかし、実際問題としてＬ次のような欠点があった。
すなわち、バスケット１の回転中、ケース内に流入した
清浄な空気は、９Ｅ液兼排気口８よりケース７外に流出
するが、ウェハー２からふりとばされた洗浄液、塵挨等
の一部は、ケース７の内側壁にあたり、ケース側壁に付
着していた塵挨とともにはねかえり、一部は霧状となり
、他は、そのまま、ウェハー表面やバスケットに付着す
る。又、ケース７内の気流は矢印１１の如く循環してお
り、霧状となった洗浄液、塵挨等が再びウヱハー表面や
バスケットに付着し／て、汚すこととなる。従釆、この
種の乾燥機のモーターは直流モーターを使用し、使用回
転数になる迄には、かなりの時間がかかり、ウェハー面
に残っている洗浄液、塵挨等にかかる遠心力が小さく、
完全にふりとばす為には２０００〜３００仇ｐｍの高速
回転が必要であり又、長時間回転させる必要があった。
清浄な空気は、９Ｅ液兼排気口８よりケース７外に流出
するが、ウェハー２からふりとばされた洗浄液、塵挨等
の一部は、ケース７の内側壁にあたり、ケース側壁に付
着していた塵挨とともにはねかえり、一部は霧状となり
、他は、そのまま、ウェハー表面やバスケットに付着す
る。又、ケース７内の気流は矢印１１の如く循環してお
り、霧状となった洗浄液、塵挨等が再びウヱハー表面や
バスケットに付着し／て、汚すこととなる。従釆、この
種の乾燥機のモーターは直流モーターを使用し、使用回
転数になる迄には、かなりの時間がかかり、ウェハー面
に残っている洗浄液、塵挨等にかかる遠心力が小さく、
完全にふりとばす為には２０００〜３００仇ｐｍの高速
回転が必要であり又、長時間回転させる必要があった。
本発明は、上記の従来のものの欠点を改善し、清浄な雰
囲気中でウェハーを完全に乾燥させる半導体ゥェハ‐乾
燥機を提供するものである。
囲気中でウェハーを完全に乾燥させる半導体ゥェハ‐乾
燥機を提供するものである。
以下、実施例を第２図、第３図により説明する。１０１
〜１０４および１０６〜ＴＩＩは第１図の１〜４および
６〜１１と同一部を示している。
〜１０４および１０６〜ＴＩＩは第１図の１〜４および
６〜１１と同一部を示している。
ウェハー１０２を収納したバスケット１０１を囲んで回
転軸１０４とは同０円周上でかつ接線方向に対して００
〜４００のある角度、例えば３００の角度をもたせた羽
根１１３を設ける。これにより、ウェハーＩＱ２より、
ふりとばされた洗浄液、塵挨等は、一且羽根１１３の内
側面にあたるが、バスケット亀ＱＩの回転による接線方
向の気流により、羽根亀１３の内側面よりケース内壁側
に吹き飛ばされる。ケース１０７内壁に衝突した霧状の
洗浄液等は羽根１１３の外側面に衝突したりまた一部は
ケース首Ｑ７の内側に沿って排気口１０８より排出され
、ウェハー１０２やバスケットＩＵＩへはねかえること
はなくなる。又「ケース１０７の側壁の接線方向に設け
た排気及び雛液□翼０８１こより、抵抗なく排出され「
ケース１０７内を循環する成分の気流はなくなる。
転軸１０４とは同０円周上でかつ接線方向に対して００
〜４００のある角度、例えば３００の角度をもたせた羽
根１１３を設ける。これにより、ウェハーＩＱ２より、
ふりとばされた洗浄液、塵挨等は、一且羽根１１３の内
側面にあたるが、バスケット亀ＱＩの回転による接線方
向の気流により、羽根亀１３の内側面よりケース内壁側
に吹き飛ばされる。ケース１０７内壁に衝突した霧状の
洗浄液等は羽根１１３の外側面に衝突したりまた一部は
ケース首Ｑ７の内側に沿って排気口１０８より排出され
、ウェハー１０２やバスケットＩＵＩへはねかえること
はなくなる。又「ケース１０７の側壁の接線方向に設け
た排気及び雛液□翼０８１こより、抵抗なく排出され「
ケース１０７内を循環する成分の気流はなくなる。
この排気及び磯液□８の断面は十分大きくする必要があ
り、小さいと逆流が防止できない。乾燥した半導体ウヱ
ハー竃０２の表面の清浄度が高くかつ循環する気流がな
く〜導入した空気をそのままの流量で排気できるもので
乾燥効果が上り、また短時間ですむ。また、ウェハーＩ
の２が回転中に割れた場合「羽根亀１３のためにウェハ
ーの破片がバスケット１０１内に逆流することがなく、
他のウュハーを傷つけることがない。
り、小さいと逆流が防止できない。乾燥した半導体ウヱ
ハー竃０２の表面の清浄度が高くかつ循環する気流がな
く〜導入した空気をそのままの流量で排気できるもので
乾燥効果が上り、また短時間ですむ。また、ウェハーＩ
の２が回転中に割れた場合「羽根亀１３のためにウェハ
ーの破片がバスケット１０１内に逆流することがなく、
他のウュハーを傷つけることがない。
回転駆動モーターには〜誘導モータ−を使用して、所定
の回転数迄の立ち上がりを早くすることが望ましい。か
かる構成により、ウェハー表面上の洗浄液、塵挨等にか
かる遠心力は瞬間的に大きくなり、ウェハー表面より瞬
間にふりとばすことができ、乾燥時間は短縮される。使
用回転数は、９００〜１５０びｐｍでほぼ完全に乾燥が
できる。上記実施例では、半導体ウェハーの乾燥機につ
いて、説明したが、他の遠心脱水機についても同様なこ
とがいえる。上記の如く、本発明による、半導体ウヱハ
ー等′の薄片乾燥機は、バスケットを囲む回転軸と同心
円周上にこの円周の接線方向に対し００〜４００の角度
