JPS61125580A - 遠心乾燥機 - Google Patents
遠心乾燥機Info
- Publication number
- JPS61125580A JPS61125580A JP24526284A JP24526284A JPS61125580A JP S61125580 A JPS61125580 A JP S61125580A JP 24526284 A JP24526284 A JP 24526284A JP 24526284 A JP24526284 A JP 24526284A JP S61125580 A JPS61125580 A JP S61125580A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- centrifugal
- centrifugal dryer
- lid
- dryer
- air
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Drying Of Solid Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は遠心力を利用して、乾燥処理上行なう事のでき
る装置ｔＶｃｐＡするものである。
る装置ｔＶｃｐＡするものである。
従来遠心乾燥機は密封状態での乾燥を行なっていたため
装置内部での空気の流れが悪く完全に乾燥してしまう為
にはかなりの時間を要していた。
装置内部での空気の流れが悪く完全に乾燥してしまう為
にはかなりの時間を要していた。
この時間から遠心乾燥機の処理能力が決定される事が多
く遠心乾燥機の処理能力を上げる事は乾燥前の装置の処
理能力もあがる事につながる。又乾燥不十分の状態で次
工程に送らｎると、特に半導体製造工程では感光性樹脂
の密着不良を誘発し、エッチフグ処理時に密着不良によ
るオーバーエッチを発生し、バター／形成不良の原因と
なりたり、又醸化処理・気相成長工程では膜厚が不均一
になったりしでいた。更に、空気の流れが悪いために乾
燥機底部に付着したゴミが舞い上）乾燥中の半導体基板
に付着し、後工程でゴミが原因となるバター７形成不良
を誘発したりして、遠心乾燥機の状態が半導体装置の歩
留を左右する事もしはしはあった。
く遠心乾燥機の処理能力を上げる事は乾燥前の装置の処
理能力もあがる事につながる。又乾燥不十分の状態で次
工程に送らｎると、特に半導体製造工程では感光性樹脂
の密着不良を誘発し、エッチフグ処理時に密着不良によ
るオーバーエッチを発生し、バター／形成不良の原因と
なりたり、又醸化処理・気相成長工程では膜厚が不均一
になったりしでいた。更に、空気の流れが悪いために乾
燥機底部に付着したゴミが舞い上）乾燥中の半導体基板
に付着し、後工程でゴミが原因となるバター７形成不良
を誘発したりして、遠心乾燥機の状態が半導体装置の歩
留を左右する事もしはしはあった。
この発明の遠心乾燥機は係る問題点を解決し乾燥が速く
、ゴミの少ない遠心乾燥機を提供する事ＶＣおる。
、ゴミの少ない遠心乾燥機を提供する事ＶＣおる。
この発明の遠心乾燥機は水洗処理等を施した物体を遠心
力を利用する事により乾燥する事のできる装置において
蓋中心部が開孔しており、その廻りに装置内部の空気を
外へと逃がす様にラセン状の筒を有している事を特徴と
している。
力を利用する事により乾燥する事のできる装置において
蓋中心部が開孔しており、その廻りに装置内部の空気を
外へと逃がす様にラセン状の筒を有している事を特徴と
している。
次にこの発明の一実施例につき図を用いて説明する。
従来の遠心乾燥機は、第１図に示されるようにＵ字型の
容器ＩＫガスを噴出できる管２を配置した蓋３を有し、
乾燥すべき物体を入れるバスケット部４とバスケット部
４の固定された筒状の枠５゜更に該筒状の枠５を回転さ
せるための固定軸６及びモーター７ｔ−有する。
容器ＩＫガスを噴出できる管２を配置した蓋３を有し、
乾燥すべき物体を入れるバスケット部４とバスケット部
４の固定された筒状の枠５゜更に該筒状の枠５を回転さ
せるための固定軸６及びモーター７ｔ−有する。
バスケットｇ４に入れられた乾燥すべき物体は蓋３が閉
まると同時に高速回転処理とガス管２からのガスの噴出
により乾燥される。遠心力によりて飛ばさｎ九水分は排
水管８を通って排水される。
まると同時に高速回転処理とガス管２からのガスの噴出
により乾燥される。遠心力によりて飛ばさｎ九水分は排
水管８を通って排水される。
これに対し本実施例の遠心乾燥機は第２図ＢＶＣ示すよ
うにモータ一部９に接続された回転軸１０゜該回転軸１
０Ｖｃ固定された同筒形の枠１１と乾燥すべき物体を入
れられるバスケット部１２ｔ−有しており、上部の蓋１
３は中央部に穴が開孔しておりそこから取り入れられた
空気を外へ逃げだすようなラセン状の筒金同時に有して
いることを特徴としている。高速回転によって飛ばされ
た水分は側壁１４１Ｃ当たシ下部分のすり鉢状の容器に
落とされ排出される構造である。ここで従来の遠心乾燥
機（第１図）は、遠心乾燥機内の空気の流れが点線１７
の様な流れを示し物体の乾燥状態が非常に悪い。又装置
底部に付着しているゴミを巻き上げ、乾燥すべき物体に
付着させ悪影響を及ぼす事もあり九。
うにモータ一部９に接続された回転軸１０゜該回転軸１
０Ｖｃ固定された同筒形の枠１１と乾燥すべき物体を入
れられるバスケット部１２ｔ−有しており、上部の蓋１
３は中央部に穴が開孔しておりそこから取り入れられた
空気を外へ逃げだすようなラセン状の筒金同時に有して
いることを特徴としている。高速回転によって飛ばされ
た水分は側壁１４１Ｃ当たシ下部分のすり鉢状の容器に
落とされ排出される構造である。ここで従来の遠心乾燥
機（第１図）は、遠心乾燥機内の空気の流れが点線１７
の様な流れを示し物体の乾燥状態が非常に悪い。又装置
底部に付着しているゴミを巻き上げ、乾燥すべき物体に
付着させ悪影響を及ぼす事もあり九。
即ち本実施例によれば蓋１３に空気の出入りする大きな
穴及び筒を用いた事により、蓋１３の穴１９からの空気
