JPS60173734A - マスタ−スタンパ− - Google Patents
マスタ−スタンパ−Info
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- JPS60173734A JPS60173734A JP2891784A JP2891784A JPS60173734A JP S60173734 A JPS60173734 A JP S60173734A JP 2891784 A JP2891784 A JP 2891784A JP 2891784 A JP2891784 A JP 2891784A JP S60173734 A JPS60173734 A JP S60173734A
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- Japan
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- layer
- nickel
- stamper
- master
- master stamper
- Prior art date
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- Pending
Links
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B23/00—Record carriers not specific to the method of recording or reproducing; Accessories, e.g. containers, specially adapted for co-operation with the recording or reproducing apparatus ; Intermediate mediums; Apparatus or processes specially adapted for their manufacture
- G11B23/0057—Intermediate mediums, i.e. mediums provided with an information structure not specific to the method of reproducing or duplication such as matrixes for mechanical pressing of an information structure ; record carriers having a relief information structure provided with or included in layers not specific for a single reproducing method; apparatus or processes specially adapted for their manufacture
Landscapes
- Optical Record Carriers And Manufacture Thereof (AREA)
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、映像、音響、もしくは他の情報信号が面上に
凸凹の形で記録される複製体の製造や、トラック溝が形
成される複製体の製造に用いられるスタンパ−を製造す
るだめのマスタースタンパ−に関するものである。
凸凹の形で記録される複製体の製造や、トラック溝が形
成される複製体の製造に用いられるスタンパ−を製造す
るだめのマスタースタンパ−に関するものである。
従来例の構成とその問題点
通常、マスタースタンパ−は、ガラス原盤上にホトレジ
ストにより凸凹状の信号、もしくはトラック溝を形成後
、その面上に直接金属層を銀鏡反応、真空蒸着などによ
り形成し、さらにその面上に電解メッキにより同種、も
しくは異種の金属層を形成後、ガラス原盤から金属層を
剥離して作製されるため、１種、もしくは２種の金属で
構成されている。
ストにより凸凹状の信号、もしくはトラック溝を形成後
、その面上に直接金属層を銀鏡反応、真空蒸着などによ
り形成し、さらにその面上に電解メッキにより同種、も
しくは異種の金属層を形成後、ガラス原盤から金属層を
剥離して作製されるため、１種、もしくは２種の金属で
構成されている。
以下図面を参照しながら従来のマスタースタンパ−につ
いてより詳しく説明する。第１図のａは、従来のマスタ
ースタンパ−のガラス原盤からの剥離前の断面図であり
、ｂは剥離後の断面図である。
いてより詳しく説明する。第１図のａは、従来のマスタ
ースタンパ−のガラス原盤からの剥離前の断面図であり
、ｂは剥離後の断面図である。
まず、洗浄されたガラス原盤１０表面にレジストを塗布
し、レーザ光で露光後、現像し、凸凹状の信号層、もし
くはトラック溝層２を形成する。
し、レーザ光で露光後、現像し、凸凹状の信号層、もし
くはトラック溝層２を形成する。
次に、その凸凹状の信号層、もしくはトラック溝層２の
上に銀鏡反応、もしくは真空蒸着などにより銀などの金
属層３を厚さ約１０００八で形成し、さらにその金属層
３上に電解メッキにより厚さ２００〜４００μｍのニッ
ケル層４を形成し、ガラス原盤１より剥離し、表面を洗
浄し、凸凹状信号層もしくはトラック溝層２を除去して
マスタースタンパ−を作製する。
上に銀鏡反応、もしくは真空蒸着などにより銀などの金
属層３を厚さ約１０００八で形成し、さらにその金属層
３上に電解メッキにより厚さ２００〜４００μｍのニッ
ケル層４を形成し、ガラス原盤１より剥離し、表面を洗
浄し、凸凹状信号層もしくはトラック溝層２を除去して
