JPS60170100A - Cmos半導体集積回路 - Google Patents
Cmos半導体集積回路Info
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- JPS60170100A JPS60170100A JP60000319A JP31985A JPS60170100A JP S60170100 A JPS60170100 A JP S60170100A JP 60000319 A JP60000319 A JP 60000319A JP 31985 A JP31985 A JP 31985A JP S60170100 A JPS60170100 A JP S60170100A
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- JP
- Japan
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- output node
- fuse
- circuit
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- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C29/00—Checking stores for correct operation ; Subsequent repair; Testing stores during standby or offline operation
- G11C29/70—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring
- G11C29/78—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices
- G11C29/83—Masking faults in memories by using spares or by reconfiguring using programmable devices with reduced power consumption
-
- G—PHYSICS
- G06—COMPUTING; CALCULATING OR COUNTING
- G06F—ELECTRIC DIGITAL DATA PROCESSING
- G06F11/00—Error detection; Error correction; Monitoring
- G06F11/07—Responding to the occurrence of a fault, e.g. fault tolerance
- G06F11/16—Error detection or correction of the data by redundancy in hardware
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11C—STATIC STORES
- G11C17/00—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards
- G11C17/14—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM
- G11C17/16—Read-only memories programmable only once; Semi-permanent stores, e.g. manually-replaceable information cards in which contents are determined by selectively establishing, breaking or modifying connecting links by permanently altering the state of coupling elements, e.g. PROM using electrically-fusible links
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03K—PULSE TECHNIQUE
- H03K19/00—Logic circuits, i.e. having at least two inputs acting on one output; Inverting circuits
- H03K19/003—Modifications for increasing the reliability for protection
