JPH10312584A - ディスク用金属原盤の製造方法 - Google Patents
ディスク用金属原盤の製造方法Info
- Publication number
- JPH10312584A JPH10312584A JP12072397A JP12072397A JPH10312584A JP H10312584 A JPH10312584 A JP H10312584A JP 12072397 A JP12072397 A JP 12072397A JP 12072397 A JP12072397 A JP 12072397A JP H10312584 A JPH10312584 A JP H10312584A
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- Japan
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 タクトタイムの短縮を図ることができるとと
もに、環境面で改善できるディスク用金属原盤の製造方
法を提供する。 【解決手段】 ＣＤ，ＤＶＤなどのディスクを製造する
ためのマスタリングにおけるディスク用金属原盤の製造
方法に関する。レジスト盤１，１ｂの表面に金属薄膜２
を形成させ、その後にその金属薄膜２表面に所定の厚さ
および裏面粗度を有する金属板４を貼り合わせたことを
特徴としている。
もに、環境面で改善できるディスク用金属原盤の製造方
法を提供する。 【解決手段】 ＣＤ，ＤＶＤなどのディスクを製造する
ためのマスタリングにおけるディスク用金属原盤の製造
方法に関する。レジスト盤１，１ｂの表面に金属薄膜２
を形成させ、その後にその金属薄膜２表面に所定の厚さ
および裏面粗度を有する金属板４を貼り合わせたことを
特徴としている。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ＣＤ（コンパクト
ディスク）、ＤＶＤ等のディスクを製造するためのマス
タリングにおける金属原盤の製造方法に関する。
ディスク）、ＤＶＤ等のディスクを製造するためのマス
タリングにおける金属原盤の製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】ＣＤやＤＶＤなどのディスクの生産プロ
セスは、ガラス原盤からメタルマスター、マザー、スタ
ンパーなどの金属原盤を作製するマスタリングと、マス
タリングによって得られたスタンパーを用いて目的のデ
ィスクを大量複製するレプリケーションとに分けられ
る。従来のマスタリングでは、図３に示すような方法に
よってガラス原盤からメタルマスター、マザーさらには
スタンパーを作っていた。
セスは、ガラス原盤からメタルマスター、マザー、スタ
ンパーなどの金属原盤を作製するマスタリングと、マス
タリングによって得られたスタンパーを用いて目的のデ
ィスクを大量複製するレプリケーションとに分けられ
る。従来のマスタリングでは、図３に示すような方法に
よってガラス原盤からメタルマスター、マザーさらには
スタンパーを作っていた。
【０００３】以下、図３の従来方法の各処理工程につい
て説明する。 (1) ガラスマスター作製（図３（ａ）） ガラスマスターの詳細な製造方法については省略する
が、マスターテープなどに編集された記録信号によって
レーザー光をＯＮ・ＯＦＦ変調し、この変調されたレー
ザー光を回転するガラス原盤に向けて照射し、ガラス基
板表面に塗布したフォトレジスト（感光剤）を感光さ
せ、これを現像して感光部分をエッチングすることによ
り、記録信号に従ったピットをカッティングされたガラ
スマスターが得られる。
て説明する。 (1) ガラスマスター作製（図３（ａ）） ガラスマスターの詳細な製造方法については省略する
が、マスターテープなどに編集された記録信号によって
レーザー光をＯＮ・ＯＦＦ変調し、この変調されたレー
ザー光を回転するガラス原盤に向けて照射し、ガラス基
板表面に塗布したフォトレジスト（感光剤）を感光さ
せ、これを現像して感光部分をエッチングすることによ
り、記録信号に従ったピットをカッティングされたガラ
スマスターが得られる。
【０００４】(2) 導電膜付与処理（図３（ｂ）） レーザーカッティングされたガラスマスターの表面は、
電気的に不導体である。このため、そのままでは次のメ
