JPS60173738A - 光学ディスクの製造方法 - Google Patents

光学ディスクの製造方法

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JPS60173738A
JPS60173738A JP2073384A JP2073384A JPS60173738A JP S60173738 A JPS60173738 A JP S60173738A JP 2073384 A JP2073384 A JP 2073384A JP 2073384 A JP2073384 A JP 2073384A JP S60173738 A JPS60173738 A JP S60173738A
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竹島 幹夫
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    • G11B7/24Record carriers characterised by shape, structure or physical properties, or by the selection of the material
    • G11B7/26Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of record carriers
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光学ディスクの製造方法に関し、詳細にはプ
レグルーブ付薄膜形成ガラススタンパ−を用いたセルキ
ャスト成形法、2P法、押し出し一圧縮成形法、射出成
形法、射出−圧縮成形法による光学ディスクの製造方法
に関するものである。
第1図に示すように、透明ディスク基板1の片面に元エ
ネルギーによって変化可能なTe系等の蒸着膜からなる
情報記録層3を形成し、その露出側にAt等の金属被覆
層4及びその上に保睦層5を形成してディスク面側から
レーザー光線を照射し、情報を再生するタイプの情報・
記録再生ディスクとしてビデオディスクやオーディオデ
ィスク等が開発され、最近、急速な発展を見せている。
この種のディスク材料としては、ガラス及びポリカーボ
ネート系樹脂、ポリメチルメタクリレート樹脂、硬質塩
化ビニル系樹脂。
4−メチルペンテン系樹脂等の透明性グラスチック材料
が検討され、このうちポリカーゴネート系樹脂、ポリメ
チルメタクリレート系樹脂については一部で実用化が進
められている。
一方、光学ヘッドのトラッキングサー〆のため、第1図
に示すように、情報記録層側のディスク基板面に微細な
プレダル゛−ツ2を形成しておく方法が有効とされ採用
されてきた。このディスク基板面へのプレグルーブ2の
形成ハ、従来、第2図に記す方法によっている。すなわ
ち表面精度および平面精度の優れたガラス原盤にフォト
レジストを所定の厚さにスピナーで塗布し、アルゴン等
のレーザー光線によジグレグループを露光・現像した後
、このプレグルーブ付ガラス原盤からNi電鋳法によシ
N1スタンパ−を製造し、このN1スタンパ−を母型と
して2P法、押し出し一圧縮成形法、射出成形法等の手
法によシブラスチックディスク基板面にプレグルーブを
転写する方法である。しかしながら、このようなプレグ
ルーブ形成法には以下の欠点が存在し、将来的に実用性
を高めていくうえで大きな障害となっている。すなわち (1)プレグルーブの深さを決定するうえで重要なフォ
トレジスト膜厚を正確に制御することが困難である。
(2)転写工程が多いため、エラーの原因となる欠陥が
増大する。
(3)電鈴工程においてNi面に表面欠陥が生じやすく
、また、Ni面内に発生する応力のためフォトレジスト
面に形成されているプレグルーブ形状がNiスタンノ9
−面に正確に転写されない。
(4) Niスタンパ−の板厚が0.3 m0丸と薄い
ため、圧力のかかるようなプラスチック成形法において
スタンノや−にゆがみを生じたシ、プラスチック成形品
の平面精度低下をまねく。
本発明は、光学ディスクの製造方法におけるこれらの問
題点を解決するため、プレグルーブ付薄膜形成ガラスス
タンツヤ−を用い、セルキャスト成形法、2P法、押し
出し一圧縮成形法。
射出成形法、射出−圧縮成形法によシ光学ディスクの製
造を可能にしたもので、以下、図面について本発明方法
を詳細に説明する。
第3図は本発明におけるガラススタンパ−を用いた光学
ディスクの製造方法を示す概略工程図、第4図は第3図
の各工程における成形体の説明図であるが、プレグルー
ブ形成材料として用いたAt、Cr 、Fe 、Ge 
、Mo 、Nb 、Sb 、8e 、Si 。
Sm、Ta 、、Te 、Ti 、V 、 W等の元素
及びこれら元素の酸化物、窒化物、ハロゲン化mlは加
工性が優れているため、ガラス基板7の薄膜8形成面に
