JPS6016870A - サイアロン焼結体の製造方法 - Google Patents
サイアロン焼結体の製造方法Info
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- JPS6016870A JPS6016870A JP58122747A JP12274783A JPS6016870A JP S6016870 A JPS6016870 A JP S6016870A JP 58122747 A JP58122747 A JP 58122747A JP 12274783 A JP12274783 A JP 12274783A JP S6016870 A JPS6016870 A JP S6016870A
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- Japan
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- silicon
- sintered body
- silicon nitride
- magnesium
- alumina
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明はサイアロン焼結体の製造方法に関し、詳しくは
特開昭56−134568号の改良に係るものである。
特開昭56−134568号の改良に係るものである。
特開昭56−134568号の製造方法は珪素が80体
績%以下で、アルミナ10〜35俸枳%、マグネフッ0
〜15体積%からなる粉末混合物を成形し、この成形体
を1500〜1800℃で焼成してサイアロン焼結体を
得るものである。
績%以下で、アルミナ10〜35俸枳%、マグネフッ0
〜15体積%からなる粉末混合物を成形し、この成形体
を1500〜1800℃で焼成してサイアロン焼結体を
得るものである。
しかし、この方法では成形体の形状が大きくなった9、
肉厚が厚くなったりすると珪素の窒化が均一に進行し難
く、を化采件の管理に細心の注意が必要であるばかシで
なく、長時間の焼成が必要となシ、製品として得られる
焼結体の大きさ及び肉厚に限界がめった。その原因は珪
素の窒化反応を容易にするフィラーとしてのアルミナ及
びマグネシアを前記組成範囲以上添加できない点にある
。
肉厚が厚くなったりすると珪素の窒化が均一に進行し難
く、を化采件の管理に細心の注意が必要であるばかシで
なく、長時間の焼成が必要となシ、製品として得られる
焼結体の大きさ及び肉厚に限界がめった。その原因は珪
素の窒化反応を容易にするフィラーとしてのアルミナ及
びマグネシアを前記組成範囲以上添加できない点にある
。
即ち、アルミナ35体積%以上ではgl結体中にX相が
多値に存在するようになシ、物性上好ましくなく、また
35体積%以上、マグネフッ15体積%以上では焼結体
中にスピネル相が多量に存在するようになって、やはシ
物性上好ましくないからである。この様に、アルミナ及
びマグネシアの添加量は焼結体中の鉱物組成に大きな影
響を与えるため前記組成範囲に制限されているものでア
シ、アルミナ及びマグネシアによって珪素の窒化反応を
容易にする効果を所定以上期待できないものであった。
多値に存在するようになシ、物性上好ましくなく、また
35体積%以上、マグネフッ15体積%以上では焼結体
中にスピネル相が多量に存在するようになって、やはシ
物性上好ましくないからである。この様に、アルミナ及
びマグネシアの添加量は焼結体中の鉱物組成に大きな影
響を与えるため前記組成範囲に制限されているものでア
シ、アルミナ及びマグネシアによって珪素の窒化反応を
容易にする効果を所定以上期待できないものであった。
しかして、アルミナ及びマグネシアが前記の様な組成範
囲であると、成形体の形状が太きいものや肉厚が厚いも
のでは、珪素の窒化が均一 に生じに<<、焼成素地中
に珪素の凝集領域が存在したり、クラ、りや空洞が発生
したりし、短時間の焼成が不可能なことがある。
囲であると、成形体の形状が太きいものや肉厚が厚いも
のでは、珪素の窒化が均一 に生じに<<、焼成素地中
に珪素の凝集領域が存在したり、クラ、りや空洞が発生
したりし、短時間の焼成が不可能なことがある。
本発明者は?fiI記製造方法の改良を鋭怠研究した結
果、珪素の一部を市販の安1+Toな窒化珪素に置換す
ることにより、該窒化珪素が珪素の窒化反応を容易にす
る第2のフィラーとして機能し、問題が解決できること
を見出した。
果、珪素の一部を市販の安1+Toな窒化珪素に置換す
ることにより、該窒化珪素が珪素の窒化反応を容易にす
る第2のフィラーとして機能し、問題が解決できること