をもたせた羽根と、ケース側壁の接線方向に排気及協液
口を設けることにより、薄片より飛散した洗浄液塵挨等
のはねかえりや循環気流をなくして排気させるようにし
たもので、ウェハーに塵挨等を付着させずに乾燥させる
ことができるばかりか、乾燥時間も短縮することができ
る。
の回転数迄の立ち上がりを早くすることが望ましい。か
かる構成により、ウェハー表面上の洗浄液、塵挨等にか
かる遠心力は瞬間的に大きくなり、ウェハー表面より瞬
間にふりとばすことができ、乾燥時間は短縮される。使
用回転数は、９００〜１５０びｐｍでほぼ完全に乾燥が
できる。上記実施例では、半導体ウェハーの乾燥機につ
いて、説明したが、他の遠心脱水機についても同様なこ
とがいえる。上記の如く、本発明による、半導体ウヱハ
ー等′の薄片乾燥機は、バスケットを囲む回転軸と同心
円周上にこの円周の接線方向に対し００〜４００の角度
をもたせた羽根と、ケース側壁の接線方向に排気及協液
口を設けることにより、薄片より飛散した洗浄液塵挨等
のはねかえりや循環気流をなくして排気させるようにし
たもので、ウェハーに塵挨等を付着させずに乾燥させる
ことができるばかりか、乾燥時間も短縮することができ
る。
図面の簡単な説擬
第１図は従釆の半導体ウェハー乾燥機の断面図、第２図
はこの発明の一実施例を示す断面図、第３図は第２図に
おけるＡ一Ａ断面図を示す。
はこの発明の一実施例を示す断面図、第３図は第２図に
おけるＡ一Ａ断面図を示す。
図中１，１０１‘まバスケット、２？ ＩＱ２はウエハ
−ｔ３，１８３はモーター、亀，１０４は回転軸「 ５
は鞠継手、６，ＩＱ６は軸受、７リ １０７はケース、
８９ １０８は排気及雛液口、９，１０９は空気導入口
、１０，１ １０；まフタ、１１２はシール材、１１３
は羽根、１１４はプーリー「 １１５はベルトを示す。
才↓図 三★２選函 三す５区函
−ｔ３，１８３はモーター、亀，１０４は回転軸「 ５
は鞠継手、６，ＩＱ６は軸受、７リ １０７はケース、
８９ １０８は排気及雛液口、９，１０９は空気導入口
、１０，１ １０；まフタ、１１２はシール材、１１３
は羽根、１１４はプーリー「 １１５はベルトを示す。
才↓図 三★２選函 三す５区函
Claims (1)
- １ 液処理が施された薄片を収納したバスケツトを水平
に回転させる回転機構と、前記バスケツトの回転方向に
於いて前記バスケツトから遠ざかるように前記バスケツ
トの周囲に回転しないように固定された多数の羽根と、
前記バスケツトおよび前記多数の羽根を囲むケースに前
記バスケツトの回転軸を中心とする円の接線方向と同じ
方向であつて前記バスケツトの回転方向と同じ方向で水
平に設けられた排気および排液口とを有することを特徴
とする薄片乾燥機。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51052336A JPS6017985B2 (ja) | 1976-05-08 | 1976-05-08 | 薄片乾燥機 |
| US05/792,993 US4087924A (en) | 1976-05-08 | 1977-05-02 | Rotary-type slice dryer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51052336A JPS6017985B2 (ja) | 1976-05-08 | 1976-05-08 | 薄片乾燥機 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52135453A JPS52135453A (en) | 1977-11-12 |
| JPS6017985B2 true JPS6017985B2 (ja) | 1985-05-08 |
Family
ID=12911945
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51052336A Expired JPS6017985B2 (ja) | 1976-05-08 | 1976-05-08 | 薄片乾燥機 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4087924A (ja) |
| JP (1) | JPS6017985B2 (ja) |
Families Citing this family (20)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS594633U (ja) * | 1982-07-01 | 1984-01-12 | 黒谷 信子 | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 |
| JPS5956739U (ja) * | 1982-10-07 | 1984-04-13 | 黒谷 信子 | シリコンウエハ等の水切乾燥装置 |
| US4489502A (en) * | 1982-11-03 | 1984-12-25 | Seiichiro Aigo | Spin drier for silicon wafers and the like |