- H03K19/00392—Modifications for increasing the reliability for protection by circuit redundancy
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
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- Design And Manufacture Of Integrated Circuits (AREA)
- Logic Circuits (AREA)
- For Increasing The Reliability Of Semiconductor Memories (AREA)
- Techniques For Improving Reliability Of Storages (AREA)
- Electronic Switches (AREA)
- Semiconductor Integrated Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
技術分野
本発明の技術分野は、CMO3集梢回路であり、特に、
欠陥のある回路を取り換えるために、冗長回路を使用可
能とづる機能を右するCMO3集積回路である。
欠陥のある回路を取り換えるために、冗長回路を使用可
能とづる機能を右するCMO3集積回路である。
背景技術
集積回路技術においては、欠陥の(15る回路を取り換
えるために任意選択の冗長回路を使用することはよく知
られている。欠陥のある回路を使用禁止し、代わりの回
路を使用可能とするだめの従来技術の方法の一つの欠点
は、従来技術の「使用可能/使用禁止とJ−る回路」は
づべてオンおよび(または)オフ状態で電力を消費する
ことである。
えるために任意選択の冗長回路を使用することはよく知
られている。欠陥のある回路を使用禁止し、代わりの回
路を使用可能とするだめの従来技術の方法の一つの欠点
は、従来技術の「使用可能/使用禁止とJ−る回路」は
づべてオンおよび(または)オフ状態で電力を消費する
ことである。
消費電力の節約はC0M5を用いる主な理由の一つであ
るから、どんなりC電力の消費も、可r1ピな限り避【
プなければならない。
るから、どんなりC電力の消費も、可r1ピな限り避【
プなければならない。
冗長または修復用回路に切り換えたり、セミカスタム回
路においているいろな任意選択回路の中から選び出す1
=めに、電気的な手段またはレーザーを用いることは、
当該技術にJ3いて知られCいる。上述の方法は、欠陥
のある回路を救うという基本的な利益を得る1=め、な
いしは、1組のマスクとその他のセットアツプのコスト
をもつでして1つまたはそれ以上の代りの1?6戒を用
意覆るために行われる。従来技術において知られている
全ての案は、切り換え動作の前か後で直流電力の消費を
要していICにの特性は常に望ましくなく、低消費電力
で用いるための0M08回路では特に望ましくない。
路においているいろな任意選択回路の中から選び出す1
=めに、電気的な手段またはレーザーを用いることは、
当該技術にJ3いて知られCいる。上述の方法は、欠陥
のある回路を救うという基本的な利益を得る1=め、な
いしは、1組のマスクとその他のセットアツプのコスト
をもつでして1つまたはそれ以上の代りの1?6戒を用
意覆るために行われる。従来技術において知られている
全ての案は、切り換え動作の前か後で直流電力の消費を
要していICにの特性は常に望ましくなく、低消費電力
で用いるための0M08回路では特に望ましくない。
発明の開示
本発明は、オンおよびオフの両状態で電力を消費しない
[使用可能/使用禁止とする一路]に関する。第一の状
態では、回路は、一対のノードを論理゛1”および論理
110 I+にそれぞれ保持し、他の回路によって解釈
・されるであろう電圧レベルの対を提供覆る。第二の状
態では、前記一対のノードの電圧は、反対の値を取る。
[使用可能/使用禁止とする一路]に関する。第一の状
態では、回路は、一対のノードを論理゛1”および論理
110 I+にそれぞれ保持し、他の回路によって解釈
・されるであろう電圧レベルの対を提供覆る。第二の状
態では、前記一対のノードの電圧は、反対の値を取る。
本発明の1つの特徴は、使用可能とするプO1?スがレ
ーザーまたは電気信乃によって行われることである。
ーザーまたは電気信乃によって行われることである。
実施例
第1図の回路は、トランジスタに直列に接続された2相
のヒユーズを含んでいる。左側において、1〕チi!ネ
ル・トランジスタ22がVccど出力ノード16との間
に接続されており、一般のポリシリコン・ヒユーズであ
るヒユーズ12がノード16とグランドとの間に接続さ
れている。右側において、ヒユーズ10がVccど出力
ノード15との間に直列に接続されてJ3す、Nヂャネ