を見出した。
即ち、本発明の第1発明は珪素と窒化珪素が合力tで8
0体積%以下で、アルミナ10〜35体積%、マグネ7
70〜15体枚%からなる粉末混合物を成形し、この成
形体を非酸化性含窒素雰囲気において1500〜180
0℃で焼成してサイアロン焼結体を得ることを特徴とす
るものである。前記窒化珪素の添加量は珪素との含量に
対してθ〜80体狽%とする必要がある。窒化珪素がか
増大するにしたがって窒化反応は容易になるが、反面焼
成収縮が増大し、焼結体の寸法精度が悪く・なること、
焼結体中にX相など望しくない結晶相が増大し、物性が
低下すること、原料コストが上昇することなどの欠点が
ある。
0体積%以下で、アルミナ10〜35体積%、マグネ7
70〜15体枚%からなる粉末混合物を成形し、この成
形体を非酸化性含窒素雰囲気において1500〜180
0℃で焼成してサイアロン焼結体を得ることを特徴とす
るものである。前記窒化珪素の添加量は珪素との含量に
対してθ〜80体狽%とする必要がある。窒化珪素がか
増大するにしたがって窒化反応は容易になるが、反面焼
成収縮が増大し、焼結体の寸法精度が悪く・なること、
焼結体中にX相など望しくない結晶相が増大し、物性が
低下すること、原料コストが上昇することなどの欠点が
ある。
而して、本発明の81!1発明は先ず合量で80体積%
以下の珪素及び窒化珪素、10〜35体槓%の体積ミナ
、θ〜15体積%のマグネシアを十分に混合し、必要で
あればこれを粉砕する。
以下の珪素及び窒化珪素、10〜35体槓%の体積ミナ
、θ〜15体積%のマグネシアを十分に混合し、必要で
あればこれを粉砕する。
粉砕にはアルミナボールを用い、乾式粉砕るるいは湿式
粉砕を行なう。湿式粉砕では珪素が水と反応して水系ガ
スを発生するため、アルコール、ベンゼン、トルエンな
どの有機溶媒の使用が望ましい。得られた微粒混合粉末
は、プレス成形、ハイドロスタティック成形、押出成形
、鋳込成形、射出成形など形状に応じ7’(成形法を用
いて成形体とする。
粉砕を行なう。湿式粉砕では珪素が水と反応して水系ガ
スを発生するため、アルコール、ベンゼン、トルエンな
どの有機溶媒の使用が望ましい。得られた微粒混合粉末
は、プレス成形、ハイドロスタティック成形、押出成形
、鋳込成形、射出成形など形状に応じ7’(成形法を用
いて成形体とする。
成形体は炉中に入れ、窒素又は窒素と水木との混合ガス
、アンモニアガスなどの含窒素非酸化雰囲気で1150
〜1400℃間で徐々に温度を上昇させて窒化9A成す
る。尚1150℃以下では珪素の窒化速度が遅く、14
00℃以上では珪素が溶融し、蟹素ガスの成形体内部へ
の浸透を妨ける。
、アンモニアガスなどの含窒素非酸化雰囲気で1150
〜1400℃間で徐々に温度を上昇させて窒化9A成す
る。尚1150℃以下では珪素の窒化速度が遅く、14
00℃以上では珪素が溶融し、蟹素ガスの成形体内部へ
の浸透を妨ける。
1150〜1400℃での処理時IBjは肉厚によって
変化するが、2〜20時間が適当である。
変化するが、2〜20時間が適当である。
成形体は炉中でそのままさらに昇温させ、1500〜1
800℃で焼結させる。窒化過程で生成した窒化珪素と
アルミナ、マグネシアとの反応は1500’C以上では
じま)、iサイアロン相が形成され、成形体は緻密化す
る。
800℃で焼結させる。窒化過程で生成した窒化珪素と
アルミナ、マグネシアとの反応は1500’C以上では
じま)、iサイアロン相が形成され、成形体は緻密化す
る。
この際窒化珪素あるいはβ′サイアロン相の熱分解によ
る重量損失をおさえるため、成形体を窒化珪素粉体中に
埋設して焼成するのが望ましい。
る重量損失をおさえるため、成形体を窒化珪素粉体中に
埋設して焼成するのが望ましい。
1800℃以上では成形体の熱分解が著しくなり、緻密
質焼結体が得られなくなる。
質焼結体が得られなくなる。
上記第1の発明において粉末混合物中にマグネシアが存
在した場合には、水を媒体とした泥漿鋳込成形ができな
い。この原因は、マグネシアが水に溶解し泥漿を凝集さ
せるためである。この問題′ を解決するために、第2
発明では、マグネシアの代シにこれと同一当量で且つ水
に9.’Jl溶件のマグネシウム塩、例えば炭酸マグネ
シウム、水酸化マグネシウム、弗化マグネシウム、珪酸
マグネシウム、スピネル(MgO、Al2O3)の何れ
が一つ又は複数を組合わせて用い水を媒体とした泥Sj
f h造成形を可能にした。
在した場合には、水を媒体とした泥漿鋳込成形ができな
い。この原因は、マグネシアが水に溶解し泥漿を凝集さ
せるためである。この問題′ を解決するために、第2
発明では、マグネシアの代シにこれと同一当量で且つ水