の流れは第２図Ｂ、点線１７に示すよつな流れとなり新
鮮な空気が常に取り入れられる為、乾燥時間が約１／２
Ｖｃ短縮でき処理能力向上につながった。又遠心乾燥
機内の空気の逆流によるゴミ付着も防止できるため特に
ゴミをきらう半導体装置製造において期待できる装置で
ある。
穴及び筒を用いた事により、蓋１３の穴１９からの空気
の流れは第２図Ｂ、点線１７に示すよつな流れとなり新
鮮な空気が常に取り入れられる為、乾燥時間が約１／２
Ｖｃ短縮でき処理能力向上につながった。又遠心乾燥
機内の空気の逆流によるゴミ付着も防止できるため特に
ゴミをきらう半導体装置製造において期待できる装置で
ある。
上述の実施例において穴の位置個数、形状が異なったと
しても空気の流れが同様の流れを示す方法であれば、同
時に効果が得られるのは言うまでもない。
しても空気の流れが同様の流れを示す方法であれば、同
時に効果が得られるのは言うまでもない。
第１図は従来の遠心乾燥機を示す断面図である。
第２Ａ＠Ｂは本実施例の遠心乾燥機を示す上面図および
断面図である。 尚図において、１．１４・・・・・・Ｕ字型容器、２・
・・・・・ガス管、３・・・・・・蓋、４．１２・・・
・・・バスケット部、５．１１・・・・・・バスケット
部を固定する枠、 ６． ｔ。 ・・・・・・回転軸、７．９・・・・・・モータ一部、
８．１５・・・・・・排水管、１３・・・・・・穴及び
排気管のついた蓋、１６・・・・・・従来装置の空気の
流れ、１７・・・・・・本実施例の空気の流れ、１９・
・・・・・蓋１３についた孔でわる。 第２Ｖ；！ＪＡ 第、２ 凹Ｂ 手続補正書（方式） １ 事件の表示 昭和５９年特 許城第２４５２６２
号２ 発明の名称 遠心乾燥機 ３ 補正をする者 事件との関係 出 願 人 熊本県熊本市へ幡町１００番地 九州日本電気株式会社 代表者 中 村 秀 ４代理人 〒１０８ 東京都港区芝五丁目３７１Ｆ８号住友三田ビ
ル６ 補正の対象 願書の「特許出頴人」の欄と明細書の「図面の簡単な説
明」の欄。 Ｌ 補正の内容 ｆｉｌ Ｍ書を添付ａｔと差し替えます。 （２）明細書の第５頁第３行目に「第２Ａ−Ｂは」とあ
るのを「第２図Ａ−Ｂは」に訂正致します。
断面図である。 尚図において、１．１４・・・・・・Ｕ字型容器、２・
・・・・・ガス管、３・・・・・・蓋、４．１２・・・
・・・バスケット部、５．１１・・・・・・バスケット
部を固定する枠、 ６． ｔ。 ・・・・・・回転軸、７．９・・・・・・モータ一部、
８．１５・・・・・・排水管、１３・・・・・・穴及び
排気管のついた蓋、１６・・・・・・従来装置の空気の
流れ、１７・・・・・・本実施例の空気の流れ、１９・
・・・・・蓋１３についた孔でわる。 第２Ｖ；！ＪＡ 第、２ 凹Ｂ 手続補正書（方式） １ 事件の表示 昭和５９年特 許城第２４５２６２
号２ 発明の名称 遠心乾燥機 ３ 補正をする者 事件との関係 出 願 人 熊本県熊本市へ幡町１００番地 九州日本電気株式会社 代表者 中 村 秀 ４代理人 〒１０８ 東京都港区芝五丁目３７１Ｆ８号住友三田ビ
ル６ 補正の対象 願書の「特許出頴人」の欄と明細書の「図面の簡単な説
明」の欄。 Ｌ 補正の内容 ｆｉｌ Ｍ書を添付ａｔと差し替えます。 （２）明細書の第５頁第３行目に「第２Ａ−Ｂは」とあ
るのを「第２図Ａ−Ｂは」に訂正致します。
Claims (1)
- 液体の付着した物体を遠心力を利用する事により乾燥さ
せる遠心乾燥機において、蓋中心部が開孔しており、そ
の廻りに装置内部の空気を外へ逃がす様に筒を有してい
る事を特徴とする遠心乾燥機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24526284A JPS61125580A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 遠心乾燥機 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24526284A JPS61125580A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 遠心乾燥機 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS61125580A true JPS61125580A (ja) | 1986-06-13 |
Family
ID=17131062
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24526284A Pending JPS61125580A (ja) | 1984-11-20 | 1984-11-20 | 遠心乾燥機 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS61125580A (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52135453A (en) * | 1976-05-08 | 1977-11-12 | Nec Corp | Wafer dryer |
| JPS56149572A (en) * | 1980-04-23 | 1981-11-19 | Sogo Seiichiro | Drain dryer |
-
1984
- 1984-11-20 JP JP24526284A patent/JPS61125580A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS52135453A (en) * | 1976-05-08 | 1977-11-12 | Nec Corp | Wafer dryer |
| JPS56149572A (en) * | 1980-04-23 | 1981-11-19 | Sogo Seiichiro | Drain dryer |
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