タルマスター作製のための電鋳（電気めっき）処理を行
なうことができない。そこで、電鋳の前処理として、真
空蒸着やスパッタリングのＰＶＤ法や無電解めっき法な
どを用いて、ガラスマスターの表面に銀やニッケルなど
の導電膜を形成する。
電気的に不導体である。このため、そのままでは次のメ
タルマスター作製のための電鋳（電気めっき）処理を行
なうことができない。そこで、電鋳の前処理として、真
空蒸着やスパッタリングのＰＶＤ法や無電解めっき法な
どを用いて、ガラスマスターの表面に銀やニッケルなど
の導電膜を形成する。
【０００５】(3) 電鋳（電気めっき）処理および剥離処
理（図３（ｃ)(ｄ）） ガラスマスターの表面に形成された導電膜を陰極として
ニッケルめっきを施し、ガラスマスターの表面に所定の
厚さからなるニッケルのメタルマスターを形成する。そ
して、このメタルマスターをガラスマスターから剥離す
ることにより、ピットの転写されたメタルマスターを得
る。
理（図３（ｃ)(ｄ）） ガラスマスターの表面に形成された導電膜を陰極として
ニッケルめっきを施し、ガラスマスターの表面に所定の
厚さからなるニッケルのメタルマスターを形成する。そ
して、このメタルマスターをガラスマスターから剥離す
ることにより、ピットの転写されたメタルマスターを得
る。
【０００６】(4) フォトレジスト除去処理および洗浄処
理（図３（ｅ）（ｆ）） ガラスマスターからメタルマスターを剥離する際にガラ
スマスター表面のフォトレジストも一緒に剥離され、メ
タルマスターの表面に付着する。そこで、このメタルマ
スターの表面に付着したフォトレジストなどの有機物を
除去した後、その表面を洗浄する。この洗浄は、有機溶
剤あるいは酸やアルカリ洗剤を用いた、いわゆる湿式洗
浄が一般的である。
理（図３（ｅ）（ｆ）） ガラスマスターからメタルマスターを剥離する際にガラ
スマスター表面のフォトレジストも一緒に剥離され、メ
タルマスターの表面に付着する。そこで、このメタルマ
スターの表面に付着したフォトレジストなどの有機物を
除去した後、その表面を洗浄する。この洗浄は、有機溶
剤あるいは酸やアルカリ洗剤を用いた、いわゆる湿式洗
浄が一般的である。
【０００７】(5) フィルミング（不働態化）処理（図３
（ｇ）） 得られたメタルマスターの表面を酸化剤あるいは電解酸
化などで酸化することにより不働態膜を形成し、金属原
盤の表面をフィルミング（不働態化）して安定化する。
（ｇ）） 得られたメタルマスターの表面を酸化剤あるいは電解酸
化などで酸化することにより不働態膜を形成し、金属原
盤の表面をフィルミング（不働態化）して安定化する。
【０００８】(6) 水洗処理（図３（ｈ）） 前記のようにして得られたメタルマスターを超純水など
で洗浄することにより、マザー作製用のメタルマスター
が完成する。
で洗浄することにより、マザー作製用のメタルマスター
が完成する。
【０００９】(7) マザー作製（図３（ｉ）〜（ｎ）） 上記のようにして得られたメタルマスターに対して、前
述したメタルマスター作製時と同様の、電鋳、剥離、水
洗、洗浄、フィルミング、水洗処理を順次施すことによ
り、スタンパー作製用のマザーが得られる。
述したメタルマスター作製時と同様の、電鋳、剥離、水
洗、洗浄、フィルミング、水洗処理を順次施すことによ
り、スタンパー作製用のマザーが得られる。
【００１０】(8) スタンパー作製（図３（ｏ）〜
（ｔ）） 前記処理によって得られたマザーにニッケルめっきを施
してスタンパーを形成し、これを剥離した後、その表面
にスタンパー保護膜を塗布する。次いで、金型に取り付
けることができるようにするために、スタンパー裏面の
研磨とスタンパー内外の形加工を行なった後、その表面
を洗浄してスタンパーが完成する。
（ｔ）） 前記処理によって得られたマザーにニッケルめっきを施
してスタンパーを形成し、これを剥離した後、その表面
にスタンパー保護膜を塗布する。次いで、金型に取り付
けることができるようにするために、スタンパー裏面の
研磨とスタンパー内外の形加工を行なった後、その表面
を洗浄してスタンパーが完成する。
【００１１】(9) ディスク成形（レプリケーション）
（図３（ｕ）） 前記のようにして得られたスタンパーは、ディスク製造
用の射出成形機や圧縮成形機などに取り付けられ、成形
加工によって目的のディスクが大量生産されるものであ
る。
