JPS60167400A - 半導体素子の供給装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 曽 この発明はＩＣのような半導体素子（以下単に素子とい
う）の電気的特性を測定してその結果によって素子を性
能別に分類収容する半導体素子のハンドリングマシンに
おいて、多数本のマガジンを収納しであるストッカを複
数列設け、順次各ストッカから１本ずつマガジンを取り
出し、その中の素子を測定部に供給するようにした半導
体素子の供給装置に関するものである。

従来の半導体素子のハンドリングマシンに３いては、測
定部に素−子を供給する場合素子を収容しているマガジ
ンを作業者が１本ずつセットするか、あるいは多少の連
続稼動を行なわせるために複数本のマガジンを収納でき
るストッカを装填し、そのストッカから取り出されたマ
ガジンを自動的に１本ずつセットするとかして行なって
いた。しかし、この従来装置の前者においては勿論のこ
と、後者においてもセットされるストッカは１個である
ため、ハンドリングマシンの長時間の連続稼動には自ら
限界があった。

本発明はこのような従来装置を改良して、複数個のスト
ッカを装填しておき、１つのストッカ内のマガジンがな
くなった場合は次のストッカ内のマガジンを供給するこ
とが出来るようにしておくことによって長時間の連続稼
動を可能とした素子の供給装置を提供するものである。

第１図ないし第３図により本願発明の適用されているハ
ンドリングマシンの概要について説明する。探合１の上
部には複数列のストッカ、図示の例では第１ストツカ２
および第２ストツカ３の２列が設けられており、この各
々のストッカにはまだ測定されていない多数個の素子を
収容しであるマガジン４が水平に多数本積み重ねられて
いる。測定が開始されると先ず第１ストツカ２内の最下
段のマガジン４゛がストッカ２の下部から後述する取出
機構９によって一本ずつ５で示す位置まで水平移動され
、次いで６で示す位置まで昇降機構１０によって垂直移
動されてその位置で待機する。この待機位置を人位置と
する。Ａ位置で待機しているマガジン６は昇降機構１０
上を移動可能なマガジン受台１１によってＢで示す位置
まで水平移動された後、その一端が旋回上昇されて第１
図の１２で示すように傾斜してセットされる。

傾斜してセットされたマガジン１２から供給された素子
はインプットシュート１３を介してプレヒートシュート
１４内を順次降下していく過程において適宜な過熱装置
（図示せず）によって所定温度に加熱され、供給部１５
を経由して測定シュート１６に供給され、その途中に設
けられた測定部１７あるいは１８において電気的特性が
測定される。

測定部１７あるいは１８においてその電気的特性を測定
された素子は測定部から解放されて測定シュート１６の
末端に移動可能に設けられた分配＠１９に１個ずつ受け
取られる。素子を受け取りた分配１１１９は複数列設け
られた収容シュート２０のうち指定された収容シュート
の位置に移動して停止して保持している素子を解放する
。解放された素子は収容シュート２０を通って、これに
連続して設けられている複数本の収容マガジン２１のう
ちの特定のものに収容される。収容マガジン２１は測定
を終了した素子により満杯になると収容ストッカ２２に
順次下から上へと多数本収容されると共に、空の収容マ
ガジン２１が新たにセットされる。

一方傾斜してセットされた供給マがシン１２の中の素子
が全部測定部へ供給されて空になると、その空マガジン
１２はＢ位置において再び水平状態に戻されてからマガ
ジン受台１１によってＣ位置の７で示される位置まで水
平移動された後、昇降機構１０により垂直に降下されて
空マガジン収納ボックス８に収納される。この空マガジ
ンが収納される過程と並行して、第１ストツカ２からは
未測定の素子を収容しであるマガジン４が前記した順序
でＢ位置に供給セ・ントされて測定は続行され、さらに
測定が進んで第１ストツカ２内にマガジンがなくなると
、次に第２ストツカ３内のマガジンを順次供給すること
によって連続して測定が行なえるようになっている。な
お第２図の２３は上記した作動を行なわしめる装置が内
装されたコントロールボックスを示す。

