JPH04139632A - 情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法 - Google Patents
情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法Info
- Publication number
- JPH04139632A JPH04139632A JP26212590A JP26212590A JPH04139632A JP H04139632 A JPH04139632 A JP H04139632A JP 26212590 A JP26212590 A JP 26212590A JP 26212590 A JP26212590 A JP 26212590A JP H04139632 A JPH04139632 A JP H04139632A
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- Pending
Links
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- PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N Nickel Chemical compound [Ni] PXHVJJICTQNCMI-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 73
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Landscapes
- Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野コ
本発明は、情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法に
関するものである。
関するものである。
[従来の技術]
従来、レーザーディスク、コンパクトディスク等に代表
される情報記録媒体(光ディスク)のスタンパーを製造
するには、ガラス円板上にフォトレジストを塗布し、記
録すべき情報に応じて変調したレーザー光で露光した後
、現像してフォトレジストの露光部分を除去し、その表
面に導電化膜を設けると共にニッケルメッキを板杖に所
要の厚さに施し、この後ガラス円板より剥離させニッケ
ルメッキ板よりフォトレジストを除去し、かつ内、外径
加工して形を整えスタンパーとする。
される情報記録媒体(光ディスク)のスタンパーを製造
するには、ガラス円板上にフォトレジストを塗布し、記
録すべき情報に応じて変調したレーザー光で露光した後
、現像してフォトレジストの露光部分を除去し、その表
面に導電化膜を設けると共にニッケルメッキを板杖に所
要の厚さに施し、この後ガラス円板より剥離させニッケ
ルメッキ板よりフォトレジストを除去し、かつ内、外径
加工して形を整えスタンパーとする。
[発明が解決しようとする課題]
このようなスタンパーの製造方法において、前記導電化
膜としては通常銀の蒸着膜、又はニッケルのスパッタ膜
若しくは無電解ニッケル膜等が使用され、その厚さはほ
ぼ1000λ程度となっているが、銀の蒸着膜の場合に
は、銀の耐候性が劣るため表面に欠陥が生じ易く、一方
導電化膜がニッケルの場合には、ニッケルの抵抗率が銀
より高いためニッケルメッキの初期電流密度を低めにし
なければならず、所定厚のマスターを製造するのに長時
間を要することになる。この場合、ニッケルメッキの初
期電流密度を高めると、ニッケルの導電化膜中に大きな
内部応力が発生し、フオレジストからの剥離や破損の原
因になるので不都合である。
膜としては通常銀の蒸着膜、又はニッケルのスパッタ膜
若しくは無電解ニッケル膜等が使用され、その厚さはほ
ぼ1000λ程度となっているが、銀の蒸着膜の場合に
は、銀の耐候性が劣るため表面に欠陥が生じ易く、一方
導電化膜がニッケルの場合には、ニッケルの抵抗率が銀
より高いためニッケルメッキの初期電流密度を低めにし
なければならず、所定厚のマスターを製造するのに長時
間を要することになる。この場合、ニッケルメッキの初
期電流密度を高めると、ニッケルの導電化膜中に大きな
内部応力が発生し、フオレジストからの剥離や破損の原
因になるので不都合である。
[課題を解決するための手段コ
本発明は、上記のような従来のスタンパ−の製造方法の
問題点を全て解決する目的でなされ、その解決手段とし
ては基板の表面にフォトレジスト層を設け、記録すべき
情報を露光した後現像して露光部分のフォトレジストを
除去し、蒸着により表面に銀膜を設けると共にスパッタ
リングによりニッケル膜を積層して導電化膜を形成し、