マスタースタンパ−を作製する。
しかしながら、上記のように構成されたマスタースタン
パ−には次のような欠点がある。
パ−には次のような欠点がある。
まず第１に、マザースタンパ−を作製する時、マスター
スタンパ−の表面が銀、ニッケルなどの金属でできてい
るため、直接ニッケルを電解メッキすると、マスタース
タンパ−とマザースタンパ−とを剥離できなくなる。そ
こで、マスタースタンパ−の表面を重クロム酸カリウム
溶液により表面処理する必要がある。さらに、その処理
の時にマスク、−スタンパ−表面の汚染の危険がある。
スタンパ−の表面が銀、ニッケルなどの金属でできてい
るため、直接ニッケルを電解メッキすると、マスタース
タンパ−とマザースタンパ−とを剥離できなくなる。そ
こで、マスタースタンパ−の表面を重クロム酸カリウム
溶液により表面処理する必要がある。さらに、その処理
の時にマスク、−スタンパ−表面の汚染の危険がある。
第２に、重クロム酸カリウム溶液には６価のクロムイオ
ンが含まれているため廃棄する時、特別な処理を必要と
する。第３に、６価クロムイオンは人体に有害であるか
ら取り扱いに注意が必要である。
ンが含まれているため廃棄する時、特別な処理を必要と
する。第３に、６価クロムイオンは人体に有害であるか
ら取り扱いに注意が必要である。
第４に、工程が多い。第６に、コストが高い。
発明の目的
本発明の目的は、マザースタンパ−を作製する際に表面
処理を必要としないマスタースタンパ−を提供すること
であり、上記欠点を除去したマスタースタンパ−を提供
することにある。
処理を必要としないマスタースタンパ−を提供すること
であり、上記欠点を除去したマスタースタンパ−を提供
することにある。
発明の構成
本発明のマスタースタンパ−は、面上に凸凹状の信号、
もしくはトラック溝を形成したマスタースタンパ−にお
いて、その凸凹状の信号、もしくはトラック溝を形成す
る面に厚さ１５０Ａ以下の酸化物層を有するように構成
したものであり、これによりマザースタンパ−の作製に
対するマスタースタンパ−の表面処理が不要となり、重
クロム酸カリウム溶液が不要となるものである。
もしくはトラック溝を形成したマスタースタンパ−にお
いて、その凸凹状の信号、もしくはトラック溝を形成す
る面に厚さ１５０Ａ以下の酸化物層を有するように構成
したものであり、これによりマザースタンパ−の作製に
対するマスタースタンパ−の表面処理が不要となり、重
クロム酸カリウム溶液が不要となるものである。
実施例の説明
以下本発明の一実施例について、図面を参照しながら説
明する。第２図のａは本発明の一実施例におけるマスタ
ースタンパ−のガラス原盤からの剥離前の断面図であり
、ｂは剥離後の断面図である。第３図は本発明の一実施
例におけるマスタースタンパ−からのマザースタンパ−
の剥離前の断面図である。
明する。第２図のａは本発明の一実施例におけるマスタ
ースタンパ−のガラス原盤からの剥離前の断面図であり
、ｂは剥離後の断面図である。第３図は本発明の一実施
例におけるマスタースタンパ−からのマザースタンパ−
の剥離前の断面図である。
まず、洗浄を行なった直径２００ミリ、厚さ６ミリのガ
ラス原盤１の表面（洗浄面）にＡＺ−１３５０（石炭酸
ホルマリン縮金物にてスルホン基を介してキノンジアザ
イトが結合したポジ型レジスト）をスピナーを用いて１
０００Ａの厚みで塗布し、ヘリウム−カドミウムレーザ
で露光後、現像して凸凹状の信号層２を形成した。次に
その凸凹状信号層２０面上に、ニッケルターゲットを取
り付けた高周波スパッター装置を用い、アルゴンガスと
酸素ガスを導入した雰囲気中でスパッターパワー４００
〜６００Ｗのスパッター条件で反応スパッターを行ない
厚さ約１００人の酸化ニッケル層を酸化物層５として形
成し、さらにその上に同スパッター装置を用いてアルゴ
ンガス雰囲気中、スパッターパワー４００〜ｅｉｏＯＷ
（ｉｌ）スパッター条件で金属層３として厚み約９００
人のニッケル層を形成した。次に、そのニッケル層の面
上にスルフアミノ酸ニッケル浴を用いてニッケルの電解
メッキを行ない厚さ３００μｍのニッケル層４を形成し
た。そして、ガラス原盤１より剥離し、洗浄してマスタ
ースタンパ−６を作製した。このマスタースタンパ−６
によりスルファミン酸ニッケル浴を用いて厚み６００μ
ｍのマザースタンパ−７を作製したところ、マスタース
タンパ−からの剥離が容易でラリ、シかも凸凹状信号へ
の悪影響もなく、転写性はさらに良くなっていた。なお
、上の実施例では酸化物層６として酸化ニッケル層を形
成したが、酸化物層６は酸化ニッケルに限定されるもの
ではなく、１５０Å以下の厚みで層を形成でき、金属層
３と強く密着できる機能を有するものであれば何でもよ
い。例えば、酸化銀を用いることができる。
ラス原盤１の表面（洗浄面）にＡＺ−１３５０（石炭酸
ホルマリン縮金物にてスルホン基を介してキノンジアザ
イトが結合したポジ型レジスト）をスピナーを用いて１
０００Ａの厚みで塗布し、ヘリウム−カドミウムレーザ
で露光後、現像して凸凹状の信号層２を形成した。次に
その凸凹状信号層２０面上に、ニッケルターゲットを取
り付けた高周波スパッター装置を用い、アルゴンガスと
酸素ガスを導入した雰囲気中でスパッターパワー４００
〜６００Ｗのスパッター条件で反応スパッターを行ない
厚さ約１００人の酸化ニッケル層を酸化物層５として形
成し、さらにその上に同スパッター装置を用いてアルゴ
ンガス雰囲気中、スパッターパワー４００〜ｅｉｏＯＷ
（ｉｌ）スパッター条件で金属層３として厚み約９００
人のニッケル層を形成した。次に、そのニッケル層の面
上にスルフアミノ酸ニッケル浴を用いてニッケルの電解
メッキを行ない厚さ３００μｍのニッケル層４を形成し
た。そして、ガラス原盤１より剥離し、洗浄してマスタ