に9.’Jl溶件のマグネシウム塩、例えば炭酸マグネ
シウム、水酸化マグネシウム、弗化マグネシウム、珪酸
マグネシウム、スピネル(MgO、Al2O3)の何れ
が一つ又は複数を組合わせて用い水を媒体とした泥Sj
f h造成形を可能にした。
次に本発明の理解を史に高めるため、実施例についてv
/l明する。
/l明する。
〔第1発明の実施例 l〕
〒1う販の金属珪素(平均径6μ、純度98.5%)と
β型窒化珪素(200メツシユ、純度97.5%)とア
ルミナ(平均径2μ、純度99.5%)を表1のように
配合し、エタノールを加えてボールミル中で40 hr
粉砕した。エタノールを除去した後、ポリビニール・ブ
チラール1%、ステアリンe 196をエタノール溶液
として添加し、十分に混合した後エタノールを除き、6
0メツシユ篩を通した。この様にして得られた粉末混合
物を大きさ5×1゜X40m+の試料に金型内で500
に9/−圧でプレス成形し、さらに1000 Kり/c
J圧でハイドロスタティック・プレスした。試料をアル
ミナ・ルツボに入れ、〔窒化珪素90+窒化硼素1.0
1混合粉末中に埋設し、タンマン炉中で加熱した。加熱
は500℃まで真空雰囲気で行ない、ついで窒紫′#囲
気1気圧vc切りmえ、1150’CjTU 4oo℃
/HrT4温し、1150−1400°Cでは100
、’C/ Hrで昇温して窒化させた。さらに1400
〜1700’Cは400功(rで昇温し、1700℃で
1時間保持して緻密化させた。結果は衣1の通pであっ
た。
β型窒化珪素(200メツシユ、純度97.5%)とア
ルミナ(平均径2μ、純度99.5%)を表1のように
配合し、エタノールを加えてボールミル中で40 hr
粉砕した。エタノールを除去した後、ポリビニール・ブ
チラール1%、ステアリンe 196をエタノール溶液
として添加し、十分に混合した後エタノールを除き、6
0メツシユ篩を通した。この様にして得られた粉末混合
物を大きさ5×1゜X40m+の試料に金型内で500
に9/−圧でプレス成形し、さらに1000 Kり/c
J圧でハイドロスタティック・プレスした。試料をアル
ミナ・ルツボに入れ、〔窒化珪素90+窒化硼素1.0
1混合粉末中に埋設し、タンマン炉中で加熱した。加熱
は500℃まで真空雰囲気で行ない、ついで窒紫′#囲
気1気圧vc切りmえ、1150’CjTU 4oo℃
/HrT4温し、1150−1400°Cでは100
、’C/ Hrで昇温して窒化させた。さらに1400
〜1700’Cは400功(rで昇温し、1700℃で
1時間保持して緻密化させた。結果は衣1の通pであっ
た。
辰 1
窒化珪累亀が増大するにつれて曲げ強J規が低下するこ
と、βサイアロン生成量が減少し、βSi:+N4およ
びX相量が増大することが酩められた。
と、βサイアロン生成量が減少し、βSi:+N4およ
びX相量が増大することが酩められた。
〔第1発明の実施例 2〕
実施例1の粉末混合物を用いて径65IIIli厚さ1
0調の円板を金型プレス500にり/cd 、ハイドロ
スタティック・プレス1000〜/d圧で成形し、これ
を〔屋化珪素90+窒化硼素10〕混合粉末を入れた黒
鉛容器中に埋設し、高周波諌尋炉中で窒素雰囲気におい
て焼成した。昇温速度は、1150℃壕では400°C
/hr、1150〜1500℃間は50°C/hr。
0調の円板を金型プレス500にり/cd 、ハイドロ
スタティック・プレス1000〜/d圧で成形し、これ
を〔屋化珪素90+窒化硼素10〕混合粉末を入れた黒
鉛容器中に埋設し、高周波諌尋炉中で窒素雰囲気におい
て焼成した。昇温速度は、1150℃壕では400°C
/hr、1150〜1500℃間は50°C/hr。
1500〜1700°Cft41は400℃/hrで、
1700℃で1時間保持した。結果は表2の通pであっ
た。
1700℃で1時間保持した。結果は表2の通pであっ
た。
衣 2
電化珪素を加えていないNa 1素地ではクラックが発
生し、Siの残留が認められたが、窒化珪素を添加した
N(12〜+11114素地では緻留で均質な焼楯体が
得られた。
生し、Siの残留が認められたが、窒化珪素を添加した
N(12〜+11114素地では緻留で均質な焼楯体が
得られた。
〔第1発明の実施fIIJ3〕
市販の金属珪素・窒化珪素・アルミT・マグネシアを衣
3のように配合し、実施例1と同(ンにして、粉砕・プ
レス成形・を行ない、タンマン炉中で尻成した。最終焼
成温度を変化きせ、各紫地について最適の緻密化焼成温
度をめた。結果は表3の通シであった。
3のように配合し、実施例1と同(ンにして、粉砕・プ
レス成形・を行ない、タンマン炉中で尻成した。最終焼
成温度を変化きせ、各紫地について最適の緻密化焼成温