次に上記した素子の供給装置の各機構についてその構成
を説明する。

第４図に示す取出機構９において、第１、第２のストッ
カ２．３は並行、水平に探合１の所定位置に固定される
。機台には第１ストツカ２に対して、その下端にマガジ
ン４が存在するか否かを検出する光電検出器２５が設け
られ、かつ最下段のマガジンとその上のマガジンとの間
に入る第１セパレータ爪２６が設けられ、この爪２６が
突出しているときはその上のマガジンは下降小米ない。

第２ストツカ３においても同様に光電検出器２７、第２
セパレータ爪２８を設ける。二つのストッカ２．３の下
には、図において左右に水平かつストッカに対して直角
に滑動可能のキャリア２９を設ける。キャリア２９の上
面にはストッカ２．３の間隔に等しく、マガジン１本だ
けが入る第１、第２の切欠き３０、りを設けて、第１の
切欠き３０が第１゛ストツカ２の９．′Ｔに位置すると
きには第２の切欠き３１はｔＩＳ２ストッカ３の下に位
置するようにしミかつ第２ストツカ３の下に第１の切欠
き３０が位置したときには第２の切欠き３１はＡ位置に
くるようにする。そして第２ストツカ３の直下にはマガ
ジンを第２ストツカ３の底部に押し上げるためのマガジ
ンブツシャ３２を設ける。

いま第１、第２スト７カ２．３の最下段の空間をり、Ｅ
とし、キャリア２９のＡ位置をＦとすると、次の順序で
まず第１ストツカ２に収容されているマガジンが全部送
り出される。

１１第４図の状態において、爪２６が開いて、マガジン
が第１ストツカ２の下部空間りに下降して、Ｄとその上
のマがシンとの開に爪２６をくい込ませる。そしてＤに
マ、／７シンが存在することが光電検出器２５により確
認される。このとき第２ストツカ３の下部空間Ｅは爪２
８によりマガジンは下降せず、空席であることが光電検
出器２７により検出される。

■、第４図の状態より、キャリア２９が左方向に移動し
、第１切欠％３０にＤのマガジンが落下する。

■、キャリア２９が右方向へ移動し第１切欠き３０に入
っているマｌｆジンに対して下からブツシャ３２が上昇
して空間Ｅにマガジンを押し上げる。爪２６が開いてＤ
に１本のマガジンが入る。

■、キャリア２９が左方向へ移動し、次いでブツシャ３
２も下降して空間り及びＥ内のマガジンは第１及び第２
切欠き３０．３１内へ落ちる。

Ｖ１キャリア２９は右方向へ移動し、Ｆにマガジンがき
て待機状態となる。第１切欠き３０のマガジンはブツシ
ャ３２により空間Ｅに入る。ここで後に記す昇降機構１
０によりＦにあるマガジンは取り出されて上昇する。

以上により、第１ストツカ２のマガジンは底部から１本
ずつ取り出され、第２ストツカ３の底部に一時入れられ
て、Ｆ位置に全部が順次送り出される。そして爪２６が
開いても検出器２５がマガジン４の存在を検出しないと
きには第１ストツカ２の送り出しが完了したことが判断
され、第２ストツカ３の爪２８が開いて、キャリア２９
の左右動によって第２ストツカ３のマ〃ンン４全部が順
次送り出される。なおＦ位置にマガジンが有るか否かを
検出する光電検出器３３を設けて全部のストッカからマ
ガジンの送り出しが完了したことを検知して装置の運転
を停止する。

次に上述のマガジンは長い管状補遺であるので、これを
下から受けてＦ位置へ移動させるためにはキャリアを２
本平行に設けて、これを同期して前進後退運動を行なわ
せる必要があるが、その構造について説明する。