ル・トランジスタ20がノード15とグランドとの間に
接続されている。トランジスタ20のゲートはノード1
.6に接続されており、トランジスタ22のゲートはノ
ード15に接続されている。R[1〕△IR″と呼ばれ
るノード16と” RE l) A I R”と呼ばれ
るノード15の出力状態は第1表に示される。
のヒユーズを含んでいる。左側において、1〕チi!ネ
ル・トランジスタ22がVccど出力ノード16との間
に接続されており、一般のポリシリコン・ヒユーズであ
るヒユーズ12がノード16とグランドとの間に接続さ
れている。右側において、ヒユーズ10がVccど出力
ノード15との間に直列に接続されてJ3す、Nヂャネ
ル・トランジスタ20がノード15とグランドとの間に
接続されている。トランジスタ20のゲートはノード1
.6に接続されており、トランジスタ22のゲートはノ
ード15に接続されている。R[1〕△IR″と呼ばれ
るノード16と” RE l) A I R”と呼ばれ
るノード15の出力状態は第1表に示される。
通常通り、これらの状態は相補的であり、回路が働いて
いないときには反対の論理値をとる。ノード16の出力
に伴う浮遊容量はキャパシタ13で示され、ノード15
の浮遊容量はキャパシタ11で示される。本回路が非能
働とδえられる正常状態では、”REPAIR”ライン
は論理11011であり、逆の’REPAIR”ライン
は電源電圧どなっている。この場合、1〜ランジスタ2
2はそのゲートが電源電圧となってオフにな・っている
。
いないときには反対の論理値をとる。ノード16の出力
に伴う浮遊容量はキャパシタ13で示され、ノード15
の浮遊容量はキャパシタ11で示される。本回路が非能
働とδえられる正常状態では、”REPAIR”ライン
は論理11011であり、逆の’REPAIR”ライン
は電源電圧どなっている。この場合、1〜ランジスタ2
2はそのゲートが電源電圧となってオフにな・っている
。
1〜ランジスタ20はそのゲートが0(V)となってや
はりAノになっている。それ故、直流電力(ま消費され
ない。
はりAノになっている。それ故、直流電力(ま消費され
ない。
逆の状態では、レー1F−あるいは大電流の電気1n号
を用いてヒユーズ10および12の両方が破壊され、そ
れ故、前記電気的な接続は破壊される。
を用いてヒユーズ10および12の両方が破壊され、そ
れ故、前記電気的な接続は破壊される。
ここで用いる「ヒユーズ」という言葉は、通常は電流を
導通さけるが、過大電流やレーザビーム等のような刺檄
に応じて回路を聞くように変化するデバイスを意味して
いる11人電流によるヒユーズの破壊はよく知られてJ
3す、また電気の代わりにレーリ゛−光線によって破壊
されるデバイスを含めて「ヒユーズ」という言葉を用い
ることも当該技術において知られている。前記ヒユーズ
材料は通常のものであり1本発明の一部をなすものでは
ない。
導通さけるが、過大電流やレーザビーム等のような刺檄
に応じて回路を聞くように変化するデバイスを意味して
いる11人電流によるヒユーズの破壊はよく知られてJ
3す、また電気の代わりにレーリ゛−光線によって破壊
されるデバイスを含めて「ヒユーズ」という言葉を用い
ることも当該技術において知られている。前記ヒユーズ
材料は通常のものであり1本発明の一部をなすものでは
ない。
前記ヒ1−ズか飛ばされ1= +*、回路がオンされた
とき、ノード15はトランジスタ20を通してグランド
に接続されたままでいる。電源゛電圧が上昇したとき、
トランジスタ22はオンしてノード16I3よびトラン
ジスタ20のゲートを電源電圧にする。したがってトラ
ンジスタ20はオンして、ノード15を0(V)に維持
するグランドへの低インピーダンスの経路を提供する。
とき、ノード15はトランジスタ20を通してグランド
に接続されたままでいる。電源゛電圧が上昇したとき、
トランジスタ22はオンしてノード16I3よびトラン
ジスタ20のゲートを電源電圧にする。したがってトラ
ンジスタ20はオンして、ノード15を0(V)に維持
するグランドへの低インピーダンスの経路を提供する。
両トランジスタ20およびトランジスタ22は、このよ
うにオンされ、直流電流を消費しない安定した状態にラ
ッチされる。ノード15a3よび16の電圧は回路中の
他のトランジスタのゲートをオンまたはオフして、「使
用可能とする」または「使用禁止とする」1幾能を果た
すことが出来る。
うにオンされ、直流電流を消費しない安定した状態にラ
ッチされる。ノード15a3よび16の電圧は回路中の
他のトランジスタのゲートをオンまたはオフして、「使
用可能とする」または「使用禁止とする」1幾能を果た
すことが出来る。
第2図は、第1図の回路100の非常に単純化した形の
応用例を示す。このような単純化は、応用の原理を最も
明瞭に示すためになされている。