プラズマエツチング等の手法で容易に直接、プレグルー
ブ、2を微細加工することができ゛る。
ガラススタンパ−6を用いてセルキャスト法。
2P法、押し出し一圧縮成形法、射出成形法。
射出−圧縮成形法等の各種プラスチック成形法によシ成
形した!レグルー゛ゾ2付のグラスチック基17fi9
は、光学ディスク構造として第1図に示したように、基
板1゛のプレグルーブ2形成面側に情報記録層3.金属
被覆層4.保護層5を構成することによシ光学ディスク
となる。
第5図は、本発明におけるガラススタンパ−e用い7’
cセルキヤスト成形法による光学ディスクの製造方法を
示す概略工程図であるが、成形用モノマーは重合開始剤
、添加剤と調合し予備重合によシ粘稠なシララグ状にし
た後、本発明におけるガラススタンパや−にょυ構成さ
れるモールド製内に注入され、空気浴又は温浴中におい
て60〜80℃、3〜5時間の条件で重合し、その後、
100℃以上数時間熱処理して脱壓し成形品となる。モ
ールド型は洗浄後に組立てられ、再度成形に用いられる
。成形用モノマーとしてはアクリル系(重合開始剤:過
酸化ベンゾイル又はアゾビスイソブチロニトリル)やア
リルジグリコールカーボネート(重合開始剤二過酸化ベ
ンゾイル又はジイノfI:Iピルパーオキシツカ−?ネ
ート)等が用いられ、必要に応じて紫外線吸収剤2着色
剤等の添加剤を混入する。
第6図はセルキャスト成形法によるモールド型構成図及
び脱型後の転写されたプレグルーブ形状を示しているが
、ガラススタンパ臂−6はプレグルーブ形状′rfi2
′ff:内側にして相対するモールド型10とガスケツ
) 11 、11’を介して構成される。相対するモー
ルドff1lOの材料は、低膨張率の〃う′ス(パイレ
ックス)が適している。
ガスケツ) 11 、11’の材料は塩化ビニル、酢酸
ビニル、ポリエチレン、エチレンΦ酢酸ビニル共重合体
などが使用される。また、モールド型10に注入された
シラツブが型外に漏れないように締め付は治具12 、
12’を可いてモールド型は締め付けられる。重合完結
後、脱型されたプレグルーブ2付のプラスチック基&9
は前記情報記録層1.金属被覆層、保護層等を設けるこ
とにより光学ディスクを構成する。また、本発明におけ
るセルキャスト成形法の別の実施例として、第7図に示
すように、そルド型として2枚のガラススタン/# 6
 t−お互いのプレグルーフ”2の形成面が向い合うよ
うに構成することによシ両面にプレグルーブ2を転写し
たグラスチック基板13f、得ることができる。この場
合の光学ディスクの構成は、両面に前記金属被覆層、情
報記録層、保護層等を設けたものとなる。
上記実施例において示したように、セルキャスト成形法
は成形時間が長いため量産性は期待できないが、成形設
備がコ/ノ平りトなため光学ディスクの製造において不
可欠なりリーン度の制御が各易なこと、セルキャスト成
形法における従来技術をそのまま応用できること、残留
応力のtXとんとない成形品が得られるため長期信頼性
に優れた光学ディスクが得られること、等の利点がある
第8図は本発明における別の実施例として2P法による
プレグルーブの転写工程及び脱型後の転写されたプレグ
ルーブ形状を示すものであるが、転写工程は具体的には
液状の紫外#硬化性樹脂14をガラスメタ/パー6と透
明性基板15の間に注入する工程、透明性基板15側か
ら紫外線を照射することによ#)硬化させる工程、およ
びスタンパ−′如から成形品を引きはがす工程、03つ
からなっている。プレグルーブ転写用の紫外線硬化性樹
脂14としては、転写性能の面から一般的にアクリル系
樹脂が用いられており、通常、ベンゾインエチルエーテ
ル等の光増感剤t−Sらかしめ数チモノマーに混入して
おき、これに紫外線を照射して光増感剤からのラノカル
で重合させる方法をとっている。透明性基板15の材質
としてはガラス、アクリル系樹脂、ポリカーメネート系
樹脂、4−メチルペンテン系樹脂等が用いられているが
、アクリル系紫外線硬化性樹脂との密着性の間°゛題殊
同系統のアクリル系樹脂が適しておシ、他の材質による
基板を用いる場合には、適当なカップリング剤を基板上
にあらかじめ設けておく必要がある。
2P法により得られたブレグループ付基板16は前記情
報記録層、金属被積層、保護層等を設けることによシ光
学ディスクを構成する。上記実施例において示したよう
に、2P法は透明性基板15を他の成形法で作らねばな
らず、また、透明性基板と紫外線硬化性樹脂との密着性
の問題や平面度を出すことが難しいなどの欠点があるが
、1サイクル20秒程度とかなりの量産化が図れること
、成形設備がコン7やクトなのでクリーン度の制御が容
易なこと、成形品の表面硬度が高いなどの利点がある。
第9図は本発明における別の実施例として押し出し一圧
縮成形法によるそ一ルド型構成図及び脱型後の転写され
たプレグルーブ形状を示すものであるが、押し出し一圧
縮成形法は従来のレコード盤の製造に用いられているも