この導電化膜の表面にニッケルメッキを所要の厚さに施
し、この後前記フォトレジスト層で層間剥離させ、かつ
前記銀膜を除去してニッケル膜を表面に有するマスター
を形成することを要旨とするものである。
問題点を全て解決する目的でなされ、その解決手段とし
ては基板の表面にフォトレジスト層を設け、記録すべき
情報を露光した後現像して露光部分のフォトレジストを
除去し、蒸着により表面に銀膜を設けると共にスパッタ
リングによりニッケル膜を積層して導電化膜を形成し、
この導電化膜の表面にニッケルメッキを所要の厚さに施
し、この後前記フォトレジスト層で層間剥離させ、かつ
前記銀膜を除去してニッケル膜を表面に有するマスター
を形成することを要旨とするものである。
[作 用コ
このような方法によると、導電化膜が銀とニッケルの二
層膜構造となるから、従来の銀単層の場合よりも表面の
欠陥が生し難くなり、またニッケル単層の場合とは異な
ってニッケルメッキ時に銀膜の存在により初期電流密度
を高めることができるので、短時間で所定厚さのマスタ
ーを製造することができる。更に、スタンパ−として銀
膜を除去すると表面の良好なニッケル導電化膜が現れる
。
層膜構造となるから、従来の銀単層の場合よりも表面の
欠陥が生し難くなり、またニッケル単層の場合とは異な
ってニッケルメッキ時に銀膜の存在により初期電流密度
を高めることができるので、短時間で所定厚さのマスタ
ーを製造することができる。更に、スタンパ−として銀
膜を除去すると表面の良好なニッケル導電化膜が現れる
。
[実施例]
以下、本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。
第1図において、1はガラス板からなる基板であり、こ
の基板1の上にクロム膜等の下引き層(図示せず)を介
してフォトレジスト層2を1200λ程度の厚さに形成
し、ベーキング後に記録すべき情報に応じて変調したレ
ーザー光で露光する。
の基板1の上にクロム膜等の下引き層(図示せず)を介
してフォトレジスト層2を1200λ程度の厚さに形成
し、ベーキング後に記録すべき情報に応じて変調したレ
ーザー光で露光する。
この露光後に現像して、露光された部分のフォトレノス
トを除去する。次に、その表面に蒸着により100〜1
000人の銀膜3を形成すると共に、この銀膜3の外周
部をリング状にマスキングしてからスパッタリングによ
り500〜1000人のニッケル膜4を積層することに
より導電化膜りを形成する。
トを除去する。次に、その表面に蒸着により100〜1
000人の銀膜3を形成すると共に、この銀膜3の外周
部をリング状にマスキングしてからスパッタリングによ
り500〜1000人のニッケル膜4を積層することに
より導電化膜りを形成する。
前記銀の蒸着とニッケルのスパッタ膜の成膜は、真空を
破らずに同一真空槽内で行う。
破らずに同一真空槽内で行う。
この後前記導電化膜りの表面に、初期電流密度0.1〜
I A/dm2でスルファミン酸ニッケル浴中にて電解
メツキし、徐々に電流密度を上げて最終的にはlθ〜2
0A/dI112の一定電流密度にて所定厚(0゜3m
m程度)になるまでニッケルメッキ5を施す(第2図)
。このニッケルメッキに際して、図示は省略したがメツ
キ治具の電極を、前記マスキングにより保護されて導電
化膜りの外周部に露出している銀膜3′に接触させるこ
とにより初期電流密度を高めに設定することができる。
I A/dm2でスルファミン酸ニッケル浴中にて電解
メツキし、徐々に電流密度を上げて最終的にはlθ〜2
0A/dI112の一定電流密度にて所定厚(0゜3m
m程度)になるまでニッケルメッキ5を施す(第2図)
。このニッケルメッキに際して、図示は省略したがメツ
キ治具の電極を、前記マスキングにより保護されて導電
化膜りの外周部に露出している銀膜3′に接触させるこ
とにより初期電流密度を高めに設定することができる。
ニッケルメッキ5の終了後、第3図に示すように前記フ
ォトレジスト層2で層間剥離させ、銀膜3の表面に残っ
ているフォトレジストを除去し、更に銅除去剤等を用い
て銀膜3を除去して第4図に示すようなニッケル膜4を
表面に有するマスターMを形成する。このマスターMを
研磨し、かつ整形のため内、外径加工すれば目的とする
スタンパ−を得ることができる。
ォトレジスト層2で層間剥離させ、銀膜3の表面に残っ
ているフォトレジストを除去し、更に銅除去剤等を用い
て銀膜3を除去して第4図に示すようなニッケル膜4を
表面に有するマスターMを形成する。このマスターMを
研磨し、かつ整形のため内、外径加工すれば目的とする
スタンパ−を得ることができる。
尚、前記マスターMを基にしていわゆるマザー型を作成
し、このマザー型からスタンパ−を得る場合もあるが、