応用例を示す。このような単純化は、応用の原理を最も
明瞭に示すためになされている。
バス102に接続された入力ライン101は、通常は回
路110で処理されることを予定される信号を運び、回
路110の出力はライン103を通して出力バス104
に渡される。バスト02および104は単線であっても
任意数の線であってしよく、入力ライン101と出力ラ
イン103は両バスに交わるために、両バスに対応する
本数の線を持つであろう。バス102からの入力信号は
、通常のNおよびPチャネル・トランジスタの0MO8
対であるバス・1〜ランジスタ25および26を通る。
路110で処理されることを予定される信号を運び、回
路110の出力はライン103を通して出力バス104
に渡される。バスト02および104は単線であっても
任意数の線であってしよく、入力ライン101と出力ラ
イン103は両バスに交わるために、両バスに対応する
本数の線を持つであろう。バス102からの入力信号は
、通常のNおよびPチャネル・トランジスタの0MO8
対であるバス・1〜ランジスタ25および26を通る。
トランジスタ25および2Gは、出力ノード16をPチ
ャネル・トランジスタ26のゲートに接続されるととも
にノード15をNチャネル・トランジスタ25のゲート
に接続され1〔回路100によって制御される。通常動
作では、トランジスタ25および26の両方がオンし、
前記信号が妨げIうれずに通過りる。
ャネル・トランジスタ26のゲートに接続されるととも
にノード15をNチャネル・トランジスタ25のゲート
に接続され1〔回路100によって制御される。通常動
作では、トランジスタ25および26の両方がオンし、
前記信号が妨げIうれずに通過りる。
説明のために、回路110は欠陥が有り、回路110′
で訂き換えられるしのとづる。この場合、本発明の一部
をな寸ものではない通常のレーザー装置で回路100の
ヒユーズ10および12、並びに回路100′の対応づ
るヒユーズ10′および12′を破壊する。回路100
と100′の両方が通常の状態から反対の状態に切り換
わり、それ故、トランジスタ25おにび26は使用禁止
となり、トランジスタ25′おにσ26パが使用可能に
なる。
で訂き換えられるしのとづる。この場合、本発明の一部
をな寸ものではない通常のレーザー装置で回路100の
ヒユーズ10および12、並びに回路100′の対応づ
るヒユーズ10′および12′を破壊する。回路100
と100′の両方が通常の状態から反対の状態に切り換
わり、それ故、トランジスタ25おにび26は使用禁止
となり、トランジスタ25′おにσ26パが使用可能に
なる。
本発明を特定の具体例に応用する場合には、トランジス
タ20および22を、オン状態のそれらの抵抗値が、対
となるヒユーズの抵抗値より大きくなるように定めるよ
うに注意を払う必要がある。
タ20および22を、オン状態のそれらの抵抗値が、対
となるヒユーズの抵抗値より大きくなるように定めるよ
うに注意を払う必要がある。
また、電源が投入されたどきに回路を正しい状態に保つ
ために、ノード15.16の浮遊容量であるキャパシタ
11および13の大きさが、電源の立ち上がりの期間の
過渡現象(或いは他の過渡現象)を抑圧するのに充分な
大ぎいことも重要でd9る。信頼性のために、充分なキ
ャパシタを備えるべく、他のキャパシタを回路に追加し
てもよい。
ために、ノード15.16の浮遊容量であるキャパシタ
11および13の大きさが、電源の立ち上がりの期間の
過渡現象(或いは他の過渡現象)を抑圧するのに充分な
大ぎいことも重要でd9る。信頼性のために、充分なキ
ャパシタを備えるべく、他のキャパシタを回路に追加し
てもよい。
次に、第3図を参照ターると、ヒユーズ10J3よび1
2を電気的に飛ばり他の実施例が示されている。この回
路は第1図の回路を変形したものであって、1組の相補
信号P G MおよびP G Mで制り11されるP形
トランジスタ32およびN形トランジスタ30の2つの
大電流トランジスタが追加8れている。トランジスタ3
2は勿論通常オフであって、オンすると、VCCからヒ
ユーズ12を通ってグランドに達する低インピーダンス
の経路を形成ブる。トランジスタ32の大電流8隼は、
ヒユーズ12を飛ば1゛のに必要な電流よりずっと大き
くしである。N形トランジスタ30は、ヒユー7.10
を通ってグランドに通ずる経路を聞くことにより、同様
にしくヒ」−−ズ10を飛ばJ。ヒユーズの溶断電流は
、電源のどの2つの端子の間のものであってしよく、必
り゛しも電源とグランドとの間を流れるbのひある必要
はない。
2を電気的に飛ばり他の実施例が示されている。この回
路は第1図の回路を変形したものであって、1組の相補
信号P G MおよびP G Mで制り11されるP形
トランジスタ32およびN形トランジスタ30の2つの