ースタンパ−６を作製した。このマスタースタンパ−６
によりスルファミン酸ニッケル浴を用いて厚み６００μ
ｍのマザースタンパ−７を作製したところ、マスタース
タンパ−からの剥離が容易でラリ、シかも凸凹状信号へ
の悪影響もなく、転写性はさらに良くなっていた。なお
、上の実施例では酸化物層６として酸化ニッケル層を形
成したが、酸化物層６は酸化ニッケルに限定されるもの
ではなく、１５０Å以下の厚みで層を形成でき、金属層
３と強く密着できる機能を有するものであれば何でもよ
い。例えば、酸化銀を用いることができる。
発明の効果
以上の説明から明らかなように、本発明のマスタースタ
ンパ−は、面上に凸凹状の信号、もしくはトラック溝を
形成したマスタースタンパ−において、その凸凹状の信
号、もしくはトラック溝を形成する面に厚さ１６０Å以
下党酸イ仁物層を有するように構成しているので次のよ
うな効果が得られる。まず第１に、マザースタンパ−を
作成する時、マスタースタンパ−の表面処理を必要とし
ない。第２に、マスタースタンパ−の表面処理をしない
ので表面の汚染の危険がない。第３に、重りロム酸カリ
ウム溶液を必要としない０第４に、転写性が少し良くな
る０第５に、工程が少なくなる第６に、コストが下がる
。
ンパ−は、面上に凸凹状の信号、もしくはトラック溝を
形成したマスタースタンパ−において、その凸凹状の信
号、もしくはトラック溝を形成する面に厚さ１６０Å以
下党酸イ仁物層を有するように構成しているので次のよ
うな効果が得られる。まず第１に、マザースタンパ−を
作成する時、マスタースタンパ−の表面処理を必要とし
ない。第２に、マスタースタンパ−の表面処理をしない
ので表面の汚染の危険がない。第３に、重りロム酸カリ
ウム溶液を必要としない０第４に、転写性が少し良くな
る０第５に、工程が少なくなる第６に、コストが下がる
。
第１図ａは従来のマスタースタンパ−のガラス原盤から
の剥離前の断面図、第１図すは剥離後の断面図、第２図
ａは本発明の一実施例におけるマスタースタンパ−のガ
ラス原盤からの剥離前の断面図、第２図すは剥離後の断
面図、第３図は本発明の一実施例におけるマスタースタ
ンパ−からのマザースタンパ−剥離前の断面図である。 １・・・・・・ガラス原盤、２・・・・・・凸凹状信号
層もしくはトラック溝層、３・・・・・・金属層、４・
・・・・・ニッケル層、６・・・・・・酸化物層、６・
・・・・・本発明のマスタースタン、バー、７・・・・
・・マザースタンパ−０代理人の氏名 弁理士 中 尾
敏 男 ほか１名第１図 第 ３ ＰＡ
の剥離前の断面図、第１図すは剥離後の断面図、第２図
ａは本発明の一実施例におけるマスタースタンパ−のガ
ラス原盤からの剥離前の断面図、第２図すは剥離後の断
面図、第３図は本発明の一実施例におけるマスタースタ
ンパ−からのマザースタンパ−剥離前の断面図である。 １・・・・・・ガラス原盤、２・・・・・・凸凹状信号
層もしくはトラック溝層、３・・・・・・金属層、４・
・・・・・ニッケル層、６・・・・・・酸化物層、６・
・・・・・本発明のマスタースタン、バー、７・・・・
・・マザースタンパ−０代理人の氏名 弁理士 中 尾
敏 男 ほか１名第１図 第 ３ ＰＡ
Claims (1)
- 面上に凸凹状の信号、もしくはトラック溝を形成すると
ともに、上記凸凹状の信号、もしくはトラック溝を形成
する面に厚さ１６０八以下の酸化物層を設けたことを特
徴とするマスタースタンパ−〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2891784A JPS60173734A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | マスタ−スタンパ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2891784A JPS60173734A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | マスタ−スタンパ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60173734A true JPS60173734A (ja) | 1985-09-07 |
Family
ID=12261749
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2891784A Pending JPS60173734A (ja) | 1984-02-17 | 1984-02-17 | マスタ−スタンパ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60173734A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5112025A (en) * | 1990-02-22 | 1992-05-12 | Tdk Corporation | Molds having wear resistant release coatings |
-
1984
- 1984-02-17 JP JP2891784A patent/JPS60173734A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5112025A (en) * | 1990-02-22 | 1992-05-12 | Tdk Corporation | Molds having wear resistant release coatings |
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