（図３（ｕ）） 前記のようにして得られたスタンパーは、ディスク製造
用の射出成形機や圧縮成形機などに取り付けられ、成形
加工によって目的のディスクが大量生産されるものであ
る。
【００１２】上記メタルマスター作製工程では、図２
（Ａ）に示す、ガラス基板１の表面１ａにピット１ｂを
カッティングされたガラスマスター上に、図２（Ｂ）に
示すように導電膜である金属薄膜２を付与する。
（Ａ）に示す、ガラス基板１の表面１ａにピット１ｂを
カッティングされたガラスマスター上に、図２（Ｂ）に
示すように導電膜である金属薄膜２を付与する。
【００１３】次に、図２（Ｃ）に示すように、電鋳処理
により必要な強度を得るための所定厚さに金属層５を形
成する。
により必要な強度を得るための所定厚さに金属層５を形
成する。
【００１４】次に、図２（Ｄ）に示すように、ガラスマ
スターを剥がしてディスク用金属原盤としていた。
スターを剥がしてディスク用金属原盤としていた。
【００１５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、必要な
強度を得る厚さにするための電鋳処理は長時間を要する
という問題があり、製品のタクトタイムの短縮が困難で
あった。また、電鋳処理では、環境に悪影響を与える虞
があった。
強度を得る厚さにするための電鋳処理は長時間を要する
という問題があり、製品のタクトタイムの短縮が困難で
あった。また、電鋳処理では、環境に悪影響を与える虞
があった。
【００１６】そこで、本発明は、タクトタイムの短縮を
図ることができるとともに、環境面で改善できるディス
ク用金属原盤の製造方法を提供することを目的とする。
図ることができるとともに、環境面で改善できるディス
ク用金属原盤の製造方法を提供することを目的とする。
【００１７】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に本発明のディスク用金属原盤の製造方法では、ＣＤ，
ＤＶＤなどのディスクを製造するためのマスタリングに
おけるディスク用金属原盤の製造方法において、レジス
ト盤の表面に金属薄膜を形成させ、その後にその金属薄
膜表面に所定の厚さおよび裏面粗度を有する金属板を貼
り合わせたことを特徴としている。
に本発明のディスク用金属原盤の製造方法では、ＣＤ，
ＤＶＤなどのディスクを製造するためのマスタリングに
おけるディスク用金属原盤の製造方法において、レジス
ト盤の表面に金属薄膜を形成させ、その後にその金属薄
膜表面に所定の厚さおよび裏面粗度を有する金属板を貼
り合わせたことを特徴としている。
【００１８】この構成では、電鋳処理で所定厚さの金属
層を形成する代わりに金属板を貼り合わせるようにした
ので、電鋳時間、裏面研磨時間がなくなり、作業時間が
短縮される。さらに、電鋳が不要となるので、環境面で
の改善が行われる。
層を形成する代わりに金属板を貼り合わせるようにした
ので、電鋳時間、裏面研磨時間がなくなり、作業時間が
短縮される。さらに、電鋳が不要となるので、環境面で
の改善が行われる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
を参照して説明する。図１は本発明の実施形態に係わる
ディスク用金属原盤の製造方法を示す図である。
を参照して説明する。図１は本発明の実施形態に係わる
ディスク用金属原盤の製造方法を示す図である。
【００２０】先ず、従来と同様に、図１（Ａ）に示す、
ガラス基板１の表面１ａにピット１ｂをカッティングさ
れたガラスマスター上に、図１（Ｂ）に示すように導電
膜である金属薄膜２を付与する。
ガラス基板１の表面１ａにピット１ｂをカッティングさ
れたガラスマスター上に、図１（Ｂ）に示すように導電
膜である金属薄膜２を付与する。
【００２１】次に、本発明のディスク用金属原盤の製造
方法では、図１（Ｃ）に示すように、予め規定の厚さ
ｄ、規定の裏面粗度に形成された金属板４を接着剤３を
介して貼り合わせる。
方法では、図１（Ｃ）に示すように、予め規定の厚さ
ｄ、規定の裏面粗度に形成された金属板４を接着剤３を
介して貼り合わせる。
【００２２】次に、図１（Ｄ）に示すようにガラスマス
ターを剥がしてディスク用金属原盤とする。
ターを剥がしてディスク用金属原盤とする。
【００２３】上記貼り合わせに使用する接着剤３の条件
としては、耐熱性、線膨張、接着時間、接着層厚みがあ