大電流トランジスタが追加8れている。トランジスタ3
2は勿論通常オフであって、オンすると、VCCからヒ
ユーズ12を通ってグランドに達する低インピーダンス
の経路を形成ブる。トランジスタ32の大電流8隼は、
ヒユーズ12を飛ば1゛のに必要な電流よりずっと大き
くしである。N形トランジスタ30は、ヒユー7.10
を通ってグランドに通ずる経路を聞くことにより、同様
にしくヒ」−−ズ10を飛ばJ。ヒユーズの溶断電流は
、電源のどの2つの端子の間のものであってしよく、必
り゛しも電源とグランドとの間を流れるbのひある必要
はない。
オン状態にJjlノロ1〜ランジスクのインピーダンス
の典型的な値は10Ωより小さく、前記ヒユーズのイン
ピーダンスの典型的な蛸は約1000である。
の典型的な値は10Ωより小さく、前記ヒユーズのイン
ピーダンスの典型的な蛸は約1000である。
I−’ G MおにびI) G M仁シシは、事情に応
じ−C使用可能または使用禁止にリベき回(8にス・j
づるアドレスに対応して通常のアドレス復号回j路によ
りAンチップで発生される。メモリーへの簡単な実施は
、アドレスピンに直接接続されてJ3す、かつ専用ピン
上の信号またはある予約された領域内のアドレスによっ
て使用可能とされる復号回路を備えることによってなさ
れる。信号の使用可能(イネーブル) ]+l]間中に
ピンに!ゴえられるアドレスは、当該回路の状態を使用
可能から使用禁止に、J、Iこ(よイの逆に切り換えら
れるべさ回路100を指示りる。
じ−C使用可能または使用禁止にリベき回(8にス・j
づるアドレスに対応して通常のアドレス復号回j路によ
りAンチップで発生される。メモリーへの簡単な実施は
、アドレスピンに直接接続されてJ3す、かつ専用ピン
上の信号またはある予約された領域内のアドレスによっ
て使用可能とされる復号回路を備えることによってなさ
れる。信号の使用可能(イネーブル) ]+l]間中に
ピンに!ゴえられるアドレスは、当該回路の状態を使用
可能から使用禁止に、J、Iこ(よイの逆に切り換えら
れるべさ回路100を指示りる。
本発明の他の実施は、各回路100に対してチップのボ
デー内にP G MおよびP G Mパッドを設【づ、
プローブテストのシーケンスの間に、欠陥のある回路を
使用禁止とし、さらに代りの回路を使用lり能とりるべ
く、該当するバッド」ニにブ1−1−ブがどかれるよう
にして、パッドに直接電圧を印加υることによってなさ
れる。
デー内にP G MおよびP G Mパッドを設【づ、
プローブテストのシーケンスの間に、欠陥のある回路を
使用禁止とし、さらに代りの回路を使用lり能とりるべ
く、該当するバッド」ニにブ1−1−ブがどかれるよう
にして、パッドに直接電圧を印加υることによってなさ
れる。
本発明は勿論これら2つの応用例に限られることはなく
、当業者は、持続する選択された1〕C1ツ号が必要と
されるときにはいつで・しでしデータを貯えるというに
うな他の目的にし本発明をりぐに応用できるであろう。
、当業者は、持続する選択された1〕C1ツ号が必要と
されるときにはいつで・しでしデータを貯えるというに
うな他の目的にし本発明をりぐに応用できるであろう。
第1図は本発明の概略図を承り。
第2図はより大きな回路に84Jる本発明の応用例を示
す 第3図は本発明の他の実施例を示J−010,12・・
・ピー2−ズ、15.16・・・出力ノード、20・・
・N形1〜ランジスタ、22・・何〕形トランジスタ、
30・・・N形l〜ランジスタ、32・・・P形1〜ラ
ンジスタ、100.100’・・・切り換え回路。 特轟′I出願人 しスデツク・コーポレイシミン代 理
人 弁理士 大息 宗 図面の浄貫(内′1[rに変更なし) 手 続 ネ市 ]E 再 (方式) 昭和60年 2月13日 特許庁長官 志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和60年 特 ム′[願 第 319 号2、発明の
名称 CMO8半導体宋偵回路 3、補正をする者 事件との関係 特11出願人 住 所 アメリカ合衆国テギ(ノス州 75006、キ
ャロルトン、ウェスト・り1コスビー・ロード 121
5名 称 モスチック・コーボレーrジョン代表f5u
ス・ニス・エバンス 6、補正にJ:り増加り′る発明の数 な し7、補正
の対象
す 第3図は本発明の他の実施例を示J−010,12・・
・ピー2−ズ、15.16・・・出力ノード、20・・
・N形1〜ランジスタ、22・・何〕形トランジスタ、
30・・・N形l〜ランジスタ、32・・・P形1〜ラ
ンジスタ、100.100’・・・切り換え回路。 特轟′I出願人 しスデツク・コーポレイシミン代 理
人 弁理士 大息 宗 図面の浄貫(内′1[rに変更なし) 手 続 ネ市 ]E 再 (方式) 昭和60年 2月13日 特許庁長官 志 賀 学 殿 1、事件の表示 昭和60年 特 ム′[願 第 319 号2、発明の