度をめた。結果は表3の通シであった。
衣 3
マグネシアを添加したものでは緻密化温度が低下するこ
と、添加量が多いトIrL5素地ではスピネル相の生成
が認められた。
と、添加量が多いトIrL5素地ではスピネル相の生成
が認められた。
〔第2発り」の実施例〕
前記第1発明の実施例3におけるNo、2素地、1・ね
4素地について鋳込成形を試みた、粉砕が終了した素地
を空気中150℃に加熱した後、水およびポリアクリル
酸ソーダを加えてスラリーとし、苛性ソーグーによりP
L(を10に調整した。Sl、、513N4、Al2O
3から成る阻2素地では鋳込成形が可能な泥漿が得られ
たが、MgOを含むNn4累地では泥漿が流動せず、鋳
込成形が不可能であった。そこでMgOを水に(9)追
溶なマグネシウム塩例えば炭酸マグネシウム、水酸化マ
グネシウムに置換したところ、泥漿の流動化が可能にな
シ、鋳込成形品が得られるようになった。焼成過程で当
量の#igOが生成するように炭ばマグネシウム、水1
12化マグネシウムを添〃1したところ、実717jN
3の目ユ4素地と同様の物性を持つ焼ホ1j体が鋳込成
形にてもイ母 られプこ。
4素地について鋳込成形を試みた、粉砕が終了した素地
を空気中150℃に加熱した後、水およびポリアクリル
酸ソーダを加えてスラリーとし、苛性ソーグーによりP
L(を10に調整した。Sl、、513N4、Al2O
3から成る阻2素地では鋳込成形が可能な泥漿が得られ
たが、MgOを含むNn4累地では泥漿が流動せず、鋳
込成形が不可能であった。そこでMgOを水に(9)追
溶なマグネシウム塩例えば炭酸マグネシウム、水酸化マ
グネシウムに置換したところ、泥漿の流動化が可能にな
シ、鋳込成形品が得られるようになった。焼成過程で当
量の#igOが生成するように炭ばマグネシウム、水1
12化マグネシウムを添〃1したところ、実717jN
3の目ユ4素地と同様の物性を持つ焼ホ1j体が鋳込成
形にてもイ母 られプこ。
以上の実施例の結果よ#)明らかなように、第1発つ」
によれは工業原石として豊富で安価である金属珪巣、で
ぺ化珪素、アルミナ、を使用し、常圧跣戟法によシ絨警
質でしかも複雑な形状の製品を71’−j開昭56−1
34568号の方法に比べよシ答易且つ安価に製造する
ことが可能である。
によれは工業原石として豊富で安価である金属珪巣、で
ぺ化珪素、アルミナ、を使用し、常圧跣戟法によシ絨警
質でしかも複雑な形状の製品を71’−j開昭56−1
34568号の方法に比べよシ答易且つ安価に製造する
ことが可能である。
′1.た、第2発明によれば前記第1発明の効果(て加
え、粉末混合物の成形を水を媒体とした泥漿鋳込成形に
よシ行うと七ができ、生産性の向上を図れる。
え、粉末混合物の成形を水を媒体とした泥漿鋳込成形に
よシ行うと七ができ、生産性の向上を図れる。
特許出願人 東陶イカ!器株式会社
、乙−−−
代理人 早 川 汝(’Wj−:(ぐ
手続補正書
昭和58年11月β日
1、事件の表示
昭和58年特許願第122747号
2、発明の名称
リイアロン焼結体の製造方法
3、補正をする者
事件との関係 特許出願人
氏名(名称) (AO8)東陶機器株式会社4、代理人
住 所 東京都文京区白山5丁目14番7号5、補正命
令の日(=t (自発補正)昭和 年 月 日 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明 7、補正の内容 別紙の通り 補 正 占 (1)明細書第3頁第8行目の「また35休偵%以上、
・・・」を[またアルミナ35体積%以上・・・」に補
正する。
令の日(=t (自発補正)昭和 年 月 日 6、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明 7、補正の内容 別紙の通り 補 正 占 (1)明細書第3頁第8行目の「また35休偵%以上、
・・・」を[またアルミナ35体積%以上・・・」に補
正する。
(2)明1ll書第7頁第9行目の[ビニール.ブチラ
ール1%、」を「ビニール,ブチラール1%、」に補正
する。
ール1%、」を「ビニール,ブチラール1%、」に補正
する。
(3)明細書第10頁第6行目の[アルミ1−1を「ア
ルミナ」に補正する。
ルミナ」に補正する。
特δ′F出願人 東陶機器株式会社
Claims (4)
- (1)珪素と窒化珪素との合量が80体績%以下で、ア
ルミナ10〜35俸枳%、マグネシア0−15体椎%か
ら成る粉末混合物を成形し、この成形体を非酸化性含窒
素雰囲気において1500〜1800°Cで焼成して焼
結体を得ることを特徴とするサイアロン焼結体の製造方
法。 - (2)上記珪素と窒化珪素との混合割合が珪累100〜