る。耐熱性としては、成型での樹脂温度以上の耐熱性が
必要であり、具体的には３５０℃以上であることが必要
である。
としては、耐熱性、線膨張、接着時間、接着層厚みがあ
る。耐熱性としては、成型での樹脂温度以上の耐熱性が
必要であり、具体的には３５０℃以上であることが必要
である。
【００２４】また、線膨張としては、貼り合わせた金属
薄膜に近い線膨張係数を有することが望ましい。この線
膨張係数が大きく異なると金属薄膜の反り、剥がれが発
生する虞がある。
薄膜に近い線膨張係数を有することが望ましい。この線
膨張係数が大きく異なると金属薄膜の反り、剥がれが発
生する虞がある。
【００２５】また、接着時間としては、できるだけ短い
ものが望ましい。その理由は、作業時間の短縮のためで
ある。
ものが望ましい。その理由は、作業時間の短縮のためで
ある。
【００２６】また、接着剤３の接着層厚みとしては、貼
り合わせる金属の加工状態等を考慮すると、できるだけ
薄い方が望ましい。その理由は、スタンパーの仕上がり
厚さを規定した場合、接着層が厚いとその分、貼り合わ
せる金属板の厚さを薄くしなければならず、貼り合わせ
る金属板の仕上げ精度が低下し、ディスク成形時の厚さ
むらや部分的な凹凸の発生が生ずる。また、接着層が厚
いと成形時の熱や圧力により接着層の変形が生じ、成形
後のディスク厚さ管理が困難になるからである。
り合わせる金属の加工状態等を考慮すると、できるだけ
薄い方が望ましい。その理由は、スタンパーの仕上がり
厚さを規定した場合、接着層が厚いとその分、貼り合わ
せる金属板の厚さを薄くしなければならず、貼り合わせ
る金属板の仕上げ精度が低下し、ディスク成形時の厚さ
むらや部分的な凹凸の発生が生ずる。また、接着層が厚
いと成形時の熱や圧力により接着層の変形が生じ、成形
後のディスク厚さ管理が困難になるからである。
【００２７】上記接着剤３の具体例としては、例えば、
熱硬化性樹脂をスパッタ面にスピンコーター等で均一に
塗布し、金属板を貼り合わせた後に加熱し接着する。
熱硬化性樹脂をスパッタ面にスピンコーター等で均一に
塗布し、金属板を貼り合わせた後に加熱し接着する。
【００２８】また、上記接着剤３の他の具体例として
は、反応硬化型樹脂、例えばエポキシ樹脂等を使用する
ことができる。上記接着剤３の代わりに、両面接着テー
プで貼り合わせてもよい。
は、反応硬化型樹脂、例えばエポキシ樹脂等を使用する
ことができる。上記接着剤３の代わりに、両面接着テー
プで貼り合わせてもよい。
【００２９】上記スパッタする金属薄膜としては、スパ
ッタ成膜が可能なものであれば、どんなものでも使用可
能であるが、Ｎｉ金属、Ｎｉ合金等の酸化に強く、熱膨
張係数の小さいものが望ましい。他には、例えば、アル
ミニウム、クローム、金等を使用することができる。
ッタ成膜が可能なものであれば、どんなものでも使用可
能であるが、Ｎｉ金属、Ｎｉ合金等の酸化に強く、熱膨
張係数の小さいものが望ましい。他には、例えば、アル
ミニウム、クローム、金等を使用することができる。
【００３０】以上の実施形態のディスク用金属原盤の製
造方法によれば、ガラスマスターの金属薄膜上に電鋳処
理の代わりに金属板４を貼り合わせたので、電鋳時間、
裏面研磨時間が不要となる。したがって、作業時間が短
縮されるのでタクトタイムが大幅に短縮される。さら
に、電鋳処理が不要となるので、電鋳処理による環境へ
の悪影響がなくなり、環境面での改善が行われる。
造方法によれば、ガラスマスターの金属薄膜上に電鋳処
理の代わりに金属板４を貼り合わせたので、電鋳時間、
裏面研磨時間が不要となる。したがって、作業時間が短
縮されるのでタクトタイムが大幅に短縮される。さら
に、電鋳処理が不要となるので、電鋳処理による環境へ
の悪影響がなくなり、環境面での改善が行われる。
【００３１】
【発明の効果】以上の説明から明らかな如く本発明のデ
ィスク用金属原盤の製造方法によれば、電鋳時間、裏面
研磨時間がなくなり、作業時間が短縮されるのでタクト
タイムが大幅に短縮される。さらに、電鋳が不要となる
ので、環境面での改善が行われる。
ィスク用金属原盤の製造方法によれば、電鋳時間、裏面
研磨時間がなくなり、作業時間が短縮されるのでタクト
タイムが大幅に短縮される。さらに、電鋳が不要となる
ので、環境面での改善が行われる。
【図１】本発明のディスク用金属原盤の製造方法を説明