ので、ガラススタンノや−6を取シ付けた圧縮金星17
゜17′内に押し出し法によシ溶融状態とした樹脂18
を所定量注入し、金型を圧縮して基板形状に仕上げ、樹
脂が冷却・固化した後に脱温してブレグループ付グラス
チック基板9を得る方法である。この場合、金製温度を
樹脂の2次転移温度よpも十分高くしておき溶融樹脂の
注入及び金型の圧縮後に金星ごと冷却して仕上げる方法
と、あらかじめ冷却された金型内に溶融樹脂を注入し金
型を圧縮して仕上げる方法の2a類考えられるが、前者
の方法で均一な成形品を得るために社会層の冷却をゆつ
くシと行なわなけれにならないため成形サイクルが長く
なるという欠点があシ、一般的には後者の方法が用いら
れている。後者の場合、金星は冷却されているため、溶
融樹脂が固化する前に金型の圧縮によシ溶融樹脂が金型
キャビティーを完全に充填するような成形条件を見い出
す必要がおる。そのため、押し出し一圧縮成形法による
ブレグループ転写に適した樹脂としては、溶融温度があ
まシ高くなく溶融粘度の小ざなも°の逅望ましく、従来
、レコード盤材料として用いられているポリビニルクロ
ライド等の樹脂が適している。押し出し一圧轡成形法に
よシ得られた!レグループ付プラスチック基板9は、前
記情報記録層。
金属被覆層、保護層等を設けることによシ光学ディスク
を構成する。また、第10図の押し出し一圧縮成形法に
おける別の実施例に示すように、モールド型の両面にプ
レグルーブ面が向い合うようにガラススタンノ4−6を
取シつけることによシ両面にプレグルーブ2t−転写し
たグラスチック基板13を得ることができる。この場合
の光学ディスクの構成は、両面に前記金属被覆層、情報
記録層、保護層等を設けたものとなる。上記実施例にお
いて示したように、押し出し一圧縮成形法は樹脂の種類
がある程度限定されてしまうが、従来のレコード盤の成
形技術をそのまま応用できること、スタンパ−と基板と
の離型性が優れていること、成形サイクルも比較的短く
てすむことなどの利点がある。
第11図社本発明における別の実施例として射出成形法
によるそ一ルド凰の構成図及び脱裂体の転写されたプレ
グルーブ形状を示すものであるが、射出成形金ah固定
側金戴19及び移動型金ff120から構成されておシ
、ガラススタンノ4−6は移動側金製20にブレグルー
プ形成面を内側にして取り付けられる。樹脂は高温に保
たれたシリンダー22内において溶融状態となシ、ラン
ナー23を通して金型キャビティー21内に高速(1秒
以内)、高圧(iooo〜3000Kf/cd)で射出
される。金型は樹脂の2次転移温度よシも十分低い温度
に冷却されておシ、溶融樹脂は金型キャビティ21を満
たしプレグルーブを転写した状態で固化する。射出成形
法はアクリル系樹脂、ポリカーボネート系樹脂、硬質塩
化ビニル系樹脂、4−メチルペンテン系樹脂等はとんど
すべての樹脂に適用できる。射出成形法によシ得られた
プレグルーブ付プラスチック基板9は、前記情報記録層
、金縞被機層、保護層等を設けることによ1.υ光学デ
ィスクを構成する。上記実施例において示したように、
射出成形法は入社の成形設備を必要とするとともに高圧
成形のため成形品に経時変化の原因となる残留ら力が生
じ易く、最適成形条件の設定が離しいが、汎用性や量産
性があシ、また゛、従来のNiスタンパ−を使用した場
合におけルスタンパーのゆがみはガラススタンパ−の板
厚を十分大きくと多剛性を高めることにより防止できる
等の利点がある。
なお、本発明における別の実施例として射出−圧縮成形
法によるプラスチック基板上へのプレグルーブの転写方
法があるが、射出−圧縮成形法は、射出成形法において
問題と々る成形品内の残留応力を小さくおさえるため考
案された成形法でおる。したがって、この成形法は、基
本的には射出成形法と同じであり、ガラススタンパ−を
取9つけたモールド金型の構成も第11図と同様である
。す々わち成形するに際しては、始め固定側合を19と
移動側金型20の間にある程度のクリアランスを設けて
おき、樹脂を金型キャビティー内に射出した後で金mを
圧縮し基板形状に仕上げる方法である。従って、樹脂は
金型キャビティー内において余シ圧力をかけずに成形さ
れるため、基板内の残留応力を小さくおさえることがで
きる。
以上、図面に示した実施例とともに説明したように、本
発明は以上のように構成されており、(1) ガラスス
タンパ−は、その表面にプレグルーブを直接形成したA
t、 Cr 、 Fe 、 Ge 、Mo 、Nb +
Sb、Be;8玉、Sm、Ta、Te、Ti 、V、W
の元素及びこれら元素の酸化物S窒化物−、/%ログン
化物から成る薄膜を有するため、従来のN1スタンノ9
−の場合と比較して転写工程をかなシ省略でき、各グラ
スチック成形法とも大幅なエラー率の向上が図れる。
(2) ガラススタンパ−は板厚を任意に選択でき、剛
性のあるスタンパ−として使用できるため、射出成形法
のよう々高圧成形においてもスタンパ−にゆがみの生じ