20体槓%、窒化珪素0〜80体績%である前記特許請
求の範囲第1項記載のサイアロン焼結体の製造方法。 - (3)珪素と窒化珪素との合量が80体績%以下で、ア
ルミナ10〜35俸枳%、水に難溶性のマグネシウム塩
がマグネシア換算で0〜15体績%からなる粉末混合物
を成形し、この成形体を非酸化性含窒素雰囲気において
1500〜1800℃で焼成して焼結体を得ることを特
徴とするサイアロン焼結体の製造方法。 - (4)上記マグネシウム塩が炭酸マグネシウム、水酸化
マグネシウム、弗化マグネシウム、珪酸マグネシウム及
びスピネル(MgO−Al2O3)の例れか一つ又は複
数の組合わせからなる前記吋許晶求の範囲第3項記載の
サイアロン焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58122747A JPS6016870A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | サイアロン焼結体の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58122747A JPS6016870A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | サイアロン焼結体の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6016870A true JPS6016870A (ja) | 1985-01-28 |
JPS6127353B2 JPS6127353B2 (ja) | 1986-06-25 |
Family
ID=14843598
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58122747A Granted JPS6016870A (ja) | 1983-07-05 | 1983-07-05 | サイアロン焼結体の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6016870A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5308561A (en) * | 1991-01-30 | 1994-05-03 | Bayer Ag | Process for production of a Si3 N4, based material |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5595680A (en) * | 1979-01-12 | 1980-07-21 | Ngk Spark Plug Co | Production of high density silicon nitride sintered body |
JPS56134568A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-21 | Toto Ltd | Manufacture of silicon nitrogen sintered body |
-
1983
- 1983-07-05 JP JP58122747A patent/JPS6016870A/ja active Granted
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5595680A (en) * | 1979-01-12 | 1980-07-21 | Ngk Spark Plug Co | Production of high density silicon nitride sintered body |
JPS56134568A (en) * | 1980-03-26 | 1981-10-21 | Toto Ltd | Manufacture of silicon nitrogen sintered body |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5308561A (en) * | 1991-01-30 | 1994-05-03 | Bayer Ag | Process for production of a Si3 N4, based material |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JPS6127353B2 (ja) | 1986-06-25 |
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