するための図である。
するための図である。
【図２】従来のディスク用金属原盤の製造方法を説明す
るための図である。
るための図である。
【図３】従来のディスクの生産プロセスを説明するため
の図である。
の図である。
１ ガラス基板 １ｂ ピット ２ 金属薄膜 ３ 接着剤 ４ 金属板
Claims (1)
- 【請求項１】 ＣＤ，ＤＶＤなどのディスクを製造する
ためのマスタリングにおけるディスク用金属原盤の製造
方法において、 レジスト盤の表面に金属薄膜を形成させ、その後にその
金属薄膜表面に所定の厚さおよび裏面粗度を有する金属
板を貼り合わせたことを特徴とするディスク用金属原盤
の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12072397A JPH10312584A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | ディスク用金属原盤の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12072397A JPH10312584A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | ディスク用金属原盤の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10312584A true JPH10312584A (ja) | 1998-11-24 |
Family
ID=14793416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12072397A Withdrawn JPH10312584A (ja) | 1997-05-12 | 1997-05-12 | ディスク用金属原盤の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10312584A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1154421A2 (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-14 | Pioneer Corporation | Production method for optical disc |
| EP1156138A2 (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-21 | Pioneer Corporation | Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper |
-
1997
- 1997-05-12 JP JP12072397A patent/JPH10312584A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1154421A2 (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-14 | Pioneer Corporation | Production method for optical disc |
| EP1156138A2 (en) * | 2000-05-12 | 2001-11-21 | Pioneer Corporation | Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper |
| EP1156138A3 (en) * | 2000-05-12 | 2004-07-14 | Pioneer Corporation | Electrode material for forming stamper and thin film for forming stamper |
| EP1154421A3 (en) * | 2000-05-12 | 2006-06-07 | Pioneer Corporation | Production method for optical disc |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20040803 |