| US4517752A (en) * | 1983-06-27 | 1985-05-21 | Machine Technology, Inc. | Splash retarder |
| JPS60122878A (ja) * | 1983-12-06 | 1985-07-01 | 九州日本電気株式会社 | 遠心乾燥機 |
| US4525938A (en) * | 1984-01-09 | 1985-07-02 | Seiichiro Aigo | Spin drier for semiconductor material |
| JPS61125580A (ja) * | 1984-11-20 | 1986-06-13 | 九州日本電気株式会社 | 遠心乾燥機 |
| US5490830A (en) * | 1994-04-12 | 1996-02-13 | Global Focus Marketing & Distribution | Air-cooled biohazard centrifuge |
| US6038786A (en) * | 1998-04-16 | 2000-03-21 | Excel Dryer Inc. | Hand dryer |
| TW412817B (en) | 1998-06-19 | 2000-11-21 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | A bump bonding apparatus and method |
| US7039301B1 (en) | 1999-10-04 | 2006-05-02 | Excel Dryer, Inc. | Method and apparatus for hand drying |
| JP2004510079A (ja) * | 2000-09-20 | 2004-04-02 | ベア オースチン アール | ヒンジ装着システム |
| US7596886B1 (en) * | 2002-12-18 | 2009-10-06 | Lam Research Corporation | Method and system to separate and recycle divergent chemistries |
| EP2939746B1 (en) | 2014-04-30 | 2016-09-07 | Alfa Laval Corporate AB | A centrifugal separator |
| EP2939747B1 (en) | 2014-04-30 | 2016-08-03 | Alfa Laval Corporate AB | A centrifugal separator |
| US11084216B2 (en) | 2018-04-23 | 2021-08-10 | Carbon, Inc. | Resin extractor for additive manufacturing |
| US11919236B2 (en) | 2018-09-26 | 2024-03-05 | Carbon, Inc. | Spin cleaning method and apparatus for additive manufacturing |
| US11247389B2 (en) | 2019-01-07 | 2022-02-15 | Carbon, Inc. | Systems and methods for resin recovery in additive manufacturing |
| US11440259B2 (en) | 2020-01-31 | 2022-09-13 | Carbon, Inc. | Resin reclamation centrifuge rotor for additively manufactured objects |
| WO2022076235A1 (en) | 2020-10-09 | 2022-04-14 | Carbon, Inc. | Vapor spin cleaning of additively manufactured parts |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3014642A (en) * | 1957-04-03 | 1961-12-26 | Senarator Ab | Centrifugal separator |
| US3092582A (en) * | 1959-03-20 | 1963-06-04 | Black Clawson Co | Centrifuge |
-
1976
- 1976-05-08 JP JP51052336A patent/JPS6017985B2/ja not_active Expired
-
1977
- 1977-05-02 US US05/792,993 patent/US4087924A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS52135453A (en) | 1977-11-12 |
| US4087924A (en) | 1978-05-09 |
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