JPS6259572A - 窒化けい素質焼結体およびその製造方法 - Google Patents
窒化けい素質焼結体およびその製造方法Info
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- JPS6259572A JPS6259572A JP60199200A JP19920085A JPS6259572A JP S6259572 A JPS6259572 A JP S6259572A JP 60199200 A JP60199200 A JP 60199200A JP 19920085 A JP19920085 A JP 19920085A JP S6259572 A JPS6259572 A JP S6259572A
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- Japan
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- sintered body
- silicon nitride
- nitride sintered
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は高温構造材料等として用いられる窒化けい素質
焼結体およびその製造方法に関するものである。
焼結体およびその製造方法に関するものである。
窒化けい素質焼結体は機械的強度、耐熱性、耐熱衝撃性
、耐食性などにすぐれており、ガスタービン部材などの
高温構造材料として注目されている。しかし窒化けい素
（５ｉ−ｓ Ｎ４ ）は極めて難焼結性の物質であり、
用法の焼結体を得ることは極めて困難である。そこで窒
化けい素の焼結に際しては酸化マグネシウム（ＭｇＯ）
、酸化アルミニウム（Ａｅμｈ）、希土類元素の酸化物
などを焼結助剤として使用してきた。
、耐食性などにすぐれており、ガスタービン部材などの
高温構造材料として注目されている。しかし窒化けい素
（５ｉ−ｓ Ｎ４ ）は極めて難焼結性の物質であり、
用法の焼結体を得ることは極めて困難である。そこで窒
化けい素の焼結に際しては酸化マグネシウム（ＭｇＯ）
、酸化アルミニウム（Ａｅμｈ）、希土類元素の酸化物
などを焼結助剤として使用してきた。
これ等焼結助剤はＳ’ｘｓ Ｎ４ の表面に存在する
酸化けい素（Ｓｉ、０．） と反応し、ガラス相を形成
して焼結を促進する。従って得られる焼結体は５ｊ−ｎ
Ｎ４ 粒子とガラス相からなる。
酸化けい素（Ｓｉ、０．） と反応し、ガラス相を形成
して焼結を促進する。従って得られる焼結体は５ｊ−ｎ
Ｎ４ 粒子とガラス相からなる。
ところかガラス相は８００ ”ＣＮ３０００ ℃を越え
ると軟化するため、焼結体の高温強度が劣下することが
知られている。
ると軟化するため、焼結体の高温強度が劣下することが
知られている。
この問題に対する一つの手段として、ガラス相の組成を
制御し、かつ焼結後に熱処理することによりガラス相を
結晶化することが提案されている。例えば特開昭５５−
５５３７５号では、ＳＬ Ｎ４．酸化イツトリウム（Ｙ
＊ ０．）およびＡ＆ｍＯｓ 全原料とする焼結体に
おいて、ガラス相からＹＡＧ結晶（３Ｍ！ Ｏｎ ＊
５ Ａ／ｈ○３）を析出する方法が記載されている。し
かしながら、ＭｇＯ−！：たはその化合物、例えばＭｇ
Ａ（！ｚ ０４ ”ｆ含まない組成物は焼結性が必ずし
も充分でなく、１７００ ℃以下の温度でＩ−ｔ、緻密
な焼結体が得られない。また１８００″Ｃ以上の温度で
焼結するとＳ’ｒｓＮａ の分解が起り、あるいけ８
１３ Ｎ４の粒子成長が顕著になって焼結体の強度低下
を招く原因となる。
制御し、かつ焼結後に熱処理することによりガラス相を
結晶化することが提案されている。例えば特開昭５５−
５５３７５号では、ＳＬ Ｎ４．酸化イツトリウム（Ｙ
＊ ０．）およびＡ＆ｍＯｓ 全原料とする焼結体に
おいて、ガラス相からＹＡＧ結晶（３Ｍ！ Ｏｎ ＊