ｆ！Ｓ５図は２本のキャリアの運動機構の一実施例を示
すものである。固定部に設けられた平行の案内４２．４
３の中に１ＪＩ１１、第２のキャリア２９．３９が平行
に設けられる。この二つのキャリアの上面には各々前記
の通り第１、第２の切欠き３０．３１および４０．４１
が設けられる。二つのキャリア２９．３９の中間には固
定部に取り付けられた支点４４によって回転可能にシリ
ンダ４５を取り付ける。

また支点４６によって回転可能に支持された丁字形１／
　バー　４７の一頂点の軸４８にシリンダ４５のロッド
を連結する。またレバー４７の一つの頂点は第１キヤリ
ア２９に釉４９によって連結され、他の一つの頂点５０
にはロッド５１が結ばれる。また固定部に設けられた支
点５２にはＬ字形レバー５３が回転可能に取り付けられ
、その一端にはロッド５１の他端が支点５４により連結
される。そしてＬ字形レバー５３の他の端は第２のキャ
リア３９に立てられたピン５５によって連結される。こ
のようにして、シリンダ４５の作動によって丁字形レバ
ー４７とＬ字形レバー５３とが同時に旋回し、案内４２
．４３の中にある第１、第２のキャリア２９．３９は同
期して、等しい距離だけ前後進する。

なお上記実施例においてはストッカを２個取り付けたも
のについて説明したがストッカを３個あるいは更に多（
取り付けるときも同様に外側のストッカのマガジンから
取り出し、次のストッカの最下段に一時保持し、これを
更に次のストッカの最下段に一時的に保持するようにす
る。このためにキャリアの切欠きをストッカの数だけ設
け、ブツシャを第２ストツカ、第３ストツカ・・・・の
下に設ける。これにより更に長時間の連続運転が可能で
ある。

つぎに昇降機構１０並びにこれに設けられたマガジン受
台の移動機構について説明する。第６因において垂直の
棒６０に案内されて上下動可能の昇降台６１が設けられ
、昇降台６１はベルト５９を介して指令により上下動を
行なう。昇降台６１には水平に案内面６２が設けられ、
この案内面に沿って水平動可能の水平滑動台６３が取り
付けられる。水平滑動台６３にはマガジン支え６４と６
５とが取り付けられ、支え６４は上向きのコ字形、６５
はＬ字形をなしている。そして前述のマガジン取出機構
のキャリア２９．３９によってＡ位置に送り出されたマ
ガジン４に対し、その下方にマガジン支え６４が位置し
た状態で昇降台６１は上昇して、マガジン４を受け取る
。なお第６図では水平滑動台６３及びその上のマガジン
支え６４．６５を１組示したが、長いマガジンに対して
は２組子行して設けられる。マガジンを受け取った昇降
台６１は最上位置にまで上昇、停止して傾斜位置已にあ
るマガジンが空になるのを待つ。

そして第７図に示すように傾斜位置にあるマガジンが空
になると、そのマガジン６６を支え６５に受ける。ここ
で水平滑動台６３は図の右方向に移動して第８図の状態
に移る。ここでＢ位置に移された未測定の素子の収納さ
れている新マガジン４に対してマガジンの末端に上から
ストッパ６７が下り、素子の出口を閉鎖し、後述の磯溝
によってマガジン４を傾斜させ、測定部へ素子を導入す
るためのインプットシュート１３と連結して素子を測定
部に送り出す。そして空マガジン６６をＣ位置で支えて
昇降台６１は下降する。そしてｆｊＸｔＪ９図に示すよ
うに最下位置まで昇降台６１が降下したところで、水平
滑動台６３が図の左方向へ移動すると固定部に設けられ
た突出部６９に空マガジン６６が当設し、片方を切欠い
たＬ字形の支え６５上のマガジン６６は案内壁６８に沿
って落下し空マガジン収納ボックス８に収納される。

そして更に水平滑動台６３は左方向に移動して、一点鎖
線で示すＡ位置に支え６４が復帰する。そして上記の運
動を繰り返すことにより新マガジンの供給と、空マガジ
ンの排出とを順次行なう。