る危゛険性はなく、均一な成形品を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
第1図は光学ディスクの構成例t′示す断面図、第2図
は従来法によるプレグルーブ付プラスチック基板製造方
法を示す工程図、第3図はガラススタンパ−を用いた光
学ディスクの製造方法を示す概略工程図、第4図は第3
図の各工程における成形体の説明図、第5図はセルキャ
スト成形法による光学ディスクの製造方法を示す概略工
程図、第6図はセルキャスト成形法による・モールド型
の構成図及び脱型後の転写工程図、第7図はセルキャス
ト法によるプレグルーブ両面形成モールド型の構成図お
よび転写工程図、第8図は2P法による転写工程図、第
9図は押し出し一圧縮成形法によるモ−ルド金型チおよ
び転写工程図、第10図は押し出し一圧縮成形汰による
プレグルーブ両面形成モールド型の構成図および転写工
程図、第11図は射出成形法及び射出−圧mg形法にお
けるモールド型の構成図および転写工程図である。 図面中、 1は透明ディスク基板、 2はプレグルーブ、 3は情報記録層、 4は金属被覆層、 5性保設層、 6はガラススタンパ−1 7はガラス基板、 8はSL薄膜、 9はブレダル−f刊プラスチック基板、10はモールド
型、 11 、11’はガスケット、 12 、12’は締めつけ治具、 13はプレグルーブ両面形成プラスチック基板、14は
紫外線硬化性樹脂、 15は透明性基板、 16はプレグルーブ基板、 17 、17’・・・圧縮金型、 18は溶融樹脂、 19は固定側金型、 20は移動側金型、 21は金型キャビティー、 22はシリンダー、 23はランナーである。 特許出願人 日本電信電話公社 代理人弁理士 光石 士部(他1名) 第3図 第4図 第5図 第6図 第7図 第8図 紫 外 線 ↓脱型 F=コ 第10図 [ヨ=]

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 (1)光情報記録用光学ディスクにおいて、表面精度お
    よび平面精度の優れたガラス基板の片面にAt、Cr 
    、Fe 、Ge 、Mo 、Nb 、Sb 、Ss 、
    St 。 Sm、Ta 、Te 、Ti 、V 、 Wの元素及び
    これら元素の酸化物、窒化物、ハロダン化物から成るプ
    レグルーブ付薄膜を形成しガラスメタン/f−として用
    いるとともに、このスタンパ−面上ノブレグループをグ
    ラスチック成形法によυプラスチック基板上に転写する
    ことを特徴とする光学ディスクの製造方法。 (2)前記グラスチック成形法をセルキャスト成形法に
    より行うことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の
    光学ディスクの製造方法。 (31前記ガラススタンパ臂−をセルキャスト成形法に
    おける2枚のセル型として使用し、このスタンパ−面上
    のプレグルーブ形成面が向い合うようにセットすること
    によシブラスチック基板の両面にプレグルーブを転写す
    るととを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学デ
    ィスクの製造方法。 (4) 前記ガラススタンパ−面上のプレグルーブを2
     P (Photo −Polymer )法によりガ
    ラス又はグラスチック基板面上に転写することを特徴と
    する特許請求の範囲第1項記載の光学ディスクの製造方
    法。 (5)前記ガラススタンパ−面上のプレグルーブを押し
    出し一圧縮成形法によシブラスチック基板面上に転写す
    ることを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学デ
    ィスクの製造方法。 (6)前記ガラススタンパ−をこのスタンパ−面上のプ
    レグルーブ形成面が向い合うように押し出し一圧縮成形
    法における渠−′ルド埠の両面にセットすることによシ
    ブラスチック基板の両面にプレグルーブを転写すること
    を特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学デイスフ
    の製造方法。 (7ン 前記ガラススタンパ−面上のプレグルーブを射
    出成形法にょシブラスチック基板面上に転写することを
    特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学ディスクの
    製造方法。 (8) 前記ガラススタンパ−面上のプレグルーブを射
    出−圧縮成形法によシブラスチック基板面上に転写する
    ことを特徴とする特許請求の範囲第1項記載の光学ディ
    スクの製造方法。
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