５ Ａ／ｈ○３）を析出する方法が記載されている。し
かしながら、ＭｇＯ−！：たはその化合物、例えばＭｇ
Ａ（！ｚ ０４ ”ｆ含まない組成物は焼結性が必ずし
も充分でなく、１７００ ℃以下の温度でＩ−ｔ、緻密
な焼結体が得られない。また１８００″Ｃ以上の温度で
焼結するとＳ’ｒｓＮａ の分解が起り、あるいけ８
１３ Ｎ４の粒子成長が顕著になって焼結体の強度低下
を招く原因となる。
本発明は上記の実情に鑑みてなされたもので、焼結性に
すぐれ、かつ粒界が結晶化されて室温および高温で機械
的強度にすぐれた窒化忙い素質焼結体およびその製造方
法を提供し、もって従来の問題点を解決することを目的
とするものである。
すぐれ、かつ粒界が結晶化されて室温および高温で機械
的強度にすぐれた窒化忙い素質焼結体およびその製造方
法を提供し、もって従来の問題点を解決することを目的
とするものである。
本発明は、Ｓ’ＬｓＮａ からなる第１相と、陽イオ
ンがＳｉ、、Ａｅ％ＭｇおよびＹ％陰−イオンが酸素お
よび窒素であって、陽イオン比がＭｇ／Ａｌ０．５〜０
．８、Ｍｇ、／Ｉｋｉ４０．４〜１． Ｏである酸窒化
物結晶を粒界相の一部または全部とする窒化珪素質焼結
体を提供する。第１相の５ｊ−ｓ Ｎ４ 粒子がＡσ
および酸素を固溶してβサイアロン結晶を形成してもよ
い。陽イオンとしてカルシウム（Ｃａ）およびランタニ
ド元素の１種または２種以上全固溶することができる。
ンがＳｉ、、Ａｅ％ＭｇおよびＹ％陰−イオンが酸素お
よび窒素であって、陽イオン比がＭｇ／Ａｌ０．５〜０
．８、Ｍｇ、／Ｉｋｉ４０．４〜１． Ｏである酸窒化
物結晶を粒界相の一部または全部とする窒化珪素質焼結
体を提供する。第１相の５ｊ−ｓ Ｎ４ 粒子がＡσ
および酸素を固溶してβサイアロン結晶を形成してもよ
い。陽イオンとしてカルシウム（Ｃａ）およびランタニ
ド元素の１種または２種以上全固溶することができる。
粒界相の結晶（以下結晶Ｕｘ七いう）はその結晶構造は
明かでないが、Ｘ線回折法による物質同定で回折ピーク
位置を特定することができる。即ち、結晶ＵＸののＸ線
回折ピークが強く現れる８つのビ一つて対する面間隔（
ｄ値）は、ｄ−４，マＯ％４．４１．３．６８．５．１
ｇ、２．９６０゜２．８９０．２．５６６．２．５１０
Ｃ単位Ａ）となる。なかでもｄ−２，９６ＯＡに対する
回折ピークが最も強い。なお、結晶ＵＸにはＣａおよび
ランタニド元素が固溶し、面間隔もｄ−２，９６０が見
出された。
明かでないが、Ｘ線回折法による物質同定で回折ピーク
位置を特定することができる。即ち、結晶ＵＸののＸ線
回折ピークが強く現れる８つのビ一つて対する面間隔（
ｄ値）は、ｄ−４，マＯ％４．４１．３．６８．５．１
ｇ、２．９６０゜２．８９０．２．５６６．２．５１０
Ｃ単位Ａ）となる。なかでもｄ−２，９６ＯＡに対する
回折ピークが最も強い。なお、結晶ＵＸにはＣａおよび
ランタニド元素が固溶し、面間隔もｄ−２，９６０が見
出された。
本発明の上記窒化けい素質焼結体は、ＭｇＯ１Ａ＋？！
Ｏ！ およびＬＯｓを特定割合で含み残部が実質的に
５ｊ−ｎＮ４ よりなる混合粉末ｆｊｆ：窒素など不
活性ガス中で焼結し、更に不活性ガス中で１１００℃〜
：Ｌ ３５０ ℃で熱処理することにより得られる。
Ｏ！ およびＬＯｓを特定割合で含み残部が実質的に
５ｊ−ｎＮ４ よりなる混合粉末ｆｊｆ：窒素など不
活性ガス中で焼結し、更に不活性ガス中で１１００℃〜
：Ｌ ３５０ ℃で熱処理することにより得られる。
混合粉末の組成は、ＭＩＪ０．Ａｅｔ ＯｌおよびＹ＊
Ｏｍの含量が５重量％〜２０重量９６（以下、単に％と
いう）で原子比がＭｇ／Ａｌ０．５〜０． ８、Ｍｇ／
Ｙ ０．４〜１．０とする。ｂずり、の元素が欠落して
も、またいずれの元素が過不足１７ても粒界ガラス相が
充分て結晶化せず、高い高温強度が得られない。また５
ｊ−ｎＮ４ 粉末中の酸素は０．５％〜３．０４であ
ることが望渣しく、０．５％未満では粒葦ガラス相を形