名称 CMO8半導体宋偵回路 3、補正をする者 事件との関係 特11出願人 住 所 アメリカ合衆国テギ(ノス州 75006、キ
ャロルトン、ウェスト・り1コスビー・ロード 121
5名 称 モスチック・コーボレーrジョン代表f5u
ス・ニス・エバンス 6、補正にJ:り増加り′る発明の数 な し7、補正
の対象
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1)少なくとも1つの出力ノードを第一の電圧レベルか
ら第二の電圧レベルに切り換える回路を右ヅるC M
OS 2F尋休体積回路であって、前記切り換えを行う
回路は、 電源電圧ノードと第一の出力ノードとの間に接続された
第一のP形トランジスタと、前記第一の出力ノードとグ
ランドとの間に接続された第一のヒユーズと、 グランドと第二の出力ノードとの間に接続された第一の
N形トランジスタと、前記第二の出力ノードと前記電S
電圧ノードとの間に接続された第二のヒユーズとを具備
してなり、 前記第一のP形トランジスタは前記第二の出力ノードに
接続された第一のゲートを有しており、それによ−>
7 、前記第二のヒユーズが導通しているときにのみ前
記電源電圧へ抵抗経路が形成され前記第一のN形トラン
ジスタは前記第一の出力ノードに接続された第一のゲー
1−を有しており、それによって、前記第一のヒユーズ
が導通しているときにのみグランドへ抵抗経路が形成さ
れるCMO8半導体集積回路。 2)電圧差を有する第一83よび第二の端子器に設けら
れた前記第一および第二のヒユーズを通して低インピー
ダンスの経路を形成することにより前記第一および第二
のヒユーズを電気的に破壊する手段を含む特許請求の範
囲第1項記載のCMO8半導体集積回路。 3)第二のP形トランジスタが前記電源電圧ノードと前
記第一の出力ノードとの間に前記第一のP形1〜ランジ
スタと並列に接続され、前記第二のP形トランジスタは
、前記第一のヒユーズを通し″(前記電源電圧ノードと
グランドとの間に低インピーダンスの経路を形成するこ
とにより前記第一のヒユーズを飛ばすべく、あらかじめ
決められ1=第一の信号によって制御されるゲートを右
し、第二のN形トランジスタが前記第二の出hノードと
グランドとの間に前記第一のN形トランジスタと並列に
接続され、前記第二のN形トランジスタは、前記第二の
ヒユーズを通して前記電源電圧ノードとグランドとの間
に低インピーダンスの経路を形成づ”ることにより前記
第二のヒ]、−ズを飛ばすべく、あらかじめ決められた
第二の信号によって制御されるグー1〜を右りる特許請
求の範囲第2項記載のCMO8半導体集積回路。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
US06/568,960 US4613959A (en) | 1984-01-06 | 1984-01-06 | Zero power CMOS redundancy circuit |
US568960 | 1984-01-06 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60170100A true JPS60170100A (ja) | 1985-09-03 |
JPH058520B2 JPH058520B2 (ja) | 1993-02-02 |
Family
ID=24273480
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP60000319A Granted JPS60170100A (ja) | 1984-01-06 | 1985-01-05 | Cmos半導体集積回路 |
Country Status (4)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US4613959A (ja) |
EP (1) | EP0148722B1 (ja) |
JP (1) | JPS60170100A (ja) |
DE (2) | DE148722T1 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS62115742A (ja) * | 1985-11-14 | 1987-05-27 | Nec Corp | 半導体集積回路の調整方法 |
JPS63100818A (ja) * | 1986-10-17 | 1988-05-02 | Nec Corp | 半導体装置 |
Families Citing this family (19)
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