なお水平滑動台６３の昇降台６１に対する移動機構は先
に第５図で示したマガジン取出俄構９におけるキャリア
２９．３９の運動機構と同様のものを昇降台６１に設け
ることによって可能である。

つぎにＢ位置にきたマガジンを傾斜させると共に測定部
へのインプットシュートと連結する機構について説明す
る。第８図の状態にある新マガジンを第１０図は側面か
ら示す。図の左側には素子を測定部に導入するためのイ
ンプットシュー）１３が固定されている。上昇してきた
新マガジン４は水平に昇降台上の支え６４．６４゛上に
ある。ここでリフタアームフ１がマガジン４を支え、素
子ストッパ６７がマガジン４の左端の上部開口部に入る
。そしてす７タアーム７１の支えがマガジンを支持して
図において反時計方向の回転を開始す４゜これと同時に
右側に位置するマガジンクランパ７２が作動して、マガ
ジン４を左方向に押し付ける。このときマガジン４の左
端はインプットシュート１３に接触しながらす７タアー
ム７１の旋回によりマガジンは傾斜位置をとリマ〃ジン
〃イド７３によりインプットシュート１３と新マガジン
４とは一直線となってブツシャにより固定される。そし
てこの状態が確認されたとき、スト７パ６７が上昇して
素子の送り出しを開始する。なお空マガジンは上記の動
作により、Ｂ位置にあるＬ字形支え６５の上に置かれる
。

以上詳述したように本願発明によれば、複数本のマガジ
ンをａ容するストッカを複数列設け、第１ストツカ、第
２ストッカ曲の順で順次収容されているマｆｆジンを測
定部への素子供給位置、にセットし、空になったマガジ
ンは自動的に回収するように構成したために、従来装置
に比して長時間の稼動が可能となった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明−が適用されるハンドリングマシンの概
略正面図、第２図は第１図の■方向からの矢視図、第３
図は本発明の概要説明図、第４図はストッカ部及びマガ
ジン取出し槻溝の側面図、第５図はキャリア移動機構を
示す平面図、第６図は昇降機構の側面図、第７図、第８
図は水平滑動台の動作説明図、第９図は空マガジン排出
機構の側面図、第１０図はマガジン傾斜機構の側面図。 に機台　２：第１ストツカ　３：第２ストッカ４：マが
ジン　８：空マガジン収納ボックス９：マガジン取出槻
構　１３：インブ・７トシユート２９．３９：キャリア
　３０：第１切欠き３１：第２切欠き　３２：マガジン
プッシャ６１：昇降機構　６３：水平滑動台 ６４．６５：マガジン支え　７１：す７タア一ム特許出
願人 株式会社　東京精密

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 半導体素子を多数個収容したマガジンを多数本積み重ね
   て収納したストッカから順次１本ずつ取り出されたマガ
   ジンを供給部にて傾斜させ、マガジン内の半導体素子を
   測定部に供給し、測定結果により選別分類するようにし
   た半導体素子のハンドリングマシンにおいて、機台上に
   設けられた複数個のストッカと、前記ストッカの下部開
   口に近接して設けられ、かつ前記各ストッカの間隔と同
   じ間隔で前記各ストッカのマガジンを収容できる切欠き
   を設けたキャリアと、前記キャリアをストッカ設置位置
   から待機位置まで往復動させる駆動磯枯とを備えており
   、初めに前記複数個のストッカの、うち第１ストツカよ
   りマガジンを順次取り出してこれをｆ５２ストッカｔＩ
   ｔＩ３ストッカ・・・・の底部空間に一時保持し、さら
   にこれを待機位置に移すと共に、第１ストツカのマがジ
   ンがなくなった時には第２ストツカさらに第３ストツカ
   ・・・・の順でマガジンを１本ずつ取り出して待機位置
   に移すようにしたことを特徴とする半導体素子の供給装
   置。