成するＳｌが少くなシ、結晶ＵＸの析出が不充分となる
。一方、３．０％を越えると酸素過剰のガラス相となっ
て粒界の結晶化が阻害される。
Ｏｍの含量が５重量％〜２０重量９６（以下、単に％と
いう）で原子比がＭｇ／Ａｌ０．５〜０． ８、Ｍｇ／
Ｙ ０．４〜１．０とする。ｂずり、の元素が欠落して
も、またいずれの元素が過不足１７ても粒界ガラス相が
充分て結晶化せず、高い高温強度が得られない。また５
ｊ−ｎＮ４ 粉末中の酸素は０．５％〜３．０４であ
ることが望渣しく、０．５％未満では粒葦ガラス相を形
成するＳｌが少くなシ、結晶ＵＸの析出が不充分となる
。一方、３．０％を越えると酸素過剰のガラス相となっ
て粒界の結晶化が阻害される。
なお、ＭｇＯ１Ａｅ２０ｓ、Ｙ＊Ｏｓｉ！コｔＬ等の化
合物、例えばＭ ｇ ＯＡ ｇ ｔ ０４ 等の複合
酸化物、あるいは窒化物として用いることができる。特
にＳｉ、ｓ ＮＪ 中の酸素量が極端に少ない場合に
は、５ｉｚＮ４ｆあらかじめ酸化して所定の酸素量とし
てもよいし、Ｓｊ、□Ｏ■を添加することもできる。
合物、例えばＭ ｇ ＯＡ ｇ ｔ ０４ 等の複合
酸化物、あるいは窒化物として用いることができる。特
にＳｉ、ｓ ＮＪ 中の酸素量が極端に少ない場合に
は、５ｉｚＮ４ｆあらかじめ酸化して所定の酸素量とし
てもよいし、Ｓｊ、□Ｏ■を添加することもできる。
逆Ｋ Ｓｉｓ ＮＪ 中の酸素量が３％を毬える場合
は、Ｍｇ、、Ａｅ、 Ｙを含む窒化物として添加すると
よい。
は、Ｍｇ、、Ａｅ、 Ｙを含む窒化物として添加すると
よい。
本発明に用いるＳｉｘ ＮＪ 粉末は金属不純物の総
量が１９６以下で平均粒径が４μｍ以下、好ましくけ１
μｍ以下のものを用いる。Ｍｇ０．Ａ ｅ ２０ｎおよ
びＹ２Ｏ１は純度が９８優以上、平均粒径が２μｍ以下
のものがよい。
量が１９６以下で平均粒径が４μｍ以下、好ましくけ１
μｍ以下のものを用いる。Ｍｇ０．Ａ ｅ ２０ｎおよ
びＹ２Ｏ１は純度が９８優以上、平均粒径が２μｍ以下
のものがよい。
従来、不純物のＣａは、粒界ガラス相中に存在すると高
温強度の著しい低下をもたらすので極力少くする必要が
あったが、本発明で得られる焼結体でけＣａが結晶中に
とり込まれるので、強度を劣下させることはない。同様
にランタニド元素も結晶Ｕ Ｘ Ｉｃ固溶するので、焼
結助剤であるランタニド元素の酸化物あるいは窒化物を
添加しても本発明の焼結体が得られる。添加量は０．０
１％〜〕２．０％の範囲が適当である。０．０１％未満
では焼結助剤としての作用がほとんどなく、１．０ ％
を越えると結晶化を阻害し、ガラスのまま残存する。
温強度の著しい低下をもたらすので極力少くする必要が
あったが、本発明で得られる焼結体でけＣａが結晶中に
とり込まれるので、強度を劣下させることはない。同様
にランタニド元素も結晶Ｕ Ｘ Ｉｃ固溶するので、焼
結助剤であるランタニド元素の酸化物あるいは窒化物を
添加しても本発明の焼結体が得られる。添加量は０．０
１％〜〕２．０％の範囲が適当である。０．０１％未満
では焼結助剤としての作用がほとんどなく、１．０ ％
を越えると結晶化を阻害し、ガラスのまま残存する。
焼結はホットプレス、常圧焼結、ガス圧焼結、Ｈ工Ｐ等
が採用できる。焼成温度ば１６００℃〜ｌ ’ｌ ５０
℃が望ましい。１６００℃未満では焼結が充分に進行
せず、１７５０″Ｃを越えるとＳｉｓ ＮＪ の粒子
成長が顕著となって強度の高い焼結体が得られない。焼
結時間は０．５〜５時間程度が適当である。
が採用できる。焼成温度ば１６００℃〜ｌ ’ｌ ５０
℃が望ましい。１６００℃未満では焼結が充分に進行
せず、１７５０″Ｃを越えるとＳｉｓ ＮＪ の粒子
成長が顕著となって強度の高い焼結体が得られない。焼
結時間は０．５〜５時間程度が適当である。
焼結後の熱処理は１１００℃〜１３５０ ”Ｃで行なう
のが好ましい。処理時間は０．５〜５０時間が適当であ
る。１ユＯＯ℃未満では結晶化に要する時間が５０時間
を越えるため実用的でｉい。