前記のようにマスターをそのままスタンパ−として用い
る場合もある。
し、このマザー型からスタンパ−を得る場合もあるが、
前記のようにマスターをそのままスタンパ−として用い
る場合もある。
[発明の効果コ
以上説明したように、本発明によれば、情報記録媒体作
成用のスタンパ−の製造において、基板の上に形成する
導電化膜を銀とニッケルの二層膜構造にしたので、従来
の銀単層の場合よりも表面の欠陥が生じ難くなり、また
ニッケル単層の場合とは異なりニッケルメッキ時に銀膜
の一部を利用して初期電流密度を高めることにより、短
時間で所定厚さのマスターを製造できるのでその生産能
率を著しく向上させる効果を奏する。更に、現像された
フォレジストの形状が銀膜によって忠実に表され、これ
にニッケルをスパッタリングするのでスタンパーとして
銀膜を除去したときに欠陥の少ないニッケル導電化膜が
表面に現れ、このため品質の優れたスタンパーを提供す
ることができる。
成用のスタンパ−の製造において、基板の上に形成する
導電化膜を銀とニッケルの二層膜構造にしたので、従来
の銀単層の場合よりも表面の欠陥が生じ難くなり、また
ニッケル単層の場合とは異なりニッケルメッキ時に銀膜
の一部を利用して初期電流密度を高めることにより、短
時間で所定厚さのマスターを製造できるのでその生産能
率を著しく向上させる効果を奏する。更に、現像された
フォレジストの形状が銀膜によって忠実に表され、これ
にニッケルをスパッタリングするのでスタンパーとして
銀膜を除去したときに欠陥の少ないニッケル導電化膜が
表面に現れ、このため品質の優れたスタンパーを提供す
ることができる。
第1図から第4図は本発明方法によるスタンパーの製造
工程を示すもので、第1図は導電化膜を形成した状態で
の断面図、第2図はニッケルメッキを施した状態での断
面図、第3図はフォトレジスト層で剥離させた状態での
断面図、第4図は銀膜を除去した状態での断面図、第5
図は第1図の上面図である。 1・・・、M板 2−・・フォトレジスト層
3・・・銀膜 4・・・ニッケル膜5・・・
ニッケルメッキ L・・・導電化膜 M・・・マスター
工程を示すもので、第1図は導電化膜を形成した状態で
の断面図、第2図はニッケルメッキを施した状態での断
面図、第3図はフォトレジスト層で剥離させた状態での
断面図、第4図は銀膜を除去した状態での断面図、第5
図は第1図の上面図である。 1・・・、M板 2−・・フォトレジスト層
3・・・銀膜 4・・・ニッケル膜5・・・
ニッケルメッキ L・・・導電化膜 M・・・マスター
Claims (3)
- (1)基板の表面にフォトレジスト層を設け、記録すべ
き情報を露光した後現像して露光部分のフォトレジスト
を除去し、その表面に蒸着により銀膜を設けると共にス
パッタリングによりニッケル膜を積層して導電化膜を形
成し、この導電化膜の表面にニッケルメッキを所要の厚
さに施し、この後前記フォトレジスト層で層間剥離させ
、かつ前記銀膜を除去してニッケル膜を表面に有するマ
スターを形成することを特徴とする情報記録媒体作成用
スタンパーの製造方法。 - (2)請求項(1)において、基板外周部分には、ニッ
ケル膜を設けず、銀膜を露出させることを特徴とする情
報記録媒体作成用スタンパーの製造方法。 - (3)請求項(1)において、銀の蒸着とニッケルのス
パッタ膜を、真空を破らずに同一真空層内で行うことを
特徴とする情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26212590A JPH04139632A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP26212590A JPH04139632A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH04139632A true JPH04139632A (ja) | 1992-05-13 |
Family
ID=17371399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP26212590A Pending JPH04139632A (ja) | 1990-09-28 | 1990-09-28 | 情報記録媒体作成用スタンパーの製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH04139632A (ja) |
-
1990
- 1990-09-28 JP JP26212590A patent/JPH04139632A/ja active Pending
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