のが好ましい。処理時間は０．５〜５０時間が適当であ
る。１ユＯＯ℃未満では結晶化に要する時間が５０時間
を越えるため実用的でｉい。
１３５０℃を越えると、生成した結晶ｔＴＸが不安定と
なり再びガラス化するので好ましくない。
なり再びガラス化するので好ましくない。
粒界相の結晶化け、焼結後の冷却時に徐冷することによ
っても達成される。この場合、１３５０℃から１１００
℃までの温度範囲を５時間以上かけて冷却することが必
要である。
っても達成される。この場合、１３５０℃から１１００
℃までの温度範囲を５時間以上かけて冷却することが必
要である。
〔実験例１〕
平均粒径０．７μｔｎ、酸素含有１２．０％、金属不純
物含有量の総和が０．０５％の高純度Ｓ’ｘｓ Ｎａ扮
末と、平均粒径１．０μｍ１ 純度９８％以上のＭｇ０
．Ａｇｚ ＯｓおよびＴ掌Ｏｓ粉末を第１表に示す配合
割合に調合した。、調合粉末５００ｇに８１□ＮＪ製玉
石１に９、ベンゼン１０００Ｗｌｅ全加え、内容晴ｚｏ
ｇのプレスチツク容器に入れ、回転ミルにて２４時間、
湿式混合した。
物含有量の総和が０．０５％の高純度Ｓ’ｘｓ Ｎａ扮
末と、平均粒径１．０μｍ１ 純度９８％以上のＭｇ０
．Ａｇｚ ＯｓおよびＴ掌Ｏｓ粉末を第１表に示す配合
割合に調合した。、調合粉末５００ｇに８１□ＮＪ製玉
石１に９、ベンゼン１０００Ｗｌｅ全加え、内容晴ｚｏ
ｇのプレスチツク容器に入れ、回転ミルにて２４時間、
湿式混合した。
混合後、スラリ ｇ吸引ろ過し、１００℃で２時間、湿
式乾燥した後、目開き３００μｍの痺を通して整粒し、
成形用粉末とした。
式乾燥した後、目開き３００μｍの痺を通して整粒し、
成形用粉末とした。
この粉末を２００ ｋｇ／ Ｃｒｌの圧力で予備底形し
た後、ゴム袋に包み２ ｔｏｎ ／ ｃＴＬ！の圧力で
静水圧プレスし、６０Ｘ５０ＸｌＯｍｍの成形体とした
。
た後、ゴム袋に包み２ ｔｏｎ ／ ｃＴＬ！の圧力で
静水圧プレスし、６０Ｘ５０ＸｌＯｍｍの成形体とした
。
この成形体を黒鉛容器に入れ、大気圧の窒素ガス中で第
１表に示す条件で焼成し、その後、熱処理して窒化けい
素質焼結体を得た。
１表に示す条件で焼成し、その後、熱処理して窒化けい
素質焼結体を得た。
これら焼結体の相対密度、室温および１２００′Ｃでの
４点曲げ強度、結晶相を測定した。曲げ試験はＪ工５Ｒ
−１６０１による４点曲げ強度試験を行なった。結果は
ＷＩＪ１表に示す通りである。表において、ＳＮけβ−
８１ｍＮａ を、Ｇはガラスを、ＭＹＳはＭｇｓ Ｔ
ｓ Ｓｉ、ｓ Ｏｖａ ’ｅ表十〇試料＆１〜Ａ９は
本発明、煮１３〜諷１７は比較例である。罵１３は熱処
理がなされず、黒１４はＭｇ／了が多すぎ、墓ユ５けＹ
ｔＯｓを含まず、ム゛１６けＡ＃ｇＯｓ を含まず、
扁ニゲはＭｇＯを含まない。
４点曲げ強度、結晶相を測定した。曲げ試験はＪ工５Ｒ
−１６０１による４点曲げ強度試験を行なった。結果は
ＷＩＪ１表に示す通りである。表において、ＳＮけβ−
８１ｍＮａ を、Ｇはガラスを、ＭＹＳはＭｇｓ Ｔ
ｓ Ｓｉ、ｓ Ｏｖａ ’ｅ表十〇試料＆１〜Ａ９は
本発明、煮１３〜諷１７は比較例である。罵１３は熱処
理がなされず、黒１４はＭｇ／了が多すぎ、墓ユ５けＹ
ｔＯｓを含まず、ム゛１６けＡ＃ｇＯｓ を含まず、
扁ニゲはＭｇＯを含まない。
第１表から明かなように、本発明により得られた焼結体
はｌ ６００ ℃〜：Ｌ ７５０ ”Ｃの焼成温度で充
分緻密化し、熱処理によって結晶ＵＸ？析出させること
により、真空中１２００ ”Ｃでの強度７ Ｑ ｋｇ
／ ｍｐｐＮ以上が達せられた。比較例に比べ本発明品
は格段に高温強度が高い。Ｍｇを含まない黒１７は焼結
性に劣り、相対密度、強度とも最も低い。
はｌ ６００ ℃〜：Ｌ ７５０ ”Ｃの焼成温度で充
分緻密化し、熱処理によって結晶ＵＸ？析出させること
により、真空中１２００ ”Ｃでの強度７ Ｑ ｋｇ
／ ｍｐｐＮ以上が達せられた。比較例に比べ本発明品
は格段に高温強度が高い。Ｍｇを含まない黒１７は焼結
性に劣り、相対密度、強度とも最も低い。
〔実験例２〕
平均粒径０．５μｍ、酸素含有量：Ｌ、 ５ ’Ｉ、不
純物Ｃａが０．３％、金属不純物の総和が０．６％のＳ
’ｒｓＮａ 粉末を用い、焼結助剤として実験例で用
いたもの以外にランタニド元素の酸化物を添加し、実験
例１と同じ方法で本発明を実施し、焼結体を作製した。
純物Ｃａが０．３％、金属不純物の総和が０．６％のＳ
’ｒｓＮａ 粉末を用い、焼結助剤として実験例で用
いたもの以外にランタニド元素の酸化物を添加し、実験
例１と同じ方法で本発明を実施し、焼結体を作製した。
なお焼成は１７００℃で４時間、その後の熱処理はｌ
２５０ ℃で５時間とした。結果を第２表に示す。
２５０ ℃で５時間とした。結果を第２表に示す。
第２表の焼結体はいずれもＸ線回折により結晶ＵＸが確
認された。また透過型分析電子顕微鏡により結晶ＵＸを
元素分析したところ、第２図図示のようにＳｌ、Ｍｇ％
ｉ、Ｙの他にＣａが検出され、颯１１およびＡ１２につ
いてはＬａおよびＣｅが検出された。このことから結晶
ＵＸはＣａおよびランタニド元素を固溶し得ることが確
認された。セしてＣａ、Ｃｅとともにランタニド元素を
粒界結晶中に包含することで、焼結性および高温強度が
特にすぐねている。
認された。また透過型分析電子顕微鏡により結晶ＵＸを
元素分析したところ、第２図図示のようにＳｌ、Ｍｇ％
ｉ、Ｙの他にＣａが検出され、颯１１およびＡ１２につ
いてはＬａおよびＣｅが検出された。このことから結晶
ＵＸはＣａおよびランタニド元素を固溶し得ることが確
認された。セしてＣａ、Ｃｅとともにランタニド元素を
粒界結晶中に包含することで、焼結性および高温強度が
特にすぐねている。
第１図は試料Ａｇｏの焼結体の組織を示す電子顕！！鏡
写真で、白く多角形に見える部分が８１□Ｎ４ 粒子
であり、６１ｓＮａ 粒子の間隙部分が結晶ＵＸであ
る。
写真で、白く多角形に見える部分が８１□Ｎ４ 粒子
であり、６１ｓＮａ 粒子の間隙部分が結晶ＵＸであ
る。
い、ＭｇＯおよびＡＬ−Ｏｘ を複合酸化物であるＭ
ｇＡＬＯｍとして添加し、第３表に示すように試料を調
合した。ＭｇＡ ／ｌ ｚ Ｏ４は平均粒径０．５μｍ
。
ｇＡＬＯｍとして添加し、第３表に示すように試料を調
合した。ＭｇＡ ／ｌ ｚ Ｏ４は平均粒径０．５μｍ
。
純度９９％以上の粉末を用いた。この混合粉末を実験例
２と同一の工程で処理して本発明による焼結体全得た。
２と同一の工程で処理して本発明による焼結体全得た。
密度および強度の測定結果を同表て示す。表から明かな
ように複合酸化物を添加しても良好な焼結性と高い高温
強度が得られる。
ように複合酸化物を添加しても良好な焼結性と高い高温
強度が得られる。
以上・説明したよう九本発明によれば、焼結過程におい
て生じた粒界ガラス相の大部分が結晶化され、室温およ
び高温強度にすぐれるとともに焼結性良好な窒化けい素
質焼結体を得ることがでへる。
て生じた粒界ガラス相の大部分が結晶化され、室温およ
び高温強度にすぐれるとともに焼結性良好な窒化けい素
質焼結体を得ることがでへる。
ロココ
第１図は本発明により得られた焼結体の組織全示す電子
頑徽鏡写真、第２図は本発明によシ得られた焼結体内の
粒界結晶の元素分析図である。
頑徽鏡写真、第２図は本発明によシ得られた焼結体内の
粒界結晶の元素分析図である。
Claims (6)
- （１）窒化珪素からなる第１相と、陽イオンがシリコン
、アルミニウム、マグネシウムおよびイットリウム、陰
イオンが酸素および窒素であつて陽イオン比がＭｇ／Ａ
ｌ０．５〜０．８、Ｍｇ／Ｙ０．４〜１．０である酸窒
化物結晶を粒界相の一部または全部とする窒化けい素質
焼結体。 - （２）上記粒界相の結晶がカルシウムおよびランタニド
元素の少くとも１種を含む特許請求の範囲第１項記載の
窒化けい素質焼結体。 - （３）酸化マグネシウム、酸化アルミニウムおよび酸化
イットリウム粉末の含量が５重量％〜２０重量％で残部
が実質的に窒化けい素粉末よりなり、かつ原子比をＭｇ
／Ａｌ０．５〜０．８、Ｍｇ／Ｙ０．４〜１．０とした
混合粉末を１６００℃〜１７５０℃で焼結し、次いで１
１００℃〜１３５０℃で熱処理することを特徴とする窒
化けい素質焼結体の製造方法。 - （４）上記酸化マグネシウムおよび酸化アルミニウムを
複合酸化物ＭｇＡｌ＿２Ｏ＿４として用いる特許請求の
範囲第３項記載の窒化けい素質焼結体の製造方法。 - （５）上記混合粉末中に０．０１重量％〜１．０重量％
のランタニド元素の酸化物を含む特許請求の範囲第３項
記載の窒化けい素質焼結体の製造方法。 - （６）上記熱処理を０．５〜５０時間行なう特許請求の
範囲第３項記載の窒化けい素質焼結体の製造方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60199200A JPS6259572A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 窒化けい素質焼結体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP60199200A JPS6259572A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 窒化けい素質焼結体およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6259572A true JPS6259572A (ja) | 1987-03-16 |
| JPH0518776B2 JPH0518776B2 (ja) | 1993-03-12 |
Family
ID=16403804
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP60199200A Granted JPS6259572A (ja) | 1985-09-09 | 1985-09-09 | 窒化けい素質焼結体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6259572A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6287462A (ja) * | 1985-10-14 | 1987-04-21 | トヨタ自動車株式会社 | 窒化ケイ素焼結体およびその製法 |
| JPS63156070A (ja) * | 1986-12-17 | 1988-06-29 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体及びその製法 |
| JP2007308368A (ja) * | 2007-07-13 | 2007-11-29 | Toshiba Corp | 窒化けい素製耐摩耗性部材の製造方法 |
| WO2015016269A1 (ja) * | 2013-07-31 | 2015-02-05 | 京セラ株式会社 | 窒化珪素質焼結体およびこれを用いた耐食性部材、摺動部材ならびに製紙機械用部材 |
| WO2022163730A1 (ja) * | 2021-01-27 | 2022-08-04 | Ａｇｃ株式会社 | 窒化ケイ素焼結体および窒化ケイ素焼結体の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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-
1985
- 1985-09-09 JP JP60199200A patent/JPS6259572A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0518776B2 (ja) | 1993-03-12 |
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